JP4200894B2 - 露光装置、デバイスの製造方法、及び保守方法 - Google Patents
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Description
このような露光装置においては、半導体メモリの大容量化やCPUプロセッサの高速化・大集積化の進展とともにウエハ上に形成されるレジストパターンの微細化の要求が高まっており、高い露光精度が要求されている。また、露光装置は、デバイスの量産に用いられるものであることから、高いスループットも必然的に要求される。このため、露光波長の短波長化及び投影光学系の開口数(NA:Numerical Aperture)の増大による解像力向上やウエハの大判化(直径300mm,16インチ等)等によって、露光精度並びにスループットの向上が図られている。これに伴い、投影光学系やステージ装置等を支持するフレーム類が大型化する傾向にある。
第1の発明に係る露光装置は、マスク(R)から射出された露光光(EL)を基板(W)上に照射する投影光学系(30)を支持する第1支持構造体(110)と、第1支持構造体上に立設して第1支持構造体によって支持され、マスクを保持するマスクステージ(20)を支持する第2支持構造体(120)とを備える露光装置(EX)において、第1支持構造体による支持を解き、第2支持構造体を第1支持構造体から鉛直方向に離間させて支持するために第2支持構造体と当接する支持部材(300)を備えるようにした。
この発明によれば、第2支持構造体を第1支持構造体から鉛直方向に離間させる際に、第2支持構造体を支持部材で支持することができる。
また、支持部材(300)を鉛直方向に移動させるアクチュエータ(410)が支持材に着脱可能に連結されるものでは、アクチュエータを必要としない場合には、アクチュエータを外しておくことができる。
また、支持部材(300)が、第2支持構造体(120)を第1支持構造体(110)に対して水平移動させるスライド機構(320)を備えるものでは、第2支持構造体を支持構造体で支持したまま、容易に水平移動することができる。
また、スライド機構(320)による第2支持構造体(120)の水平移動を補助する補助装置(421,422)が支持部材(300)に着脱可能に連結されるものでは、小さな力で第2支持構造体を水平移動することができる。更に、補助装置を必要としない場合には、補助装置を外しておくことができる。
また、支持部材(300)が、第1支持構造体(110)及び/又は第2支持構造体(120)に向けて敷設される配線(361)を収納して引き回す収納部(330)を備えるものでは、配線を外部から露光装置の各ユニットに接続する場合に、一旦、収納部を経由して這わせることにより、配線を整然と整列させることができる。
また、支持部材(300)が、配線(361)が連結される電気基板(362)を収納する筐体(330)を支持するものでは、電気基板の発生する熱が熱伝導により第1構造体又は第2構造体に流入するのを回避することができる。
また、筐体(330)が、収納した電気基板(362)から発生する熱を排出する排出装置(353)を有するものでは、筐体の温度上昇が抑えられ、露光装置の温度変化を抑えることができる。
また、筐体(330)が、第1支持構造体(110)及び/又は第2支持構造体(120)と対向する領域(351)に、断熱部材(352)を備えるものでは、筐体から露光装置への輻射等による熱伝達が抑えられる。
また、支持部材(300)が、支持している第2支持構造体を水平方向にスライドさせるスライド機構(320)を有するものでは、第2支持構造体を容易に水平移動することができる。
この場合において、投影光学系を第1構造体から分離する起重装置(620)を第1構造体上に戴置する工程と、投影光学系をその起重装置を用いて第1構造体から分離するとともに投影光学系をその起重装置で保持する工程と、投影光学系を保持したその起重装置を第1構造体から退避させる工程とを更に有する保守方法とすることができる。これにより、第2構造体が取り除かれた露光装置の第1構造体から投影光学系を容易に分離することができる。
第1の発明は、マスクから射出された露光光を基板上に照射する投影光学系を支持する第1支持構造体と、第1支持構造体上に立設して、マスクを保持するマスクステージを支持する第2支持構造体とを備える露光装置において、第2支持構造体を第1支持構造体から鉛直方向に離間させて支持するために第2支持構造体と当接する支持部材を備えるようにした。これにより、第2支持構造体を第1支持構造体から鉛直方向に離間させる際に、支持部材によって第2支持構造体を支持することができるので、メンテナンス性を向上させることができる。
また、支持部材を鉛直方向に移動させるアクチュエータが支持材に着脱可能に連結されるようにしたので、アクチュエータを使用しない場合には外しておくことができ、また、アクチュエータを複数の露光装置で使いまわすことができるので、メンテナンスのための設備費を最小限に抑えることができる。
また、支持部材が、第2支持構造体を第1支持構造体に対して水平移動させるスライド機構を備えるようにしたので、第2支持構造体を容易に水平移動することができ、投影光学系等のメンテナンススペースを確保することができる。
また、スライド機構による第2支持構造体の水平移動を補助する補助装置が支持部材に着脱可能に連結されるようにしたので、小さな力で第2支持構造体を水平移動することができる。また、補助装置を複数の露光装置で使いまわすことができ、メンテナンスのための設備費を最小限に抑えることができる。
また、支持部材が、第1支持構造体及び/又は第2支持構造体に向けて敷設される配線を収納して引き回す収納部を備えるようにしたので、配線を整然と整列させることができ、しかも、配線が収納部を経由するので、外部からの振動が配線を介して露光装置(正確には、本体フレーム)に伝わることを抑制できる。
また、支持部材が、配線が連結される電気基板を収納する筐体を支持するものでは、より配線を整然と整理することができ、また、電気基板の発生する熱が熱伝導により本体フレームに流入するのを回避することができる。
また、筐体が、収納した電気基板から発生する熱を排出する排出装置を有するものでは、筐体の温度上昇が抑えられ、露光装置の温度変化を抑えることができるので、微細なパターンを安定して転写することができる。更に、過熱による電気基板の性能低下を抑えることができる。
また、筐体が、第1支持構造体及び/又は第2支持構造体と対向する領域に、断熱部材を備えるものでは、筐体から露光装置への熱伝達が抑えられるので、微細なパターンを安定して転写することができる。
また、支持部材が、支持している第2支持構造体を水平方向にスライドさせるスライド機構を有するものでは、第2支持構造体を水平移動することができるので、投影光学系等のメンテナンススペースを容易に確保することができる。
この場合において、投影光学系を第1構造体から分離する起重装置を第1構造体上に戴置する工程と、投影光学系をその起重装置を用いて第1構造体から分離するとともに投影光学系をその起重装置で保持する工程と、投影光学系を保持したその起重装置を第1構造体から退避させる工程とを更に有する保守方法とすることができる。これにより、第2構造体が取り除かれた露光装置の第1構造体から投影光学系を容易に分離することができる。
露光装置EXは、レチクル(マスク)Rとウエハ(基板)Wとを一次元方向(ここでは、図1における紙面内左右方向であるY軸方向とする)に同期移動しつつ、レチクルに形成された回路パターンを投影光学系30を介してウエハ上の各ショット領域に転写する、ステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置、すなわちいわゆるスキャニング・ステッパである。
なお、以下の説明において、投影光学系30の光軸AXと一致する方向をZ軸方向、Z軸方向に垂直な平面内でレチクルRとウエハWとの同期移動方向(走査方向)をY軸方向、Z軸方向及びY軸方向に垂直な方向(非走査方向)をX軸方向とする。更に、X軸、Y軸、及びZ軸まわり方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
また、基礎フレーム200の上端には、レチクルステージ20等に接続する電気ケーブル等を収容するとともに、露光装置EXのメンテナンス(分解作業)時には本体フレーム100の分解作業(第1架台110から第2架台120をZ方向に離間させる作業)を補助する支持部材300が配置される。
この照明光学系10は、本体フレーム100を構成する第2架台120の上面に固定された照明系支持部材12によって支持される。
このレチクルステージ20は、本体フレーム100を構成する第2架台120の上面に不図示の非接触ベアリング(例えば気体静圧軸受)を介して浮上支持される。
この投影光学系30は、本体フレーム100を構成する第1架台110に設けられた穴部113に挿入されて、投影光学系30の外周に形成されたフランジ31を介して支持される。なお、投影光学系30と第1架台110の間には、キネマティックマウント(不図示)が設けられ、投影光学系30のあおり角を調整することができる。
ウエハステージ41のXY方向位置及びθX方向、θY方向、θZ方向の回転角は、不図示のレーザ干渉計により高精度に計測され、この計測結果に基づいてウエハステージ41、ひいてはウエハWの位置及び速度が制御される。
第1架台(第1支持構造体)110は、円筒状の投影光学系30の外径よりもやや大きく形成された穴部113を備える鏡筒支持盤111と、鏡筒支持盤111の外周部に鏡筒支持盤111よりも上方に形成されて、基礎フレーム200及び第2架台120と接続する第1架台接続部112とから構成される。第1架台接続部112は、第1架台110の安定性を考慮すると3箇所であることが望ましいが、これに限るのもではない。また、鏡筒支持盤111と第1架台接続部112とは、締結手段等で連結するのではなく、一体に形成される。
そして、鏡筒支持盤111の穴部113には、投影光学系30が挿入されて、投影光学系のフランジ31が鏡筒支持盤111の上面に支持される。
したがって、第1架台110は、露光装置EXの横側面方向(図1の紙面方向)から見ると、逆アーチ形に形成されて、投影光学系30を支持する。
そして、第2架台接続部122は、第1架台110の第1架台接続部112とボルト等を用いて締結される。なお、第2架台接続部と第1架台接続部とは、第1架台110に支持される投影光学系30と第2架台120に支持されるレチクルステージ20とが所定の位置関係となるように調整されて締結される。
これにより、本体フレーム100により体積及び重量が大きな投影光学系30を戴置することができる。なお、本体フレーム100は、基礎フレーム200上に防振ユニット(防振装置)150(150A〜150C、図3参照)を介して支持される。
防振ユニット150は、本体フレーム100を支持するエアマウントと本体フレーム100を非接触で駆動するアクチュエータとを備える。そして、防振ユニット150は、本体フレーム100に取り付けられた加速度計と本体フレーム100の位置を非接触で検出する位置センサ(いずれも不図示)と共に、床振動を遮断しつつ本体フレーム100の位置を制御するアクティブ防振台を構成している。これにより、本体フレーム100は基礎フレーム200から振動的に分離され、能動的に防振支持される。
下部フレーム210は、ウエハステージシステム40を戴置する床部211と、床部211の上面から上方に所定の長さで伸びる3本の支柱212とを備える。床部211と3本の支柱212とは、締結手段等で連結される構造ではなく、一体に形成される。
上部フレーム220は、梁部221と3本の支柱222とを備え、梁部221が3本の支柱222同士をそれらの上端において連結するように構成される。なお、梁部221と3本の支柱222とは、締結手段等で連結される構造ではなく、一体に形成される。
そして、支柱212,222のそれぞれが、ボルト等により締結される。これにより、基礎フレーム200は、いやゆるラーメン構造(図3参照)となり、従来に比べて、高剛性に構成される。
また、支柱212,222とは、略同一長さに形成されて締結されるので、露光装置EXの振動に伴う応力が集中しやすい部分(各支柱212,222の根元部分)には連続した構造体が配置され、剛性の低い連結部分は応力が集中しづらい位置に配置される。
これにより、より体積及び重量が大きなウエハステージシステム40を戴置するとともに、より体積及び重量が大きな投影光学系30を含む本体フレーム100を支持することが可能となる。すなわち、開口数NAの大型化による微細パターンの形成と、ウエハWの大判化によるスループットの向上を実現することができる。
支持部材300は、露光装置EXの第2架台120を取り囲む略四角形の枠形部材(320,330)と、その枠形部材を支持する4本の脚部310とから構成される。具体的には、4本の脚部310が基礎フレーム200の上面のY方向の両端にそれぞれ2本づつ配置され、その2本の脚部310がX方向に平行に並ぶように立設する。そして、X方向に並ぶ2つの脚部310の上面には、X方向に平行に配置される2つの梁状のスライダ320が設けられ、更に2つのスライダ320の上面両端部にはY方向に伸びる2つのケーブルトレー部330(図1には不図示、図2参照)が連結される。
また、2つのスライダ320は、それぞれ第2架台120の係合部123,124の下方(−Z方向)に所定の隙間を開けて位置するように配置される。すなわち、通常時には、支持部材300と本体フレーム100とは離間しており、支持部材300を介して基礎フレーム200からの振動が本体フレーム100に伝わることがない。
脚部310は、図4(a),(b)に示すように、断面コの字状の部材からなり、その上端及び1つの側面に開口部311が形成される。そして、開口部311が露光装置EXの外周側を向くように配置される。そして、開口部311から脚部310の内部にジャッキ410を挿入できるようになっている。このジャッキ(アクチュエータ)410は、手動式或いは電動式であってもよく、また機械式、油圧式等であってもよい。そして、例えば、油圧式の場合には、ジャッキ410を動作させると、油圧シリンダがZ方向に上昇し、脚部310の上部の開口部311において、脚部310上に配置されたスライダ320と当接する。更に油圧シリンダを伸ばすと、スライダ320をZ方向に押し上げて、脚部310から離間させることができる。
そして、上部材321を下部材322に沿って移動させる際には、上部材321と下部材322との接触部に圧縮空気を供給することにより空気軸受を構成し、上部材321に対する下部材322の移動が円滑になるようにしてもよい。或いは、スライダ320の両端に形成される開口323からスライダ320の内部に取り外し可能なエアボールリフタ422を挿入し、上部材321に対する下部材322の移動が円滑になるようにしてもよい。すなわち、必要時にのみ、上部材321と下部材322との間に空気を供給(空気軸受(補助装置)421を形成)したり、エアボールリフタ(補助装置)422を取り付けたりすることで、スライダ320の移動動作を補助する。
なお、エアボールリフタ422とは、高精度加工されたボールトランスファにエアシリンダを組み合わせ、搬送物を空気圧で持ち上げ、水平方向に移動させることができる装置であり、エアボールリフタ422をスライダ320の内部に配置した後に空気を供給供給することにより、下部材322上に上部材321を浮上支持するものである。
以下の説明では、エアボールリフタ422を用いた場合について述べる。
ケーブルトレー部330には、図5に示すように、電気基板362等を収容する筐体350が取り付けられる。この電気基板362は、露光装置EXの各ユニットを駆動或いは制御等するものであり、ケーブルトレー部330に収容されて引き回される配線361のうちの電気ケーブルが主に接続される。
筐体350の下面には、内部に収容した電気基板362から発生する熱を排出する排出装置353が設けられ、筐体350内の熱を露光装置EXを覆うチャンバ(不図示)の外に排出する。なお、筐体350の上面には、通気孔と空気導入ダクト(いずれも不図示)とが設けられており、チャンバ外の空気を取り入れ可能としている。
更に、筐体350における露光装置EXと対向する対向領域351には、断熱部材352が設けられ、筐体350から露光装置EXへの熱伝達を抑えている。断熱部材352としては、発泡材をアルミニウム等の金属で包囲した断熱板や内部に真空空間を形成した真空断熱板の他、内部に流路を形成し、その流路に温調液体を流動させる温調パネルを用いることができる。
なお、ケーブルトレー部330と筐体350とは、蝶番354を介して連結され、投影光学系30のメンテナンス時等には、図5において破線で示すように、筐体350を露光装置EXの側面から移動させることにより、露光装置EXの側面から投影光学系30にアクセスする作業領域を確保できるようにしている。
まず、通常時には、露光装置EXは、照明光のもとでレチクルRの照明領域内のパターンの像を投影光学系30を介して投影倍率βで表面にレジストが塗布されたウエハW上のスリット状の露光領域(照明領域に共役な領域)に投影する。この状態でレチクルRとウエハWとを同期して所定の走査方向(Y軸方向)に移動することで、ウエハW上の一つのショット領域にレチクルRのパターンを転写する。
この際、上述したように、配線361がケーブルトレー部330を経由して這わされているので、配線361の振動が露光装置EXに伝わりづらくなっている。これにより微細なパターンを安定して転写することが可能となる。
また、支持部材300に取り付けた筐体350には、筐体350内の熱を排出する排出装置353が設けられているので、筐体350の温度上昇が抑えられ、露光装置EXの温度変化を抑えることができるとともに、露光装置EXが収容されるチャンバ内の温度変化を略一定に維持することが可能となる。これにより、微細なパターンを安定して転写することができ、また、過熱による電気基板362の性能低下を抑えることができる。
更に、筐体350における支持部材300との対向面側の領域351には、断熱部材352が設けられるので、筐体350から露光装置EXへの熱伝達が抑えられ、微細なパターンを安定して転写することができる。
まず、前準備として、露光装置EXの分解作業に支障が出ないように、支持部材300から電気ケーブル、空圧配管等の配線361を取り外す。また、第1架台110の第1架台接続部112と第2架台120の第2架台接続部122とを締結するボルト等を取り外し、第1架台110と第2架台120との接合を解除する。
そして、支持部材300の4本の脚部310の内部に開口部311からジャッキ410を入れる。更に、2つのスライダ320の内部に開口323からエアボールリフタ422を挿入する。すなわち、4つのジャッキ410と2つのエアボールリフタ422を支持部材300に取り付ける。
そして、引き続きシリンダをZ方向に伸ばしてスライダ320を押し上げ、スライダ320の上部材321を第2架台120の係合部123,124に当接させる。更にシリンダをZ方向に伸ばして、図6に示すように、第2架台120を第1架台110からZ方向に離間させる。
このようにして、4つのジャッキ410を支持部材300に取り付けることにより、フォークリフトやクレーン等の重機を用いることなく容易に第2架台120を持ち上げて、第1架台110から分離させることができる。
投影光学系30を交換する場合、第2架台120は、投影光学系30の上方から完全に退避する必要があるので、図8(a)及び(b)に示すように、基礎フレーム200に替わって第2架台120を支持する支持台としての第2架台支持工具(支持台)500が露光装置EXの側部に配置される。なお、第2架台支持工具は、キャスターを有しており、床面F上を移動可能である。
第2架台支持工具500は、支持部材300のスライダ320の上部材321と係合可能なローラー部510を有している。このローラー部510はをジャッキ410によって持ち上げられたスライダ320の下部材322と一直線になるように配置することにより第2架台120を上部材321と共に基礎フレーム200から第2架台支持工具500へと移動させることができる。そして、第2架台120は、基礎フレーム200から第2架台支持工具500へと受け渡され、第2架台支持工具500上で支持される(図8(c))。
これによれば、簡単な工具で第2架台120を露光装置EXから容易に分離することができる。また、投影光学系30の上方空間が開放されるので、投影光学系30の交換に必要な作業空間を確保することができる。
まず、投影光学系交換工具600は第2架台支持工具500とは反対側の露光装置EXの側部に配置され、本体部610が第1架台110とガイドレール630を介して連結される(図9(a))。ガイドレール630は、投影光学系30の前後に2本配置される。そして、起重装置620は、このガイドレール630に沿って移動して本体部610から第1架台110へと移載され、第1架台110上で固定される。起重装置620は、モータ621によって投影光学系30を吊り上げて第1架台110から引き抜き(図9(b))、投影光学系30を保持したまま本体部610へ移動する(図9(c))。
このようにして、比較的小さくて簡便な工具で投影光学系30を第1架台110から容易に分離することができる。そして、その後、新たな投影光学系30を上述とは逆の手順で第1架台110へ搭載し、投影光学系30の交換作業が完了する。
また、ジャッキ410及びエアボールリフタ422が支持部材300に脱着可能に取り付けられているので、ジャッキ410及びエアボールリフタ422を露光装置EX毎に用意する必要がなく、複数の露光装置EXで使いまわすことができるので、メンテナンスのための設備費を最小限に抑えることができる。更に、露光装置EXが設置されるクリーンルーム等のように、天井までの高さが十分に確保できない場所においても、第1架台110と第2架台120とを分離させて、露光装置EXから投影光学系30を取り外すことが可能となる。これにより、メンテナンス時間及び露光装置EXのダウンタイムを短縮することができる。
なお、分解作業の完了後に露光装置の組立作業を行う場合には、上述した作業を逆戻りする手順とすることにより、容易かつ安定して組立作業を行うことができる。
また、基礎フレーム200が上下分割構造の場合について説明したが、これに限らない。従来の基礎フレームのように、平板形の床部上に複数の支柱が配置される構成であってもよい。
30 投影光学系
110 第1架台(第1支持構造体)
120 第2架台(第2支持構造体)
150 防振ユニット(防振装置)
200 基礎フレーム(ベース構造体)
300 支持部材
320 スライダ(スライド機構)
330 ケーブルトレー部(収納部)
350 筐体
351 領域
352 断熱部材
353 排出装置
361 配線
362 電気基板
410 ジャッキ(アクチュエータ)
421 空気軸受(補助装置)
422 エアボールリフタ(補助装置)
500 第2架台支持工具(支持台)
620 起重装置
R レチクル(マスク)
W ウエハ(基板)
EL 露光光
EX 露光装置
Claims (16)
- マスクから射出された露光光を基板上に照射する投影光学系を支持する第1支持構造体と、前記第1支持構造体上に立設して前記第1支持構造体によって支持され、前記マスクを保持するマスクステージを支持する第2支持構造体と、を備える露光装置において、
前記第1支持構造体による支持を解き、前記第2支持構造体を前記第1支持構造体から鉛直方向に離間させて支持するために前記第2支持構造体と当接する支持部材を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記支持部材は、前記第1支持構造体を防振装置を介して支持するベース構造体上に配置されることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記支持部材を鉛直方向に移動させるアクチュエータが前記支持部材に着脱可能に連結されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置。
- 前記支持部材は、前記第2支持構造体を前記第1支持構造体に対して水平移動させるスライド機構を備えることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記スライド機構による前記第2支持構造体の水平移動を補助する補助装置が前記支持部材に着脱可能に連結されることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記支持部材は、前記第1支持構造体及び/又は前記第2支持構造体に向けて敷設される配線を収納して引き回す収納部を備えることを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記支持部材は、前記配線が連結される電気基板を収納する筐体を支持することを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 前記筐体は、収納した前記電気基板から発生する熱を排出する排出装置を有することを特徴とする請求項7に記載の露光装置。
- 前記筐体は、前記第1支持構造体及び/又は前記第2支持構造体と対向する領域に、断熱部材を備えることを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の露光装置。
- マスクから射出された露光光を基板上に照射する投影光学系を支持する第1支持構造体と、マスクステージを戴置し、前記第1支持構造体に支持される第2支持構造体と、前記第1支持構造体を防振装置を介して支持するベース構造体と、を備える露光装置において、
前記ベース構造体と前記第2支持構造体との間に配置され、前記第2支持構造体と当接することにより前記第1支持構造体に替わって前記第2支持構造体を前記ベース構造体に対して支持可能である支持部材を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記支持部材は、前記第2支持構造体を前記ベース構造体に対して支持する支持力を発生するアクチュエータが脱着可能に取り付けられることを特徴とする請求項10に記載の露光装置。
- 前記支持部材は、支持している前記第2支持構造体を水平方向にスライドさせるスライド機構を有することを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の露光装置。
- リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法において、前記リソグラフィ工程において請求項1から請求項12のうちいずれか一項に記載の露光装置を用いることを特徴とするデバイスの製造方法。
- マスクに形成されたパターンを投影する投影光学系と、前記投影光学系を支持する第1支持構造体と、前記第1支持構造体上に立設して前記マスクを前記投影光学系に対して支持する第2支持構造体と、前記第1支持構造体を支持するベース構造体とを有する露光装置の保守方法であって、
前記第1構造体と前記第2構造体とを離間させ、前記第2構造体を前記第1構造体とは異なる支持部材を介して前記ベース構造体上で支持する工程と、
前記ベース構造体で支持している前記第2構造体を前記ベース構造体とは異なる支持台に受け渡す工程とを有することを特徴とする保守方法。 - 前記投影光学系を前記第1構造体から分離する起重装置を前記第1構造体上に戴置する工程と、
前記投影光学系を前記起重装置を用いて前記第1構造体から分離するとともに前記投影光学系を前記起重装置で保持する工程と、
前記投影光学系を保持した前記起重装置を前記第1構造体から退避させる工程とを有することを特徴とする請求項14に記載の保守方法。 - マスクに形成されたパターンを投影する投影光学系と、前記投影光学系を支持する第1構造体とを有する露光装置の保守方法であって、
前記投影光学系を前記第1構造体から分離する起重装置を前記第1構造体上に戴置する工程と、
前記投影光学系を前記起重装置を用いて前記第1構造体から分離するとともに前記投影光学系を前記起重装置で保持する工程と、
前記投影光学系を保持した前記起重装置を前記第1構造体から退避させる工程とを有することを特徴とする保守方法。
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