JPWO2010044268A1 - 露光装置及びその組立て方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
次に、上記実施形態の露光装置100をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法について説明する。上記実施形態の露光装置100では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることができる。
まず、上述した露光装置100を用いて、パターン像を感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に形成する、いわゆる光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成される。
次に、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列された、又はR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。
次に、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。例えば、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。
その後、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
Claims (25)
- エネルギビームを照射して物体上にパターンを形成する露光装置であって、
前記物体上にパターンを生成するパターン生成装置と;
前記パターン生成装置及び該装置に付設される装置の構成各部の少なくとも一部を支持する複数のユニットから構成されるフレームと;
を備える露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記複数のユニットのうちの少なくとも一部は、所定平面内の一軸方向に連結されて、前記フレームの少なくとも一部を構成する露光装置。 - 請求項2に記載の露光装置において、
前記一部のユニットは、前記一軸方向に関する幅よりも長い前記所定平面内で前記一軸に垂直な方向に関する幅を有する露光装置。 - 請求項2又は3に記載の露光装置において、
前記一部のユニットは、前記所定平面内で前記一軸に垂直な方向に離間する一対の脚部と、該一対の脚部によって前記所定平面に平行に支持される天井部とを有する門型ユニットを含む露光装置。 - 請求項4に記載の露光装置において、
前記門型ユニット同士を固定する接続部材をさらに備える露光装置。 - 請求項4又は5に記載の露光装置において、
前記複数のユニットは、前記門型ユニット同士を連結する少なくとも1つの連結ユニットを含む露光装置。 - 請求項6に記載の露光装置において、
前記連結ユニットは、2つの前記門型ユニットのそれぞれに固定される一対の脚部と該一対の脚部によって支持される天井部とを有する露光装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記複数のユニットのうちの少なくとも一部は、前記エネルギビームを発生する、前記パターン生成装置のビーム源を支持する露光装置。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記パターン生成装置は、前記パターンが形成されたマスクを介して、前記エネルギビームを前記物体上に照射し、
前記複数のユニットの少なくとも一部は、前記マスクを保持して移動する移動体の駆動装置が有する一対の固定子を支持する露光装置。 - 請求項9に記載の露光装置において、
前記一対の固定子は、それぞれ、前記一部のユニットの配列方向を長手方向とし、且つ、互いに、前記配列方向に垂直な方向に離間する露光装置。 - 請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記パターン生成装置は、前記パターンが形成されたマスクを介して、前記エネルギビームを前記物体上に照射し、
前記複数のユニットのうちの少なくとも一部は、前記移動体上に前記マスクを搬送する搬送装置を支持する露光装置。 - 請求項11に記載の露光装置において、
前記一部のユニットは、前記搬送装置を、前記マスクが保持される前記移動体の面に対向する位置に支持する露光装置。 - 請求項1〜12のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記複数のユニットのうちの少なくとも一部は、前記パターン生成装置及び該装置に付設される装置の構成各部の少なくとも一部を吊り下げ支持する露光装置。 - 請求項13に記載の露光装置において、
前記吊り下げ支持される前記構成各部の少なくとも一部は、前記パターン生成装置のビーム源からのエネルギビームが経由する照明光学系を含む露光装置。 - 請求項14に記載の露光装置において、
前記ビーム源は、前記複数のフレームの少なくとも一部の上部に搭載される露光装置。 - 請求項1〜15のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記複数のユニットのうちの少なくとも一部は、前記パターン生成装置及び該装置に付設される装置の構成各部の少なくとも一部を前記フレームの内側に支持する露光装置。 - 請求項1〜16のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記複数のユニットのうちの少なくとも一部は、前記パターン生成装置及び該装置に付設される装置の構成各部の少なくとも一部を上部に搭載する露光装置。 - 請求項1〜17のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記複数のユニットのうちの少なくとも一部は、前記パターン生成装置及び該装置に付設される装置の構成各部の少なくとも一部を前記フレーム外に突出させて支持する露光装置。 - 請求項1〜18のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記パターン生成装置は、少なくともビーム源を含む一部を除く、本体部が、前記フレームの内側に配置される露光装置。 - 請求項19に記載の露光装置において、
前記フレームの内側でかつ前記本体部の外側に配置された仕切り部材を兼ねる保護部材をさらに備える露光装置。 - 請求項1〜20のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記物体は、サイズが500mm以上の基板を含む露光装置。 - 請求項1〜21のいずれか一項に記載の露光装置を用いて物体を露光することと、
前記露光された物体を現像することと;を含むデバイス製造方法。 - デバイスとしてフラットパネルディスプレイを製造する請求項22に記載のデバイス製造方法。
- エネルギビームを照射して物体上にパターンを生成するパターン生成装置と、該パターン生成装置及び該装置に付設される装置の構成各部の少なくとも一部を支持する複数のユニットから構成されるフレームと、を備える露光装置の組立て方法であって、
装置設置のための準備作業を行うことと;
前記パターン生成装置のビーム源を含む一部を除く本体部の組立て、及び前記フレームの部組として複数のユニットを組立て、前記複数のユニットの一部の第1ユニットの上に前記ビーム源からのエネルギビームを射出する照明系を搭載することと;
しかる後、前記本体部を内部に収容した状態で前記フレームを組立てるために、部組された前記第1ユニットを含む前記複数のユニットを所定の手順でドッキングすることと;を含む露光装置の組立て方法。 - 請求項24に記載の露光装置の組立て方法において、
前記ドッキングすることでは、
前記照明系が搭載された前記第1ユニットを吊り上げて前記本体部に対して位置出しした状態で降ろし、
前記複数のユニットのうちの第2ユニットを吊り上げて前記第1ユニットに対して位置決めした状態で降ろし、
前記第1ユニットと前記第2ユニットとを連結する連結ユニットを吊り上げて前記第1ユニットと前記第2ユニットとの間に降ろし、前記連結ユニットを前記第1ユニットと前記第2ユニットとに締結する露光装置の組立て方法。
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