CN2832754Y

CN2832754Y - 光罩搬运装置

Info

Publication number: CN2832754Y
Application number: CN 200520127757
Authority: CN
Inventors: 蒋淑婷; 黄智谦; 童郁凯
Original assignee: Quanta Display Inc
Current assignee: AU Optronics Corp
Priority date: 2005-10-13
Filing date: 2005-10-13
Publication date: 2006-11-01
Anticipated expiration: 2015-10-13

Abstract

本实用新型为一种光罩搬运装置，于横向放置的底板的一侧纵向向上组设有一侧板，此侧板的后侧面组设有一控制盘，侧板的前侧面组设有一载台，其是由传动轴与传动元件相对于侧板上下移动，同时，载台的前侧面凸伸有二伸缩臂，由控制盘控制驱动元件驱动传动轴与传动元件，可使载台相对于侧板上下移动并以其伸缩臂进行光罩的存取。因此，光罩的存取可由光罩搬运装置进行存取，利用自动化的设备可免除以人力进行搬运作业，避免光罩受到损坏，同时可提高工作效率。

Description

光罩搬运装置

技术领域

本实用新型关于一种光罩搬运装置，尤指一种适用于可免除人力搬运作业以避免光罩受到损坏、并可提高半导体元件产能的光罩搬运装置。

背景技术

光罩就是希望将设计好的线路图形，完整且精确地复制到绝缘性基底(例如：玻璃基板、硅晶圆)上。半导体元件的制作首先需将设计好的图形制作成光罩(photo mask)，应用光学成像的原理，将图形投影至绝缘性基底上。经由光源发出的光，只有经过光罩透明或开孔区域的部分可以继续通过透镜，而呈像在绝缘性基底上，并进行显影、蚀刻等制程，最后制作出所欲的半导体元件于绝缘性基底上。

光罩的线路配置图案于投射至绝缘性基底的过程，必须先搬运光罩至曝光设备的承载装置；或另有置换光罩需求时，也必须将光罩从曝光设备的承载装置取出，并搬运光罩至储存架上。传统上，光罩的搬运作业皆是利用人力进行搬运，因此，于搬运过程中，极容易因为人为因素而使光罩受到损坏。

再者，利用人工进行光罩搬运作业也相当费时。因此，对于讲求效率的半导体元件制造商而言，容易因为时间浪费而无法有效提升产能，并非十分理想。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种光罩搬运装置，可进行存取光罩，利用自动化的设备可免除以人力进行搬运作业，避免光罩受到损坏，同时可提高工作效率。

本实用新型的光罩搬运装置包括有一底板、一侧板、一载台、以及一控制盘。

上述的底板是横向放置并组设有多数个轮组，侧板是纵向向上组设于底板的一侧，且侧板包括有一前侧面以及一后侧面，其中的前侧面的两侧分别向内凹设有一纵向凹槽，每一纵向凹槽内并组设有一传动轴，同时侧板并包括有二驱动元件，每一驱动元件系分别连结每一传动轴。

此外，上述的载台横向配置于侧板的前侧面，而与底座呈平行配置，其包括有一前侧面以及一后侧面，其中的前侧面凸伸有二伸缩臂，后侧面的两侧分别组设有一传动元件，每一传动元件分别对应套合于侧板的每一传动轴上。至于控制盘则组设于侧板的后侧面。

上述的控制盘电性连接至侧板的每一驱动元件，且控制盘控制每一驱动元件驱动每一传动轴转动，并控制载台相对于侧板上下移动，并因此使载台的二伸缩臂可存取至少一光罩。

由上述结构，光罩的存取可由光罩搬运装置进行，利用自动化的设备可免除以人力进行搬运作业，以避免光罩受到损坏，同时可提高工作效率。

上述的侧板可包括有二侧面其分别连结其前侧面与后侧面，且二侧面的至少一者可刻画有多数个刻度。

此外，上述的载台可包括有一内容室，且二伸缩臂可内缩于内容室内。前述的内容室可向下凹设有至少二凹槽，且每一伸缩臂可向下凸设有至少一凸点其分别嵌入至少二凹槽的其中之一内。

另外，上述载台的二伸缩臂的前端可分别组设有一防撞护条。同样的，二伸缩臂可分别包括有一上表面，且每一上表面上组设有至少一止滑垫。

又上述底板可包括有一上表面，且上表面设有至少一承置区，其可用以承置物品，例如光阻等。

附图说明

图1是本实用新型第一较佳实施例的立体图。

图2是本实用新型第一较佳实施例另一视角的立体图。

图3是本实用新型第二较佳实施例的立体图。

附图标号：

底板1 滚轮11 转向轮轴111

煞车片112 上表面12 承置区121

侧板2 前侧面21 纵向凹槽211

传动轴212 后侧面22 侧面23

刻度231 驱动元件24 载台3

前侧面31 伸缩臂311 凸点312

防撞护条313 上表面314 止滑垫315

后侧面32 传动元件321 内容室33

凹槽331 控制盘4 光罩搬运装置5

光罩6 伸缩臂7 上表面71

止滑垫711

具体实施方式

请同时参阅图1是本实用新型第一较佳实施例的立体图、及图2是本实用新型第一较佳实施例另一视角的立体图，其中显示有一光罩搬运装置5，且此光罩搬运装置5可进行光罩6的存取作业。

上述光罩搬运装置5包括有一底板1、一侧板2、一载台3、以及一控制盘4。其中，底板1以横向放置，且底板1的四个角落底部分别组设有一轮组，每一轮组分别包括有一滚轮11及一转向轮轴111，同时，于其中两个同侧的滚轮11上组设有一煞车片112，因此，光罩搬运装置5可由滚轮11的转动而移动，且由转向轮轴111而转向，欲停止时，仅需将煞车片112向下移动并卡合于滚轮11即可。

此外，侧板2是纵向向上组设于上述底板1的一侧，且此侧板2包括有一前侧面21、一后侧面22、以及二侧面23，其中的二侧面23分别连结前侧面21与后侧面22，且二侧面23分别刻画有多数个刻度231，侧板2的前侧面21朝向底板1的上表面12，且前侧面21的两侧分别向内凹设有一纵向凹槽211，每一纵向凹槽211内并组设有一传动轴212，并且侧板2的上方组设有二驱动元件24，例如马达，其分别连结每一传动轴212。

另外，载台3横向置设于侧板2的前侧面21上，而与底板1呈平行配置状态，其包括有一前侧面31、一后侧面32、以及一内容室33，其中的前侧面31凸伸有二伸缩臂311，此二伸缩臂311可部分内缩于内容室33内，而载台3后侧面32的两侧分别组设有一传动元件321，每一传动元件321分别对应套合于侧板2的每一传动轴212，以使该载台3沿传动轴212上下移动。于一实施例中，传动轴212例如螺栓，传动元件312例如螺帽。

于本实施例中，载台3的内容室33并向下凹设有四个凹槽331，其是两两分布于内容室33的两侧，且每一伸缩臂311向下凸设有四凸点312，其是两两分布并间隔一段距离，因此，当每一伸缩臂311向内伸缩于内容室33内时，可由每一伸缩臂311的其中两个凸点312分别嵌入内容室33两侧的二个凹槽331内，如此即可形成定位。反之，当每一伸缩臂311向外伸缩于内容室33外时，可由每一伸缩臂311的另外两个凸点312分别嵌入内容室33两侧的二个凹槽331内，并因此形成定位。

又于本实施例中，载台3的二伸缩臂311的前端分别组设有一防撞护条313，且二伸缩臂311分别包括有一上表面314，于每一上表面314上则组设有多个止滑垫315。

另图1及图2中的控制盘4组设于侧板2的后侧面22，且控制盘4电性连接至侧板2的每一驱动元件24，并控制每一驱动元件24驱动每一传动轴212转动以及控制伸缩臂311的作动。

于进行光罩6的存取作业时，可先利用控制盘4控制侧板2的每一驱动元件24转动、并再驱动每一传动轴212转动，使得载台3可相对于侧板2上下移动，此时，可利用侧板2侧面23的刻度231得知载台3的高度，载台3到达预定高度之后，使载台3的二伸缩臂311进行光罩6的存取，而利用伸缩臂311前端的防撞护条313、与伸缩臂311上表面314的多个止滑垫315，可避免或者吸收光罩6的碰撞而产生损坏，并可避免光罩6产生滑动。

因此，由上可知，光罩6的存取可由自动化的设备而达成，如此可免除以人力进行搬运作业，以避免光罩6受到损坏，同时可提高工作效率。而为了再加以提高使用效率，可于底板1的上表面12设有二承置区121，此二承置区121可用以承置光阻(图未示)。

请参阅图3是本实用新型第二较佳实施例的立体图，其结构皆与上述第一较佳实施例相同，同样具有底板1、侧板2、载台3、与控制盘4的结构特征，唯差别在于载台3伸缩臂7的上表面71采用较大面积的止滑垫711，其形式与上述第一较佳实施例略有不同，但同样可达成上述第一较佳实施例所述的各种功效，且由此可知，载台3伸缩臂7上表面71的止滑垫711可不限于使用何种形式。

虽然本实用新型已以具体实施例揭示，但其并非用以限定本实用新型，任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的构思和范围的前提下所作出的等同组件的置换，或依本实用新型专利保护范围所作的等同变化与修饰，皆应仍属本专利涵盖之范畴。

Claims

1.一种光罩搬运装置，其特征在于包括：

一底板，横向放置并组设有多数个轮组；

一侧板，纵向向上组设于该底板的一侧，且该侧板包括有一前侧面及一后侧面，该前侧面的两侧分别向内凹设有一纵向凹槽，每一纵向凹槽内并组设有一传动轴，该侧板并包括有二驱动元件其分别连结每一传动轴；

一载台，横向配置于该侧板的前侧面，而与该底板呈平行配置，其包括有一前侧面及一后侧面，该前侧面凸伸有二伸缩臂，该后侧面的两侧分别组设有一传动元件其分别对应套合于该侧板的每一传动轴上；

一控制盘，组设于该侧板的后侧面；

其中，该控制盘电性连接至每一驱动元件，控制每一驱动元件驱动每一传动轴转动而使该载台相对于该侧板上下移动，并控制该载台的二伸缩臂存取至少一光罩。

2.如权利要求1所述的光罩搬运装置，其特征在于：该侧板并包括二侧面其分别连结其前侧面与后侧面，且该二侧面的至少一者刻画有多数个刻度。

3.如权利要求1所述的光罩搬运装置，其特征在于：该载台并包括有一内容室，且该二伸缩臂内缩于该内容室内。

4.如权利要求3所述的光罩搬运装置，其特征在于：该内容室并向下凹设有至少二凹槽，且每一伸缩臂向下凸设有至少一凸点其分别嵌入该至少二凹槽的其中之一内。

5.如权利要求1所述的光罩搬运装置，其特征在于：该二伸缩臂的前端并分别组设有一防撞护条。

6.如权利要求1所述的光罩搬运装置，其特征在于：该二伸缩臂分别包括有一上表面，且每一上表面上组设有至少一止滑垫。

7.如权利要求1所述的光罩搬运装置，其特征在于：该等轮组并分别包括有一转向轮轴。

8.如权利要求1所述的光罩搬运装置，其特征在于：该等轮组的至少一者包括有一煞车片。

9.如权利要求1所述的光罩搬运装置，其特征在于：该底板包括有一上表面，且该上表面设有至少一承置区。

10.如权利要求1所述的光罩搬运装置，其特征在于：该侧板的该前侧面朝向该底板。