JPS61153341U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61153341U JPS61153341U JP3623685U JP3623685U JPS61153341U JP S61153341 U JPS61153341 U JP S61153341U JP 3623685 U JP3623685 U JP 3623685U JP 3623685 U JP3623685 U JP 3623685U JP S61153341 U JPS61153341 U JP S61153341U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- curing
- curing furnace
- oven
- workpiece conveyance
- directions
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の自動樹脂硬化装
置の概要を示す構成図である。 １：ワーク自動供給装置、２：第一の硬化炉、
３：第１のワーク移載装置、４：第二の硬化炉、
５：第二のワーク移載装置、６：ワーク自動収納
装置。
置の概要を示す構成図である。 １：ワーク自動供給装置、２：第一の硬化炉、
３：第１のワーク移載装置、４：第二の硬化炉、
５：第二のワーク移載装置、６：ワーク自動収納
装置。
Claims (1)
- 半導体装置組立工程にて樹脂硬化処理を行うべ
く被処理物搬送機構を付設した硬化炉を備えてな
るオーブン装置において、複数個の前記硬化炉を
近接して並設し、該硬化炉に付設される夫々の被
処理物搬送機構の搬送方向を交互に逆方向とした
ことを特徴とするオーブン装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3623685U JPS61153341U (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3623685U JPS61153341U (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61153341U true JPS61153341U (ja) | 1986-09-22 |
Family
ID=30541226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3623685U Pending JPS61153341U (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61153341U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007100977A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 連続式熱処理炉 |
-
1985
- 1985-03-15 JP JP3623685U patent/JPS61153341U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007100977A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 連続式熱処理炉 |
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