KR102634912B1 - 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 공정시 발생하는 반응 부산물(이하, '부산물'이라 칭함)을 포집할 수 있도록 포집장치와, 이 포집장치를 교체할 수 있도록 바이패스관을 갖는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치에 관한 것으로써 챔버와 진공 펌프 사이에 위치하여 반도체 공정시 발생하는 부산물을 포집하도록 이루어진 부산물 포집장치에 있어서, 프레임; 상기 프레임 내측에 상부에 위치하고, 프로세스 챔버로부터 공급되는 부산물의 이동방향을 제어하도록 하는 방향전환용 밸브장치; 상기 방향전환용 밸브장치와 연결되어 공급되는 반도체 공정시 발생하는 부산물을 포집하도록 이루어진 포집장치; 상기 방향전환용 밸브장치와 연결되어 공급되는 반도체 공정시 발생하는 부산물이 포집장치를 통과하지 않도록 우회시키기 위한 바이패스관을 갖는 부산물 우회장치; 상기 프레임 일측에 설치되어 방향전환용 밸브장치를 승하강시킬 수 있도록 이루어진 밸브용 리프트장치; 상기 포집장치의 하측에 설치된 차단밸브장치를 포함한다.

Description

반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치{A device for collecting by-products generated during a semiconductor process}
본 발명은 반도체 공정시 발생하는 반응 부산물(이하, '부산물'이라 칭함)을 포집할 수 있도록 포집장치와, 이 포집장치를 교체할 수 있도록 바이패스관을 갖는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정은 크게 전 공정과 후 공정으로 이루어지며, 전 공정에서는 각종 프로세서 챔버 내에서 웨어퍼 상에 박막을 증착하고 증착된 박막을 선택적으로 식각하는 과정을 반복적으로 수행하여 특정 패턴을 형성한다.
웨이퍼 상에 박막을 증착하거나 증착된 박막을 식각하는 공정은 프로세스 챔버 내에서 실란(Silane), 아르신(Arsine) 및 염화 붕소 등의 유해 가스와 수소 등의 프로세스 가스를 사용하여 진공 및 고온에서 수행되며, 공정이 진행되는 동안 프로세스 챔버 내에서는 각종 발화성 가스, 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유한 유해가스가 다량 발생하게 된다.
따라서, 반도에 제조장비에서는 프로세스 챔버를 진공상태로 만들어주는 진공 펌프의 후단에 프로세스 챔버에서 배출되는 배기가스를 정화시킨 후 대기로 방출하는 스크러버를 설치한다.
그러나 프로세스 챔버에서 배출되는 배기가스는 대기와 접촉하거나 온도가 낮아지면 고형화되어 파우더로 변화게 되며, 이러한 파우더는 배기라인에 고착되어 배기압력을 상승시킴과 동시에 진공 펌프로 유입될 경우 진공 펌프의 고장을 유발할 뿐만 아니라 배기가스의 역류를 초래하여 프로세스 챔버 내에 있는 웨이퍼를 오염시킬 수 있다.
이러한 문제를 해결하기 위해 프로세스 챔버와 진공 펌프 사이에는 프로세스 챔버에서 배출되는 배기가스의 부산물을 포집하기 위한 부산물 장치를 설치하고 있다. 부산물 포집장치는 배기가스의 부산물을 파우더 형태로 포집할 수 있다.
그런데 최근 반도체 공정의 집적화로 인해 프로세스 챔버에서 사용되는 전구체가 다양화되고 소스의 사용량이 증가하여, 미반응 부산물의 양 또한 많아지게 되었다.
부산물 포집장치에 부산물이 일정량 이상 포집된 후에는 포집 효율이 떨어질 수 있으므로 장치 내에 포집된 부산물을 제거해줄 필요가 있는데, 포집하여야 할 부산물의 양이 많아짐에 따라 장치 내에서 포집된 부산물을 제거하는 작업이 번거로울 수 있다.
그리고 장치 내에 포집된 부산물을 제거하면서 부산물 포집 장치가 동작하지 못하는 문제점이 있다.
따라서, 반도체 공정시 발생하는 부산물을 포집하는 작업이 중단되는 시간을 최소한으로 감축하거나, 작업이 중단되지 않도록 하기 위한 부산물 포집장치 및 이에 대한 시스템이 필요하다.
이와 관련한 특허기술을 살펴보면,
(KR) 등록특허 10-2490651(반도체 공정 시 발생하는 반응부산물 포집 장치의 신속 교체를 통한 공정 정지 로스 감축 시스템)에서는 반응부산물의 이동방향을 제어 하도록 하는 방향전환밸브(1)와, 상기 방향전환밸브(1)와 연결되어 공급되는 가스 내에서 반응부산물을 포집하도록 하는 포집장치(2)와, 상기 방향전환밸브(1)와 연결되어 가스가 포집장치(2)를 통과하지 않도록 우회시키도록 하는 우회배관(3)를 포함하도록 하는 구성을 이용하여 포집장치(2)의 교체시 공정 정시 로스를 감축하는 시스템을 제공하고 있다.
그러나, 부산물 포집장치에 설치되어 사용되고 있는 반도체 공정 시 배출되는 가스의 방향을 전환하기 위하여 설치되는 방향전환용 밸브장치는 보통 부산물 포집장치의 상측에 배치되어 있으며, 이의 고장시에는 고중량으로 인하여 교체하기가 불편하고 시간을 많이 요구하고 있음으로써 이에 대한 대처가 필요하다.
또한, 종종 교체되는 포집장치 또한 고중량물로써 이에 대한 빠른 교체가 이루어질 수 있도록 하기 위한 대처가 필요하다.
(KR) 등록특허 10-1694921 (KR) 등록특허 10-2490651 (KR) 등록특허 10-1894744
이에 본 발명은 부산물 포집장치의 상측에 배치되어 공정 시 배출되는 가스의 방향을 제어하는 방향전환용 밸브장치의 교체를 위한 분리 및 조립시 고중량물로 인하여 발생하는 문제점을 해결할 수 있도록 하여 교체로 인한 포집작업을 정지, 중지 등의 시간을 최소화하거나, 정지시키지 않도록 하기 위한 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 고중량물인 포집장치 및 방향전환용 밸브장치를 보다 안전하고 손쉽게 교체할 수 있도록 이루어진 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 고온으로 인하여 발생하는 작업자의 안전사고를 예방할 수 있도록 이루어진 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치를 제공하고자 한다.
상기 목적은 프로세스 챔버와 진공 펌프 사이에 위치하여 반도체 공정시 발생하는 부산물을 포집하도록 이루어진 부산물 포집장치에 있어서, 프레임; 상기 프레임 내측에 상부에 위치하고, 프로세스 챔버로부터 공급되는 부산물의 이동방향을 제어하도록 하는 방향전환용 밸브장치; 상기 방향전환용 밸브장치와 연결되어 공급되는 반도체 공정시 발생하는 부산물을 포집하도록 이루어진 포집장치; 상기 방향전환용 밸브장치와 연결되어 공급되는 반도체 공정시 발생하는 부산물이 포집장치를 통과하지 않도록 우회시키기 위한 바이패스관을 갖는 부산물 우회장치; 상기 프레임 일측에 설치되어 방향전환용 밸브장치를 승하강시킬 수 있도록 이루어진 밸브용 리프트장치; 상기 포집장치의 하측에 설치된 차단밸브장치;를 포함하며,
상기 밸브용 리프트장치는, 상하이동을 안내하도록 이루어진 수직레일; 상기 수직레일을 따라 상하이동하며, 방향전환용 밸브장치가 일면에 설치되는 밸브고정브라켓; 상기 밸브고정브라켓을 상하로 이동시키는 상하이동구동수단을 포함하도록 하되, 상기 방향전환용 밸브장치가 설치되는 밸브고정브라켓 전면부에는 상측에서 하측으로 바이패스관이 삽입될 수 있도록 바이패스관용 회피부를 갖는 밸브고정대를 갖도록 하여 방향전환용 밸브장치가 밸브고정브라켓에 고정된 상태에서 프레임의 상부에 구비된 방향전환용 밸브설치대에 고정될 수 있도록 이루어진 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치로 해결할 수 있다.
상기 프레임에는 교체시 방향전환용 밸브장치 또는 포집장치의 출입을 위한 도킹(Docking)장치를 포함한다.
상기 프레임의 둘레에 고온으로부터 안전사고를 방지할 수 있도록 이루어진 고온 차단용 보호커버가 더 설치될 수 있다.
상기 방향전환용 밸브장치와 포집장치를 연결하는 제1 연결배관과, 상기 포집장치와 차단밸브장치를 연결하는 제2 연결배관 각각에는 온도제어를 위한 히팅장치를 갖으며, 상기 히팅장치는 벨로우즈형 히팅자켓으로 이루어진다.
상기 바이패스관에는 온도제어를 위한 바이패스 히팅장치를 갖으며, 상기 바이패스 히팅장치는 벨로우즈형 히팅자켓으로 이루어진다.
상기 프레임 일측에는 운반이동용 대차에 안착되어 이동된 방향전환용 밸브장치 또는 포집장치가 도킹(Docking)장치로 안전한 이동이 이루어질 수 있도록 운반이동용 대차를 고정할 수 있는 고정수단부가 형성되고, 상기 운반이동용 대차에는 안착된 방향전환용 밸브장치 또는 포집장치를 도킹(Docking)장치로 이동시킬 수 있도록 도킹(Docking)장치와 연결되도록 이루어진 이동용 슬라이드장치를 포함한다.
상기 운반이동용 대차에는 방향전환용 밸브장치를 고정할 수 있는 밸브 이동용 지그를 포함하며, 상기 밸브 이동용 지그는 운반이동용 대차에서 도킹(Docking)장치로 이동될 수 있다.
상기 도킹(Docking)장치는, 방향전환용 밸브장치 또는 포집장치의 양측을 지지할 수 있게 소정의 간격으로 이격되게 설치된 슬라이드 대; 상기 슬라이드 대에 설치된 다수의 롤러를 포함한다.
상기 슬라이드 대에 볼트로 고정되어 포집장치를 고정하도록 하는 다수의 고정블럭을 갖는다.
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상기 방향전환용 밸브장치에는 프레임 일측에 구비되는 제어부에서 반도체 배출가스의 이동방향을 확인할 수 있도록 하는 밸브동작센서를 포함한다.
이와 같이 이루어진 본 발명인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치에서는 밸브용 리프트장치를 이용하여 교체시 고중량물인 방향전환용 밸브장치를 안전하게 내리거나 올릴 수 있어 분리 및 설치 작업을 빠르게 진행할 수 있으며, 이로 인하여 포집작업의 중지시간을 최소화 할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치에서는 교체를 위하여 이동되는 고중량인 방향전환용 밸브장치와 포집장치가 운반이동용 대차에 안착되어 이동되며, 이 운반이동용 대차는 프레임 일측에 고정될 수 있도록 하여 운반된 방향전환용 밸브장치와 포집장치가 도킹(Docking)장치에 안전하게 이동할 수 있도록 하고 있다.
또한, 프레임 둘레에 설치된 고온 차단용 보호커버는 작업자들이 고온에 의한 안전사고를 미연에 방지할 수 있도록 하고 있다.
상기 프레임에 구비된 도킹(Docking)장치에는 이동된 포집장치를 바로 고정할 수 있도록 함으로써 작업시간을 줄일 수 있도록 하고 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치의 구성을 파악할 수 있도록 내부를 보인 사시개략도.
도 2는 본 발명의 실시 예인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치의 구성을 파악할 수 있도록 내부를 보인 정면개략도.
도 3은 본 발명의 실시 예인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치의 구성을 파악할 수 있도록 내부를 보인 평면개략도.
도 4는 본 발명의 실시 예인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치의 하측부분의 구성을 파악할 수 있도록 내부를 보인 개략도.
도 5는 본 발명의 실시 예인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치의 구성 중 고온 차단용 보호커버가 설치된 상태의 정면개략도.
도 6은 본 발명의 실시 예인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치의 구성 중 도킹(Docking)장치에 의하여 포집장치의 출입을 설명하기 위한 하측부분의 사시개략도.
도 7은 본 발명의 실시 예인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치에 방향전환용 밸브장치 또는 포집장치를 운반하는 운반이동용 대차가 고정된 상태를 표현한 사시개략도.
도 8은 본 발명의 실시 예인 운반이동용 대차로 운반된 방향전환용 밸브장치가 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장의 프레임 내부로 이동한 후 밸브용 리프트장치로 상승되어 고정설치되는 상태를 표현한 개략도.
도 9는 본 발명의 실시 예인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치의 구성 중 방향전환용 밸브장치를 승하강 시키는 밸브용 리프트장치에 대한 개략도.
도 10은 본 발명의 실시 예인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치의 구성 중 차단밸브에 대한 구성을 나타낸 사시개략도.
도 11은 본 발명의 실시 예인 방향전환용 밸브장치가 운반이동용 대차에 고정설치되어 운반되는 상태를 표현한 개략도.
도 12는 본 발명의 실시 예인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치에 운반이동용 대차를 고정하는 상태를 표현한 사시개략도.
도 13은 본 발명의 실시 예인 포집장치가 운반이동용 대차에 고정설치되어 운반되는 상태를 표현한 개략도.
도 14는 본 발명의 실시 예인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치의 구성 중 방향전환용 밸브의 주요구성에 대한 개략도.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 될 것이며, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
본 발명은 반도체 공정시 발생하는 부산물을 포집할 수 있도록 포집장치와, 상기 포집장치를 교체할 수 있도록 부산물 우회장치와, 상기 포집장치 또는 부산물 우회장치로 이동하도록 방향을 제어하는 방향전환용 밸브장치를 포함하며, 상기 방향전환용 밸브장치의 교체가 용이할 수 있도록 하기 위한 밸브용 리프트장치를 갖는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하도록 한다.
본 발명인 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치는, 직육면체의 형태로 형성되어 내측에 다른 구성들을 설치할 수 있도록 이루어진 프레임(10)과, 상기 프레임(10) 내측에 상부에 위치하여 프로세스 챔버로부터 배출되는 반도체 배출가스의 이동방향을 제어하도록 하는 방향전환용 밸브장치(20)와, 상기 방향전환용 밸브장치(20)와 연결되어 공급되는 반도체 배출가스 내 반도체 공정시 발생하는 부산물을 포집하도록 이루어진 포집장치(30)와, 상기 방향전환용 밸브장치(20)와 연결되어 공급되는 반도체 공정시 발생하는 부산물이 포집장치를 통과하지 않도록 우회시키기 위한 부산물 우회장치(40)와, 상기 프레임(10) 일측에 설치되어 방향전환용 밸브장치(20)를 승하강시킬 수 있도록 이루어진 밸브용 리프트장치(50)와, 상기 포집장치(30)의 하측에 설치된 차단밸브장치(60)와, 상기 프레임(10) 내측에 설치되어 방향전환용 밸브장치(20) 또는 포집장치(30)의 출입이 용이할 수 있도록 하는 도킹(Docking)장치(70)와, 상기 방향전환용 밸브장치(20) 또는 포집장치(30)를 운반하여 도킹(Docking)장치(70)로 운반된 방향전환용 밸브장치(20) 또는 포집장치(30)를 진입시킬 수 있도록 이루어진 운반이동용 대차(100)의 구성을 포함한다.
프레임(10)은, 내측에 다른 구성요소들을 수용할 수 있는 내부공간을 갖도록 이루어지며, 보통 직육면체 형태로 이루어진다.
상부에는 방향전환용 밸브장치(20)가 볼트와 같은 체결부재를 이용하여 고정설치할 수 있도록 이루어진 방향전환용 밸브설치대(11)를 가지며, 전면부 상측에는 온도제어 및 상태표시, 각종 밸브의 상태표시를 표시하는 디스플레이를 갖는 제어부(12)가 구비된다.
상기 프레임(10)의 외측 둘레에는 열을 차단하기 위한 고온 차단용 보호커버(13)로 설치되며, 상기 고온 차단용 보호커버(13)는 양측면용 보호커버, 전면용 보호커버, 배면용 보호커버 등과 같이 다수개로 구성되며, 고정손잡이 또는 볼트와 같은 고정용 체결부재(13a)를 사용하여 탈착가능하게 설치된다.
상기 프레임(10)의 전면부에는 운반이동용 대차(100)를 결합하여 고정시키 위한 고정수단부(15)와, 운반이동용 대차(100)로 운반된 방향전환용 밸브장치(20)와 포집장치(30)의 출입이 가능할 수 있도록 이루어진 출입부(14)를 갖는다.
상기 고정수단부(15)는 위치설정을 위한 핀홀(15a)과, 체결용 나사홀(15b)로 이루어진다.
상기 프레임(10)의 하측 소정의 높이에는 운반이동용 대차(100)로 운반된 방향전환용 밸브장치(20) 또는 포집장치(30)가 슬라이드 방식으로 진입되거나 또는 방향전환용 밸브장치(20) 또는 포집장치(30)가 배출되어 운반이동용 대차(100)으로 이동할 수 있도록 하기 위한 도킹(Docking)장치(70)가 형성된다.
상기 도킹(Docking)장치(70)는 방향전환용 밸브장치(20) 또는 포집장치(30)의 양측을 지지할 수 있게 소정의 간격(폭)으로 이격되게 설치된 슬라이드 대(71)와, 상기 슬라이드 대(71)에 소적의 간격으로 설치된 다수의 롤러(72)의 구성으로 이루어진다.
상기 슬라이드 대(71)에 볼트로 고정되는 다수의 고정블럭(73)을 갖으며, 다수의 상기 고정블럭(73)은 포집장치(30)의 하측을 고정하게 된다. 즉, 상기 도킹(Docking)장치(70)의 슬라이드 대(71)에 놓인 포집장치(30)는 다수의 고정블럭(73)에 의하여 고정되며, 이는 포집장치(30)의 빠른 교체설치가 이루어질 수 있도록 하는 요인이 될 수 있다.
방향전환용 밸브장치(20)는, 프레임(10)의 상측에 위치하여 프로세스 챔버에서 배출되는 반도체 배출가스를 선택적으로 포집장치(30) 또는 부산물 우회장치(40)로 이동할 수 있도록 하는 구성이다. 이러한 방향전환용 밸브장치(20)는 보통 수동전환용 3-방향 밸브가 사용되며, 일측인 유입구는 프로세스 챔버에서 배출되는 반도체 배출가스가 공급될 수 있도록 공급배관(81) 측과 연결되고, 타측인 2개 배출구 중 하나의 배출구는 포집장치(30)과 연결되고, 나머지 배출구는 부산물 우회장치(40)와 연결된다.
즉, 상기 방향전환용 밸브장치(20)는 작업자의 조작으로 반도체 배출가스의 이동방향을 제어하도록 이루어진 수동전환용 3-방향 밸브를 사용함으로써, 전기· 전자적 오류에 의하여 발생할 수 있는 오작동을 미연에 방지할 수 있도록 하고 있다.
이러한 방향전환용 밸브장치(20)는 프로세스 챔버에서 배출되는 반도체 배출가스 내 포함되어 있는 반도체 부산물을 포집하기 위하여 포집장치(30)측으로 반도체 배출가스가 이동할 수 있도록 안내하며, 상기 포집장치(30)의 교체 및 수리 시 부산물 우회장치(40)로 반도체 배출가스가 이동할 수 있도록 안내한다.
상기 방향전환용 밸브장치(20)에는 프로세스 챔버에서 배출되는 반도체 배출가스의 이동방향을 프레임(10) 일측에 구비된 제어부(12)에서 확인할 수 있도록 밸브동작센서(31)를 갖는다.
상기 밸브동작센서(31)는 도 14와 같이 보통 방향전환용 핸들이 설치되는 핸들부(32) 부분에 설치되어 포집장치(30)를 위한 제1 밸브동작센서(31-1)와 부산물 우회장치(40)를 위한 제2 밸브동작센서(31-2)로 구성된다.
상기 제1 밸브동작센서(31-1)와 제2 밸브동작센서(31-2)로 구성된 밸브동작센서(31)는 포집장치(30)와 부산물 우회장치(40) 측방향의 개폐여부의 정보를 제어부(12)를 전달한다.
포집장치(30)는 방향전환용 밸브장치(20)의 하측에 위치하고 제1 연결배관(83)으로 연결되어 반도체 배출가스 내 포함되어 있는 반도체 부산물을 포집하는 구성으로, 포집되는 부산물로 인하여 포집장치(30)는 주기적으로 교체 및 수리(청소)가 이루어진다.
상기 포집장치(30)는 보통 유입된 반도체 배기가스 내의 반도체 제조 부산물이 반응시켜 포집할 수 있도록 하기 위한 히팅수단(가열장치)를 갖으며, 상기 히팅수단(가열장치)는 프레임(10) 전면부에 구비된 디스플레이를 갖는 제어부(12)로 제어될 수 있도록 한다.
상기 포집장치(30)의 하단 양측이 프레임(10)의 도킹(Docking)장치(70)의 슬라이드 대(71)에 구비된 다수의 롤러(72)에 지지되어 슬라이드 방식으로 출입이 용이하고, 인입된 포집장치(30)의 하단은 체결용 볼트로 고정되는 다수의 고정블럭(73)에 의하여 고정되며, 교체시에는 다수의 고정블럭(73)을 분리한 후 운반이동용 대차(100) 측으로 밀어 슬라이드 방식으로 배출하게 된다.
상기 제1 연결배관(83)에는 온도제어를 위한 히팅장치를 갖는다.
상기 히팅장치는 프레임(10) 전면부에 구비된 디스플레이를 갖는 제어부(12)로 제어될 수 있도록 하며, 보통 벨로우즈형 히팅자켓으로 이루어진다.
부산물 우회장치(40)는, 일단은 방향전환용 밸브장치(20)에 연결되고, 타단은 차단밸브장치(60)의 하측에 설치된 배기배관(82)에 연결되는 바이패스배관(41)으로 이루어진다.
상기 부산물 우회장치(40)는 포집장치(30)의 교체 또는 수리시 반도체 배출가스를 포집장치(30)로 이동하지 않고 우회시키는 구성이다.
상기 바이패스배관(41)에는 온도제어를 위한 바이패스 히팅장치가 설치된다.
상기 바이패스 히팅장치는 프레임(10) 전면부에 구비된 디스플레이를 갖는 제어부(12)로 온도가 제어될 수 있도록 하며, 보통 벨로우즈형 히팅자켓으로 이루어진다.
밸브용 리프트장치(50)는, 도킹(Docking)장치(70)로 인입된 방향전환용 밸브장치(20)를 상측으로 승상시키거나, 상측에 위치한 방향전환용 밸브장치(20)를 하측으로 하강시킬 수 있도록 하는 구성이다.
상기 밸브용 리프트장치(50)는, 프레임(10) 내측에 수직방향으로 배치되게 설치되어 상하이동을 안내하도록 이루어진 수직레일(51)과, 상기 수직레일(51)을 따라 상하이동하는 밸브고정브라켓(52)과, 상기 밸브고정브라켓(52)을 상하이동시키는 상하이동구동수단(53)을 포함한다.
상기 수직레일(51)은 소정의 간격으로 이격되도록 프레임(10) 내측 양측에 고정결합되는 LM레일을 갖는 레일대로 이루어진다.
상기 밸브고정브라켓(52)은 수직레일(51)을 따라 상하이동할 수 있도록 수직레일(51)에 결합되며, 일면인 전면부에는 방향전환용 밸브장치(20)를 상하로 승하강시킬 수 있도록 방향전환용 밸브장치(20) 고정을 위한 다수의 볼트홀이 형성된 밸브고정대(54)가 형성되며, 상기 밸브고정대(54)는 방향전환용 밸브장치(20)가 고정된 상태에서 일측에 부산물 우회장치(40)인 바이패스배관(41)이 상측에서 하측으로 삽입될 수 있도록 'U'자 형태로 이루어진 바이패스관용 회피부(54a)를 갖는다.
상기 상하이동구동수단(53)은 중량물인 방향전환용 밸브장치(20)가 고정결합된 상태의 밸브고정브라켓(52)을 상하로 이동시키기 위한 구성으로, 구동용 윈치(53-1)와, 일단은 구동용 윈치(53-1)에 설치되고 타단은 밸브고정브라켓(52)에 설치된 와이어(53-2)와, 상기 와이어(53-2)를 안내하는 안내롤러(도르래)(53-3)를 포함한다.
이러한 상기 밸브용 리프트장치(50)는 도킹(Docking)장치(70)로 인입된 방향전환용 밸브장치(20)를 밸브고정브라켓(52)에 볼트와 같은 체결부재를 이용하여 고정을 시키고, 상하이동구동수단(53)으로 방향전환용 밸브장치(20)가 고정결합된 밸브고정브라켓(52)을 상승시킨다.
상승한 상기 방향전환용 밸브장치(20)는 밸브고정브라켓(52)에 고정된 상태에서 프레임(10)의 상부에 구비된 방향전환용 밸브설치대(11)에 볼트와 같은 체결부재로 고정설치된다.
상기 방향전환용 밸브장치(20)의 교체 및 수리를 위하여 분리하고자 할 경우에는 고정설치를 위한 볼트와 같은 체결부재를 풀어 방향전환용 밸브설치대(11)에서 분리한 후 상하이동구동수단(53)으로 방향전환용 밸브장치(20)가 고정결합된 밸브고정브라켓(52)을 하강시킨다.
차단밸브장치(60)는 포집장치(30)의 하측에 위치하고, 제2 연결배관(84)으로 포집장치(30)와 연결되는 상측의 유입구(61)와, 상기 상측의 유입구(61)의 타측으로 배기배관(82)과 연결되는 하측의 배출구(62)와, 상기 상측의 유입구(61)와 하측의 배출구(62)로 형성되는 유로를 차단하도록 내측에 슬라이드 형태로 이루어진 개폐판(63)과, 상기 개폐판(63)을 구동시키는 개폐판 구동장치(64)로 구성된다.
상기 제2 연결배관(84)에는 전술된 제1 연결배관(83)과 같이 온도제어를 위한 히팅장치를 갖는다.
상기 히팅장치는 프레임(10) 전면부에 구비된 디스플레이를 갖는 제어부(12)로 제어될 수 있도록 하며, 보통 벨로우즈형 히팅자켓으로 이루어진다.
운반이동용 대차(100)는 중량물인 방향전환용 밸브장치(20)와 포집장치(30)를 운반하는 구성으로, 상부에는 운반되는 방향전환용 밸브장치(20)와 포집장치(30)가 도킹(Docking)장치(70) 측으로 슬라이드 방식으로 이동할 수 있도록 이루어진 이동용 슬라이드장치(120)를 갖는다.
상기 운반이동용 대차(100)는 프레임(10)의 도킹(Docking)장치(70)에 운반되는 방향전환용 밸브장치(20)와 포집장치(30)가 안정된 상태로 출입할 수 있도록 프레임(10) 전면부에 고정결합된다.
상기 운반이동용 대차(100)는 이동을 위하여 하측에 이동용 바퀴(111)를 갖는 이동대차(110)와, 상기 이동대차(110)의 상부에 설치된 이동용 슬라이드장치(120)와, 상기 이동대차(110)의 일면에 프레임(10) 전면부에 형성된 고정수단부(15)와 결합되어 프레임(10)에 고정될 수 있도록 하는 결합부(130)의 구성을 포함한다.
상기 이동용 슬라이드장치(120)는 전술된 도킹(Docking)장치(70)와 같이 방향전환용 밸브장치(20) 또는 포집장치(30)의 양측을 지지할 수 있게 소정의 간격(폭)으로 이격되게 설치된 대차용 슬라이드 대(121)와, 상기 대차용 슬라이드 대(121)에 소적의 간격으로 설치된 다수의 롤러(122)의 구성으로 이루어진다.
상기 대차용 슬라이드 대(121)에 볼트로 고정되는 다수의 고정블럭(123)을 갖으며, 다수의 상기 고정블럭(123)은 운반할 방향전환용 밸브장치(20) 또는 포집장치(30)를 운반시 추락을 방지할 수 있도록 고정한다.
상기 방향전환용 밸브장치(20)는 밸브이동용 지그(90)를 이용하여 이동용 슬라이드장치(120)에 놓여진다(안착된다).
상기 결합부(130)는 고정수단부(15)의 위치설정을 위한 핀홀(15a)에 삽입되는 결합핀(131)과, 체결용 나사홀(15b)에 결합되는 대차 체결용 볼트(132)로 이루어진다.
1 : 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치
10 : 프레임
11 : 방향전환용 밸브설치대 12 : 제어부
13 : 고온 차단용 보호커버 14 : 출입부
15 : 고정수단부
20 : 방향전환용 밸브장치
30 : 포집장치
40 : 부산물 우회장치
41 : 바이패스배관
50 : 밸브용 리프트장치
51 : 수직레일 52 : 밸브고정브라켓
53 : 상하이동구동수단 54 : 밸브고정대
60 : 차단밸브장치
61 : 유입구 62 : 배출구
63 : 개폐판 64 : 개폐판 구동장치
70 : 도킹(Docking)장치
71 : 슬라이드 대 72 : 롤러
73 : 고정블럭
81 : 공급배관 82 : 배기배관
83 : 제1 연결배관 84 : 제2 연결배관
100 : 운반이동용 대차
110 : 이동대차
120 : 이동용 슬라이드장치
130 : 결합부

Claims (14)

  1. 프로세스 챔버와 진공 펌프 사이에 위치하여 반도체 공정시 발생하는 부산물을 포집하도록 이루어진 부산물 포집장치에 있어서,
    프레임; 상기 프레임 내측에 상부에 위치하고, 프로세스 챔버로부터 공급되는 부산물의 이동방향을 제어하도록 하는 방향전환용 밸브장치; 상기 방향전환용 밸브장치와 연결되어 공급되는 반도체 공정시 발생하는 부산물을 포집하도록 이루어진 포집장치; 상기 방향전환용 밸브장치와 연결되어 공급되는 반도체 공정시 발생하는 부산물이 포집장치를 통과하지 않도록 우회시키기 위한 바이패스관을 갖는 부산물 우회장치; 상기 프레임 일측에 설치되어 방향전환용 밸브장치를 승하강시킬 수 있도록 이루어진 밸브용 리프트장치; 상기 포집장치의 하측에 설치된 차단밸브장치;를 포함하며,
    상기 밸브용 리프트장치는, 상하이동을 안내하도록 이루어진 수직레일; 상기 수직레일을 따라 상하이동하며, 방향전환용 밸브장치가 일면에 설치되는 밸브고정브라켓; 상기 밸브고정브라켓을 상하로 이동시키는 상하이동구동수단을 포함하도록 하되, 상기 방향전환용 밸브장치가 설치되는 밸브고정브라켓 전면부에는 상측에서 하측으로 바이패스관이 삽입될 수 있도록 바이패스관용 회피부를 갖는 밸브고정대를 갖도록 하여 방향전환용 밸브장치가 밸브고정브라켓에 고정된 상태에서 프레임의 상부에 구비된 방향전환용 밸브설치대에 고정될 수 있음을 특징으로 하는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프레임에는 교체시 방향전환용 밸브장치 또는 포집장치의 출입을 위한 도킹(Docking)장치를 포함함을 특징으로 하는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 프레임의 둘레에 고온으로부터 안전사고를 방지할 수 있도록 이루어진 고온 차단용 보호커버가 설치됨을 특징으로 하는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 방향전환용 밸브장치와 포집장치를 연결하는 제1 연결배관과, 상기 포집장치와 차단밸브장치를 연결하는 제2 연결배관 각각에는 온도제어를 위한 히팅장치를 갖음을 특징으로 하는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 히팅장치는 벨로우즈형 히팅자켓으로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 바이패스관에는 온도제어를 위한 바이패스 히팅장치를 갖음을 특징으로 하는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 바이패스 히팅장치는 벨로우즈형 히팅자켓으로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 프레임 일측에는 운반이동용 대차에 안착되어 이동된 방향전환용 밸브장치 또는 포집장치가 도킹(Docking)장치로 안전한 이동이 이루어질 수 있도록 운반이동용 대차를 고정할 수 있는 고정수단부가 형성되고,
    상기 운반이동용 대차에는 안착된 방향전환용 밸브장치 또는 포집장치를 도킹(Docking)장치로 이동시킬 수 있도록 도킹(Docking)장치와 연결되도록 이루어진 이동용 슬라이드장치를 포함함을 특징으로 하는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 운반이동용 대차에는 방향전환용 밸브장치를 고정할 수 있는 밸브 이동용 지그를 포함하며,
    상기 밸브 이동용 지그는 운반이동용 대차에서 도킹(Docking)장치로 이동됨을 특징으로 하는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치.
  10. 제2항 또는 제8항 또는 제9항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 도킹(Docking)장치는,
    방향전환용 밸브장치 또는 포집장치의 양측을 지지할 수 있게 소정의 간격으로 이격되게 설치된 슬라이드 대;
    상기 슬라이드 대에 설치된 다수의 롤러;
    를 포함함을 특징으로 하는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 슬라이드 대에 볼트로 고정되어 포집장치를 고정하도록 하는 다수의 고정블럭을 갖음을 특징으로 하는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치.
  12. 제1항 내지 제9항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 방향전환용 밸브장치에는 프레임 일측에 구비되는 제어부에서 반도체 배출가스의 이동방향을 확인할 수 있도록 하는 밸브동작센서를 포함함을 특징으로 하는 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치.
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