JP2007176715A - タンタル酸リチウム基板の製造方法 - Google Patents
タンタル酸リチウム基板の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】Ca、Al、Ti、Siからなる群より選択された1つの金属元素により還元されたタンタル酸リチウム基板を、真空度が20Paを越え、40Pa以下の減圧雰囲気中で、かつ、キュリー温度以下の温度で熱処理する。この方法によれば、還元された上記LT基板を、酸素空孔の拡散は生じるが新たに酸素空孔が増大しない上記環境下において熱処理しており、これによりLT基板面内での酸素空孔濃度を均一にすることが可能となる。
【選択図】なし
Description
タンタル酸リチウム基板の製造方法を前提とし、
Ca、Al、Ti、Siからなる群より選択された1つの金属元素により還元されたタンタル酸リチウム基板を、真空度が20Paを越え、40Pa以下の減圧雰囲気中で、かつ、キュリー温度以下の温度で熱処理することを特徴とする。
請求項1記載の発明に係るタンタル酸リチウム基板の製造方法を前提とし、
上記熱処理温度が、400℃以上、キュリー温度以下であることを特徴とし、
請求項3に係る発明は、
請求項1または請求項2記載の発明に係るタンタル酸リチウム基板の製造方法を前提とし、
上記熱処理時間が、10時間以上、100時間以下であることを特徴とする。
Claims (3)
- Ca、Al、Ti、Siからなる群より選択された1つの金属元素により還元されたタンタル酸リチウム基板を、真空度が20Paを越え、40Pa以下の減圧雰囲気中で、かつ、キュリー温度以下の温度で熱処理することを特徴とするタンタル酸リチウム基板の製造方法。
- 上記熱処理温度が、400℃以上、キュリー温度以下であることを特徴とする請求項1記載のタンタル酸リチウム基板の製造方法。
- 上記熱処理時間が、10時間以上、100時間以下であることを特徴とする請求項1または請求項2記載のタンタル酸リチウム基板の製造方法。
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