JP2007203599A - 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】相対峙する金型内で基板を樹脂にて封止する樹脂封止装置110において、金型のうちの下金型114側に、複数の階段状のフラット面132、142を有する第1、第2補正体(金型位置補正機構A)130、140を配置する。各フラット面132、142の型締め開始時に取るべき型締め方向の最適位置に関する指標を、ソフトクランプ状態における第1、第2検出体(最適位置検出機構B)190、192の相対位置で検出し、最適位置まで金型位置補正機構A(の第2補正体140)を駆動する。
【選択図】図1
Description
基板116がクランプされていない状態で原点検出を行う。下チェイス114A、第1補正体130及び第1検出体190は、ばね155によってフローティングされている。原点は第2補正体140が図6(1)の右側の竪壁部114Bと当接する位置(ストロークエンド)である。
通常の型締めに比べ十分に弱い荷重(1〜3〔ton〕程度)で型締め(ソフトクランプ)を行う。ソフトクランプ状態とは、ここでは、ばね155の付勢力によってクランプされる状態である。このとき、第2補正体140及び第2検出体192は、事前にフローティングしていた第1補正体130及び第1検出体190がソフトクランプにより押し下げられても接触しない位置(フリー位置)に移動しておく。このソフトクランプ状態の位置を待機位置とする。
次に、基板116の厚み(基板の種類やばらつきに起因して変動する厚み)に対応する「最適位置」の指標を得るために、前記ソフトクランプ状態において第1、第2検出体190、192の第1、第2テーパ面194、196同士を衝突させ、テーパ面194、196の間にあった隙間をなくす。このとき、サーボモータ152のエンコーダの読値から計算される第2補正体140を介した第2検出体192の位置を以って最適位置の指標を求める(後述)。
基板116の厚みに対応する最適位置の指標を検出できたならば、ソフトクランプを解除する。
基板116の厚みを補正可能な「最適位置」に第2補正体140(及び第2検出体192)をソフトクランプが解除されている状態(フリー状態)で移動させる。その移動量は「(最適位置に対応する値)+(基板潰し量分)」である。基板つぶし量とは、樹脂封止の際に丁度封止可能な位置より更に型締めすることにより、封止の確実性を担保するときのその上乗せ分の締め代をいう。このつぶし量は、基板の種類によって異なる値で事前にコントローラに入力される。これについても後述する。
補正のための移動が完了したならば、そこで本クランプを開始し本来の成形・樹脂封止を行う。
成形が完了したら、クランプを解除し製品を搬出する。
上記動作の(1)に戻る。
112…上金型
112A…上チェイス
114…下金型
114A…下チェイス
116…基板
116A…基板の表面
116B…基板の裏面
130…第1補正体
132…(第1補正体の)フラット面
140…第2補正体
142…(第2補正体の)フラット面
152…サーボモータ
154…ボールねじ
190…第1検出体
192…第2検出体
194…第1テーパ面
196…第2テーパ面
Claims (7)
- 相対峙する金型内で被封止材を樹脂にて封止する樹脂封止装置において、
前記金型の少なくとも一方側に対して付設され、該金型の型締め方向の位置を補正可能な金型位置補正機構と、
該金型位置補正機構がフリーの状態で前記金型をソフトクランプすることにより、該金型位置補正機構が型締め開始時に取るべき型締め方向の最適位置の指標を検出可能な最適位置検出機構と、
該最適位置検出機構によって検出された最適位置の指標に基づいて、前記金型位置補正機構を該最適位置に対応する位置にまで駆動する駆動機構と、を備えた
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1において、
前記金型位置補正機構が、相対向して配置され、それぞれが前記金型の型締め面と平行で、且つ該型締め面からの距離が順次異なる位置に形成された複数の階段状のフラット面を有する構成とされた一対の金型位置補正体を有し、
最適位置検出機構が、前記階段状のフラット面が互いに当接していない状態で前記金型をソフトクランプすることにより、前記一対の金型位置補正体が型締め開始時に取るべき型締め方向の最適位置の指標を検出するものであり、
前記駆動機構が、該最適位置検出機構によって検出された最適位置の指標に基づいて、前記金型位置補正機構の前記金型位置補正体のうちの一方を、他方に対して前記フラット面と平行な方向に変位させ、該最適位置に対応する位置にまで駆動する構成とされた
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項2において、
前記最適位置検出機構が、前記金型位置補正体の前記フラット面の前記型締め面からの距離が順次変化してゆく傾斜とは逆に傾斜した一対のテーパ面を備え、且つこの一対のテーパ面のうちの一方が前記駆動機構によって前記金型位置補正体の一方と共に駆動可能とされている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1または2において、
前記最適位置検出機構が、一対のテーパ面を備え、
トラブルにより前記金型が型締め方向に固着された状態が形成されたときに、該最適位置検出機構のテーパ面を利用して該固着状態となった金型を強制的に離反可能に構成した
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1〜4のいずれかにおいて、
前記駆動機構によって前記金型位置補正機構を前記最適位置にまで駆動する際に、被封止部材のつぶし量を考慮する
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 相対峙する金型内で被封止材を樹脂にて封止する樹脂封止方法において、
前記金型をソフトクランプする工程と、
該ソフトクランプ状態において、被封止部材に対して金型が型締め開始時に取るべき型締め方向の最適位置に関する指標を検出する工程と、
前記ソフトクランプを解除する工程と、
該ソフトクランプを解除した状態で、検出された最適位置の指標に基づいて、前記金型の型締め方向の位置を該最適位置の指標に対応する位置に補正・位置決めする工程と、
最適位置の指標に対応する位置に補正・位置決めされた金型により、本来の樹脂封止を行う工程と、を含むことを特徴とする樹脂封止方法。 - 請求項6において、更に、
前記検出された最適位置の指標が、予め想定された範囲内に収まらなかった場合には、これから封止しようとする被封止部材に何らかの異常が発生していると認識する工程を含むことを特徴とする樹脂封止方法。
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