JP2007100977A - 連続式熱処理炉 - Google Patents
連続式熱処理炉 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007100977A JP2007100977A JP2005287320A JP2005287320A JP2007100977A JP 2007100977 A JP2007100977 A JP 2007100977A JP 2005287320 A JP2005287320 A JP 2005287320A JP 2005287320 A JP2005287320 A JP 2005287320A JP 2007100977 A JP2007100977 A JP 2007100977A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- pallet
- heat treatment
- unit
- treatment furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Tunnel Furnaces (AREA)
Abstract
【解決手段】炉体内に前工程から搬出されたワークを搬送させる第1搬送装置12と、前記ワークを冷却させながら後工程に搬送させる第2搬送装置13と、第1搬送装置終端から第2搬送装置始端へワークを受け渡す受け渡し装置14とを備え、外気から密閉する筐体内に配置された熱処理炉であり、第2搬送装置13は第1搬送装置11と略平行かつ逆向きにワークを搬送するように配置されており、第1搬送装置12における搬送方向は、前工程におけるワークの搬出方向に略直交すると共に、第2搬送装置13における搬出方向は後工程におけるワークの搬入方向に略直交するように構成されている。
【選択図】図3
Description
前記炉体内に前工程から搬出されたワークを搬送させる第1搬送装置と、
前記炉体によって加熱された前記ワークを冷却させながら後工程に搬送させる第2搬送装置と、
前記第1搬送装置終端から前記第2搬送装置始端へ前記ワークを受け渡す平行移動可能に構成された受け渡し装置とを備え、外気から密閉する筐体内に配置された熱処理炉であって、
前記第2搬送装置は前記第1搬送装置と略平行かつ逆向きに前記ワークを搬送するように配置されており、
前記第1搬送装置における搬送方向は、前工程における前記ワークの搬出方向に略直交すると共に、前記第2搬送装置における搬出方向は前記後工程における前記ワークの搬入方向に略直交するように構成されている、連続式熱処理炉を提供する。
前記コンベア部の搬送経路途中に、前記ワークの搬送方向幅よりも大きな間隔で複数設けられ前記ワークを停止させるストッパと、前記ストッパによって停止された前記ワークを前記コンベアから持ち上げ可能に構成されたリフト部とを備える。
前記搬出部センサが前記搬出部に前記ワークが載置されているかを検出したときは、ワーク検出センサの検出に基づいて下流に位置するリフト部から順次前記ワークを上昇させると共に、全てのリフト部が上昇していることが検出された場合は、前記コンベア部を停止させる、第2態様の連続式熱処理炉を提供する。
2 後工程装置
3、5 搬送装置
4、6 作業部
10 熱処理炉
11 筐体
12 第1搬送装置
13 第2搬送装置
14 受け渡し装置
15 炉体
16 移載部
17 搬出部
28 搬入側リフト部
40a〜40d リフト部
100 パレット
200 CCDカメラ組み立てシステム
Claims (5)
- 加熱対象であるワークを加熱する炉体と、
前記炉体内に前工程から搬出されたワークを搬送させる第1搬送装置と、
前記炉体によって加熱された前記ワークを冷却させながら後工程に搬送させる第2搬送装置と、
前記第1搬送装置終端から前記第2搬送装置始端へ前記ワークを受け渡す平行移動可能に構成された受け渡し装置とを備え、外気から密閉する筐体内に配置された熱処理炉であって、
前記第2搬送装置は前記第1搬送装置と略平行かつ逆向きに前記ワークを搬送するように配置されており、
前記第1搬送装置における搬送方向は、前工程における前記ワークの搬出方向に略直交すると共に、前記第2搬送装置における搬出方向は前記後工程における前記ワークの搬入方向に略直交するように構成されていることを特徴とする、連続式熱処理炉。 - 前記第2搬送装置は、コンベアによって前記ワークを搬送させるコンベア部と前規搬送部の終端に移動した前記ワークを前記後工程に搬出するための搬出部を備え、
前記コンベア部の搬送経路途中に、前記ワークの搬送方向幅よりも大きな間隔で複数設けられ前記ワークを停止させるストッパと、前記ストッパによって停止された前記ワークを前記コンベアから持ち上げ可能に構成されたリフト部とを備えることを特徴とする、請求項1に記載の連続式熱処理炉。 - 前記第2搬送装置は、前記搬出部に前記ワークが載置されているかを検出する搬出部センサと、前記リフト部の情報に前記ワークが位置しているかをそれぞれ検出するワーク検出センサと、前記第1搬送装置、第2搬送装置、前記受け渡し部の各部材の動作を制御する制御部を備え、
前記搬出部センサが前記搬出部に前記ワークが載置されているかを検出したときは、ワーク検出センサの検出に基づいて下流に位置するリフト部から順次前記ワークを上昇させると共に、全てのリフト部が上昇していることが検出された場合は、前記コンベア部を停止させることを特徴とする、請求項2に記載の連続式熱処理炉。 - 前記制御部は、前記コンベア部が停止したときは、前記第1搬送装置を前記前工程からのワークが搬入されないように停止することを特徴とする請求項3に記載の連続式熱処理炉。
- 前記第2搬送装置は、前記第1搬送装置と略等しい長さに構成されることを特徴とする、請求項1に記載の連続式熱処理炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005287320A JP5307968B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | 連続式熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005287320A JP5307968B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | 連続式熱処理炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007100977A true JP2007100977A (ja) | 2007-04-19 |
JP5307968B2 JP5307968B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=38028110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005287320A Expired - Fee Related JP5307968B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | 連続式熱処理炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5307968B2 (ja) |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5313869B2 (ja) * | 1973-09-29 | 1978-05-13 | ||
JPS56119720A (en) * | 1980-02-23 | 1981-09-19 | Nippon Kokan Keishiyu Kk | Continuously annealing method and furnace |
JPS61153341U (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-22 | ||
JPH01108729A (ja) * | 1987-10-21 | 1989-04-26 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体アセンブリ製造装置 |
JPH02143086A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-01 | Kawasaki Steel Corp | 連続熱処理炉 |
JPH04101925A (ja) * | 1990-08-21 | 1992-04-03 | Murata Mach Ltd | 物品搬送コンベアの物品昇降装置 |
JPH10145038A (ja) * | 1996-11-12 | 1998-05-29 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 搬送用パレット |
JPH11147724A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学素子素材の熱処理装置及び光学素子素材の熱処理方法 |
JP2000258933A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Mitsubishi Chemicals Corp | 電子写真感光体の乾燥用パレット |
JP2005241138A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Hirano Giken Kogyo Kk | 連続加熱炉 |
-
2005
- 2005-09-30 JP JP2005287320A patent/JP5307968B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5313869B2 (ja) * | 1973-09-29 | 1978-05-13 | ||
JPS56119720A (en) * | 1980-02-23 | 1981-09-19 | Nippon Kokan Keishiyu Kk | Continuously annealing method and furnace |
JPS61153341U (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-22 | ||
JPH01108729A (ja) * | 1987-10-21 | 1989-04-26 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体アセンブリ製造装置 |
JPH02143086A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-01 | Kawasaki Steel Corp | 連続熱処理炉 |
JPH04101925A (ja) * | 1990-08-21 | 1992-04-03 | Murata Mach Ltd | 物品搬送コンベアの物品昇降装置 |
JPH10145038A (ja) * | 1996-11-12 | 1998-05-29 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 搬送用パレット |
JPH11147724A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学素子素材の熱処理装置及び光学素子素材の熱処理方法 |
JP2000258933A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Mitsubishi Chemicals Corp | 電子写真感光体の乾燥用パレット |
JP2005241138A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Hirano Giken Kogyo Kk | 連続加熱炉 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5307968B2 (ja) | 2013-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4954162B2 (ja) | 処理システム | |
JP6679157B2 (ja) | 加工装置の搬送機構 | |
JP4716362B2 (ja) | 基板処理システム及び基板処理方法 | |
JP2007250671A (ja) | 基板バッファ装置、基板バッファリング方法、基板処理装置、制御プログラムおよびコンピュータ読取可能な記憶媒体 | |
JP4969138B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP6126248B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP4319175B2 (ja) | 減圧乾燥装置 | |
TWI613749B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP2012059798A (ja) | 部品実装装置 | |
JP6111648B2 (ja) | 搬送処理システム | |
JP4593461B2 (ja) | 基板搬送システム | |
JP5307968B2 (ja) | 連続式熱処理炉 | |
JP2008226981A (ja) | リフロー装置 | |
JP2011091288A (ja) | 部品実装装置および部品実装方法 | |
JP6374344B2 (ja) | 搬送方法及び搬送システム | |
JP2004304003A (ja) | 処理システム | |
TWI471966B (zh) | 基板處理系統及基板處理方法 | |
JP4554456B2 (ja) | 部品実装装置及び部品実装方法 | |
JP2005026554A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
KR20150077719A (ko) | 기판 처리 시스템 및 방법 | |
JP3617311B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JP2003146429A (ja) | キャリア受け渡し方法及びキャリア受け渡し装置 | |
JP2668024B2 (ja) | 縦型熱処理装置 | |
JPS59232430A (ja) | 半導体素子の製造装置 | |
JP2001326497A5 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080617 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20081003 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110624 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110628 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110817 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120417 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120613 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130605 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130625 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130628 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5307968 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |