JP2007134408A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可動板23の下面からイソプロピルアルコールを含んだ窒素ガスが基板Wに流下するので、基板Wの乾燥が促進される。このときイソプロピルアルコールを含んだ窒素ガスが供給されるのは、処理槽1の内部と、開閉機構21とシール板25との間の小さな空間だけでよい。よって、チャンバ11の内部全体を乾燥処理雰囲気とする従来技術に比較して極めて小さな空間を乾燥処理雰囲気とするだけでよいので、空間を迅速に乾燥処理雰囲気とすることができ、イソプロピルアルコールの使用効率を高くできる。
【選択図】図4
Description
すなわち、従来の装置は、チャンバ内で基板を昇降させる昇降支持機構がノズルと干渉することを避けるために、チャンバ内の高い位置にノズルを取り付けているので、基板の乾燥に寄与する空間を乾燥処理雰囲気にするのに時間を要するという問題がある。また、乾燥処理雰囲気にする必要がある空間の容量が大きいので、基板の乾燥処理におけるイソプロピルアルコールの使用効率が低いという問題もある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、処理液により基板を処理する基板処理装置において、処理液を貯留し、基板を収容して処理液により基板に対する処理を行う処理槽と、前記処理槽の周囲を囲うチャンバと、基板を支持しつつ、前記処理槽内部の処理位置と、前記チャンバ内における前記処理槽の上方の待機位置とにわたって昇降する昇降支持機構と、前記処理槽の処理液を排出する排出部と、前記処理槽の上部を開閉する開閉機構と、前記開閉機構に設けられ、前記開閉機構が閉止され、かつ前記排出部から処理液を排出させた状態で、前記処理槽内部に向けて有機溶剤を含む不活性ガスを供給する下方ノズルと、を備えていることを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
1 … 処理槽
3 … 内槽
5 … 外槽
9 … 排出部
11 … チャンバ
WP … 待機位置
PP … 処理位置
17 … 昇降支持機構
21 … 開閉機構
23 … 可動板
25 … シール板
35 … 第1供給管
39 … 副供給管
41 … イソプロピルアルコール供給源
47 … 第2供給管
51 … 固定ノズル
59 … 下方側多孔質部材
61 … 上方側多孔質部材
Claims (10)
- 処理液により基板を処理する基板処理装置において、
処理液を貯留し、基板を収容して処理液により基板に対する処理を行う処理槽と、
前記処理槽の周囲を囲うチャンバと、
基板を支持しつつ、前記処理槽内部の処理位置と、前記チャンバ内における前記処理槽の上方の待機位置とにわたって昇降する昇降支持機構と、
前記処理槽の処理液を排出する排出部と、
前記処理槽の上部を開閉する開閉機構と、
前記開閉機構に設けられ、前記開閉機構が閉止され、かつ前記排出部から処理液を排出させた状態で、前記処理槽内部に向けて有機溶剤を含む不活性ガスを供給する下方ノズルと、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記開閉機構に設けられ、前記開閉機構が閉止され、かつ前記昇降支持機構を待機位置へ移動させた状態で、待機位置にある基板に向けて有機溶剤を含む不活性ガスを供給する上方ノズルをさらに備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置において、
前記開閉機構より下方であって、前記処理槽と前記チャンバの内壁との間に設けられ、前記チャンバ内の下部位置を囲うシール板をさらに備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記開閉機構は、前記処理槽上部に対して開閉可能な一対の板状部材を備え、
前記下方ノズルは、前記板状部材内部に形成され、有機溶剤を含む不活性ガスが供給される下方側供給路と、前記板状部材の前記処理槽側に形成され、前記下方側供給路に連通接続された複数の下方側供給口とを備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4に記載の基板処理装置において、
前記板状部材の前記処理槽側に設けられた多孔質部材をさらに備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
前記開閉機構は、前記処理槽上部に対して開閉可能な一対の板状部材を備え、
前記上方ノズルは、前記板状部材内部に形成され、有機溶剤を含む不活性ガスが供給される上方側供給路と、前記板状部材の前記処理槽側とは反対側に形成され、前記上方側供給路に連通接続された複数の上方側供給口とを備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項6に記載の基板処理装置において、
前記板状部材の前記処理槽側とは反対側に設けられた多孔質部材をさらに備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 処理液により基板を処理する基板処理装置において、
処理液を貯留し、基板を収容して処理液により基板に対する処理を行う処理槽と、
前記処理槽の周囲を囲うチャンバと、
基板を支持しつつ、前記処理槽内部の処理位置と、前記チャンバ内における前記処理槽の上方の待機位置とにわたって昇降する昇降支持機構と、
前記処理槽の上部を開閉する開閉機構と、
前記開閉機構に設けられ、前記開閉機構が閉止され、かつ前記昇降支持機構を待機位置へ移動させた状態で、待機位置にある基板に向けて有機溶剤を含む不活性ガスを供給する上方ノズルと、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項8に記載の基板処理装置において、
前記開閉機構は、前記処理槽上部に対して開閉可能な一対の板状部材を備え、
前記上方ノズルは、前記板状部材内部に形成され、有機溶剤を含む不活性ガスが供給される上方側供給路と、前記板状部材の前記処理槽側とは反対側に形成され、前記上方側供給路に連通接続された複数の上方側供給口とを備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から9のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記チャンバは、前記昇降支持機構を待機位置へ移動させた状態で、待機位置にある基板に向けて有機溶剤を含む不活性ガスを供給する固定ノズルを備えていることを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005323805A JP4545083B2 (ja) | 2005-11-08 | 2005-11-08 | 基板処理装置 |
US11/552,744 US20070045161A1 (en) | 2005-08-11 | 2006-10-25 | Substrate treating apparatus |
KR1020060107191A KR100841826B1 (ko) | 2005-11-08 | 2006-11-01 | 기판처리장치 |
TW095140523A TWI374487B (en) | 2005-11-08 | 2006-11-02 | Substrate treating apparatus |
CNB2006101436954A CN100447947C (zh) | 2005-11-08 | 2006-11-08 | 基板处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005323805A JP4545083B2 (ja) | 2005-11-08 | 2005-11-08 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007134408A true JP2007134408A (ja) | 2007-05-31 |
JP4545083B2 JP4545083B2 (ja) | 2010-09-15 |
Family
ID=37865631
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005323805A Expired - Fee Related JP4545083B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-11-08 | 基板処理装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070045161A1 (ja) |
JP (1) | JP4545083B2 (ja) |
KR (1) | KR100841826B1 (ja) |
CN (1) | CN100447947C (ja) |
TW (1) | TWI374487B (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI406330B (zh) | 2007-09-26 | 2013-08-21 | Dainippon Screen Mfg | 基板處理裝置及基板處理方法 |
CN102610489A (zh) * | 2012-03-23 | 2012-07-25 | 冠礼控制科技(上海)有限公司 | 一种有机溶剂薄膜干燥装置 |
CN103046097B (zh) * | 2012-12-31 | 2016-08-03 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 晶圆处理装置 |
CN103994637B (zh) | 2014-05-22 | 2016-04-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板干燥装置及基板干燥方法 |
JP6497587B2 (ja) | 2015-08-18 | 2019-04-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
CN108682643A (zh) * | 2018-06-06 | 2018-10-19 | 上海华力微电子有限公司 | 一种降低干燥槽引起的颗粒杂质的装置 |
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Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US5976198A (en) | 1995-06-09 | 1999-11-02 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate transfer and bath apparatus |
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JP3343033B2 (ja) | 1996-06-28 | 2002-11-11 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
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JP3560962B1 (ja) * | 2003-07-02 | 2004-09-02 | エス・イー・エス株式会社 | 基板処理法及び基板処理装置 |
-
2005
- 2005-11-08 JP JP2005323805A patent/JP4545083B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-10-25 US US11/552,744 patent/US20070045161A1/en not_active Abandoned
- 2006-11-01 KR KR1020060107191A patent/KR100841826B1/ko active IP Right Grant
- 2006-11-02 TW TW095140523A patent/TWI374487B/zh active
- 2006-11-08 CN CNB2006101436954A patent/CN100447947C/zh active Active
Patent Citations (4)
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI374487B (en) | 2012-10-11 |
US20070045161A1 (en) | 2007-03-01 |
CN1963992A (zh) | 2007-05-16 |
KR100841826B1 (ko) | 2008-06-26 |
TW200807528A (en) | 2008-02-01 |
CN100447947C (zh) | 2008-12-31 |
KR20070049559A (ko) | 2007-05-11 |
JP4545083B2 (ja) | 2010-09-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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