JP2002203771A - 露光装置、輸送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本体装置と複数の周辺装置とを有する露光装
置において、組み立て時の作業性が良好な露光装置、輸
送の際の作業性が良い輸送方法を提供する。 【解決手段】 露光装置は、パターンを基板に露光する
露光本体装置と、この本体装置に接続される複数の周辺
装置とを備えている。こらら各装置のそれぞれは複数の
分割チャンバ１，２，３，４に個別に収納されており、
各装置のそれぞれは、分割チャンバ１，２，３，４のそ
れぞれを連結することにより接続される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、パターンを基板に
露光する露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子や薄膜磁気ヘッドあるいは液
晶表示素子等をフォトリソグラフィ工程で製造する場合
に種々の露光装置が使用されているが、フォトマスクあ
るいはレチクル（以下、「マスク」と称する）に形成さ
れたパターンの像を、表面にフォトレジスト等の感光剤
を塗布されたウエハ（基板）上に投影光学系を介して投
影する露光装置が一般的に使用されている。このような
露光装置は、マスクのパターンをウエハに露光する露光
本体装置（以下、「本体装置」と称する）と、本体装置
に対してマスクをロード・アンロードするマスク搬送
系、本体装置に対してウエハをロード・アンロードする
ウエハ搬送系、露光装置の動作制御を行う制御系など複
数の周辺装置とを有しており、これら露光装置全体はチ
ャンバ内に収納されて空調系により空調されている。そ
して、空調系によってチャンバ内の温度調整が行われて
いるとともに、この空調系の流路の一部に不純物質除去
用フィルタを設置することによってチャンバ内の清浄度
が維持されている。

【０００３】従来において、上述したような露光装置を
製造する際、本体装置、周辺装置及びこれら装置を収納
するチャンバは個別に製造される。そして、露光装置
は、これら本体装置及び各周辺装置を互いに接続してチ
ャンバ内に収納することによって組み立てられる。例え
ば、チャンバはチャンバ製造工場で製造され、本体装置
は本体装置製造工場で製造され、各周辺装置は各周辺装
置製造工場で製造され、メイン工場においてこれら本体
装置及び周辺装置が接続されてチャンバ内に収納され
る。そして、露光装置をデバイス製造工場（以下、「ユ
ーザー先」と称する）に納品する際には、装置精度や動
作確認のためにメイン工場で組み立てた露光装置を、輸
送しやすいように一旦分解してからユーザー先に輸送
し、ユーザー先において再度組み立て直すといったこと
が行われていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような方法で露光装置を製造すると、輸送の際にメイ
ン工場で組み立てた露光装置を一旦分解しなければなら
ないとともに、本体装置及び各周辺装置を接続する際の
配線作業など煩雑な作業をメイン工場とユーザー先とで
少なくとも２回行わなければならず、作業性が低かっ
た。また、近年において基板の大型化が望まれておりこ
れに伴って露光装置も大型化しているが、装置が大型化
するとメイン工場からユーザー先までの輸送が困難とな
る。したがって、露光装置を輸送する際、この露光装置
を一旦分解することは免れず、上述したような配線作業
など煩雑な作業を免れることができなかった。

【０００５】また、従来のチャンバはパネル状部材を組
み立てることによって構成されているので、チャンバ組
み立ての際の作業性が低いとともに組み立て誤差も発生
しやすかった。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、本体装置と複数の周辺装置とを有する露光装
置において、組み立て時の作業性が良好な露光装置を提
供することを目的とする。また、装置が大型化した際に
も作業性良く輸送することができる露光装置の輸送方法
を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め本発明は、実施の形態に示す図１〜図６に対応付けし
た以下の構成を採用している。本発明の露光装置は、パ
ターンを基板に露光する露光本体装置と、この本体装置
に接続される複数の周辺装置とを備えた露光装置におい
て、各装置のそれぞれを個別に収納する複数の分割チャ
ンバ（１，２，３，４）を備え、各装置のそれぞれは、
分割チャンバ（１，２，３，４）のそれぞれを連結する
ことにより接続されることを特徴とする。

【０００８】本発明によれば、本体装置及び各周辺装置
のそれぞれを分割チャンバ（１，２，３，４）に個別に
収納することによって各装置をモジュール化し、分割チ
ャンバ（１，２，３，４）のそれぞれを連結することに
よって各装置を接続するようにしたので、本体装置及び
各周辺装置を接続する際の作業性は向上する。例えば、
各モジュール毎に分割チャンバ（１，２，３，４）内で
所定の配線作業を行ってから各モジュールどうしを接続
することにより、各装置間（モジュール間）の配線を最
小限に抑えながら接続することができるので、露光装置
を組み立てる際の作業性を向上することができる。ま
た、チャンバを各モジュール毎に形成した分割チャンバ
（１，２，３，４）とすることにより、例えば従来のよ
うに、ユーザー先でパネル状部材を組み立てることによ
ってチャンバを構築するといったことが無くなるので、
装置及びチャンバを組み立てる際の作業性が向上すると
ともに、組み立て精度も向上する。

【０００９】本発明の輸送方法は、第１の場所から第２
の場所に露光装置を輸送する輸送方法において、第１の
場所において、露光装置のうちパターンを基板に露光す
る露光本体装置とこの本体装置に接続される複数の周辺
装置とのそれぞれを、これらを個別に収納する分割チャ
ンバ（１，２，３，４）とともに製造し、各装置のそれ
ぞれを分割チャンバ（１，２，３，４）に収納した状態
で第２の場所に移動し、第２の場所において、これら分
割チャンバ（１，２，３，４）のそれぞれを連結するこ
とにより、分割チャンバ（１，２，３，４）内に収納さ
れている各装置のそれぞれを接続することを特徴とす
る。

【００１０】本発明によれば、本体装置及び周辺装置の
各装置に対してそれぞれ分割チャンバ（１，２，３，
４）を設けるようにし、各装置を製造する段階から分割
チャンバ（１，２，３，４）内に収納するようにしてモ
ジュール化したので、各装置の製造を個別に円滑に行う
ことができる。また、第１の場所から第２の場所に露光
装置を輸送する際、露光装置全体が大型であったも、各
モジュール毎に輸送することによって輸送を容易に行う
ことができる。そして、第２の場所に輸送された各モジ
ュールを第２の場所において接続することにより露光装
置の組み立て作業を効率良く行うことができる。このと
き、例えば、１つのモジュールにおける所定の配線作業
を第１の場所において分割チャンバ（１，２，３，４）
内で予め行うことによって、第２の場所では各モジュー
ルどうしの接続作業のみを行えばよいので、第２の場所
における接続作業の作業性は向上する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の露光装置、輸送方
法の一実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は
本発明の露光装置全体の概略構成を示す外観斜視図、図
２は露光装置を分割チャンバ毎に分割した様子を示す図
である。

【００１２】本実施形態に係る露光装置は、パターンを
基板に露光する露光本体装置（照明光学系、投影光学
系、アライメント系、マスクステージ、及びウエハステ
ージなどを含む）、露光すべきパターンが形成されてい
るマスクを本体装置に対してロード・アンロードするマ
スク搬送系、露光処理対象としてのウエハ（基板）を本
体装置に対してロード・アンロードするウエハ搬送系、
チャンバ内の環境（例えば、温度など）の制御及び浄化
を行う空調系、光学系や搬送系の制御を行う制御系（コ
ントロールユニット）、露光処理に関する操作入力や動
作表示をする操作表示部を備えている。さらに、光学系
や搬送系のモータその他のアクチュエータに冷却液を供
給する液体温調系、制御系を冷却する放熱系なども備え
ている。そして、マスク搬送系、ウエハ搬送系、空調
系、制御系などは本体装置に接続され、本体装置の周辺
装置を構成している。なお、図１、図２に示していない
が、本実施形態に係る露光装置は、例えばＫｒＦエキシ
マレーザを露光用光源として含み、この露光用光源から
発生されるエネルギービーム（露光用照明光）は、ビー
ム・マッチング・ユニットなどを含む不図示のリレー光
学系を介して露光本体装置内に導かれるようになってい
る。この露光用光源は、露光本体装置と光学的に接続さ
れているだけでなく、配線などを介して制御系などとも
接続されている。さらに、図示していないが、露光本体
装置及びその周辺装置の電源装置（アンプなどを含む）
がラックに収納されており、本実施形態では露光用光源
及び電源装置なども本体装置の周辺装置として含めても
よい。

【００１３】図１、図２に示すように、露光装置は、本
体装置を収納する本体チャンバ（分割チャンバ）１と、
マスク搬送系及びウエハ搬送系を収納するローダチャン
バ（分割チャンバ）２と、空調系を収納する空調チャン
バ（分割チャンバ）３と、制御系を収納する制御チャン
バ（分割チャンバ）４とを備えている。本体装置を収納
した本体チャンバ１は、空調系によって内部の環境を制
御される。マスク搬送系及びウエハ搬送系を収納したロ
ーダチャンバ２も、空調系によって内部の環境を制御さ
れる。なお、マスク搬送系とウエハ搬送系とを同じロー
ダチャンバ２に収納する代わりに、異なる分割チャンバ
にそれぞれ収納してもよい。

【００１４】本体チャンバ１内に収納される本体装置
は、図示は省略するが、ステップ・アド・スキャン方式
の縮小投影露光装置である。この縮小投影露光装置は、
マスクのパターンの一部を投影光学系を介してレジスト
が塗布されたウエハ上に縮小投影露光した状態で、マス
クとウエハとを投影光学系に対して同期移動させること
により、マスク上のパターンの縮小像を逐次ウエハ上の
各ショット領域に転写し、ウエハ上にパターンを形成す
るものである。

【００１５】ＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）
を発振する露光用光源からパルス発光されたレーザビー
ムは、ビーム整形・変調光学系、オプティカルインテグ
レータ、開口絞り、リレーレンズ、コンデンサレンズな
どを有する照明光学系を介して、マスクステージ上に保
持されたマスク上の矩形の照明領域を均一な照度分布で
照明する。マスク上の照明領域内のパターンを投影光学
系を介して投影倍率α（αは例えば１／４、１／５等）
で縮小した像が、フォトレジストが塗布されたウエハ上
に投影露光される。ウエハはウエハホルダを介してウエ
ハステージ上に吸着保持されており、制御チャンバ４内
の制御系による制御に基づき、マスクステージ及びウエ
ハステージが駆動され、ウエハとマスクとが同一又は逆
方向に所定の速度比で同期移動されることにより、マス
ク上のパターンがウエハのショット領域に転写される。
本体装置は設置面上に防振装置などを介して設置されて
いる。なお、露光光としては、水銀ランプのｇ線（波長
４３６ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｉ線（波長３６５
ｎｍ）等の輝線、又はＡｒＦエキシマレーザ光（波長１
９３ｎｍ）、Ｆ₂ レーザ光（波長１５７ｎｍ）、Ａｒ₂
レーザ光（波長１２６ｎｍ）、あるいはＹＡＧレーザま
たは半導体レーザなどの高調波等が使用できる。

【００１６】空調チャンバ３内に収納される空調系は、
本体チャンバ１内及びローダチャンバ２内の環境を制御
するものである。空調系で温度調整されたガスは、ダク
ト及び本体チャンバ１の内部に設置された塵除去用のＨ
ＥＰＡフィルタまたはＵＬＰＡフィルタ、及び硫酸イオ
ン、アンモニウムイオン、シリコン系有機物などを除去
するケミカルフィルタを介してその本体チャンバ１内に
吹き出す。本体チャンバ１内の吹出口の反対側には、吸
引口が配置されており、本体チャンバ１内に吹き出した
清浄なガスは、この吸引口及びダクトを介して、空調系
に戻るようになっている。

【００１７】また、空調系で温度調整されたガスは、ダ
クト及びローダチャンバ２の上段の内部に設置された塵
除去用のＨＥＰＡフィルタまたはＵＬＰＡフィルタ、及
び硫酸イオン、アンモニウムイオン、シリコン系有機物
などを除去するケミカルフィルタを介してそのローダチ
ャンバ２の上段内に吹き出す。ローダチャンバ２の上段
内の吹出口の反対側には、吸引口が配置されており、ロ
ーダチャンバ２の上段内に吹き出した清浄なガスは、こ
の吸引口及びリターンダクトを介して、空調系に戻るよ
うになっている。なお、このリターンダクトの出口付近
に少なくとも前述のケミカルフィルタを設けることが望
ましい。

【００１８】さらに、空調系で温度調整されたガスは、
ダクト及びローダチャンバ２の下段の内部に設置された
塵除去用のＨＥＰＡフィルタまたはＵＬＰＡフィルタ、
及び硫酸イオン、アンモニウムイオン、シリコン系有機
物などを除去するケミカルフィルタを介してそのローダ
チャンバ２の下段内に吹き出す。ローダチャンバ２の下
段の吹出口の反対側には、吸引口が配置されており、ロ
ーダチャンバ２の下段内に吹き出した清浄なガスは、こ
の吸引口及びダクトを介して、空調系に戻るようになっ
ている。

【００１９】制御チャンバ４内には、本体装置や各周辺
装置の制御を行う制御系であるコントロールユニットが
配置されている。制御系は、本体装置のマスクステージ
やウエハステージの移動、照明系による露光条件の変
更、搬送系によるマスクやウエハの搬送、その他の制御
を行う。

【００２０】ローダチャンバ２は、上下に二段に分割さ
れており、上段にはマスク搬送系が、下段にはウエハ搬
送系が収納されている。これらの搬送系はマスク又はウ
エハを自動搬送する装置である。

【００２１】ウエハ搬送系はウエハを吸着保持するハン
ド部を有するロボットハンドを有しており、このロボッ
トハンドはローダチャンバ２内を移動できるようになっ
ている。ロボットハンドは、ローダチャンバ２内に設置
されたウエハカセットやウエハ載置台からウエハを受け
取り、本体装置との受け渡し位置まで搬送するととも
に、本体装置との受け渡し位置で受け取ったウエハをウ
エハカセットなどに収納することができる。また、ロー
ダチャンバ２の左右の側面に形成された内外に貫通する
開口３１を介して、コータ（レジスト塗布装置）やデベ
ロッパ（現像装置）との間でウエハを受け渡すこともで
きる。なお、マスク搬送系については、ウエハ搬送系と
ほぼ同様であるので、その説明は省略するが、マスクケ
ースまたは密閉型カセット（例えば、ボトムオープン方
式のスミフポッド）などとマスクステージとの間でマス
クの搬送を行うものである。

【００２２】ローダチャンバ２の正面の比較的に上側及
び下側には、それぞれ内外に貫通する開口が形成されて
おり、これらの開口には、開閉扉３２，３３が開閉自在
に装着されている。これらの開閉扉３２，３３は透明又
は不透明なポリカーボネート板から構成されている。こ
れらの開閉扉のうちの上側の開閉扉３２は、ローダチャ
ンバ２の上段のマスク搬送系に対応して設けられてお
り、これら上側の開閉扉３２を介してマスク（マスクを
収納するカセット）の交換などを行う。一方、下側の開
閉扉３３はローダチャンバ２の下段のウエハ搬送系に対
応して設けられており、これらの下側の開閉扉３３を介
してウエハやウエハカセットの交換などを行う。また、
これらの開閉扉３２，３３を介してメンテナンスを行う
場合もある。

【００２３】また、ローダチャンバ２の正面には、光学
系や搬送系、あるいはチャンバの空調などに関する指示
の入力などを行うキーボードやタッチパネルなどの操作
部と、露光装置に設けられている各種検出装置の出力に
基づいて、光学系や搬送系、あるいはチャンバ内の環境
に関する情報を表示するディスプレイなどの表示部とを
備えた操作表示部１６が設置されている。操作表示部１
６のうち表示部は例えば液晶表示装置によって構成され
ており、操作部と表示部とは一体に形成されてパネル状
となっている。オペレータや保守作業員などは、この操
作表示部１６の操作部を用いてデータやその他の指令を
入力し、表示部の表示により露光装置の運転状況などを
確認することができる。

【００２４】パネル状に形成された操作表示部１６は、
チャンバの外壁に設けられたフックに掛けるようにして
設置されており、チャンバの外壁に対して着脱自在とな
っている。したがって、操作表示部１６は、チャンバの
外壁の任意の位置に設置可能となっている。また、制御
系をはじめとする各周辺装置や本体装置と操作表示部１
６との間の電気的な接続は接続ケーブルを介して行われ
ている。接続ケーブルは、操作表示部１６の設置位置に
応じて、操作表示部１６と、制御系をはじめとする各周
辺装置や本体装置とを接続するように配設される。

【００２５】図２に示すように、分割チャンバ１，２，
３，４にそれぞれ収納されている本体装置及び各周辺装
置（搬送系、空調系、制御系）は分割可能となってい
る。分割チャンバ１，２，３，４のそれぞれに個別に収
納されている本体装置及び各周辺装置は、これら分割チ
ャンバ１、２，３，４のそれぞれを連結することにより
接続されるようになっている。

【００２６】次に、各装置のそれぞれを収納した分割チ
ャンバ１，２，３，４の接続について説明する。本体チ
ャンバ１は、図２に示すように、第１壁状部材１１と、
第２壁状部材１２と、第３壁状部材１３とによって構成
される。このうち、第１壁状部材１１及び第２壁状部材
１２のそれぞれは、図３に示すように、互いにほぼ直角
に交わる側板部及び天板部を有している。第１壁状部材
１１の天板部にはガイド溝１１ａが形成されており、こ
の第１壁状部材１１の天板部に対して、第２壁状部材１
２の天板部をガイド溝１１ａに沿って矢印ｙ方向にスラ
イドさせることにより、第１壁状部材１１と第２壁状部
材１２とが接続されるようになっている。そして、接続
状態の第１壁状部材１１及び第２壁状部材１２によって
形成される内部空間に本体装置が配置されるようになっ
ている。なお、第１壁状部材１１及び第２壁状部材１２
の側板部のそれぞれの下部には、これら第１壁状部材１
１及び第２壁状部材１２を移動可能に支持するキャスタ
ー部材１１ｃ、１２ｃがそれぞれ設けられており、第１
壁状部材１１、第２壁状部材１２のスライド動作や、接
続状態の第１壁状部材１１及び第２壁状部材１２の移動
を容易にしている。

【００２７】図２に示すように、互いに接続されて正面
視下向きコ字状となっている第１壁状部材１１及び第２
壁状部材１２には第３壁状部材１３が接続される。この
第３壁状部材１３は側板部と天板部とを有している。そ
して、接続状態の第１壁状部材１１及び第２壁状部材１
２の天板部の背面側端部１１２に第３壁状部材１３の天
板部の正面側端部に設けられたフック部１３ａを引っか
けることによって、第１、第２壁状部材１１、１２と第
３壁状部材１３との接続を安定させている。

【００２８】このように、第１、第２、第３壁状部材１
１、１２、１３を接続することによって形成された本体
チャンバ１は、ローダチャンバ２の背面側に連結され
る。ここで、ローダチャンバ２の背面には、本体チャン
バ１側に突出した不図示の位置決め部材が設けられてい
る。本体チャンバ１は位置決め部材によって位置決めさ
れつつローダチャンバ２に連結される。このとき、本体
チャンバ１には本体装置が収納されており、ローダチャ
ンバ２にはマスク搬送系及びウエハ搬送系が収納されて
おり、本体チャンバ１とローダチャンバ２とを連結する
ことによって、本体装置と搬送系のそれぞれとが接続さ
れる。本体チャンバ１とローダチャンバ２との連結部に
はシール部材が設けられる。

【００２９】図２に示すように、本体チャンバ１のう
ち、第３壁状部材１３の左端側には第１凹部２１が形成
され、第３壁状部材１３の右端側には第２凹部２２が形
成される。そして、第１凹部２１には空調系を収納した
空調チャンバ３が配置され、空調チャンバ３と本体チャ
ンバ１とが連結される。空調チャンバ３に収納されてい
る空調系のガス吹出口及び吸引口は本体チャンバ１内に
向かって配置され、本体装置と空調系とが接続される。
このように、本体チャンバ１には本体装置が収納されて
おり、空調チャンバ３には空調系が収納されており、本
体チャンバ１と空調チャンバ３とを連結することによっ
て、本体装置と空調系とが接続される。本体チャンバ１
と空調チャンバ３との連結部にはシール部材が設けられ
る。

【００３０】図２に示すように、第３壁状部材１３の右
端側の第２凹部２２には制御系を収納した制御チャンバ
４が配置され、制御チャンバ４と本体チャンバ１とが連
結される。制御チャンバ４の正面側にはコネクタパネル
４ａが設けられており、本体チャンバ１と制御チャンバ
４とを連結することにより、制御系のコネクタパネル４
ａと、本体装置に設けられている不図示のコネクタパネ
ルとが接続される。このように、本体チャンバ１には本
体装置が収納されており、制御チャンバ４には制御系が
収納されており、本体チャンバ１と制御チャンバ４とを
連結することによって、本体装置と制御系とが接続され
る。本体チャンバ１と制御チャンバ４との連結部にはシ
ール部材が設けられる。

【００３１】なお、空調系を収納した空調チャンバ３や
搬送系を収納したローダチャンバ２のそれぞれにもコネ
クタパネルが設けられており、これらコネクタパネルを
介して各装置間で制御信号や電力がやりとりされるよう
になっている。さらに、操作表示部１６もこれらコネク
タパネルや接続ケーブルによって各装置と接続される。

【００３２】こうして、分割チャンバ１，２，３，４の
それぞれの内部に各装置を収納してそれぞれ１つのモジ
ュールとし、これらを連結することによって露光装置が
構築される。そして、各分割チャンバどうしの連結部に
シール部材を設けることによって、複数の分割チャンバ
１，２，３，４を連結することによって構成されたチャ
ンバ全体の内部は密閉された空間となる。

【００３３】次に、以上説明したような構成を有する露
光装置を露光装置製造工場（第１の場所）で製造して、
ユーザー先であるデバイス製造工場（第２の場所）に輸
送する方法について説明する。第１の場所である露光装
置製造工場において、本体装置及び周辺装置の各装置に
対してそれぞれ分割チャンバ１，２，３，４を設け、各
装置を製造する段階から分割チャンバ１，２，３，４内
に収納するようにする。例えば、ローダチャンバ２内に
搬送系を設ける際、ローダチャンバ２の製造と搬送系の
製造とを同時に行って搬送系をローダチャンバ２内に収
納し１つのモジュールとする。このとき、ローダチャン
バ２内において搬送系の駆動に必要な所定の配線作業を
行う。同様に、本体装置を本体チャンバ１とともに製造
し、本体チャンバ１内において本体装置の駆動に必要な
所定の配線作業を行って１つのモジュールとし、空調系
を空調チャンバ３とともに製造し、空調チャンバ３内に
おいて空調系の駆動に必要な所定の配線作業を行って１
つのモジュールとし、制御系を制御チャンバ４とともに
製造し、制御チャンバ４内において制御系の駆動に必要
な所定の配線作業を行って１つのモジュールとする。こ
うして、各装置はそれぞれ独立したモジュールとされ
る。このとき、各モジュールのそれぞれは同時進行で製
造することができる。

【００３４】各装置をモジュール化したら、各装置のそ
れぞれを分割チャンバに収納した状態で、すなわち、モ
ジュール化された状態でユーザー先（第２の場所）に輸
送する。この際、容易に効率良く輸送できる程度の大き
さ・構成を有するモジュールはそのままの状態、すなわ
ち、チャンバ内に装置を収納した状態で輸送する。例え
ば、搬送系、空調系、制御系などの各周辺装置はモジュ
ール化された状態で輸送可能である。

【００３５】本体装置は本体チャンバ１と分割して輸送
する。すなわち、製造工場において本体装置を含むモジ
ュールを製造したら、輸送するに際し、本体装置と本体
チャンバ１とを分割する。本体装置を輸送するに際し、
図４に示すように、まず、本体装置を架台１００に載せ
る。そして、架台１００に載置された本体装置を囲むよ
うにして、本体チャンバ１のうち接続状態の第１壁状部
材１１及び第２壁状部材１２を架台１００に載置する。

【００３６】このとき、本体装置と接続状態の第１壁状
部材１１及び第２壁状部材１２からなる本体チャンバ１
との間には空間が形成されている。この空間に、露光装
置の一部を構成する要素部材２００、例えば、装置の各
部を固定連結するボルトや各種光学部材を梱包状態で配
置する。要素部材２００を空間に配置するに際し、本体
装置と本体チャンバ１との間の空間に棚などを設け、こ
の棚に梱包状態の要素部材２００を配置する。そして、
例えば不純物質を通さないシート１０１によって架台１
００上の本体装置及び本体チャンバ１を覆い、露光装置
製造工場からユーザー先に輸送する。このように、本体
装置と本体チャンバ１との間に形成された空間に要素部
材２００を配置して本体装置と一体で輸送することによ
り、空間の有効利用を実現することができる。なお、本
実施形態では輸送時に露光本体装置と本体チャンバ１の
少なくとも一部（図４では第１及び第２壁状部材１１、
１２）とを同一の架台１００に載置するものとしたが、
露光本体装置は非常に重いので、その本体装置と本体チ
ャンバ１とを異なる架台にそれぞれ載置し、さらに梱包
した上で輸送するようにしてもよい。このとき、本体チ
ャンバ１が載置される架台では、前述と同様に要素部材
２００をその内部空間に配置してもよい。また、化学的
にクリーンな気体、例えばドライエアなどによってシー
ト１０１で覆われた空間を満たし、輸送時に露光本体装
置などで清浄度が低下するのを防止してもよい。なお、
露光本体装置だけでなく搬送系などもシート１０１で梱
包して輸送することが好ましい。また、その梱包に用い
るシートは不純物質を通さないだけでなく、アウトガス
の発生が少ない材料とすることが好ましい。

【００３７】各モジュールをユーザー先に輸送したら、
ユーザー先において各モジュールの接続作業を行う。こ
こで、架台１００に載置されて輸送された本体装置及び
本体チャンバ１に関しては、ユーザー先においてシート
１０１の梱包を解いた後、本体チャンバ１のうち第１壁
状部材１１と第２壁状部材１２との接続を解く。すなわ
ち、第１壁状部材１１に対して第２壁状部材１２を、図
３に示した矢印ｙとは逆の方向にスライドさせる。第１
壁状部材１１と第２壁状部材１２との接続を解くことに
より、本体装置と本体チャンバ１との間の空間に配置さ
れて輸送された要素部材２００を本体チャンバ１内から
容易に取り出すことができる。

【００３８】そして、前述したように、まず、ローダチ
ャンバ２の背面側に対して、本体装置を内部に収納した
接続状態の第１壁状部材１１及び第２壁状部材１２を連
結し、これに第３壁状部材１３を連結する。次いで、形
成された第１凹部２１に空調系を収納した空調チャンバ
３を連結し、第２凹部２２に制御系を収納した制御チャ
ンバ４を連結する。こうして、各装置のそれぞれを個別
に収納した分割チャンバを連結することによって各装置
のそれぞれが接続される。このとき、各モジュールでは
製造工場において予め所定の配線作業がされているた
め、ユーザー先では各モジュールどうしの接続のみを行
えばよい。そして、モジュールどうしの接続はコネクタ
パネルや必要最小限のケーブルを用いて容易に作業性良
く行うことができる。

【００３９】ところで、ユーザー先における装置の設置
スペースの制約などにより、図５に示すように、露光装
置全体に対する周辺処理装置（コータ・デベロッパ装置
など）ＣＤのレイアウトが限定される場合がある。この
とき、操作表示部１６をチャンバの外壁に対して着脱自
在な壁掛け式とし、チャンバ外壁の任意の位置に取り付
け可能としたので、露光装置やコータ・デベロッパ装置
のレイアウトが制約されても、この操作表示部１６をオ
ペレータや保守作業員から操作・確認しやすい位置に取
り付けることができる。そして、図５に示すように、操
作表示部１６と各装置とを接続する接続ケーブル３９
は、この操作表示部１６の取り付け位置に応じて任意に
配設され、チャンバの任意の箇所から引き出すことがで
きる。

【００４０】以上説明したように、本体装置及び各周辺
装置のそれぞれを分割チャンバ１，２，３，４に個別に
収納することによって各装置をモジュール化し、分割チ
ャンバ１，２，３，４のそれぞれを連結することによっ
て各装置を接続するようにしたので、本体装置及び各周
辺装置を接続する際の作業性は向上する。このとき、前
述したように、製造工場において各モジュール毎に分割
チャンバ１，２，３，４内で所定の配線作業を行ってか
ら各モジュールどうしを接続することにより、各装置間
（モジュール間）の配線を最小限に抑えながら接続する
ことができるので、各モジュール間の配線の引き回しを
容易とし、露光装置を組み立てる際の作業性を向上する
ことができる。また、チャンバを各モジュール毎に形成
した分割チャンバ１，２，３，４とすることにより、例
えば従来のように、ユーザー先でパネル状部材を組み立
てることによってチャンバを構築するといったことが無
くなるので、装置及びチャンバを組み立てる際の作業性
が向上するとともに、組み立て精度も向上する。

【００４１】本体装置を収納する本体チャンバ１は、第
１壁状部材１１と、この第１壁状部材１１に対して天板
部をスライドさせることにより接続される第２壁状部材
１２とによって構成されているので、ユーザー先におけ
る組み立て作業を作業性良く行うことができる。つま
り、従来のように複数のパネル状部材を接続する構成と
は異なり分割部が少ないので、組み立て作業の作業性が
向上するとともに、組み立て誤差を最小限に抑えること
ができる。さらに、露光装置（本体装置）のメンテナン
ス時において保守作業員がチャンバ内に入りたい場合、
第１壁状部材１１に対して第２壁状部材１２をスライド
させるだけで第１壁状部材１１と第２壁状部材１２との
接続を容易に解くことができるので、保守作業員は容易
にチャンバ内に入ることができ、作業性良くメンテナン
スを行うことができる。

【００４２】露光処理に関する操作入力又は動作表示を
する操作表示部１６をチャンバの外壁に対して着脱自在
に設けたことにより、装置の設置スペースやレイアウト
に制約などがあっても、この操作表示部をオペレータや
保守作業員が容易に操作・確認できる位置に設置するこ
とができる。したがって、安全で安定した露光処理を行
うことができる。そして、操作表示部１６をパネル状に
したことにより、チャンバからの出っ張り部分がなくな
るので、チャンバ周辺におけるオペレータの作業性が向
上するとともに、装置全体の省スペース化を実現するこ
とができる。

【００４３】本体装置及び周辺装置の各装置に対してそ
れぞれ分割チャンバ１，２，３，４を設けるようにし、
各装置を製造する段階から分割チャンバ１，２，３，４
内に収納するようにしてモジュール化したので、各装置
の製造を個別に同時進行で行うことができる。また、製
造工場からユーザー先に露光装置を輸送する際、露光装
置全体が大型であったも、各モジュール毎に輸送するこ
とによって輸送を容易に行うことができる。そして、ユ
ーザー先に輸送された各モジュールをユーザー先におい
て接続することにより露光装置の組み立て作業を効率良
く行うことができる。このとき、例えば、１つのモジュ
ールにおける所定の配線作業を製造工場において分割チ
ャンバ１，２，３，４内で予め行っておくことによっ
て、ユーザー先では各モジュールどうしの接続作業のみ
を行えばよい。このように、従来のように製造工場にお
いて配線接続した各装置どうしを一旦分解し、ユーザー
先において配線し直すといった面倒な作業を行うことが
無くなるので、露光装置の組み立て作業の作業性は向上
する。

【００４４】なお、本実施形態において、スライドして
接続される第１壁状部材１１及び第２壁状部材１２を有
する分割チャンバは本体装置を収納するように説明した
が、本体装置に接続される他の周辺装置を収納するよう
にしてもよい。

【００４５】本実施形態の露光装置として、マスクとウ
エハとを静止した状態でマスクのパターンを露光し、基
板を順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピー
ト型の露光装置にも適用することができる。

【００４６】本実施形態の露光装置として、投影光学系
を用いることなくマスクと基板とを密接させてマスクの
パターンを露光するプロキシミティ露光装置にも適用す
ることができる。

【００４７】露光装置の用途としては半導体製造用の露
光装置に限定されることなく、例えば、角型のガラスプ
レートに液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光
装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子、マイクロマシン、
ＤＮＡチップ、及びマスク（レチクル）などを製造する
ための露光装置にも広く適当できる。

【００４８】投影光学系の倍率は縮小系のみならず等倍
および拡大系のいずれでもよい。

【００４９】ウエハを支持するウエハステージやマスク
を支持するマスクステージにリニアモータを用いる場合
は、エアベアリングを用いたエア浮上型およびローレン
ツ力またはリアクタンス力を用いた磁気浮上型のどちら
を用いてもいい。また、ステージは、ガイドに沿って移
動するタイプでもいいし、ガイドを設けないガイドレス
タイプでもよい。

【００５０】ステージの駆動装置として平面モ−タを用
いる場合、磁石ユニット（永久磁石）と電機子ユニット
のいずれか一方をステージに接続し、磁石ユニットと電
機子ユニットの他方をステージの移動面側（ベース）に
設ければよい。

【００５１】ウエハステージの移動により発生する反力
は、特開平８−１６６４７５号公報に記載されているよ
うに、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃が
してもよい。本発明はこのような構造を備えた露光装置
においても適用可能である。

【００５２】マスクステージの移動により発生する反力
は、特開平８−３３０２２４号公報に記載されているよ
うに、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃が
してもよい。本発明はこのような構造を備えた露光装置
においても適用可能である。

【００５３】以上のように、本願実施形態の露光装置
は、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む
各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、
光学的精度を保つように、組み立てることで製造され
る。これら各種精度を確保するために、この組み立ての
前後には、各種光学系については光学的精度を達成する
ための調整、各種機械系については機械的精度を達成す
るための調整、各種電気系については電気的精度を達成
するための調整が行われる。各種サブシステムから露光
装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機
械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等
が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組
み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程
があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光
装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行わ
れ、露光装置全体としての各種精度が確保される。な
お、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理さ
れたクリーンルームで行うことが望ましい。

【００５４】半導体デバイスは、図６に示すように、デ
バイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この設
計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するス
テップ２０２、デバイスの基材である基板（ウエハ、ガ
ラスプレート）を製造するステップ２０３、前述した実
施形態の露光装置によりマスクのパターンを基板に露光
する基板処理ステップ２０４、デバイス組み立てステッ
プ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工
程を含む）２０５、検査ステップ２０６等を経て製造さ
れる。

【００５５】

【発明の効果】本発明の露光装置によれば、本体装置及
び各周辺装置のそれぞれを分割チャンバに個別に収納す
ることによって各装置をモジュール化し、分割チャンバ
のそれぞれを連結することによって各装置を接続するよ
うにしたので、本体装置及び各周辺装置を接続する際の
作業性が向上するとともに、装置及びチャンバを組み立
てる際の作業性や組み立て精度も向上する。

【００５６】本発明の輸送方法によれば、本体装置及び
周辺装置の各装置に対してそれぞれ分割チャンバを設け
るようにし、各装置を製造する段階から分割チャンバ内
に収納するようにしてモジュール化したので、各装置の
製造を個別に同時進行で円滑に行うことができる。ま
た、第１の場所から第２の場所に露光装置を輸送する
際、露光装置全体が大型であったも、各モジュール毎に
輸送することによって輸送を容易に行うことができる。
そして、第２の場所に輸送された各モジュールを第２の
場所において接続することにより露光装置の組み立て作
業を効率良く行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の露光装置の一実施形態に係る概略構成
を示す外観斜視図である。

【図２】露光装置を分割チャンバ毎に分割した様子を示
す図である。

【図３】第１壁状部材及び第２壁状部材を有する分割チ
ャンバを示す図である。

【図４】本発明の露光装置の輸送方法を説明するための
図である。

【図５】露光装置のレイアウトを説明するための図であ
る。

【図６】半導体デバイスの製造工程の一例を示すフロー
チャート図である。

【符号の説明】

１ 本体チャンバ（分割チャンバ） ２ ローダチャンバ（分割チャンバ） ３ 空調チャンバ（分割チャンバ） ４ 制御チャンバ（分割チャンバ） １１ 第１壁状部材 １２ 第２壁状部材 １３ 第３壁状部材 １１ｃ、１２ｃ キャスター部材 １６ 操作表示部 ３９ 接続ケーブル １００ 架台 ２００ 要素部材

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パターンを基板に露光する露光本体装置
   と、該本体装置に接続される複数の周辺装置とを備えた
   露光装置において、 前記各装置のそれぞれを個別に収納する複数の分割チャ
   ンバを備え、 前記各装置のそれぞれは、前記分割チャンバのそれぞれ
   を連結することにより接続されることを特徴とする露光
   装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の露光装置において、 前記複数の分割チャンバのうち少なくとも１つの分割チ
   ャンバは、第１壁状部材と、該第１壁状部材に対してそ
   の一部をスライドさせることにより接続される第２壁状
   部材とを有することを特徴とする露光装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の露光装置において、 前記第１壁状部材及び前記第２壁状部材を有する分割チ
   ャンバは、前記本体装置を収納することを特徴とする露
   光装置。
4. 【請求項４】 請求項２又は３に記載の露光装置におい
   て、 前記第１壁状部材及び前記第２壁状部材のそれぞれを移
   動可能に支持するキャスター部材を備えることを特徴と
   する露光装置。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載の露光装
   置において、 チャンバの外壁に対して着脱自在に設置され、露光処理
   に関する操作入力又は動作表示をする操作表示部を備え
   ることを特徴とする露光装置。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の露光装置において、 前記操作表示部はパネル状に形成されていることを特徴
   とする露光装置。
7. 【請求項７】 請求項５又は６に記載の露光装置におい
   て、 前記操作表示部の設置位置に応じて、前記各装置と前記
   操作表示部とを接続するケーブルが配設されることを特
   徴とする露光装置。
8. 【請求項８】 第１の場所から第２の場所に露光装置を
   輸送する輸送方法において、 前記第１の場所において、前記露光装置のうちパターン
   を基板に露光する露光本体装置と該本体装置に接続され
   る複数の周辺装置とのそれぞれを、これらを個別に収納
   する分割チャンバとともに製造し、 前記各装置のそれぞれを前記分割チャンバに収納した状
   態で前記第２の場所に移動し、 前記第２の場所において、該分割チャンバのそれぞれを
   連結することにより、該分割チャンバ内に収納されてい
   る前記各装置のそれぞれを接続することを特徴とする輸
   送方法。
9. 【請求項９】 請求項８に記載の輸送方法において、 前記分割チャンバは、第１壁状部材と、該第１壁状部材
   に対してその一部をスライドさせることにより接続され
   る第２壁状部材とを有しており、 前記各装置のいずれかを輸送する際、架台上に、前記装
   置と、接続状態の前記第１壁状部材及び前記第２壁状部
   材を有する分割チャンバとを載置するとともに、前記装
   置と前記分割チャンバとの間に形成される空間に、露光
   装置の一部を構成する要素部材を配置し、輸送すること
   を特徴とする輸送方法。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載の輸送方法において、 前記第２の場所において、前記第１壁状部材と前記第２
    壁状部材との接続を解き、前記要素部材を分割チャンバ
    内から取り出すことを特徴とする輸送方法。