JP5164344B2 - 機器免震装置 - Google Patents
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Description
上下方向に間隔を隔てた上層及び下層の剛性床組と、上下の前記剛性床組を一体的に連結する剛性支柱とを有し、
前記剛性床組及び剛性支柱は、剛性骨組として一体化した重層構造の剛性架台を構成し、
前記剛性床組及び前記支柱の鉛直荷重は、免震支承を介して前記下層空間の床構造体によって支持され、前記支柱は、前記室内空間の床構造体を水平変位可能に貫通して上層の前記剛性床組を前記室内空間に支持し、
前記製造装置系を構成する第1製造機器は、上層の前記剛性床組上に固定され、前記製造装置系を構成する第2製造機器は、下層の前記剛性床組上に固定されることを特徴とする機器免震装置を提供する。
2:室内空間の床構造体
3:天井構造体
4:根太
5:有孔グレーチング
6:下層空間
7:下層空間の床構造体
10:ステッパー
11:レーザー装置
12:電源ユニット
13:空調機
14:調温機
15:剛性配管
16、17、18:配管又は配線
30:横架材
50:機器免震装置
51、52:剛性床組
53:剛性支柱
54:枠体
55:根太
56:床板
60:滑り支承
70、70’:滑り支承
80:摺動プレート
Claims (5)
- 複合的な製造装置系の製造機器が配置される室内空間と、該室内空間の床構造体の下側に形成された下層空間とを有する製造施設に設けられる機器免震装置において、
上下方向に間隔を隔てた上層及び下層の剛性床組と、上下の前記剛性床組を一体的に連結する剛性支柱とを有し、
前記剛性床組及び剛性支柱は、剛性骨組として一体化した重層構造の剛性架台を構成し、
前記剛性床組及び前記支柱の鉛直荷重は、免震支承を介して前記下層空間の床構造体によって支持され、前記支柱は、前記室内空間の床構造体を水平変位可能に貫通して上層の前記剛性床組を前記室内空間に支持し、
前記製造装置系を構成する第1製造機器は、上層の前記剛性床組上に固定され、前記製造装置系を構成する第2製造機器は、下層の前記剛性床組上に固定されることを特徴とする機器免震装置。 - 前記室内空間の床構造体は、根太及び横架材を組付けた組床構造を有し、前記支柱は、根太間の領域を垂直に貫通し、上層の前記剛性床組を前記室内空間に支持することを特徴とする請求項1に記載の機器免震装置。
- 前記免震支承は、下層の前記剛性床組と前記下層空間の床構造体との間に介装した滑り支承からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の機器免震装置。
- 上層の前記剛性床組と前記室内空間の床構造体との間に支承が更に介装されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の機器免震装置。
- 前記製造装置系は、ステッパー及びレーザー装置から構成され、前記ステッパーは、上層の前記剛性床組上に固定され、前記レーザー装置は、下層の前記剛性床組上に固定され、前記ステッパーの補機類が前記レーザー装置とともに下層の前記剛性床組上に更に固定され、
前記免震支承は、下層の前記剛性床組と前記下層空間の床構造体との間に介装した剛滑り支承からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の機器免震装置。
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