JP2007103825A - 基板の処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理槽1と、処理槽内に設けられ基板を保持して回転駆動される回転テーブル16を内部に有するカップ体2と、先端に回転テーブルに保持された基板を処理する処理液を噴射する処理用ノズル58が設けられた第1のアーム体56と、先端に処理槽及びカップ体を洗浄する洗浄液を噴射する洗浄用ノズル59が設けられた第2のアーム体57と、処理槽に設けられ第1のアーム体と第2のアーム体との基端が取り付けられた可動体51と、可動体を駆動して第1のアーム体に設けられた処理用ノズルをカップ体の上方に位置決めして基板を処理液で処理するプロセス状態と、第2のアーム体に設けられた洗浄用ノズルをカップ体の上方に位置決めしてカップ体と処理槽を洗浄液で洗浄する洗浄状態とに切り換える回転駆動源52とを具備する。
【選択図】図1
Description
処理槽と、
この処理槽内に設けられ上記基板を保持して回転駆動される回転テーブルを内部に有するカップ体と、
先端に上記回転テーブルに保持された基板を処理する処理液を噴射する処理用ノズルが設けられた第1のアーム体と、
先端に上記処理槽及びカップ体を洗浄する洗浄液を噴射する洗浄用ノズルが設けられた第2のアーム体と、
上記処理槽に設けられ上記第1のアーム体と第2のアーム体との基端が取り付けられた可動体と、
上記可動体を駆動して上記第1のアーム体に設けられた処理用ノズルを上記カップ体の上方に位置決めして上記基板を処理液で処理するプロセス状態と、上記第2のアーム体に設けられた洗浄用ノズルを上記カップ体の上方に位置決めして上記カップ体と処理槽を洗浄液で洗浄する洗浄状態とに切り換える駆動手段と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
Claims (4)
- 基板を回転させながら処理する基板の処理装置であって、
処理槽と、
この処理槽内に設けられ上記基板を保持して回転駆動される回転テーブルを内部に有するカップ体と、
先端に上記回転テーブルに保持された基板を処理する処理液を噴射する処理用ノズルが設けられた第1のアーム体と、
先端に上記処理槽及びカップ体を洗浄する洗浄液を噴射する洗浄用ノズルが設けられた第2のアーム体と、
上記処理槽に設けられ上記第1のアーム体と第2のアーム体との基端が取り付けられた可動体と、
上記可動体を駆動して上記第1のアーム体に設けられた処理用ノズルを上記カップ体の上方に位置決めして上記基板を処理液で処理するプロセス状態と、上記第2のアーム体に設けられた洗浄用ノズルを上記カップ体の上方に位置決めして上記カップ体と処理槽を洗浄液で洗浄する洗浄状態とに切り換える駆動手段と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。 - 上記可動体は上記駆動手段で回転駆動されるようになっていて、上記第1のアーム体と第2のアーム体は上記可動体の外周面に回転方向に対して所定の角度で取り付けられていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
- 上記可動体は上記カップ体の径方向に沿って直線駆動されるようになっていて、上記第1のアーム体と第2のアーム体は上記可動体の移動方向に対して所定間隔で離間して取り付けられていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
- 上記洗浄用ノズルによる洗浄液の噴射範囲は上記カップ体の上方に位置決めされたときに、上記カップ体と上記洗浄槽の両方に対して洗浄液を噴射することを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
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