JP4513294B2 - 積層体ブロックのプレス装置 - Google Patents

Description

この発明は、積層セラミック電子部品の製造において用いられる積層体ブロックのプレス装置に関するもので、特に、積層された複数のセラミックグリーンシートをもって構成される積層体ブロックから所定の部分を切り離すとともに当該所定の部分をプレスするために用いられる、積層体ブロックのプレス装置に関するものである。

たとえば積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を製造しようとする場合、通常、積層された複数のセラミックグリーンシートをもって構成された積層体ブロックが用意され、この積層体ブロックから所定の部分を切り出して、複数の積層セラミック電子部品のためのマザー積層体を取り出すことが行なわれる。また、マザー積層体は、積層方向にプレスされ、積層された複数のセラミックグリーンシート間の密着性が高められる。次に、マザー積層体は、個々の積層セラミック電子部品のための複数の積層体チップを取り出すため、さらにカットされる。このようにして得られた積層体チップは、次いで、焼成され、積層セラミック電子部品のための部品本体として用いられる。

図１０には、上述したプレス工程の結果生じ得るマザー積層体１の不所望な挙動が平面図で図示されている。図１０において、破線でプレス前の状態を示し、実線でプレス中の状態を示している。破線で示したものと実線で示したものとを比較すればわかるように、プレス中のマザー積層体１にあっては、その各辺が外側に膨らむように変形する傾向がある。

他方、マザー積層体１に備える複数のセラミックグリーンシート間の特定の界面には、印刷等によって、内部導体膜が形成されている。得ようとする積層セラミック電子部品に備えるセラミック層となるセラミックグリーンシートがより薄層化されたり、セラミックグリーンシートおよび内部導体膜がより多層化されたりするほど、内部導体膜が存在する部分と存在しない部分との間、あるいは内部導体膜が比較的多く存在する部分と比較的少なく存在する部分との間で、内部導体膜の厚みに起因して、マザー積層体１の各部分での厚みの差が大きくなる。

上述のような厚みの差は、得られた積層セラミック電子部品において、構造欠陥を生じさせる原因となる。そこで、これを防止するためには、プレス工程において付与される加熱温度を高めたり、プレス圧力を高めたりする必要がある。しかしながら、マザー積層体１において、図１０に示したような不所望な変形が生じやすくなる傾向は、プレス工程において付与される加熱温度が高くなるほど、また、プレス圧力が高くなるほど、より顕著になる。

また、図１０に示したマザー積層体１の変形は、このような内部導体膜の歪みや変位をもたらす。その結果、マザー積層体１をカットして複数の積層体チップを取り出したとき、いくつかの積層体チップについては、内部導体膜の形成状態が不良となっていることがある。

上述の問題を解決し得るプレス装置として、図１１および図１２を参照して説明するようなものが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。

図１１は、この発明にとって興味ある従来のプレス装置３を一部破断して示す正面図であり、図１２は、図１１に示したプレス装置３の主要部を拡大して示す断面図である。

図１１および図１２において、積層体ブロック４が図示されている。積層体ブロック４は、詳細には図示しないが、積層された複数のセラミックグリーンシートをもって構成されるもので、セラミックグリーンシート間の特定の界面に沿って、内部導体膜が形成されている。また、積層体ブロック４は、たとえばポリエチレンテレフタレートのような樹脂からなるバックフィルム５によって裏打ちされている。

プレス装置３は、上述のような積層体ブロック４を載置するための下部圧盤６を備えている。下部圧盤６は、プレス台７とこのプレス台７上に載置されかつ積層体ブロック４を載置するための載置ベース８とを備えている。載置ベース８は、プレス台７とは分離可能であり、積層体ブロック４は、載置ベース８上に載置された状態で搬送される。プレス台７には、プレス工程において積層体ブロック４を加熱するため、図示しないが、ヒータが内蔵される。

プレス装置３は、また、積層体ブロック４を介して下部圧盤６に対向するように配置された上部圧盤９を備えている。上部圧盤９は、下部圧盤６に対して相対的に近接・離隔可能に設けられ、下部圧盤６に対して近接することによって、積層体ブロック４の所定の部分にプレス作用を及ぼすようにされている。上部圧盤９は、プレス工程において積層体ブロック４を加熱するため、図示しないが、ヒータを内蔵している。

また、プレス装置３は、上部圧盤９を取り囲むように配置されたカット刃１０を備えている。カット刃１０は、上部圧盤９に対して上下動可能に上部圧盤９によって保持されている。また、カット刃１０は、その刃先部分１１が上部圧盤９の下面より突出するように、スプリング１２によって付勢されている。したがって、カット刃１０は、上部圧盤９とともに、下部圧盤６に対して相対的に近接・離隔可能であり、下部圧盤６に対して近接することによって、積層体ブロック４をカットして積層体ブロック４から所定の部分を切り出すようにされている。なお、積層体ブロック４から所定の部分を切り出すことによって得られたものが、図１０に示したマザー積層体１に相当している。

このような構成を有するプレス装置３において、上部圧盤９と下部圧盤６とが相対的に近接することによって、次のような動作が達成される。

まず、カット刃１０の刃先部分１１が上部圧盤９の下面より突出しているので、カット刃１０によって積層体ブロック４がカットされる。このとき、バックフィルム５は、次のような作用する。カット刃１０が下部圧盤６に対して近接して、その刃先部分１１が載置ベース８に衝突する際にもたらされる衝撃をバックフィルム５が和らげ、刃先部分１１での破損を生じさせにくくする。また、カット刃１０によって、バックフィルム５の厚み方向の少なくとも一部をもカットするようにして、積層体ブロック４が厚み方向に完全にカットされることを保証する。

次に、上述のように、カット刃１０が積層体ブロック４をカットした後、このカット刃１０が下部圧盤６に対して近接した状態に維持されながら、スプリング１２の弾性に抗して、上部圧盤９と下部圧盤６とがさらに近接し、積層体ブロック４が上部圧盤９と下部圧盤６とによって積層方向にプレスされる。この状態が図１２に示されている。

図１２を参照して、矢印１３で示すようなプレス圧力が積層体ブロック４に及ぼされたとき、積層体ブロック４が有する流動性によって、矢印１４で示すような応力が生じるが、この応力１４は、カット刃１０によって受け止められる。すなわち、カット刃１０は、プレス工程での金型の一部として機能し、プレス工程において生じ得る図１０に示すような変形を抑制するように作用する。
特開２００３−１３６５１５号公報

しかしながら、図１１および図１２に示したプレス装置３では、上述のように、カット刃１０を金型の一部として機能させるため、カット刃１０の形状が限定される。すなわち、カット刃１０の切れ味を優先すると、カット刃１０の刃先部分１１を肉薄にする必要があるが、この場合には、カット刃１０の刃先部分１１が、応力１４の作用で、図１２において矢印１５で示すように外方へと膨らむように変形しやすくなる。したがって、カット刃１０を、金型の一部として十分に機能させることができない。他方、カット刃１０の強度を優先すると、カット刃１０の刃先部分１１が肉厚になり、良好な切断状態を得ることができなくなる。その結果、カット部分の近傍に位置する積層体ブロック４内の内部導体膜が歪むことがある。

なお、上述のような不都合を回避するためには、プレス工程での加熱温度を低くしたり、プレス圧力１３を低くしたりすることが考えられるが、これらの場合には、得られた積層セラミック電子部品において、構造欠陥が発生しやすくなってしまう。

そこで、この発明の目的は、上述のような問題を解決し得る、積層体ブロックのプレス装置を提供しようとすることである。

この発明に係る積層体ブロックのプレス装置は、積層された複数のセラミックグリーンシートをもって構成された積層体ブロックから所定の部分を切り出すとともに当該所定の部分をプレスするために用いられるものである。

このプレス装置は、積層体ブロックを載置するための下部圧盤と、積層体ブロックを介して下部圧盤に対向するように配置され、下部圧盤に対して相対的に近接・離隔可能に設けられ、かつ、下部圧盤に対して近接することによって、積層体ブロックの所定の部分にプレス作用を及ぼすようにされた、上部圧盤と、上部圧盤を取り囲むように配置され、下部圧盤に対して相対的に近接・離隔可能に設けられ、かつ、下部圧盤に対して近接することによって、積層体ブロックをカットして積層体ブロックから所定の部分を切り出すようにされた、カット刃とを備えている。

また、このプレス装置は、カット刃によって積層体ブロックをカットした後、カット刃が下部圧盤に対して近接した状態に維持されながら、上部圧盤と下部圧盤とによる積層体ブロックへのプレス作用が及ぼされるように制御される。

このような積層体ブロックのプレス装置において、前述した技術的課題を解決するため、この発明では、上部圧盤と下部圧盤とによって積層体ブロックにプレス作用を及ぼしている間、カット刃の外方への変形を抑制するための変形抑制手段を備えることを特徴としている。

上述の変形抑制手段は、第１の実施態様では、下部圧盤に設けられる溝によって与えられる。この溝は、積層体ブロックをカットした後のカット刃の刃先部分を受け入れるものである。

上記溝は、積層体ブロックをカットした後のカット刃の刃先部分の外側に向く側面に接する内側面を有していることが好ましい。

より好ましくは、カット刃の刃先部分は、外側に向く側面においてのみ傾斜していて、溝は、刃先部分の傾斜した外側に向く側面に接するように傾斜した内側面を有している。

溝は、その底部に、カット刃の刃先部分の最先端が接しないようにするための凹部を有していることが好ましい。

下部圧盤が、プレス台とプレス台上に載置されかつ積層体ブロックを載置するための載置ベースとを備えている場合、溝は、載置ベースに設けられることが好ましい。

変形抑制手段は、第２の実施態様では、積層体ブロックをカットした後のカット刃の刃先部分の外側に向く側面に当接するように移動する押圧部材を備えている。

また、第３の実施態様では、カット刃は、刃先部分と刃先部分より肉厚の基部とを備え、変形抑制手段は、基部によって与えられ、積層体ブロックをカットした後のカット刃は、基部において、積層体ブロックに接するように位置される。

この発明において、カット刃は、上部圧盤に対して上下動可能に上部圧盤によって保持されることが好ましい。

また、この発明は、上部圧盤と下部圧盤とによる積層体ブロックへのプレス圧力が５０ＭＰａ以上であるとき、特に有利に適用される。

この発明によれば、カット刃の外方への変形を抑制するための変形抑制手段を備えているので、上部圧盤と下部圧盤とによって積層体ブロックにプレス作用を及ぼしている間、プレス圧力によって生じる、カット刃を外方へ変形させようとする応力にも関わらず、カット刃の外方への変形を抑制することができる。したがって、カット刃を、金型の一部として十分に機能させることができ、そのため、プレス圧力を問題なく高めることができる。その結果、得られた積層セラミック電子部品において、構造欠陥を生じさせにくくすることができる。

また、カット刃の外方への変形を抑制するため、カット刃の剛性にのみ頼る必要がなくなるため、カット刃の刃先部分を肉薄にすることができる。したがって、カット刃において良好な切れ味を確保でき、その結果、カット部分近傍での内部導体膜の歪みを生じさせにくくすることができる。

この発明において、変形抑制手段が、下部圧盤に設けられる溝によって与えられ、この溝が、積層体ブロックをカットした後のカット刃の刃先部分を受け入れるようにすれば、溝を設けるといった簡単な構成によって、変形抑制手段を実現することができる。

上述の溝が、積層体ブロックをカットした後のカット刃の刃先部分の外側に向く側面に接する内側面を有していると、カット刃の外方への変形をより確実に抑制することができる。

上述の場合において、カット刃の刃先部分は、外側に向く側面においてのみ傾斜していて、溝は、刃先部分の傾斜した外側に向く側面に接するように傾斜した内側面を有していると、カット刃の上下動での下端位置を調整するだけで、刃先部分の外側に向く側面を溝の内側面に接触させた状態を得ることができる。また、カット刃の刃先部分の内側に向く側面は、カット刃の相対的移動方向に対して平行に延びているので、積層体ブロックに形成されるカット面を、積層体ブロックの主面に対して常に垂直に延びる状態とすることができる。

また、積層体ブロックをカットした後のカット刃の刃先部分が、下部圧盤に設けられた溝によって受け入れられるので、図１１および図１２に示したバックフィルム５を用いなくても、積層体ブロックの厚み方向での完全なカット状態を確実に達成することができる。

上述のように、刃先部分の外側に向く側面と溝の内側面とが接する場合、溝の底部に、カット刃の刃先部分の最先端が接しないようにするための凹部が設けられていると、カット刃の刃先部分での破損を生じさせにくくすることができる。そのため、図１１および図１２に示したバックフィルム５を特に用いなくてもよいようになるので、バックフィルムに関するコストを削減することができる。

下部圧盤が、プレス台とプレス台上に載置されかつ積層体ブロックを載置するための載置ベースとを備えている場合において、溝が、載置ベースに設けられると、プレス台に対する変更が不要で、載置ベースに対してのみ溝を設けるための加工を施せば足りるので、この発明に係る特徴的構成を安価に実現することができる。

この発明において、変形抑制手段として、積層体ブロックをカットした後のカット刃の刃先部分の外側に向く側面に当接する押圧部材が適用されると、カット刃の剛性に全く頼ることなく、カット刃の外方への変形を抑制することができる。したがって、変形抑制効果が高められ、プレス圧力をより高めることが可能になる。

この発明において、カット刃が、刃先部分と刃先部分より肉厚の基部とを備える場合、変形抑制手段を、基部によって与え、積層体ブロックをカットした後のカット刃が、基部において、積層体ブロックに接するように位置されると、カット刃の形状およびカット刃の上下動での下端位置を調整するだけで、この発明による特徴的構成を実現することができる。

この発明において、カット刃が、上部圧盤に対して上下動可能に上部圧盤によって保持されていると、カット刃によって積層体ブロックをカットした後、カット刃が下部圧盤に近接した状態に維持されながら、上部圧盤と下部圧盤とによる積層体ブロックへのプレス作用が及ぼされるように制御するための機構をより簡易なものとすることができる。

上部圧盤と下部圧盤とによる積層体ブロックへのプレス圧力が５０ＭＰａ以上と高いとき、カット刃の外方への変形がより生じやすくなるので、この発明による変形抑制手段がより顕著に機能することになる。

図１ないし図４は、この発明の第１の実施形態を説明するためのものである。ここで、図１は、前述の図１１に対応する図であって、積層体ブロックのプレス装置２１を一部破断して示す正面図である。図２ないし図４は、図１に示したプレス装置２１の主要部を拡大して示す断面図である。なお、図２ないし図４には、プレス装置２１においてもたらされる典型的な状態の各々が動作順に示されている。

図１ないし図４には、積層体ブロック２２が図示されている。積層体ブロック２２は、詳細には図示しないが、図１１および図１２に示した積層体ブロック４の場合と同様、積層された複数のセラミックグリーンシートをもって構成されるもので、セラミックグリーンシート間の特定の界面に沿って、内部導体膜が形成されている。なお、この実施形態では、積層体ブロック２２は、バックフィルムによって裏打ちされる必要はない。

プレス装置２１は、積層体ブロック２２を載置するための下部圧盤２３を備えている。下部圧盤２３は、この実施形態では、プレス台２４とこのプレス台２４上に載置されかつ積層体ブロック２２を載置するための載置ベース２５とを備えている。載置ベース２５は、プレス台２４とは分離可能であり、積層体ブロック２２は、載置ベース２５上に載置された状態で搬送される。プレス台２４には、プレス工程において積層体ブロック２２を加熱するため、図示しないが、ヒータが内蔵される。

プレス装置２１は、また、積層体ブロック２２を介して下部圧盤２３に対向するように配置された上部圧盤２６を備えている。上部圧盤２６は、下部圧盤２３に対して相対的に近接・離隔可能に設けられ、下部圧盤２３に対して近接することによって、積層体ブロック２２の所定の部分にプレス作用を及ぼすようにされている。上部圧盤２６は、プレス工程において積層体ブロック２２を加熱するため、図示しないが、ヒータを内蔵している。

また、プレス装置２１は、上部圧盤２６を取り囲むように配置されたカット刃２７を備えている。カット刃２７は、この実施形態では、上部圧盤２６に対して上下動可能に上部圧盤２６によって保持されている。カット刃２７は、刃先部分２８と刃先部分２８より肉厚の基部２９とを備えている。また、カット刃２７は、刃先部分２８が上部圧盤２６の下面より突出するように、スプリング３０によって付勢されている。

したがって、カット刃２７は、上部圧盤２６とともに、下部圧盤２３に対して相対的に近接・離隔可能であり、下部圧盤２３に対して近接することによって、積層体ブロック２２をカットして積層体ブロック２２から所定の部分を切り出すようにされている。このように、積層体ブロック２２から所定の部分を切り出すことによって得られたものは、図１０に示したマザー積層体１に相当している。

なお、上述したように、上部圧盤２６およびカット刃２７の各々は、下部圧盤２３に対して相対的に近接・離隔可能とされるが、このような近接・離隔動作のために、上部圧盤２６およびカット刃２７のみが移動するように構成されても、下部圧盤２３のみが移動するように構成されても、あるいは、上部圧盤２６およびカット刃２７ならびに下部圧盤２３のいずれもが移動するように構成されてもよい。

図２ないし図４によく示されているように、カット刃２７の刃先部分２８は、外側に向く側面３１においてのみ傾斜していて、内側に向く側面３２は、カット刃２７の上下動の方向に平行な方向すなわち垂直方向に延びている。

他方、下部圧盤２３に備える載置ベース２５には、カット刃２７の刃先部分２８を受け入れるための溝３３が設けられている。溝３３は、傾斜した内側面３４を有している。

このような構成を有するプレス装置２１は、次のように動作する。

まず、初期状態では、図１および図２に示すように、上部圧盤２６およびカット刃２７が、下部圧盤２３から離隔した状態にある。このとき、カット刃２７の刃先部分２８は、スプリング３０によって付勢されることによって、上部圧盤２６の下面より突出した状態となっている。

次に、上部圧盤２６が、カット刃２７を伴って、下部圧盤２３に対して近接するように動作する。その結果、図３に示すように、カット刃２７が積層体ブロック２２をカットする。また、カット刃２７は、積層体ブロック２２を厚み方向に完全にカットした後、その刃先部分２８が、溝３３内に受け入れられる。このとき、刃先部分２８の傾斜した外側に向く側面３１が、溝３３の傾斜した内側面３４に接する状態となる。

上述のように、刃先部分２８の外側に向く側面３１および溝３３の内側面３４がともに傾斜していると、カット刃２７の上下動での下端位置を調整するだけで、刃先部分２８の外側に向く側面３１と溝３３の内側面３４とが接した状態を得ることができる。

次に、図３に示すようなカット刃２７が下部圧盤２３に対して近接した状態に維持されながら、図４に示すように、上部圧盤２６が、スプリング３０（図１参照）の弾性に抗して、下部圧盤２３により近接するような動作が与えられる。これによって、積層体ブロック２２が上部圧盤２６と下部圧盤２３とによって積層方向にプレスされる。

上述のプレス工程において、矢印３５で示すようなプレス圧力が積層体ブロック２２に及ぼされたとき、積層体ブロック２２が有する流動性によって、矢印３６で示すような応力が生じるが、この応力３６は、カット刃２７によって受け止められる。すなわち、この実施形態においても、カット刃２７は、プレス工程での金型の一部として機能し、プレス工程において生じ得る図１０に示すような変形を抑制するように作用する。

さらに、この実施形態では、カット刃２７の刃先部分２８が溝３３内に受け入れられ、しかも、カット刃２７の外側に向く側面３１が溝３３の内側面３４に接しているので、カット刃２７の外方への変形が生じにくいようにされている。したがって、カット刃２７の刃先部分２８において、応力３６の作用で、外方へ膨らむような変形が生じにくい。その結果、カット刃２７を、金型の一部として十分に機能させることができる。

以上のようにカット工程およびプレス工程を終えた後、プレス装置２１は、図１に示すような状態に戻り、積層体ブロック２２の所定の部分を切り出すことによって得られたマザー積層体が、載置ベース２８上に載置された状態で、次の工程へと搬送される。このとき、必要に応じて、カット後に生じた積層体ブロック２２の耳の部分３７が作業者または他の手段によって取り除かれる。

前述した溝３３が与える変形抑制手段の効果を確認するため、次のような実験を行なった。

図４を参照して、載置ベース２５、上部圧盤２６およびカット刃２７の材質として、冷間金型用工具鋼を用い、刃先部分２８の刃先角度θを３０度とし、刃先部分２８の、載置ベース２５上での長さＬを５．０ｍｍとし、刃先部分２８の、溝３３内での長さすなわち溝３３の深さＤを０．５ｍｍとし、さらに、積層体ブロック２２の厚みＴを１．５ｍｍとした。

上述のような条件の下で、矢印３５で示したプレス圧力Ｐとして、５０ＭＰａおよび１００ＭＰａのそれぞれの圧力を加えたときの刃の変形量および直線性悪化量を求めた。その結果が、表１の「実施例」の欄に示されている。

他方、刃先部分２８が溝３３内に受け入れられないことを除いて、上記「実施例」の場合と同様の条件にて刃の変形量および直線性悪化量を求めた。この結果が、表１の「比較例」の欄に示されている。

なお、刃の変形量は、刃先部分２８の先端部における外方への変形量を求めたものである。直線性悪化量は、積層体ブロック２２の内部において直線状に配列されていた内部導体膜のプレス後での配列の直線性の悪化量を求めたものである。

表１からわかるように、「実施例」によれば、「比較例」に比べて、刃の変形量および直線性悪化量のいずれについても、より小さくすることができる。

カット刃２７の刃先部分２８の刃先角度θについては、これが小さいほど、カット刃２７は良好な切れ味を示すが、刃先角度θが小さすぎると、カット刃２７が変形しやすくなる。これらのことを考慮して、この実施形態のように、刃先部分２８が、外側に向く側面３１においてのみ傾斜している場合には、刃先角度θは、２５〜５０度であることが好ましく、３０〜４０度であることがより好ましい。

刃先部分２８の溝３３内に位置する部分の長さＤは、より長いほど、溝３３によって刃先部分２８を支える面積が広くなる。なお、カット刃２７に及ぼされる力は、積層体ブロック２２の厚みＴ［ｍｍ］とプレス圧力Ｐ［ＭＰａ］と刃先角度θ［度］とによって変わるため、これらのファクタによって、刃先部分２８の溝３３内に位置する部分の長さＤ［ｍｍ］の必要寸法が異なる。すなわち、刃先部分２８の溝３３内に位置する部分の必要長さＤは、
Ｄ＝（Ｔ×Ｐ× cosθ）／Ｋ
で表される。ここで、Ｋは、溝３３が設けられた載置ベース２５の強度によって決まる係数であって、実験により求められた値である。載置ベース２５がたとえば冷間金型用工具鋼から構成される場合、Ｋ＝６００〜７００である。

図５は、この発明の第２の実施形態を説明するためのもので、図３の一部をより拡大した図面に相当する。図５において、図３に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

図５に示した実施形態では、溝３３の底部に、カット刃２７の刃先部分２８の最先端が接触しないようにするための凹部４０が設けられている。この実施形態によれば、凹部４０の存在のため、カット刃２７が下端位置に達したとき、刃先部分２８が溝３３の底部に確実に衝突しないようにすることができる。したがって、この衝突による刃先部分２８の損傷が生じないようにすることができる。

図６は、この発明の第３の実施形態を説明するためのもので、図３の一部をより拡大した図面に相当する。図６において、図３に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

図６に示した実施形態では、カット刃２７の刃先部分２８における外側に向く側面３１だけでなく、内側に向く側面４３においても、傾斜している。また、溝３３は、上述のような形状の刃先部分２８に対応する形状を有している。この実施形態の場合には、カット刃２７によるカットを終えた段階において、刃先部分２８の内側に向く側面４３の傾斜した部分の上方に位置する垂直面４４において、積層体ブロック２２に接するようにされることが好ましい。

図７は、この発明の第４の実施形態を説明するためのもので、図４に相当する図である。図７において、図４に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

図７に示した実施形態では、変形抑制手段として、積層体ブロック２２をカットした後のカット刃２７の刃先部分２８の外側に向く側面３１に当接する押圧部材４７を備えることを特徴としている。押圧部材４７は、たとえば水平方向に移動可能に設けられ、カット刃２７がカット動作を終えたとき、矢印４８で示す方向に移動され、刃先部分２８の外側に向く側面３１を押圧する状態とされる。したがって、プレス圧力３５によって生じた応力３６が、刃先部分２８を外方へ変形させるように作用したとき、押圧部材４７は、この変形を有利に食い止めるように作用する。

なお、図７では、カット工程によって生じた積層体ブロック２２の耳の部分３７（たとえば図４参照）が図示されていない。したがって、押圧部材４７を図７に示すような状態にもたらす前の段階で、耳の部分３７を取り除く工程が実施される。しかしながら、耳の部分３７を取り除くことなく、押圧部材４７を作用させることを可能にするため、押圧部材４７の上下方向の寸法をより小さくし、刃先部分２８の比較的上部のみに押圧部材４７が当接するように構成されてもよい。

また、図７に示した実施形態では、たとえばポリエチレンテレフタレートのような樹脂からなるバックフィルム４９が用いられることが好ましい。

図８は、この発明の第５の実施形態を説明するためのもので、図４に相当する図である。図８において、図４に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

図８に示した実施形態では、変形抑制手段が、カット刃２７におけるより肉厚の基部２９によって与えられることを特徴としている。すなわち、この実施形態では、下部圧盤２３が、カット刃２７をより深く受け入れることができる構成とされ、積層体ブロック２２をカットした後のカット刃２７は、基部２９において、積層体ブロック２２に接するように位置される。このとき、基部２９の下端と下部圧盤２３の上端との距離Ａは、好ましくは、１０ｍｍ以上とされる。また、基部２９においては、プレス圧力３５によって生じた応力３６を受けても実質的に変形しない強度を与え得る厚みとされる。

図９は、この発明の第６の実施形態を説明するためのもので、図４に相当する図である。図９において、図４に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

図９に示した実施形態では、上部圧盤２６の下面に沿って、たとえばラバーからなる板状の弾性体５２が配置されることを特徴としている。この弾性体５２は、積層体ブロック２２において形成される内部導体膜の分布密度の差によるプレス工程での圧下率の差をより小さくするように作用し、積層体ブロック２２の全体にわたってより均等なプレス圧力が及ぼされるようにするものである。

以上、この発明を、図示したいくつかの実施形態に関連して説明したが、この発明の範囲内において、その他、種々の変形例が可能である。

たとえば、図示の実施形態では、カット刃２７によるカット動作を終えた後、上部圧盤２６と下部圧盤２３とによるプレス動作が実施されるようにしたが、カット動作を実施する際、上部圧盤２６と下部圧盤２３とによって比較的弱いプレス作用を及ぼしておき、積層体ブロック２２自身の位置ずれおよび積層体ブロック２２に備えるセラミックグリーンシート相互間の位置ずれを防止するようにしてもよい。

また、第１ないし第３の実施形態では、溝３３が載置ベース２５に設けられたが、下部圧盤２３が載置ベース２５を備えず、プレス台２４によってのみ構成される場合には、溝３３はプレス台２４に設けられてもよい。

この発明の第１の実施形態によるプレス装置２１を一部破断して示す正面図である。 図１に示したプレス装置２１の主要部を拡大して示す断面図である。 カット刃２７がカット動作を終えた状態を示す図２に相当する図である。 上部圧盤２６と下部圧盤２３とによってプレス作用を及ぼしている状態を示す図２に相当する図である。 この発明の第２の実施形態を説明するためのもので、図３の一部をより拡大した図面に相当する。 この発明の第３の実施形態を説明するためのもので、図３の一部をより拡大した図面に相当する。 この発明の第４の実施形態を説明するためのもので、図４に相当する図である。 この発明の第５の実施形態を説明するためのもので、図４に相当する図である。 この発明の第６の実施形態を説明するためのもので、図４に相当する図である。 マザー積層体１においてプレス工程で生じ得る不所望な挙動を図解する平面図である。 この発明にとって興味ある従来のプレス装置３を一部破断して示す正面図である。 図１１に示したプレス装置３の主要部を拡大して示す断面図である。

符号の説明

２１ プレス装置
２２ 積層体ブロック
２３ 下部圧盤
２４ プレス台
２４ 載置ベース
２６ 上部圧盤
２７ カット刃
２８ 刃先部分
２９ 基部
３１ 刃先部分の外側に向く側面
３３ 溝
３４ 溝の傾斜した内側面
３５ プレス圧力
３６ 応力
４０ 凹部
４７ 押圧部材

Claims (8)

1. 積層された複数のセラミックグリーンシートをもって構成された積層体ブロックから所定の部分を切り出すとともに当該所定の部分をプレスするために用いられ、
   前記積層体ブロックを載置するための下部圧盤と、
   前記積層体ブロックを介して前記下部圧盤に対向するように配置され、前記下部圧盤に対して相対的に近接・離隔可能に設けられ、かつ、前記下部圧盤に対して近接することによって、前記積層体ブロックの所定の部分にプレス作用を及ぼすようにされた、上部圧盤と、
   前記上部圧盤を取り囲むように配置され、前記下部圧盤に対して相対的に近接・離隔可能に設けられ、かつ、前記下部圧盤に対して近接することによって、前記積層体ブロックをカットして前記積層体ブロックから所定の部分を切り出すようにされた、カット刃と
   を備え、
   前記カット刃によって前記積層体ブロックをカットした後、前記カット刃が前記下部圧盤に対して近接した状態に維持されながら、前記上部圧盤と前記下部圧盤とによる前記積層体ブロックへのプレス作用が及ぼされるように制御される、積層体ブロックのプレス装置であって、
   前記上部圧盤と前記下部圧盤とによって前記積層体ブロックにプレス作用を及ぼしている間、前記カット刃の外方への変形を抑制するための変形抑制手段を備え、
   前記変形抑制手段は、前記下部圧盤に設けられる溝によって与えられ、前記溝は、前記積層体ブロックをカットした後の前記カット刃の刃先部分を受け入れるものであり、前記積層体ブロックをカットした後の前記カット刃の刃先部分の外側に向く側面に接する内側面を有する、積層体ブロックのプレス装置。
2. 前記カット刃の刃先部分は、外側に向く側面においてのみ傾斜していて、前記溝は、前記刃先部分の傾斜した前記外側に向く側面に接するように傾斜した内側面を有する、請求項１に記載の積層体ブロックのプレス装置。
3. 前記溝は、その底部に、前記カット刃の刃先部分の最先端が接しないようにするための凹部を有する、請求項１または２に記載の積層体ブロックのプレス装置。
4. 前記下部圧盤は、プレス台と前記プレス台上に載置されかつ前記積層体ブロックを載置するための載置ベースとを備え、前記溝は、前記載置ベースに設けられる、請求項１ないし３のいずれかに記載の積層体ブロックのプレス装置。
5. 積層された複数のセラミックグリーンシートをもって構成された積層体ブロックから所定の部分を切り出すとともに当該所定の部分をプレスするために用いられ、
   前記積層体ブロックを載置するための下部圧盤と、
   前記積層体ブロックを介して前記下部圧盤に対向するように配置され、前記下部圧盤に対して相対的に近接・離隔可能に設けられ、かつ、前記下部圧盤に対して近接することによって、前記積層体ブロックの所定の部分にプレス作用を及ぼすようにされた、上部圧盤と、
   前記上部圧盤を取り囲むように配置され、前記下部圧盤に対して相対的に近接・離隔可能に設けられ、かつ、前記下部圧盤に対して近接することによって、前記積層体ブロックをカットして前記積層体ブロックから所定の部分を切り出すようにされた、カット刃と
   を備え、
   前記カット刃によって前記積層体ブロックをカットした後、前記カット刃が前記下部圧盤に対して近接した状態に維持されながら、前記上部圧盤と前記下部圧盤とによる前記積層体ブロックへのプレス作用が及ぼされるように制御される、積層体ブロックのプレス装置であって、
   前記上部圧盤と前記下部圧盤とによって前記積層体ブロックにプレス作用を及ぼしている間、前記カット刃の外方への変形を抑制するための変形抑制手段を備え、
   前記変形抑制手段は、前記積層体ブロックをカットした後の前記カット刃の刃先部分の外側に向く側面に当接するように移動する押圧部材を備える、積層体ブロックのプレス装置。
6. 積層された複数のセラミックグリーンシートをもって構成された積層体ブロックから所定の部分を切り出すとともに当該所定の部分をプレスするために用いられ、
   前記積層体ブロックを載置するための下部圧盤と、
   前記積層体ブロックを介して前記下部圧盤に対向するように配置され、前記下部圧盤に対して相対的に近接・離隔可能に設けられ、かつ、前記下部圧盤に対して近接することによって、前記積層体ブロックの所定の部分にプレス作用を及ぼすようにされた、上部圧盤と、
   前記上部圧盤を取り囲むように配置され、前記下部圧盤に対して相対的に近接・離隔可能に設けられ、かつ、前記下部圧盤に対して近接することによって、前記積層体ブロックをカットして前記積層体ブロックから所定の部分を切り出すようにされた、カット刃と
   を備え、
   前記カット刃によって前記積層体ブロックをカットした後、前記カット刃が前記下部圧盤に対して近接した状態に維持されながら、前記上部圧盤と前記下部圧盤とによる前記積層体ブロックへのプレス作用が及ぼされるように制御される、積層体ブロックのプレス装置であって、
   前記上部圧盤と前記下部圧盤とによって前記積層体ブロックにプレス作用を及ぼしている間、前記カット刃の外方への変形を抑制するための変形抑制手段を備え、
   前記カット刃は、刃先部分と前記刃先部分より肉厚の基部とを備え、前記変形抑制手段は、前記基部によって与えられ、前記積層体ブロックをカットした後の前記カット刃は、前記基部において、前記積層体ブロックに接するように位置される、積層体ブロックのプレス装置。
7. 前記カット刃は、前記上部圧盤に対して上下動可能に前記上部圧盤によって保持される、請求項１ないし６のいずれかに記載の積層体ブロックのプレス装置。
8. 前記上部圧盤と前記下部圧盤とによる前記積層体ブロックへのプレス圧力は、５０ＭＰａ以上である、請求項１ないし７のいずれかに記載の積層体ブロックのプレス装置。

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