JP2007183404A - 回路パターン露光方法及びマスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マスクに照明光を照射して該マスクに形成されているマスクパターンを半導体基板上に転写する回路パターン露光方法であって、マスクは、所定ピッチで繰り返し配置された複数の主マスクパターン10と、最外周の主マスクパターン10aの外側に配置され、それ自体は半導体基板上に転写されない補助マスクパターン20とを有し、補助マスクパターン20は、主マスクパターン10aに隣接配置された第1補助マスク列20aと、第1補助マスク列20aに隣接配置された第2補助マスク列20bとを備え、第1補助マスク列20aと第2補助マスク列20bとは、主マスクパターン10の繰り返しピッチよりも狭ピッチで配置されている。
【選択図】図2
Description
2 回路パターン
3 ライン
10、10a、10b、10c 主マスクパターン
20、30 補助マスクパターン
20a、20b、20c、20d、20e 補助マスク列
30a、30b、30c、30d、30e 補助マスク列
40a、40b 補助マスク列
21 微小マスク
Claims (10)
- マスクに照明光を照射して該マスクに形成されているマスクパターンを半導体基板上に転写する回路パターン露光方法であって、
前記マスクは、所定ピッチで繰り返し配置された複数の主マスクパターンと、最外周の主マスクパターンの外側に配置され、それ自体は前記半導体基板上に転写されない補助マスクパターンとを有し、
前記補助マスクパターンは、前記最外周の主マスクパターンに隣接配置された第1補助マスク列と、該第1補助マスク列に隣接配置された第2補助マスク列とを備え、前記第1補助マスク列と前記第2補助マスク列とは、前記主マスクパターンの繰り返しピッチよりも狭ピッチで配置されていることを特徴とする回路パターン露光方法。 - 第1補助マスク列及び第2補助マスク列が、主マスクパターンに沿って配置された複数の微小マスクによって形成されていることを特徴とする請求項1記載の回路パターン露光方法。
- 第1補助マスク列を形成している微小マスクよりも、第2補助マスク列を形成している微小マスクの方が大であることを特徴とする請求項2記載の回路パターン露光方法。
- 第1補助マスク列を形成している複数の微小マスクの配置間隔よりも、第2補助マスク列を形成している複数の微小マスクの配置間隔の方が狭いことを特徴とする請求項2記載の回路パターン露光方法。
- 最外周の主マスクパターンの幅が他の主マスクパターンの幅よりも広いことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の回路パターン露光方法。
- 半導体基板上に転写されるマスクパターンが形成されたマスクであって、
所定ピッチで繰り返し配置された複数の主マスクパターンと、最外周の主マスクパターンの外側に配置され、それ自体は前記半導体基板上に転写されない補助マスクパターンとを有し、
前記補助マスクパターンは、前記最外周の主マスクパターンに隣接配置された第1補助マスク列と、該第1補助マスク列に隣接配置された第2補助マスク列とを備え、前記第1補助マスク列と前記第2補助マスク列とは、前記主マスクパターンの繰り返しピッチよりも狭ピッチで配置されていることを特徴とするマスク。 - 第1補助マスク列及び第2補助マスク列が、主マスクパターンに沿って配置された複数の微小マスクによって形成されていることを特徴とする請求項6記載のマスク。
- 第1補助マスク列を形成している微小マスクよりも、第2補助マスク列を形成している微小マスクの方が大であることを特徴とする請求項7記載のマスク。
- 第1補助マスク列を形成している複数の微小マスクの配置間隔よりも、第2補助マスク列を形成している複数の微小マスクの配置間隔の方が狭いことを特徴とする請求項7記載のマスク。
- 最外周の主マスクパターンの幅が他の主マスクパターンの幅よりも広いことを特徴とする請求項6乃至請求項9のいずれかに記載のマスク。
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