JP2007128886A - スペーサ及びこれを含む電子放出ディスプレイ - Google Patents

スペーサ及びこれを含む電子放出ディスプレイ Download PDF

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Abstract

【課題】電子ビームの経路のわい曲を抑制して、画面の表示品質の低下を防止できるスペーサ及びそれを含む電子放出ディスプレイを提供すること。
【解決手段】真空容器を構成する第1基板10と第2基板20との間に配置され、母体310と、母体310の側面に形成される熱伝導層322と、を含むことを特徴とする、スペーサ300が提供される。かかる構成によれば、熱伝導層によって、熱を伝導することができる。よって、母体310等の温度が上昇して電気抵抗が減少し、スペーサ300の電気的特性が変化して、スペーサ300の周囲の電界が変化することを防止することができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、スペーサ及びこれを含む電子放出ディスプレイに関し、より詳細には、その表面に電荷が蓄積されるのを防止するスペーサ及びこれを含む電子放出ディスプレイに関する。
一般に、電子放出素子(electron emission element)は、熱陰極(hot cathode)を利用する方式及び冷陰極(cold cathode)を利用する方式に区分される。
ここで、冷陰極を利用する方式の電子放出素子としては、電界放出アレイ(Field Emitter Array;以下、FEAとする)型、表面伝導エミッション(Surface Conduction Emission;以下、SCEとする)型、金属−絶縁体−金属(Metal−Insulator−Metal;以下、MIMとする)型、及び金属−絶縁体−半導体(Metal−Insulator−Semiconductor;以下、MISとする)型などが知られている。
電子放出素子は、電子放出部と、電子放出部の電子の放出を制御する駆動電極とを含む。また、電子放出素子は、駆動電極に印加される電圧によって電子放出部から電子を放出する。このような電子放出素子が一基板にアレイを構成して、電子放出デバイス(electron emission device)を構成する。そして、電子放出デバイスの一基板は、一面に蛍光層及びアノード電極からなる発光ユニットが形成された他の基板に対向配置されて真空容器を構成され、電子放出素子から放出される電子によって蛍光層を励起させて、所定の発光または表示動作を行う電子放出ディスプレイ(electron emission display)を構成する。
前記電子放出ディスプレイでは、真空容器を形成する際に、一基板と他の基板との間の間隔を一定に維持して、真空容器の内部及び外部の圧力差による基板の変形及び破損を防止するために、真空容器の内部にスペーサを備える。
このようなスペーサは、主にガラスやセラミックのように導電性を有していない物質で構成される。このスペーサは、電子放出素子から放出される電子が蛍光層へ向かう移動経路を妨害しないように、蛍光層の間の非発光領域に対応して配置される。
しかし、従来の電子放出ディスプレイでは、アノード電極によって励起される高い電界によって、一基板の電子放出素子から放出される電子が他の基板の当該蛍光層へ向かう際に、電子ビームの拡散が発生する。この拡散された電子ビームは、電子放出ディスプレイに集束電極を形成しても完全に抑制することができず、電子放出ディスプレイの駆動時に継続して発生する。
このように、電子放出ディスプレイで電子ビームの拡散が発生すると、電子放出素子から放出される電子のうちの一部は、当該蛍光層に到達することができずにスペーサに衝突する。この際、スペーサを構成するガラスやセラミックは、1以上の二次電子放出係数を有しているため、スペーサに電子が衝突すると、このスペーサからより多くの二次電子が放出される。よって、このスペーサの表面は、正の電荷に帯電される。このように帯電されたスペーサは、スペーサの周囲の電界を変化させて、電子ビームの経路をわい曲させるという問題があった。
また、電子放出ディスプレイでは、駆動時に電子放出素子から放出される電子によって真空容器の内部に熱が発生するが、スペーサを構成するガラスやセラミックが劣悪(低い)な熱抵抗性を有するため、電気抵抗の減少のようなスペーサの電気的特性の変化が起こる。これによって、スペーサの周囲の電界が変化して、前記電子ビームの経路のわい曲がより一層深刻化するという問題があった。
このような電子ビームの経路のわい曲は、電子放出素子から放出される電子の方向をスペーサ側に変更して、画面でスペーサの位置を目で確認することができるなどの表示品質の低下、すなわち、電子ビームの歪曲が画面に映し出される映像に影響を与え、スペーサの位置を画面の映像をとおして目で確認することができるなどの表示品質の低下を誘発するという問題があった。
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、電子ビームの経路のわい曲を抑制して、画面の表示品質の低下を防止することが可能な、新規かつ改良されたスペーサ及びこれを含む電子放出ディスプレイを提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、真空容器を構成する第1基板と第2基板との間に配置され、母体と、母体の側面に形成される熱伝導層と、を含むことを特徴とする、スペーサが提供される。
かかる構成によれば、熱伝導層によって、熱を伝導することができる。よって、母体等の温度が上昇して電気抵抗が減少し、スペーサの電気的特性が変化して、スペーサの周囲の電界が変化することを防止することができる。
また、熱伝導層は、0.4〜1cal/cm・s・℃の熱伝導率を有する物質からなってもよい。かかる構成によれば、熱伝導層は、スペーサ等の熱を伝導することができる。
また、熱伝導層は、金属を含んでもよい。
また、母体と熱伝導層との間に形成される抵抗層と、熱伝導層上に形成される二次電子放出防止層と、をさらに含んでもよい。かかる構成によれば、放出された電子がスペーサに衝突し、二次電子が放出されるのを防ぐことができる。また、放出された電子がスペーサに衝突し二次電子が放出される等によって、スペーサに帯電された電荷を、抵抗層が伝達して、電荷をスペーサから除去することができる。
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、真空容器を構成する第1基板及び第2基板と、第1基板に提供される電子放出ユニットと、第2基板に提供される発光ユニットと、第1基板と第2基板との間に配置されるスペーサと、を含み、スペーサは、母体と、母体の側面に形成される熱伝導層と、を含むことを特徴とする、電子放出ディスプレイが提供される。かかる構成によれば、電子放出ユニットから電子が放出され、発光ユニットに電子が衝突することで、所定の光を発光することができる。また、スペーサは、第1基板と、第2基板との間の間隔を一定に保つことができる。そして、この過程において、電子によって真空容器の内部に熱が発生するが、かかる構成によれば、スペーサの熱伝導層が、この熱を伝達するため、スペーサの母体等の温度が上昇することを防ぐことができる。よって、母体等の温度が上昇して電気抵抗が減少し、スペーサ電気的特性が変化して、スペーサの周囲の電界が変化することを防止することができる。
また、熱伝導層は、0.4〜1cal/cm・s・℃の熱伝導率を有する物質からなってもよい。かかる構成によれば、熱伝導層は、スペーサ等の熱を伝導することができる。
また、熱伝導層は、金属を含んでもよい。かかる構成によれば、熱伝導層は、スペーサ等の熱を伝道することができる。
また、熱伝導層は、金、銀、銅、アルミニウムのうちのいずれか1つを含んでもよい。かかる構成によれば、熱伝導層は、スペーサ等の熱を伝導することができる。
また、スペーサは、母体と熱伝導層との間に形成される抵抗層と、熱伝導層上に形成される二次電子放出防止層と、をさらに含んでもよい。かかる構成によれば、放出された電子がスペーサに衝突し、二次電子が放出されるのを防ぐことができる。また、放出された電子がスペーサに衝突し二次電子が放出される等によって、スペーサに帯電された電荷を、抵抗層が伝達して、電荷をスペーサから除去することができる。
また、スペーサの下面に形成される接触電極層と、スペーサの上面に形成される絶縁層と、をさらに含んでもよい。かかる構成によれば、スペーサに帯電された電荷を、接触電極を介して、外部に伝達することができる。
また、電子放出ユニットは、電子放出部と、電子放出部を駆動する電極と、を含んでもよい。かかる構成によれば、所定の電極に電圧が印加されることで、電子放出部は、電子を放出することができる。
また、電子放出部は、炭素ナノチューブ、黒鉛、黒鉛ナノファイバー、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、C60、シリコンナノワイヤーから選択されるいずれか1つ、又は、これらの組合わせからなる物質からなってもよい。かかる構成によれば、所定の電極に電圧が印加されることで、電子放出部は、電子を放出することができる。
また、第1基板と第2基板との間に提供される集束電極をさらに含んでもよい。かかる構成によれば、集束電極に所定の電圧を印加することで、放出された電子を集束することができる。
以上説明したように本発明によれば、電子ビームの経路のわい曲を抑制して、画面の表示品質の低下を防止できる。
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
(一実施形態)
図1及び図2を参照して、本発明の一実施形態に係る電子放出ディスプレイについて詳しく説明する。図1は、本実施形態に係る電子放出ディスプレイを示す部分分解斜視図であり、図2は、本実施形態に係る電子放出ディスプレイを示す部分断面図である。また、本実施形態において、電子放出ディスプレイは、FEA型電子放出ディスプレイであるとして、以下では説明する。
図1及び図2に示すように、本実施形態に係る電子放出ディスプレイ1は、所定の間隔をおいて互いに平行に対向配置される第1基板10及び第2基板20を含む。第1基板10及び第2基板20の周縁には、密封部材(図示せず)が配置されて両基板を接合し、第1基板10、第2基板20、及び密封部材が真空容器を構成する。
第2基板20に対向する第1基板10の一面には、第2基板20に向かって電子を放出する電子放出ユニット100が配置され、第1基板10に対向する第2基板20の一面には、電子によって可視光を放出して、任意の発光又は表示動作を行う発光ユニット200が配置される。
より具体的に、まず、第1基板10上には、電子の放出を制御するための第1電極としてカソード電極110が、第1基板10の一方向(図面のy軸方向)に沿ってストライプパターンに形成される。カソード電極110上及び第1基板10の全面には、第1絶縁層120が、形成される。そして、第1絶縁層120上には、第2電極としてゲート電極130が、カソード電極110と直交する方向(図面のx軸方向)に沿ってストライプパターンに形成される。
そして、カソード電極110及びゲート電極130が交差する領域ごとに、カソード電極110上に、電子放出部160が形成される。第1絶縁層120及びゲート電極130には、各電子放出部160に対応して開口部120a、130aが、各々形成されて、第1基板10上に電子放出部160を露出する。
電子放出部160は、真空中で電界が加えられると電子を放出する物質、例えば炭素系物質又はナノメートルサイズ物質、一例として、炭素ナノチューブ、黒鉛、黒鉛ナノファイバー、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、C60(fullerene)、シリコンナノワイヤーから選択されるいずれか1つ、又はこれらの組合わせからなる物質で形成される。また、電子放出部160の製造法としては、スクリーン印刷、直接成長、化学気相蒸着、又はスパッタリングなどを適用することができる。
図1中では、一例として、平面形状(xy平面における形状)が円形である電子放出部160が、カソード電極110の長さ方向に沿って、カソード電極110及びゲート電極130の交差領域(単位画素領域Uとする)当たり3個ずつ一列に配置されることを示した。しかし、電子放出部160の平面形状、交差領域当りの個数、及び配置形態などは、図1中に示した例に限定されず、多様に変形されてもよい。
また、本実施形態では、ゲート電極130が第1絶縁層120を間においてカソード電極110上に位置する構造について説明したが、カソード電極がゲート電極上に位置する構造も可能で、この場合、電子放出部は、カソード電極の一側面と接触して第1絶縁層上に形成されてもよい。
電子放出ディスプレイ1で、1つのカソード電極110と、1つのゲート電極130と、これらの交差領域である単位画素領域(U)に位置する第1絶縁層120及び電子放出部160とが、1つの電子放出素子3を構成し、このような電子放出素子3が、第1基板10上にアレイ(array)を構成して、電子放出デバイス180を構成する。
また、電子放出ディスプレイ1では、ゲート電極130上に第2絶縁層140及び集束電極150が、順次に形成されてもよい。この場合、第2絶縁層140及び集束電極150にも電子ビームの通過のための開口部140a、150aが形成される。一例として、開口部140a、150aは、電子放出素子3当たり1つ形成されて、集束電極150は、1つの電子放出素子3から放出される電子を包括的に集束してもよい。この時、集束電極150は、形成された高さと電子放出部160との高さの差が大きいほど、優れた集束効果を発揮する。よって、第2絶縁層140の厚さを第1絶縁層120の厚さより大きく形成するのが好ましい。
図1中では、集束電極150が第1基板10全体に1つ形成されることを示したが、所定のパターンで分れて複数個形成されてもよい。
また、集束電極150は、第2絶縁層140上にコーティングされた導電膜で構成され、開口部150aが形成された金属プレートで構成されてもよい。
次に、第1基板10に対向する第2基板20の一面には、蛍光層210及び黒色層220が形成され、蛍光層210及び黒色層220上にアルミニウムのような金属からなるアノード電極230が形成される。アノード電極230は、外部から電子ビームの加速に必要な高電圧の印加を受け、蛍光層210から放出された可視光のうちの第1基板10に向かって放出された可視光を第2基板20側に反射させて、画面の輝度を高める役割を果たす。
一方、アノード電極は、インジウムスズ酸化物のような透明導電物質で形成されてもよい。この場合、このアノード電極は、第2基板の全面に単一層で形成され、このアノード電極上に蛍光層及び黒色層が任意のパターンに形成される。もちろん、この透明なアノード電極は、蛍光層のパターンに対応してパターン化されて形成されてもよい。
また、第2基板上に透明導電物質のアノード電極との反射効果によって輝度を高める金属薄膜を全て形成することもできる。
蛍光層210は、第1基板10上に定義された単位画素領域(U)に一対一で対応して配置されたり、画面の垂直方向(図面のy軸方向)に沿ってストライプパターンに形成されることができ、黒色層220は、クロムまたはクロム酸化物のような不透明物質で形成することができる。
電子放出ディスプレイ1で、蛍光層210は、電子放出素子3に対応して形成され、この際、互いに対応する1つの蛍光層210及び1つの電子放出素子3が、電子放出ディスプレイ1の実質的な画素を構成する。
次に、第1基板10と第2基板20との間には、複数のスペーサ300が配置されて、両基板10、20の間の間隔を一定に維持する。この時、スペーサ300は、黒色層220が位置する非発光領域に対応して配置され、図面では、一例として、壁体型(wall−type)スペーサを示した。
スペーサ300は、ガラスやセラミックのように導電性を有していない物質からなる母体310と、母体310の側面を覆う抵抗層321と、抵抗層321上に形成される熱伝導層322と、熱伝導層322上に形成される二次電子放出防止層323と、を含んで構成される。
ここで、抵抗層321は、スペーサ300に帯電される電荷の移動経路を提供して、スペーサ300に電荷が蓄積されるのを防止する。このような抵抗層321には、弱い導電性を有する高抵抗物質、一例として、Pt、W、Ti、Cr、及びこれらの混合物からなる群より選択される少なくとも1つの金属と、AlN、GeN、Al、及びこれらの混合物からなる群より選択される化合物と、を組合わせて使用することができる。好ましくは、Pt/AlN、Ti/Al、Cr/AlNを使用することができる。
熱伝導層322は、電子放出ディスプレイ1の駆動時に電子の放出によって真空容器の内部で発生する熱がスペーサ300の母体310に伝達されないように、外部に熱を伝達して、スペーサ300の電気的特性の変化を防止する。即ち、熱伝導層322は、真空容器の内部で発生した熱の伝達を受け、後述する接触電極層332及び絶縁層331を介して、アノード電極230及び集束電極150のうち少なくともどちらか一方にこの熱を誘導、分散させてもよい。よって、熱伝導層322は、この熱がスペーサ300の母体310に伝達されるのを防ぐことができる。
このような熱伝導層322は、0.4〜1cal/cm・s・℃の熱伝導率を有する物質、好ましくは、金(Au−0.74)、銀(Ag−0.99)、銅(Cu−0.94)、アルミニウム(Al−0.49)などの金属を含む低抵抗物質から形成することができる。括弧内の数値は、熱伝導率(cal/cm・s・℃)を示す。
そして、二次電子放出防止層323は、スペーサ300に電子が衝突する時にスペーサ300から二次電子が放出されるのを最少化する。このような二次電子放出防止層323は、二次電子放出係数が1である物質、一例として、ダイヤモンド状カーボン(DLC)、Crなどで形成されてもよい。
また、スペーサ300の上面には、絶縁層331が形成され、下面には、低抵抗物質、一例として、Cr、Ni、Moなどからなる接触電極層332がさらに形成されてもよい。
この場合、スペーサ300は、接触電極層332を通じて集束電極150と電気的に連結されて、スペーサ300に帯電される電荷をスペーサ300の外部に移動させることができるようになる。
また、スペーサ300は、図面に示した壁体型以外にも、円柱型、十字柱型などの多様な形状で形成されてもよい。
このように構成される電子放出ディスプレイ1では、一例として、アノード電極230に数百ボルト〜数千ボルトの(+)電圧を印加し、カソード電極110及びゲート電極130のうちのいずれか1つの電極に走査信号電圧を印加すると同時に、他の1つの電極にデータ信号電圧を印加し、集束電極150には数ボルト〜数十ボルトの(−)電圧を印加して、駆動する。
そうすると、カソード電極110とゲート電極130との間の電圧差が臨界値以上となった電子放出素子において、電子放出部160の周囲に電界が形成されて、電子放出部160から電子が放出される。また、放出された電子は、集束電極150の開口部150aを通過して電子ビームの束の中心部に集束され、アノード電極230に印加された高電圧に引張られて当該蛍光層210に衝突する。そして、電子が衝突した蛍光層21は、光を発光させる。
この過程において、集束電極150の作用にもかかわらず電子ビームの分散が発生し、電子の一部が当該蛍光層210に到達することができずに、スペーサ300に衝突することがある。
しかし、スペーサ300の表面に電子が衝突しても、本実施形態の電子放出ディスプレイ1は、二次電子放出防止層323によってスペーサ300から二次電子が放出されるのを最少化することができる。また、スペーサ300の表面に電荷が帯電されても、抵抗層321及び接触電極層331、332によって電荷がスペーサ300の外部に移動するので、スペーサ300の表面に電荷が蓄積されるのを防ぐことができる。
また、この過程において、電子放出部160から放出される電子によって真空容器の内部に熱が発生しても、熱伝導層322によってスペーサ300の母体310に熱が加えられるのが遮断されて、スペーサ300の電気的特性の変化が防止される。
その結果、本実施形態の電子放出ディスプレイ1は、スペーサ300の周辺の電界のわい曲及びこれによる電子ビームのわい曲を防止することができる。
また、本実施形態に係る電子放出ディスプレイ1によれば、スペーサ300は、接触電極層332を介して、集束電極150に印加された負の電圧の印加を受けてもよい。当該電圧の印加を受けたスペーサ300は、放出された電子に対して斥力を働かせることができるので、電子の一部がスペーサ300に衝突することを防ぐことができる。
本実施形態では、FEA型電子放出ディスプレイについて説明したが、本発明はFEA型電子放出ディスプレイに限定されず、スペーサを含む他の形態の電子放出ディスプレイ、つまりSCE型、MIM型、及びMIS型などの電子放出ディスプレイにも適用して実施することができる。
(他の実施形態)
このうちのSCE型電子放出ディスプレイ1’について、図3を参照して説明する。図3は、本発明の他の実施形態に係る電子放出ディスプレイを示す部分断面図である。図3で、図1及び図2と同一な構成要素については、同一な図面符号を付けて、これに対する詳細な説明は省略する。
図3に示すように、第1基板40及び第2基板20が所定の間隔をおいて互いに平行に対向配置されて、第1基板40に電子放出ユニット400が提供され、第2基板20に発光ユニット200が提供される。
第1基板40上には、第1電極421及び第2電極422が離隔して配置され、第1電極421及び第2電極422の間に電子放出部440が形成され、第1電極421と電子放出部440との間と、第2電極422と電子放出部440との間とには、第1電極421及び第2電極422の一部を覆うように第1導電薄膜431及び第2導電薄膜432が各々形成されて、これらを通じて第1電極421及び第2電極422が電子放出部440に各々電気的に連結される。
本実施形態において、第1電極421及び第2電極422は、例えば、導電性を有する多様な物質で形成され、第1導電薄膜431及び第2導電薄膜432は、例えば、ニッケル(Ni)、金(Au)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)などの導電性物質を利用した微粒子薄膜で形成されてもよい。電子放出部440は、例えば、黒鉛型炭素や炭素化合物などから形成されてもよく、炭素ナノチューブ、黒鉛、黒鉛ナノファイバー、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、C60(fullerene)、シリコンナノワイヤーから選択されるいずれか1つ、またはこれらの組合わせからなる物質で形成されてもよい。
このように構成される電子放出ディスプレイでは、第1電極421及び第2電極422に各々電圧を印加すると、第1導電薄膜431及び第2導電薄膜432を通じて電子放出部440の表面と水平な方向に電流が流れて、表面伝導型電子放出が行われ、放出された電子は、アノード電極230に印加される高電圧に引張られて当該蛍光層210に衝突して、これを発光させる。
以上、本発明の一実施形態と他の実施形態について詳しく説明した。本発明の一実施形態及び他の実施形態に係る電子放出ディスプレイ1、1’によれば、スペーサ300が抵抗層321、二次電子放出防止層323、及び接触電極層331、332をさらに含むので、スペーサ300の周辺で起こる電界のわい曲、及びこれによる電子ビームのわい曲を防止することができる。
また、スペーサ300が抵抗層321と二次電子放出防止層323との間に熱伝導層322をさらに含むので、駆動時に発生する熱によってスペーサ300の電気的特性が変化するのを防止することができ、これによる電界のわい曲も防止することができる。
その結果、本発明の両実施形態に係る電子放出ディスプレイ1、1’は、画面でスペーサ300の位置を目で確認することができるなどの表示品質の低下を防止することができる。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
本発明の一実施形態に係る電子放出ディスプレイを示す部分分解斜視図である。 本発明の一実施形態に係る電子放出ディスプレイを示す部分断面図である。 本発明の他の実施形態に係る電子放出ディスプレイを示す部分断面図である。
符号の説明
1 電子放出ディスプレイ
10 第1基板
100 電子放出ユニット
110 カソード電極
120 第1絶縁層
120a、130a、140a、150a 開口部
130 ゲート電極
140 第2絶縁層
150 集束電極
160 電子放出部
20 第2基板
200 発光ユニット
210 蛍光層
220 黒色層
230 アノード電極
3 電子放出素子
300 スペーサ
310 母体
321 抵抗層
322 熱伝導層
323 二次電子放出防止層
331 絶縁層
332 接触電極層

Claims (13)

  1. 真空容器を構成する第1基板と第2基板との間に配置され、
    母体と;
    前記母体の側面に形成される熱伝導層と;
    を含むことを特徴とする、スペーサ。
  2. 前記熱伝導層は、0.4〜1cal/cm・s・℃の熱伝導率を有する物質からなることを特徴とする、請求項1に記載のスペーサ。
  3. 前記熱伝導層は、金属を含むことを特徴とする、請求項2に記載のスペーサ。
  4. 前記母体と前記熱伝導層との間に形成される抵抗層と;
    前記熱伝導層上に形成される二次電子放出防止層と;
    をさらに含むことを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のスペーサ。
  5. 真空容器を構成する第1基板及び第2基板と;
    前記第1基板に提供される電子放出ユニットと;
    前記第2基板に提供される発光ユニットと;
    前記第1基板と前記第2基板との間に配置されるスペーサと;
    を含み、
    前記スペーサは、
    母体と;
    前記母体の側面に形成される熱伝導層と;
    を含むことを特徴とする、電子放出ディスプレイ。
  6. 前記熱伝導層は、0.4〜1cal/cm・s・℃の熱伝導率を有する物質からなることを特徴とする、請求項5に記載の電子放出ディスプレイ。
  7. 前記熱伝導層は、金属を含むことを特徴とする、請求項6に記載の電子放出ディスプレイ。
  8. 前記熱伝導層は、金、銀、銅、アルミニウムのうちのいずれか1つを含むことを特徴とする、請求項7に記載の電子放出ディスプレイ。
  9. 前記スペーサは、
    前記母体と前記熱伝導層との間に形成される抵抗層と;
    前記熱伝導層上に形成される二次電子放出防止層と;
    をさらに含むことを特徴とする、請求項5〜8のいずれかに記載の電子放出ディスプレイ。
  10. 前記スペーサの下面に形成される接触電極層と、前記スペーサの上面に形成される絶縁層と、をさらに含むことを特徴とする、請求項5に記載の電子放出ディスプレイ。
  11. 前記電子放出ユニットは、電子放出部と、前記電子放出部を駆動する電極と、を含むことを特徴とする、請求項5〜10のいずれかに記載の電子放出ディスプレイ。
  12. 前記電子放出部は、炭素ナノチューブ、黒鉛、黒鉛ナノファイバー、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、C60、シリコンナノワイヤーから選択されるいずれか1つ、又は、これらの組合わせからなる物質からなることを特徴とする、請求項11に記載の電子放出ディスプレイ。
  13. 前記第1基板と前記第2基板との間に提供される集束電極をさらに含むことを特徴とする、請求項5〜12のいずれかに記載の電子放出ディスプレイ。
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