JP5963122B2 - 露光装置及びその組立て方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
次に、上記実施形態の露光装置100をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法について説明する。上記実施形態の露光装置100では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることができる。
まず、上述した露光装置100を用いて、パターン像を感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に形成する、いわゆる光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成される。
次に、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列された、又はR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。
次に、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。例えば、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。
その後、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
Claims (30)
- エネルギビームの照射により物体にパターンを形成する露光装置であって、
前記物体を保持して移動可能な動作部を有する処理装置と、
前記処理装置を囲むチャンバと、
前記チャンバ内の進入者が少なくとも動作中の前記動作部に接触できないように、前記動作部と前記チャンバとの中間に配置された中間部材と、
を備え、
前記中間部材は、前記進入者が前記中間部材を介して動作中の前記動作部を目視可能に構成されている露光装置。 - 前記中間部材は、前記チャンバの内部空間を仕切るように配置される請求項1に記載の露光装置。
- 前記中間部材は、前記内部空間の内側と外側で空調効率が異なるように、前記チャンバ内に配置される請求項2に記載の露光装置。
- 前記中間部材は、柵状の部材である請求項1に記載の露光装置。
- 前記チャンバは、全体フレームと、前記全体フレームに設置されるパネルとを含む請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記中間部材は、前記動作部を囲むように配置される請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記中間部材は、前記動作部の外側に配置される請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記全体フレームは、互いに分離可能な複数のフレームユニットからなる請求項5に記載の露光装置。
- 前記複数のフレームユニットは互いに接続部材を介して固定される請求項8に記載の露光装置。
- 前記全体フレームが設置される床面に沿って、前記複数のフレームユニットが並んで接続されている請求項9に記載の露光装置。
- 前記中間部材は、複数の中間部材ユニットからなる請求項8〜10のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記中間部材は、前記フレームユニットの内部、又は隣接するフレームユニット間に配置される請求項11に記載の露光装置。
- 前記動作部に保持された前記物体に前記エネルギビームが照射されることにより、前記物体が露光される請求項1〜12のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体は前記パターンが形成されたマスクを含む請求項1〜12のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記複数のフレームユニットのうちの1のフレームユニットは、前記エネルギビームを照明する照明系を天井で支持する請求項9〜12のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記複数のフレームユニットのうちの他のフレームユニットは、前記パターンが形成されたマスクを搬送する搬送装置を支持する請求項15に記載の露光装置。
- 前記チャンバの内側に配置されるイオナイザを有し、
前記イオナイザにより前記物体の除電が行われる請求項1〜16のいずれか一項に記載の露光装置。 - 請求項13に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
前記露光された物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - エネルギビームの照射により物体にパターンを形成する露光装置の組立て方法であって、
前記物体を保持して移動可能な動作部を有する処理装置を配置することと、
前記処理装置を囲うようにチャンバを配置することと、
前記チャンバ内の進入者が動作中の前記動作部を目視可能となるように構成され、前記進入者が少なくとも動作中の前記動作部に接触できないように、前記動作部と前記チャンバとの中間に中間部材を配置することと、
を有する露光装置の組立て方法。 - 前記中間部材は、前記チャンバの内部空間を仕切るように配置される請求項19に記載の露光装置の組立て方法。
- 前記チャンバは、全体フレームと、前記全体フレームに設置されるパネルとを含む請求項19又は20に記載の露光装置の組立て方法。
- 前記中間部材は、前記動作部を囲むように配置される請求項19〜21のいずれか一項に記載の露光装置の組立て方法。
- 前記中間部材は、前記動作部の外側に配置される請求項19〜22のいずれか一項に記載の露光装置の組立て方法。
- 前記全体フレームは、互いに分離可能な複数のフレームユニットからなる請求項21に記載の露光装置の組立て方法。
- 接続部材を介して前記複数のフレームユニットを互いに固定することをさらに含む請求項24に記載の露光装置の組立て方法。
- 前記全体フレームが設置される床面に沿って、前記複数のフレームユニットが並んで接続される請求項24又は25に記載の露光装置の組立て方法。
- 前記中間部材は、複数の中間部材ユニットからなる請求項24〜26のいずれか一項に記載の露光装置の組立て方法。
- 前記中間部材ユニットは、前記フレームユニットの内部、又は隣接するフレームユニット間に配置される請求項27に記載の露光装置の組立て方法。
- 前記複数のフレームユニットのうちの1のフレームユニットは、前記エネルギビームを照明する照明系を天井で支持する請求項24〜28のいずれか一項に記載の露光装置の組立て方法。
- 前記照明系が前記天井で支持された前記1のフレームユニットを吊り上げた後、前記動作部の上方から前記1のフレームユニットを下降させて設置する請求項29に記載の露光装置の組立て方法。
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