JP2002261002A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 駆動源装置に接続し、該駆動源装置により駆動される露光装置において、
   前記駆動源装置は複数の駆動源ユニットによって構成されており、
   前記駆動源ユニットのそれぞれを収納する複数の分割収納部を備えることを特徴とする露光装置。
2. 請求項１に記載の露光装置において、
   前記分割収納部のそれぞれは積層可能であり、前記分割収納部を設置する空間に応じて前記分割収納部の積層数が設定されることを特徴とする露光装置。
3. 請求項１又は２に記載の露光装置において、
   前記分割収納部のそれぞれは、前記分割収納部を設置する空間を２つの空間に仕切る床部の上方と下方とに分けて配置されることを特徴とする露光装置。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置において、
   前記分割収納部のそれぞれは、前記駆動源ユニットのそれぞれに対して所定の処理を行うための処理部を備えることを特徴とする露光装置。
5. 請求項４に記載の露光装置において、
   前記分割収納部のそれぞれは、前記処理部のそれぞれを接続するための処理部用コネクタ部を備えており、
   複数の処理部のうち少なくとも１つの処理部を処理することによって他の処理部も処理されることを特徴とする露光装置。
6. 請求項５に記載の露光装置において、
   前記複数の処理部のうち少なくとも１つの処理部に対して操作入力することにより他の処理部も処理され、
   前記操作入力される処理部は任意に切り替え可能であることを特徴とする露光装置。
7. 請求項４〜６のいずれかに記載の露光装置において、
   前記処理部は前記駆動源ユニットの動作を停止可能なブレーカーを含むことを特徴とする露光装置。
8. 請求項１〜７のいずれかに記載の露光装置において、
   前記分割収納部のそれぞれは、前記駆動源ユニットのそれぞれを接続するための駆動源用コネクタ部を備えており、
   複数の駆動源ユニットのうち少なくとも１つの駆動源ユニットが露光装置と接続されることにより、他の駆動源ユニットも前記駆動源用コネクタ部を介して接続されることを特徴とする露光装置。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載の露光装置において、
   パターンを基板に露光する露光本体装置及びこの本体装置に接続される複数の周辺装置からなる複数のモジュールを備え、
   前記駆動源ユニットのそれぞれは前記モジュールのそれぞれに対応して設けられており、
   前記モジュールのそれぞれと前記駆動源ユニットのそれぞれとは着脱可能に接続されることを特徴とする露光装置。
10. 請求項１〜９のいずれかに記載の露光装置において、
    前記分割収納部のそれぞれは、前記駆動源ユニットどうし又は前記駆動源ユニットと露光装置とを接続するケーブルを通すための開口部を複数位置に備えていることを特徴とする露光装置。
11. 駆動源装置に接続し、該駆動源装置により駆動される露光装置において、
    前記駆動源装置を収納する収納装置を備え、
    前記収納装置は、前記駆動源装置と露光装置とを接続するケーブルを通すための開口部を複数位置に備えていることを特徴とする露光装置。
12. 請求項１１に記載の露光装置において、
    前記収納装置は、複数の開口部のうち少なくとも１つの開口部を上方位置に備えていることを特徴とする露光装置。
13. 複数の駆動源ユニットにより駆動される露光装置において、
    前記駆動源ユニットを少なくとも一つ収納し、互いに連結可能な複数の分割収納部を備え、
    前記分割収納部は、前記分割収納部が設置される空間の床面積及び高さに応じて配設されることを特徴とする露光装置。
14. 前記分割収納部は互いに積層配置が可能であり、前記分割収納部が設置される空間の床面積および高さに基づいて積層数が設定されることを特徴とする請求項１３に記載の露光装置。
15. 前記分割収納部と前記露光装置とを接続する接続ケーブルを有し、前記分割収納部は、前記接続ケーブルの長さが最短となるように配設されることを特徴とする請求項１３または１４に記載の露光装置。
16. 前記分割収納部は、前記露光装置が設置された床の床下空間に設置され、前記分割収納部は、前記分割収納部の設置面積が前記露光装置の設置面積以下となるように配設されることを特徴とする請求項１３から１５のいずれか一項に記載の露光装置。