JP2002261002A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 駆動源装置に接続ケーブルを介して接続され
た露光装置において、装置の設置される条件が異なって
も駆動源装置を安定して設置することができ、接続ケー
ブルを可能な限り短くすることができる露光装置を提供
する。 【解決手段】 露光装置ＥＸに接続ケーブルＣを介して
接続された駆動源装置１は複数の駆動源ユニット１ａ、
１ｂ、１ｃによって構成されており、駆動源ユニット１
ａ、１ｂ、１ｃのそれぞれは分割収納部２ａ、２ｂ、２
ｃに収納されている。このとき、分割収納部２ａ、２
ｂ、２ｃのそれぞれは、接続ケーブルＣを通すための開
口部３を複数位置に有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、パターンを基板に
露光する露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子や薄膜磁気ヘッドあるいは液
晶表示素子等のマイクロデバイスを製造するためのフォ
トリソグラフィ工程で使用される露光装置は電力によっ
て駆動されるが、露光装置をマイクロデバイス製造工場
に設置する際、工場内における各種作業の作業性を向上
するためにフットプリント（装置の占有面積）は小さい
ことが好ましい。したがって、工場の床上に露光装置が
配置された際、この露光装置に電力を供給するための駆
動用電源（駆動源装置）を床下に配置することによって
フットプリントを小さくしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな駆動用電源は、１つのラック（収納装置）に収納さ
れた状態で工場の床下に配置されるが、床下空間の大き
さは露光装置を設置する工場によってそれぞれ異なるの
で、ラックに収納された駆動用電源が大きすぎて床下空
間に収まらないという不都合が生じる場合がある。

【０００４】また、駆動用電源と露光装置とは接続ケー
ブルによって接続されるが、電気的ノイズの影響を抑え
るために、この接続ケーブルは可能な限り短いことが好
ましい。したがって、駆動用電源は露光装置の配置され
た床の直下に置かれることが好ましいが、工場内の支柱
や露光装置以外の装置などが邪魔して、露光装置の配置
された床の直下に置かれるとは限らない。この場合、ラ
ックに収納されている駆動用電源は露光装置と離れた位
置に配置せざるを得なくなるので、接続ケーブルが長く
なってしまい、電気的ノイズ、位相遅れ、信号の鈍りな
どの影響を受けやすくなるという不都合が生じる場合が
ある。一方、ラックに収納された駆動用電源に対して床
下空間が大きすぎる場合にも接続ケーブルを長くせざる
を得なくなる。

【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、駆動源装置に接続される露光装置において、
装置の設置される条件が異なっても安定して駆動源装置
を設置することができる露光装置を提供することを目的
とする。また、露光装置と駆動源装置とをケーブルによ
って接続する際、このケーブルを可能な限り短くするこ
とができる露光装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め本発明は、実施の形態に示す図１〜図１０に対応付け
した以下の構成を採用している。本発明の露光装置（Ｅ
Ｘ）は、駆動源装置（１）に接続し、この駆動源装置
（１）により駆動される露光装置において、駆動源装置
（１）は複数の駆動源ユニット（１ａ、１ｂ、１ｃ）に
よって構成されており、駆動源ユニット（１ａ、１ｂ、
１ｃ）のそれぞれを収納する複数の分割収納部（２ａ、
２ｂ、２ｃ）を備えることを特徴とする。なお、駆動源
ユニット（１ａ、１ｂ、１ｃ）もそれぞれ複数の駆動源
ユニットから構成されていてもよい。

【０００７】本発明によれば、駆動源装置（１）を複数
の駆動源ユニット（１ａ、１ｂ、１ｃ）によって構成
し、これら駆動源ユニット（１ａ、１ｂ、１ｃ）を分割
収納部（２ａ、２ｂ、２ｃ）にそれぞれ収納するように
したので、例えば工場の床下空間の大きさに応じて、駆
動源ユニット（１ａ、１ｂ、１ｃ）を収納した分割収納
部（２ａ、２ｂ、２ｃ）のレイアウトを任意に設定する
ことができなど、駆動源装置（１）の設置される条件が
異なっても駆動源装置（１）を安定して設置することが
できる。

【０００８】本発明の露光装置（ＥＸ）は、駆動源装置
（１）に接続し、この駆動源装置（１）により駆動され
る露光装置において、駆動源装置（１）を収納する収納
装置（２）を備え、収納装置（２）は、駆動源装置と露
光装置とを接続するケーブル（Ｃ）を通すための開口部
（３）を複数位置に備えていることを特徴とする。

【０００９】本発明によれば、駆動源装置（１）を収納
するための収納装置（２）に、駆動源装置（１）と露光
装置とを接続するケーブル（Ｃ）を通すための開口部
（３）を複数位置に設けることにより、露光装置と駆動
源装置（１）とをケーブル（Ｃ）によって接続する際、
露光装置と駆動源装置（１）とを最短のケーブル（Ｃ）
で接続するように開口部（３）を選択することができる
ので、このケーブル（Ｃ）を可能な限り短くすることが
できる。したがって、ケーブル（Ｃ）に対する電気的ノ
イズの影響のおそれを低減することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の露光装置について
図面を参照しながら説明する。図１は本発明の露光装置
の一実施形態を示す概略構成図であり、図２は分割収納
部を説明するための図である。

【００１１】図１に示すように、露光装置ＥＸは、マイ
クロデバイス製造工場の床部Ｆに設置されている。この
露光装置ＥＸは電力によって駆動されるものであり、床
部Ｆの下方（下方空間ＳＰ）には露光装置ＥＸに電力を
供給する駆動源装置１がラック（収納装置）２に収納さ
れて配置されている。床部Ｆの上方に配置されている露
光装置ＥＸと床部Ｆの下方に配置されている駆動源装置
１とは接続ケーブルＣによって接続されており、駆動源
装置１からの電力は接続ケーブルＣを介して露光装置Ｅ
Ｘに供給される。駆動源装置１は電源部やアンプ部など
複数のユニット１ａ、１ｂ、１ｃによって構成されてい
る。ここで、以下の説明においては、これら電源部やア
ンプ部などのユニットを、「駆動源ユニット」と称す
る。

【００１２】露光装置ＥＸは、パターンを基板に露光す
る露光本体装置（照明光学系、投影光学系、アライメン
ト系、マスクステージ、及びウエハステージなどを含
む）、露光すべきパターンが形成されているマスク（レ
チクルを含む）を本体装置に対してロード・アンロード
するマスク搬送系、露光処理対象としてのウエハ（基
板）を本体装置に対してロード・アンロードするウエハ
搬送系、チャンバ内の環境（例えば、温度など）の制御
及び浄化を行う空調系、光学系や搬送系の制御を行う制
御系（コントロールユニット）などを備えている。そし
て、マスク搬送系、ウエハ搬送系、空調系、制御系のそ
れぞれは本体装置に接続され、本体装置の周辺装置を構
成している。これら本体装置、搬送系、空調系、制御系
のそれぞれはチャンバ内に収納されており、チャンバの
それぞれに個別に収納されている本体装置及び各周辺装
置（搬送系、空調系、制御系）は、これらチャンバのそ
れぞれを連結することにより接続されるようになってい
る。また、チャンバにそれぞれ収納されている本体装置
及び各周辺装置は分割可能となっている。ここで、以下
の説明においては、チャンバにそれぞれ収納されている
本体装置、搬送系、空調系、制御系のそれぞれを、適
宜、「モジュール」と称する。なお、露光装置ＥＸの本
体装置は、例えば照明光学系、投影光学系、マスクステ
ージ、ウエハステージ、及びアライメント系などがそれ
ぞれモジュールとして個別に組立及び調整が行われ、こ
れらモジュールが本体フレームに組み込まれている。従
って、本例では前述のモジュールとして本体装置だけで
なく、本体装置を構成する各モジュールも含まれる。ま
た、図示していないが、本実施形態に係る露光装置は、
例えばＫｒＦエキシマレーザを露光用光源として含み、
この露光用光源は駆動源装置１とともに床部Ｆの下方空
間ＳＰに配置されるとともに、この露光用光源から発生
されるエネルギービーム（露光用照明光）は、ビーム・
マッチング・ユニットなどを含む不図示のリレー光学系
を介して露光装置（照明光学系）に導かれるようになっ
ている。なお、この露光用光源に電力を供給する駆動源
ユニットを露光装置用の駆動源ユニットと一緒にラック
２に収納してもよい。また、前述の空調系の少なくとも
一部（ファンなど）を床部Ｆの下方空間ＳＰに配置して
もよい。

【００１３】露光装置ＥＸのうち、本体装置は、図示は
省略するが、ステップ・アンド・スキャン方式の縮小投
影露光装置である。この縮小投影露光装置は、マスクの
パターンの一部を投影光学系を介してレジストが塗布さ
れたウエハ上に縮小投影露光した状態で、マスクとウエ
ハとを投影光学系に対して同期移動させることにより、
マスク上のパターンの縮小像を逐次ウエハ上の各ショッ
ト領域に転写し、ウエハ上にパターンを形成するもので
ある。

【００１４】ＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）
を発振する露光用光源からパルス発光されたレーザビー
ムは、ビーム整形・変調光学系、オプティカルインテグ
レータ、開口絞り、リレーレンズ、コンデンサレンズな
どを有する照明光学系を介して、マスクステージ上に保
持されたマスク上の矩形の照明領域を均一な照度分布で
照明する。マスク上の照明領域内のパターンを投影光学
系を介して投影倍率α（αは例えば１／４、１／５等）
で縮小した像が、フォトレジストが塗布されたウエハ上
に投影露光される。ウエハはウエハホルダを介してウエ
ハステージ上に吸着保持されており、制御系による制御
に基づき、マスクステージ及びウエハステージが駆動さ
れ、ウエハとマスクとが同一又は逆方向に所定の速度比
で同期移動されることにより、マスク上のパターンがウ
エハのショット領域に転写される。本体装置は設置面
（図１では床部Ｆ）上に防振装置などを介して設置され
ている。なお、露光光としては、水銀ランプのｇ線（波
長４３６ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｉ線（波長３６
５ｎｍ）等の輝線、又はＡｒＦエキシマレーザ光（波長
１９３ｎｍ）、Ｆ₂ レーザ光（波長１５７ｎｍ）、Ａｒ
₂ レーザ光（波長１２６ｎｍ）、あるいはＹＡＧレーザ
または半導体レーザなどの高調波等が使用できる。

【００１５】空調系は、本体装置及び搬送系を収納した
チャンバ内の環境を制御するものである。空調系で温度
調整されたガスは、ダクト及びチャンバの内部に設置さ
れた塵除去用のＨＥＰＡフィルタ、及び硫酸イオン、ア
ンモニウムイオン、シリコン系有機物などを除去するケ
ミカルフィルタを介してそのチャンバ内に吹き出す。チ
ャンバ内の吹出口の反対側には、吸引口が配置されてお
り、チャンバ内に吹き出した清浄なガスは、この吸引口
及びダクトを介して、空調系に戻るようになっている。

【００１６】制御系は、本体装置や各周辺装置（搬送
系、空調系など）の制御を行うものであって、本体装置
のマスクステージやウエハステージの移動、照明系によ
る露光条件の変更、搬送系によるマスクやウエハの搬
送、その他の制御を行う。

【００１７】駆動源装置１は電源部やアンプ部など複数
の駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃによって構成されて
おり、駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃのそれぞれは、
ラック２を構成する分割ラック（分割収納部）２ａ、２
ｂ、２ｃにそれぞれ収納されている。分割ラック２ａ、
２ｂ、２ｃは上下方向に積層可能となっている。なお、
駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃはそれぞれ複数の駆動
源ユニットなどから構成されていてもよい。

【００１８】図２は分割ラック２ａを示す図である。図
２に示すように、分割ラック２ａは接続ケーブルＣを通
すための複数の開口部３を有している。この開口部３は
分割ラック２ａの壁部のうち任意の複数の位置に形成可
能であり、少なくとも１つの開口部３は分割ラック２ａ
の上方位置に形成される。ここでは、開口部３は分割ラ
ック２ａの上方位置（上面）と、側面下部と、下面（図
２では図示されず、図４参照）とに形成されている。複
数の開口部３のうち使用されない開口部３（接続ケーブ
ルＣが通されない開口部３）には蓋や扉を設けることが
できる。分割ラック２ａには内部に収納した駆動源ユニ
ット１ａを放熱するための冷却ファン（不図示）が設け
られる。

【００１９】分割ラック２ａの下部には取り外し可能な
脚部４が設けられており、分割ラック２ａを脚部４によ
って支持することにより、分割ラック２ａと床面とは離
間するようになっている。この離間部に対して例えばフ
ォークリフトのフォークを差し込むことができ、搬送を
容易にしている。さらに、分割ラック２ａの下部にはこ
の分割ラック２ａを移動自在に支持するキャスター部材
５が設けられており、分割ラック２ａの移動を容易にし
ている。

【００２０】以上、分割ラック２ａについて説明した
が、他の分割ラック２ｂ、２ｃも同様の構成を有してい
る。すなわち、分割ラック２ｂ、２ｃの複数位置には接
続ケーブルＣを通すための開口部３が設けられており、
それぞれの下部には脚部４やキャスター部材５が設けら
れている。そして、これら分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃ
は、図３に示すように上下方向に３段に積層可能となっ
ている。なお、図３に示す分割ラック２ａ、２ｂにおい
ては、側面に設けられた開口部３を塞ぐように扉部３ａ
が設けられている。

【００２１】図４は、３つの分割ラック２ａ、２ｂ、２
ｃを積層した際の断面模式図である。図４に示すよう
に、分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれは、分割ラ
ック２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれに収納されている駆動
源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃに対して所定の処理を行う
処理部としてのブレーカー６ａ、６ｂ、６ｃと、ブレー
カー６ａ、６ｂ、６ｃを遠隔操作するスイッチ６ａ’、
６ｂ’、６ｃ’とを備えている。ブレーカー６ａ、６
ｂ、６ｃのそれぞれと駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃ
のそれぞれとはケーブルなどによって接続されており、
駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃの動作は遠隔操作スイ
ッチ６ａ’、６ｂ’、６ｃ’を操作することによって停
止可能となっている。また、ブレーカー６ａ、６ｂ、６
ｃのそれぞれにはブレーカー用コネクタ部（処理部用コ
ネクタ部）７ａ、７ｂ、７ｃが設けられている。ブレー
カー用コネクタ部７ａとブレーカー用コネクタ部７ｂと
はブレーカー用ケーブル８ａによって接続され、ブレー
カー用コネクタ部７ｂとブレーカー用コネクタ部７ｃと
はブレーカー用ケーブル８ｂによって接続されている。
ブレーカー用ケーブル８ａ、８ｂは分割ラック２ａ、２
ｂ、２ｃのそれぞれの上下面に形成されている開口部３
を介してコネクタ部どうしを接続している。

【００２２】このとき、遠隔操作スイッチ６ａ’、６
ｂ’、６ｃ’の１つ、例えば下段の分割ラック２ｃの遠
隔操作スイッチ６ｃ’を操作するだけで、駆動源ユニッ
ト１ａ、１ｂ、１ｃの動作を全て停止させることが可能
となっている。このため、分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃ
を自由にレイアウトしても、駆動源ユニットの動作停止
が困難になることがないといった利点がある。なお、分
割ラックに対して遠隔操作スイッチを脱着可能としてお
き、分割ラックのレイアウトに応じて遠隔操作スイッチ
の位置を変更すれば、各分割ラックにそれぞれ遠隔操作
スイッチを設けなくてもよい。

【００２３】駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃのそれぞ
れからは露光装置ＥＸに接続される接続ケーブルＣが延
びている。上段の駆動源ユニット１ａからの接続ケーブ
ルＣは、分割ラック２ａの下面に形成されている開口部
３を介して中段の分割ラック２ｂを通過し、下段の分割
ラック２ｃの下方に形成されている開口部３から露光装
置ＥＸに延びる。中段の駆動源ユニット１ｂからの接続
ケーブルＣは、分割ラック２ｂの下面に形成されている
開口部３を介して下段の分割ラック２ｃに延び、この分
割ラック２ｃの下方に形成されている開口部３から露光
装置ＥＸに延びる。下段の駆動源ユニット１ｃからの接
続ケーブルＣは、分割ラック２ｃの下方に形成されてい
る開口部３から露光装置ＥＸに延びる。

【００２４】なお、分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのそれ
ぞれの上面には、脚部４（あるいはキャスター部材５）
に対応した位置にこの脚部４（あるいはキャスター部材
５）を収容可能な凹部１１が設けられている。そして、
分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃを積層する際、上側に配置
される分割ラックの脚部４（あるいはキャスター部材
５）が下側に配置される分割ラックの上面に形成された
凹部１１に収容されることにより、上側に配置される分
割ラックの下面と下側に配置される分割ラックの上面と
が当接されるので、分割ラックは安定して積層される。

【００２５】以上説明したような構成を有する露光装置
ＥＸ及び駆動源装置１の接続手順及び配置方法について
図１、図５、図６を参照しながら説明する。図１に示し
たように、まず、露光装置ＥＸをマイクロデバイス製造
工場の床部Ｆ上に設置し、駆動源装置１を床部Ｆの下方
に設置する。このとき、駆動源装置１は分割ラック２
ａ、２ｂ、２ｃにそれぞれ収納された駆動源ユニット１
ａ、１ｂ、１ｃによって構成されており、分割ラック２
ａ、２ｂ、２ｃが設置される床部Ｆの下方空間ＳＰの大
きさに応じて分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃの積層数が設
定される。分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃは設定した積層
数に基づいて積層され、床下空間ＳＰに設置される。

【００２６】ここで、図１に示すように、床下空間ＳＰ
の高さ方向のスペースには余裕があり、水平方向のスペ
ースには、工場の支柱や梁、あるいは露光装置の照明光
学系に露光光を射出するエキシマレーザ装置など駆動源
装置１以外の装置の存在によって十分な余裕が無い場
合、分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃの水平方向へのレイア
ウトは制限される。したがって、分割ラック２ａ、２
ｂ、２ｃは、図１に示すように上下方向に３段に積層さ
れる。

【００２７】駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃをそれぞ
れ収納した分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃを積層して床下
空間ＳＰに設置したら、露光装置ＥＸと駆動源ユニット
１ａ、１ｂ、１ｃとを最短の接続ケーブルＣで安定して
接続できるように、複数の開口部３のうちどの開口部３
に接続ケーブルＣを通すかを決定する。すなわち、露光
装置ＥＸ内の複数のアクチュエータなどから駆動源ユニ
ット１ａ、１ｂ、１ｃの各々までの接続ケーブルＣの長
さが最短となるように配設パターンを設定する。図１で
は、駆動源装置１は露光装置ＥＸの設置された床部Ｆの
直下には配置されず離れた位置に配置されているため、
駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃからの接続ケーブルＣ
は、図４で説明したように、下段の分割ラック２ｃの開
口部３から床下空間ＳＰの床面をはって床部Ｆ上の露光
装置ＥＸに向かって延ばされる。この際、接続ケーブル
Ｃは、床下空間ＳＰに設けられた梯子状の支持部材Ｈに
支持されつつ床下空間ＳＰの床面から露光装置ＥＸまで
配設され、露光装置ＥＸに接続される。こうして、駆動
源装置１と露光装置ＥＸとを接続ケーブルＣを介して接
続したら、駆動源装置１を作動して露光装置ＥＸに電力
を供給し、露光装置ＥＸを駆動する。なお、図１ではラ
ック２の内部での配線も考慮すると、駆動源ユニット１
ａ、１ｂ、１ｃのうち駆動源ユニット１ａで露光装置Ｅ
Ｘからの接続ケーブルが最長となるので、その最長とな
るケーブルによって露光装置の動作や性能などが影響を
受けないようにケーブルの接続ルートや分割ラックのレ
イアウト（配置）を決定することが望ましい。このと
き、実際には露光装置ＥＸの内部での配線も考慮して最
長となるケーブルで上記影響を受けないように接続ルー
トやレイアウトを決定するとよい。

【００２８】一方、床下空間ＳＰの高さ方向のスペース
には十分な余裕があり、水平方向のスペースにも支柱や
梁などの障害物が無い場合には、図５に示すように、分
割ラック２ａ、２ｂ、２ｃを３段に積層して露光装置Ｅ
Ｘの設置された床部Ｆの直下に配置する。そして、露光
装置ＥＸと駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃのそれぞれ
とを最短の接続ケーブルＣで安定して接続できるように
配設パターンを設定する。この場合、駆動源ユニット１
ａ、１ｂ、１ｃのそれぞれから延びる接続ケーブルＣ
を、分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれに設けられ
ている開口部３を介して、上段に設けられている分割ラ
ック２ａの上面の開口部３まで配設し、床部Ｆの上方に
設置されている露光装置ＥＸに接続する。こうして、駆
動源装置１と露光装置ＥＸとを接続ケーブルＣを介して
接続したら、駆動源装置１を作動して露光装置ＥＸに電
力を供給し、露光装置ＥＸを駆動する。このように、床
下空間ＳＰに設置されたラック２の上方位置（上面）に
開口部３を設け、この開口部３に接続ケーブルＣを通す
ことによって、駆動源装置１と露光装置ＥＸとを接続す
る接続ケーブルＣの長さを最短にすることができる。ま
た、図５（ａ）では駆動源ユニット１ｃで露光装置ＥＸ
からのケーブルが最長となるものの、垂直方向に関する
ケーブル長だけを図１と比較しても、そのケーブル長が
図１では最短となるケーブル長と同程度に過ぎず、しか
も駆動源ユニット１ａでは露光装置ＥＸからのケーブル
長が図５（ｂ）に示す距離Δｄの２倍だけ短くなり、少
なくともケーブル長という点では図５（ａ）が図１に比
べて有利である。また、駆動源ユニット１ｂでも駆動源
ユニット１ａほどではないにしろ、同様にケーブル長が
短くなる。さらに、床下空間ＳＰに支柱、梁、配管、露
光用光源または露光装置ＥＸのリレー光学系などの障害
物が存在し、露光装置ＥＸの直下に、接続ケーブルを固
定する支持部材Ｈあるいは駆動源装置１（ラック２）を
設置できないことがある。この場合、障害物を避けるた
めに駆動源装置１（ラック２）を露光装置ＥＸの直下か
ら水平方向にずらして設置することになるので、図５
（ｃ）に示すように床部Ｆの下面にケーブルトレイＫＴ
を固定し、このケーブルトレイＫＴで接続ケーブルＣを
支持するとともに、分割ラック２ａの上面開口３を通し
て接続ケーブルＣを駆動源装置１に導くように構成して
もよい。勿論、露光装置ＥＸの直下に障害物が存在しな
くても、図５（ｃ）の配置を採用して構わない。なお、
複数の駆動源ユニットが積層された駆動源装置１を露光
装置ＥＸと同じ床部Ｆ上に設置する場合、接続ケーブル
Ｃが床上及び床下のいずれに設けられても、図１と同様
に最下段の分割ユニットの開口部３を通して接続ケーブ
ルＣを駆動源装置１に導くことが望ましい。

【００２９】床下空間ＳＰの高さ方向のスペースが十分
ではなく、水平方向のスペースに余裕がある場合には、
図６に示すように、２つの分割ラック２ｂ、２ｃを水平
方向に並列に配置し、分割ラック２ａを分割ラック２ｂ
の上側に積層することができる。すなわち、分割ラック
２ａ、２ｂ、２ｃの配置は、分割ラック２ａ、２ｂ、２
ｃが設置される床下空間ＳＰの大きさなどに応じて任意
に設定できる。そして、露光装置ＥＸと駆動源ユニット
１ａ、１ｂ、１ｃとを、最短の接続ケーブルＣで安定し
て接続できるように、複数の開口部３のうち接続ケーブ
ルＣを通すための最適な開口部３を決定する。ここで
は、分割ラック２ｂ及び分割ラック２ｃの側面に開口部
３が設けられており、駆動源ユニット１ｃからの接続ケ
ーブルＣはこの側面に形成された開口部３を介して分割
ラック２ｂの下方に設けられている開口部３から露光装
置ＥＸに接続される。また、駆動源ユニット１ａからの
接続ケーブルＣは、分割ラック２ａの下面に形成された
開口部３及び分割ラック２ｂの上面に形成された開口部
３を介して分割ラック２ｂの下方に設けられている開口
部３から露光装置ＥＸに接続される。こうして、駆動源
装置１と露光装置ＥＸとを接続ケーブルＣを介して接続
したら、駆動源装置１を作動して露光装置ＥＸに電力を
供給し、露光装置ＥＸを駆動する。なお、図６でも図５
（ｃ）と同様に、図中に破線で示すように接続ケーブル
を分割ラック２ａの上面開口部３’を通して駆動源装置
１と接続してもよい。

【００３０】以上説明したように、駆動源装置１を複数
の駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃによって構成し、こ
れら駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃを分割ラック２
ａ、２ｂ、２ｃにそれぞれ収納するようにしたので、例
えば工場の床下空間ＳＰの大きさに応じて駆動源ユニッ
ト１ａ、１ｂ、１ｃのそれぞれを収納した分割ラック２
ａ、２ｂ、２ｃのレイアウトを任意に設定することがで
きるなど、装置が設置される空間（環境、条件）に応じ
て駆動源装置１を安定して設置することができる。な
お、本実施形態では駆動源装置１を全て床下空間ＳＰに
設けるものとしたが、その一部（本例では少なくとも１
つの分割ラック）を他の空間（床部Ｆ上など）に設置す
るようにしてもよい。

【００３１】駆動源装置１を収納するためのラック２
に、駆動源装置１と露光装置ＥＸとを接続する接続ケー
ブルＣを通すための開口部３を複数位置に設けたことに
より、複数の開口部３のうち最適な開口部３を選択する
ことによって、最短の接続ケーブルＣを用いて露光装置
ＥＸと駆動源装置１とを安定して接続することができ
る。そして、露光装置ＥＸと駆動源装置１とを接続する
接続ケーブルＣを可能な限り短くすることができるの
で、接続ケーブルＣに対する電気的ノイズなどの影響の
おそれを低減することができ、安定した露光処理を行う
ことができる。

【００３２】複数の開口部３のうち少なくとも１つの開
口部３をラック２の上方位置（上面）に設けたので、床
部Ｆ上に設置されている露光装置ＥＸと床部Ｆの下方空
間ＳＰに設置されている駆動源装置１とを接続ケーブル
Ｃによって接続する際、ラック２の上方位置に設けられ
た開口部３を通すことによって接続ケーブルＣを短くす
ることができる。したがって、接続ケーブルＣに対する
電気的ノイズなどの影響を最小限に抑えることができる
ので、安定した露光処理を行うことができる。

【００３３】分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれ
に、駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃのそれぞれに対し
て動作を停止可能なブレーカー６ａ、６ｂ、６ｃを設
け、これらブレーカー６ａ、６ｂ、６ｃを遠隔操作する
スイッチ６ａ’、６ｂ’、６ｃ’を設けることとしたの
で、駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃの動作を停止した
い場合の作業性を向上することができる。例えば、積層
された分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれにブレー
カー遠隔操作スイッチ６ａ’、６ｂ’、６ｃ’が設けら
れている場合、上段の分割ラック２ａに設けられている
ブレーカー遠隔操作スイッチ６ａ’は床下空間ＳＰの床
面から高い位置にあるのでオペレータが操作することは
困難であるが、オペレータが操作しやすい下段の分割ラ
ック２ｃに設けられているブレーカー遠隔操作スイッチ
６ｃ’を操作することによって全てのブレーカー６ａ、
６ｂ、６ｃが操作されるようにしたので、所定の処理を
行う際の作業性を向上することができる。なお、各分割
ラック（駆動源ユニット）に遠隔操作スイッチ６ａ’、
６ｂ’、６ｃ’を設ける場合、これと並列にブレーカー
６ａ、６ｂ、６ｃを設けなくてもよい。

【００３４】ここで、上述した実施形態では、積層され
た分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれにブレーカー
６ａ、６ｂ、６ｃ及びブレーカー用コネクタ部７ａ、７
ｂ、７ｃを設け、下段の分割ラック２ｃに設けられたブ
レーカー遠隔操作スイッチ６ｃ’を操作することによっ
て全てのブレーカー６ａ、６ｂ、６ｃを操作するように
説明したが、分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのレイアウト
を変更した場合、分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのレイア
ウトに応じて操作入力するブレーカーを切り替えること
ができる。例えば、下段に分割ラック２ａを設け、中段
に分割ラック２ｃを設け、上段に分割ラック２ｂを設け
るようにして積層した場合、下段に配置された分割ラッ
ク２ａのブレーカー遠隔操作スイッチ６ａ’に対して操
作入力することにより他のブレーカー６ｂ、６ｃも処理
されるように、操作入力するブレーカーを切り替えるこ
とができる。

【００３５】また、ブレーカー用コネクタ部７ａ、７
ｂ、７ｃを設けたことにより、全ての分割ラック２ａ、
２ｂ、２ｃにブレーカーの操作部（操作スイッチ、操作
ツマミ、操作ボタンなど）を設けなくても、複数の分割
ラック２ａ、２ｂ、２ｃのうち少なくとも１つの分割ラ
ックにブレーカーの操作部を設ければ、この操作部を操
作することによって他の分割ラックに設けられたブレー
カーを操作することができる。例えば、図６に示すよう
に２つの分割ラック２ｂ、２ｃが水平方向に並列に配置
された場合、ブレーカーの操作部を分割ラック２ｃに設
置してしまうと、分割ラック２ｂと干渉してしまう場合
があるが、分割ラック２ａ〜２ｃのそれぞれにブレーカ
ー用コネクタ部７ａ〜７ｃを設けて接続したことによ
り、分割ラック２ｃにはブレーカーの操作部を設けなく
ても、他の分割ラック２ａ（２ｂ）に設けられたブレー
カー６ａ（６ｂ）の操作部を操作することによって、分
割ラック２ｃに収納されている駆動源ユニット１ｃの動
作を停止することができる。

【００３６】なお、図４において、ブレーカー用コネク
タ部７ａ、７ｂ、７ｃはブレーカー用ケーブル８ａ、８
ｂを用いて接続されるように説明したが、図４の破線で
示すような、分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれの
上下面（外面）に露出するブレーカー用コネクタ部（処
理部用コネクタ部）７’を設け、これらブレーカー用コ
ネクタ部７’どうしを接続する構成とすることも可能で
ある（なお、ブレーカー用コネクタ部７’と駆動源ユニ
ットとはケーブルなどで接続されている）。この場合、
ブレーカー用ケーブルは不要であり、分割ラック２ａ、
２ｂ、２ｃのそれぞれを積層するだけでブレーカー用コ
ネクタ部７’どうしを接続することができる。

【００３７】ところで、上述した実施形態では、分割ラ
ック２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれに収納されている駆動
源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃと露光装置ＥＸとは接続ケ
ーブルＣによってそれぞれ接続されているが、図７に示
すように、分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれに駆
動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃのそれぞれを接続するた
めの駆動源用コネクタ部１０を設け、この駆動源用コネ
クタ部１０を用いて駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃを
接続する構成とすることができる。この駆動源用コネク
タ部１０は分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれの上
下面（外面）に露出して設けられ、分割ラック２ａ、２
ｂ、２ｃを積層することによって互いに接続される。こ
のとき、駆動源用コネクタ部１０と駆動源ユニット１
ａ、１ｂ、１ｃのそれぞれとはケーブルなどで接続され
ている。そして、これら複数の駆動源ユニット１ａ、１
ｂ、１ｃのうち、例えば駆動源ユニット１ａと露光装置
ＥＸとを接続ケーブルＣを用いて接続することによっ
て、他の駆動源ユニット１ｂ、１ｃも駆動源用コネクタ
部１０を介して露光装置ＥＸに接続される。このよう
に、分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃに駆動源用コネクタ部
１０をそれぞれ設けたことにより、１つの分割ラック２
ａと露光装置ＥＸとを接続ケーブルＣで接続するだけ
で、全ての分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれに収
納されている駆動源ユニット１ａ、１ｂ、１ｃを露光装
置ＥＸに接続することができる。したがって、接続ケー
ブルＣの配設作業や露光装置ＥＸとの接続作業を作業性
良く行うことができる。

【００３８】上記実施形態においては、分割ラック２
ａ、２ｂ、２ｃは床下空間ＳＰに積層して設置されるよ
うに説明したが、図８（ａ）に示すように、３つの分割
ラック２ａ、２ｂ、２ｃを水平方向に並列に配置する構
成とすることも可能である。この場合、各分割ラック２
ａ、２ｂ、２ｃに形成される開口部３は、最短のケーブ
ルＣで分割ラックどうしの接続及び露光装置ＥＸと分割
ラックとの接続を行えるように最適な位置に形成されて
いる。また、分割ラック２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれの
大きさなどが異なる場合は、図８（ｂ）に示すように、
水平方向に並列に配置した分割ラック２ｂ、２ｃの上部
に、分割ラック２ａを配置する構成とすることが可能で
ある。なお、複数の分割ラックを同一面上に並べて配置
する場合、駆動源装置１の設置面積（フットプリント）
が大きくなる。したがって、複数台の投影露光装置を並
べて製造ラインを構築するとき、各投影露光装置で駆動
源装置１のフットプリントをその本体装置のフットプリ
ントと同程度以下とする、あるいは全ての駆動源装置の
フットプリント（総設置面積）を製造ライン全体のフッ
トプリントと同程度以下とすることが望ましい。したが
って、駆動源装置１を構成する複数の駆動源ユニット
（分割ラック）を全て同一面上に配置する構成（図８
（ａ））よりも、複数の分割ラックの少なくとも１つを
残りの分割ラックに重ねて設置する構成（図８（ｂ））
を採用することが好ましい。但し、後者の構成では各分
割ラック（駆動源ユニット）のブレーカーなどの操作面
及びメンテナンス面を同一面に揃える必要がある。

【００３９】分割ラック２ａ〜２ｃを全て床下空間ＳＰ
に配置せずに、図９に示すように、分割ラック２ａ、２
ｂ、２ｃを床部Ｆの上方と下方とに分けて配置すること
も可能である。つまり、複数の分割ラック２ａ、２ｂ、
２ｃのうち１つの分割ラック２ａを床部Ｆ上に配置し、
他の分割ラック２ｂ、２ｃを床下空間ＳＰに配置するこ
とが可能である。この場合、床部Ｆの上方に配置された
分割ラック２ａの駆動源ユニット１ａを、露光装置ＥＸ
以外の他の周辺処理装置ＣＤ、例えば、露光処理される
べきウエハに対してレジストを塗布するコーター装置
や、露光処理されたウエハに対して現像処理を行うデベ
ロッパ装置などにも接続し、駆動源ユニット１ａを露光
装置ＥＸと他と周辺処理装置ＣＤとで共有するような構
成とすることもできる。

【００４０】前述したように、露光装置ＥＸは露光本体
装置及びこの本体装置に接続される複数の周辺装置（搬
送系、空調系、制御系など）など複数のモジュールによ
って構成されているが、分割ラックに収納された複数の
駆動源ユニットのそれぞれを各モジュールのそれぞれに
対応して設け、モジュールのそれぞれと駆動源ユニット
とをケーブルＣを介して着脱自在に接続する構成とする
ことができる。このように、駆動源ユニットと各モジュ
ールとを１対１に対応させ、互いに着脱可能な構成とす
ることにより、露光装置ＥＸを製造する際の製造効率を
向上することができる。例えば、ウエハ搬送系を製造す
る際にはウエハ搬送系用の駆動源ユニットとともに製造
し、空調系を製造する際には空調系用の駆動源ユニット
とともに製造することができ、この場合、製造段階から
各モジュール毎に駆動源ユニットが設けられるので、各
モジュール毎に動作確認を行いながら製造することがで
きる。このように、複数のモジュールを個別に同時進行
で製造することができるので、製造効率を向上すること
ができるとともに、モジュール製造段階から動作確認を
行うことができるので、製造の安定化を実現することが
できる。そして、露光装置ＥＸ全体を構築するには、こ
れら各モジュールを合成すればよく、煩雑な配線作業や
接続作業を少なくすることができる。

【００４１】なお、上記実施形態では、モジュールは、
本体装置、搬送系、空調系、制御系であるように説明し
たが、本体装置に含まれる各装置、例えばウエハステー
ジやレチクルステージなどをモジュール化することもで
きる。

【００４２】本実施形態の露光装置として、マスクと基
板とを静止した状態でマスクのパターンを露光し、基板
を順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート
型の露光装置にも適用することができる。

【００４３】本実施形態の露光装置として、投影光学系
を用いることなくマスクと基板とを密接させてマスクの
パターンを露光するプロキシミティ露光装置にも適用す
ることができる。

【００４４】露光装置の用途としては半導体製造用の露
光装置に限定されることなく、例えば、角型のガラスプ
レートに液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光
装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子、マイクロマシン、
ＤＮＡチップ、及びマスク（レチクル）などを製造する
ための露光装置にも広く適当できる。さらに、露光装置
で使用する露光光は紫外光などに限られるものではな
く、例えばＥＵＶ（Extreme Ultraviolet ）光、硬Ｘ
線、あるいは電子線やイオンビームなどの荷電粒子線な
どでもよい。

【００４５】投影光学系の倍率は縮小系のみならず等倍
および拡大系のいずれでもよいし、投影光学系は屈折
系、反射系、及び反射屈折系のいずれでもよい。

【００４６】ウエハステージやレチクルステージにリニ
アモータを用いる場合は、エアベアリングを用いたエア
浮上型およびローレンツ力またはリアクタンス力を用い
た磁気浮上型のどちらを用いてもいい。また、ステージ
は、ガイドに沿って移動するタイプでもいいし、ガイド
を設けないガイドレスタイプでもよい。

【００４７】ステージの駆動装置として平面モ−タを用
いる場合、磁石ユニット（永久磁石）と電機子ユニット
のいずれか一方をステージに接続し、磁石ユニットと電
機子ユニットの他方をステージの移動面側（ベース）に
設ければよい。

【００４８】ウエハステージの移動により発生する反力
は、特開平８−１６６４７５号公報に記載されているよ
うに、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃が
してもよい。本発明は、このような構造を備えた露光装
置においても適用可能である。

【００４９】マスクステージの移動により発生する反力
は、特開平８−３３０２２４号公報に記載されているよ
うに、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃が
してもよい。本発明は、このような構造を備えた露光装
置においても適用可能である。

【００５０】以上のように、本願実施形態の露光装置
は、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む
各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、
光学的精度を保つように、組み立てることで製造され
る。これら各種精度を確保するために、この組み立ての
前後には、各種光学系については光学的精度を達成する
ための調整、各種機械系については機械的精度を達成す
るための調整、各種電気系については電気的精度を達成
するための調整が行われる。各種サブシステムから露光
装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機
械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等
が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組
み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程
があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光
装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行わ
れ、露光装置全体としての各種精度が確保される。な
お、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理さ
れたクリーンルームで行うことが望ましい。

【００５１】半導体デバイスは、図１０に示すように、
デバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この
設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作する
ステップ２０２、デバイスの基材である基板（ウエハ、
ガラスプレート）を製造するステップ２０３、前述した
実施形態の露光装置によりレチクルのパターンを基板に
露光する基板処理ステップ２０４、デバイス組み立てス
テップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケー
ジ工程を含む）２０５、検査ステップ２０６等を経て製
造される。

【００５２】

【発明の効果】本発明の露光装置は以下のような効果を
有するものである。本発明の露光装置によれば、駆動源
装置を複数の駆動源ユニットによって構成し、これら駆
動源ユニットを分割収納部にそれぞれ収納するようにし
たので、例えば工場の床下空間の大きさに応じて、駆動
源ユニットを収納した分割収納部のレイアウトを任意に
設定することができなど、駆動源装置の設置される条件
が異なっても駆動源装置を安定して設置することができ
る。

【００５３】本発明の露光装置によれば、駆動源装置を
収納するための収納装置に、駆動源装置と露光装置とを
接続するケーブルを通すための開口部を複数位置に設け
たことにより、露光装置と駆動源装置とをケーブルによ
って接続する際、露光装置と駆動源装置とを最短のケー
ブルで接続するように最適な開口部を選択することがで
きるので、このケーブルを可能な限り短くすることがで
きる。したがって、ケーブルに対する電気的ノイズ、位
相遅れ、信号の鈍りなどの影響のおそれを低減すること
ができ、安定した露光処理を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の露光装置の一実施形態を示す概略構成
図である。

【図２】分割ラック（分割収納部）を示す斜視図であ
る。

【図３】積層状態の分割ラック（分割収納部）を示す斜
視図である。

【図４】分割ラックに収納された駆動源ユニットの一実
施形態を示す概略側方断面図である。

【図５】本発明の露光装置の他の実施形態を示す概略構
成図である。

【図６】分割ラックに収納された駆動源ユニットの他の
実施形態を示す概略側方断面図である。

【図７】分割ラックに収納された駆動源ユニットの他の
実施形態を示す概略側方断面図である。

【図８】本発明の露光装置の他の実施形態を示す概略構
成図である。

【図９】本発明の露光装置の他の実施形態を示す概略構
成図である。

【図１０】半導体デバイスの製造工程の一例を示すフロ
ーチャート図である。

【符号の説明】

１ 駆動源装置 １ａ、１ｂ、１ｃ 駆動源ユニット ２ ラック（収納装置） ２ａ、２ｂ、２ｃ 分割ラック（分割収納部） ３ 開口部 ６ａ、６ｂ、６ｃ ブレーカー（処理部） ７ａ、７ｂ、７ｃ ブレーカー用コネクタ部（処理部
用コネクタ部） １０ 駆動源用コネクタ部 Ｃ 接続ケーブル ＥＸ 露光装置 Ｆ 床部 ＳＰ 床下空間（空間）

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動源装置に接続し、該駆動源装置によ
   り駆動される露光装置において、 前記駆動源装置は複数の駆動源ユニットによって構成さ
   れており、 前記駆動源ユニットのそれぞれを収納する複数の分割収
   納部を備えることを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の露光装置において、 前記分割収納部のそれぞれは積層可能であり、前記分割
   収納部を設置する空間に応じて前記分割収納部の積層数
   が設定されることを特徴とする露光装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載の露光装置におい
   て、 前記分割収納部のそれぞれは、前記分割収納部を設置す
   る空間を２つの空間に仕切る床部の上方と下方とに分け
   て配置されることを特徴とする露光装置。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の露光装
   置において、 前記分割収納部のそれぞれは、前記駆動源ユニットのそ
   れぞれに対して所定の処理を行うための処理部を備える
   ことを特徴とする露光装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の露光装置において、 前記分割収納部のそれぞれは、前記処理部のそれぞれを
   接続するための処理部用コネクタ部を備えており、 複数の処理部のうち少なくとも１つの処理部を処理する
   ことによって他の処理部も処理されることを特徴とする
   露光装置。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の露光装置において、 前記複数の処理部のうち少なくとも１つの処理部に対し
   て操作入力することにより他の処理部も処理され、 前記操作入力される処理部は任意に切り替え可能である
   ことを特徴とする露光装置。
7. 【請求項７】 請求項４〜６のいずれかに記載の露光装
   置において、 前記処理部は前記駆動源ユニットの動作を停止可能なブ
   レーカーを含むことを特徴とする露光装置。
8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれかに記載の露光装
   置において、 前記分割収納部のそれぞれは、前記駆動源ユニットのそ
   れぞれを接続するための駆動源用コネクタ部を備えてお
   り、 複数の駆動源ユニットのうち少なくとも１つの駆動源ユ
   ニットが露光装置と接続されることにより、他の駆動源
   ユニットも前記駆動源用コネクタ部を介して接続される
   ことを特徴とする露光装置。
9. 【請求項９】 請求項１〜８のいずれかに記載の露光装
   置において、 パターンを基板に露光する露光本体装置及びこの本体装
   置に接続される複数の周辺装置からなる複数のモジュー
   ルを備え、 前記駆動源ユニットのそれぞれは前記モジュールのそれ
   ぞれに対応して設けられており、 前記モジュールのそれぞれと前記駆動源ユニットのそれ
   ぞれとは着脱可能に接続されることを特徴とする露光装
   置。
10. 【請求項１０】 請求項１〜９のいずれかに記載の露光
    装置において、 前記分割収納部のそれぞれは、前記駆動源ユニットどう
    し又は前記駆動源ユニットと露光装置とを接続するケー
    ブルを通すための開口部を複数位置に備えていることを
    特徴とする露光装置。
11. 【請求項１１】 駆動源装置に接続し、該駆動源装置に
    より駆動される露光装置において、 前記駆動源装置を収納する収納装置を備え、 前記収納装置は、前記駆動源装置と露光装置とを接続す
    るケーブルを通すための開口部を複数位置に備えている
    ことを特徴とする露光装置。
12. 【請求項１２】 請求項１１に記載の露光装置におい
    て、 前記収納装置は、複数の開口部のうち少なくとも１つの
    開口部を上方位置に備えていることを特徴とする露光装
    置。