JP2007138194A - メッキ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 メッキ装置1は、メッキすべき電子回路基板を保持するメッキ治具33をメッキ槽9内へ投入及び引き上げるための治具上下動装置27を備えると共に前記メッキ治具33をメッキ槽9へ搬送するメッキ治具搬送装置21と、前記メッキ槽9から引き上げられたメッキ治具33から垂れ落ちるメッキ液を収容するメッキ液受け皿95であって、前記メッキ治具33がメッキ槽9内へ投入及び引き上げられる時にこの位置から外れた位置に待機する待機位置と前記メッキ槽9から引き上げられたメッキ治具33の下方位置とを移動自在に設け、かつ、前記メッキ治具33が搬出される時に前記メッキ治具33の下方位置に位置して追従可能に設けたメッキ液受け皿95と、を備えている。
【選択図】図1
Description
前記メッキ槽から引き上げられたメッキ治具から垂れ落ちるメッキ液を収容するメッキ液受け皿であって、前記メッキ治具がメッキ槽内へ投入及び引き上げられる時にこの位置から外れた位置に待機する待機位置と前記メッキ槽から引き上げられたメッキ治具の下方位置とを移動自在に設け、かつ、前記メッキ治具が搬出される時に前記メッキ治具の下方位置に位置して追従可能に設けたメッキ液受け皿と、
を備えていることを特徴とするものである。
9 銅メッキ槽(メッキ槽)
15 アンローダエリア
17 ローダエリア
19 LMガイドレール
21 メッキ治具搬送装置
27 LMガイドアクチュエータ(治具上下動装置)
29 キャリア部
31 シリコンウェハ(半導体ウェハ;電子回路基板)
33 メッキ治具
35 クランプ装置
39 クランプ用穴部
41 電極ピン
43 導電線
45 クランプ軸部
49 クランプアーム
51 掛止部
53 掛止用穴部
67 メッキ治具挿入部
69 治具挿入ガイド部
71 側壁
73 給電シャフト(給電部)
77 エアシリンダ(給電シャフト駆動部)
89 スプリング
91 導電線
95 メッキ液受け皿
97 支持部材
99 受け皿用LMガイド
101 エアシリンダ(受け皿駆動部)
Claims (2)
- メッキすべき電子回路基板を保持するメッキ治具をメッキ槽内へ投入及び引き上げるための治具上下動装置を備えると共に前記メッキ治具をメッキ槽へ搬送するメッキ治具搬送装置と、
前記メッキ槽から引き上げられたメッキ治具から垂れ落ちるメッキ液を収容するメッキ液受け皿であって、前記メッキ治具がメッキ槽内へ投入及び引き上げられる時にこの位置から外れた位置に待機する待機位置と前記メッキ槽から引き上げられたメッキ治具の下方位置とを移動自在に設け、かつ、前記メッキ治具が搬出される時に前記メッキ治具の下方位置に位置して追従可能に設けたメッキ液受け皿と、
を備えていることを特徴とするメッキ装置。 - 前記メッキ液受け皿が、前記メッキ治具搬送装置に備えられていることを特徴とする請求項1記載のメッキ装置。
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