JP3617311B2 - 基板検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、作業ラインに配設されて導電性ボールが搭載された基板の検査を行う基板検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品組立ラインにおいて、実装基板などのワークはコンベアなどの搬送手段によって所定の搬送経路を搬送され、この搬送経路に設けられた作業ステージにて各種の作業がワークに対して行われる。これらの作業を行う装置のタクトタイムは、各作業ステージでの実際に作業が行われる作業時間と、ワーク搬送時間、すなわちワークを作業ステージに搬入し、また搬出するのに要する時間との和によって構成される。したがって、装置全体のタクトタイムを短縮するためには、作業時間を短縮するとともに、ワーク搬送時間を短縮することが求められる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のワーク搬送装置では、ワーク搬送中には作業ステージは空いたままであり、ワークに対して何ら作業は行われない場合が多かった。すなわち、ワーク搬送中は、ワーク搬送装置が組み込まれた装置の本来的作業機能は発揮されておらず、単に手待ち時間として機能休止状態となっていた。そして、正味の作業時間が比較的短い作業内容の装置、例えば画像認識による検査装置などのようにカメラによる撮像が作業内容であるような場合には、全タクトタイム中に占める搬送時間の割合が相対的に大きいものとなっていた。
【0004】
したがって、このような装置でタクトタイムを短縮するためにはワーク搬送時間の短縮が求められていたが、ワーク搬送時間の短縮にはワークの大きさや種類によって一定の限度があり、搬送の高速化などによるタクトタイムの大幅な短縮は実際上困難な場合が多かった。このため結果的に、全タクトタイム中に占める搬送時間の割合が相対的に大きい装置では、装置の稼働効率が非常に低いという問題点があった。
【0005】
そこで本発明は、作業ラインにおける装置の稼働効率を向上させることができる基板検査装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板検査装置は、導電性ボールが搭載された基板を所定の搬送経路に沿って搬送する搬送手段と、前記搬送経路に設けられ下面に基板が押し当てられるマスクプレートを備えた複数の検査ステージと、前記検査ステージに設けられ前記搬送経路上の基板を持ち上げるとともに前記マスクプレートの下面に押し当てる持ち上げ手段と、前記複数の検査ステージへの基板の搬入・搬出を制御する制御手段とを備え、この制御手段が、前記搬送経路の上流側からの基板の接近を検出する検知手段と、前記各検査ステージでの基板の有無を記憶する搬入状態記憶手段と、前記検知手段で検出した基板が搬送される検査ステージを前記搬入状態記憶手段に記憶されている情報に基づいて決定する搬送先決定手段と、各検査ステージでの基板の搬入・搬出制御処理を行う搬入・搬出制御手段とを有し、且つ前記マスクプレートに押し当てられた基板を撮像するカメラと、前記カメラによって撮像した基板の画像を画像処理して検査結果を出力する検査部を備えた。
【0007】
本発明によれば、搬送経路に複数の検査ステージを設け、これらの検査ステージに搬送経路上の基板を持ち上げる持ち上げ手段と、基板の検査ステージへの搬入・搬出を制御する制御手段を設けることにより、1つの検査ステージにて作業が行われている時間中にも他の検査ステージでの基板の搬入、搬出を行うことができ、したがって基板搬送による作業の待ち時間を解消して装置の稼働効率を向上させることができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の基板検査装置の正断面図、図2(a),(b)は同基板検査装置の側断面図、図3は同基板検査装置のシステム構成を示すブロック図、図4は同基板検査装置の機能ブロック図、図5は同基板検査装置の基板搬送先決定処理のフロー図、図6、図7は同基板検査装置の検査ステージへの基板搬入処理のフロー図、図8、図9は同基板検査装置の検査ステージからの基板搬出処理のフロー図である。
【0009】
まず図1、図2を参照して基板検査装置の構造を説明する。図1において、1はワークである基板を搬送する基板搬送装置であり、基板搬送装置1と撮像部2および後述の検査部とで基板検査装置を構成している。基板搬送装置1は、2枚のサイドフレーム3を搬送方向に縦通させた構造となっており(図2)、サイドフレーム3に配設された搬送手段によって、半田ボール4が搭載された基板5を、所定の搬送経路に沿って搬送する。この搬送経路には、基板5の上面を撮像して検査を行う2つの作業ステージとしての検査ステージA,Bが設けられており、検査ステージA,Bは基板5を搬送経路から持ち上げる持ち上げ手段(後述)を備えている。
【0010】
まず搬送手段について説明する。図1において、サイドプレート3の基板搬送ラインPL以下の範囲には、サイドプレート3の外縁に沿って多数のガイドプーリ10が配設されている。サイドプレート3の下部にはモータM1が配設されており、モータM1の回転軸には駆動プーリ11が結合されている。また、サイドプレート3には、検査ステージA,Bのそれぞれの位置に対応して、図2に示すように上下方向の切欠部3aが設けられている。切欠部3aの周囲には同様にガイドプーリ13が配設されており、プーリ10、駆動プーリ11およびガイドプーリ13には、これら全体を周回してベルト12が調帯されている。したがって、ベルト12は切欠部3aを横切ることなく配置されており、切欠部3a内での他部材の昇降動作を妨げない。
【0011】
モータM1を駆動することにより、ベルト12は所定の搬送経路である基板搬送ラインPLの位置を矢印方向に送行し、ベルト12上に載置された基板5を所定の搬送経路に沿って搬送する。基板搬送ラインPLに沿って3つのストッパf,a,bが配設されている。ストッパf,a,bはそれぞれシリンダCF,CA,CBに駆動されて上下動し、それぞれのシリンダが突出したときに基板搬送ラインPL上に突出してベルト12上を搬送される基板5を停止させる。
【0012】
ストッパf,a,bよりわずか上流側の位置には、検知手段であるセンサSF,SA,SBがそれぞれ配設されている。センサSF,SA,SBは光センサや近接センサなどであり、基板5が各ストッパf,a,bの位置に存在しているか否かを検出する。すなわち、センサSFは他装置より上流側から基板搬送装置1に接近してくる基板5を検出し、センサSA,SBは検査ステージA,Bに位置する基板5を検出する。
【0013】
次に基板5の持ち上げ手段について説明する。図2(a),(b)は図1の断面イおよび断面ロ、すなわちサイドフレーム3の切欠部3a位置での断面を示している。図2(a),(b)において、サイドフレーム3の両側方の検査ステージA,Bに対応する位置には、シリンダDA,DBがそれぞれ1対づつ配設されている。シリンダDA,DBの各対のロッド17は、それぞれ連結部材18に結合されており、連結部材18の上面には、下受け部材19が装着されている。基板5がベルト12上の検査ステージA,Bに対応する位置にある状態で、シリンダDA,DBのロッド17が突出することにより、下受け部材19は基板5の下面に当接して上昇する。
【0014】
これにより、基板5はブラケット15上に立設されたガイドプレート16に基板5の端面をガイドされて持ち上げられ、マスクプレート20の下面に押し当てられる。この状態で、撮像部2に設けられた可動テーブル23によってカメラ22を基板5の上方に位置させ、カメラ22によって基板5上の半田ボール4を撮像することにより、基板5の検査が行われる。
【0015】
このとき、基板5が持ち上げられた状態にある検査ステージでは、ベルト12上には何ら障害物がなく、他の基板5を自由に下流側へ搬送することができる。すなわち、上流側の検査ステージAに基板5が存在する場合においても、下流側の検査ステージBにて新たな基板5を搬入し、また搬出することができる。
【0016】
次に図3を参照して基板検査装置のシステム構成を説明する。図3において、入力部30には、センサSF,SA,SBが接続されており、搬送経路上の各位置での基板5、すなわち上流側から接近する基板5,および検査ステージA,Bに位置する基板5の検出信号が入力される。CPU31は、基板検査装置全体の制御や、後述する基板5の搬送先決定処理、各検査ステージでの基板5の搬入・搬出制御のための演算を行う。
【0017】
RAM32は基板搬入状態記憶手段であり、検査ステージA,Bにおける基板搬入状態がリアルタイムで記憶される。プログラム記憶部33には、基板搬送動作や検査処理動作などのプログラムが記憶される。シリンダ駆動部34は、ストッパ駆動シリンダCF,CA,CBおよび下受け部材昇降シリンダDA,DBを駆動する。モータ駆動部35は、搬送路6の駆動モータM1、カメラ22の移動用のモータM2を駆動する。検査部36はカメラ22によって撮像した基板5の画像データに基づき、画像処理を行って検査結果を出力する。検査結果記憶部37は出力された検査結果を記憶する。
【0018】
次に図4を参照して基板検査装置1の制御処理を説明する。まずセンサSFによって、上流側から送られる基板5の接近が検出されたならば、搬送先決定手段としての基板搬送先決定処理部40によって、複数の検査ステージA,Bのいずれに基板5を搬送すべきかを決定する処理が行われる。ここでは、基板搬入状態記憶部41であるRAM32にリアルタイムで記憶された検査ステージA,Bでの基板5の有無を示すデータ(情報)に基づいて決定がなされる。
【0019】
この決定により基板が搬送されるべき検査ステージが決定されると、それぞれの検査ステージでの具体的な搬入・搬出動作の制御処理が行われる。すなわち、検査ステージA基板搬入処理部43、検査ステージB基板搬入処理部45は、排他制御処理部42に搬入の可否の問合せを行い、予め設定された所与の条件がすべて満たされており基板5の搬入に何ら支障がないと排他制御処理部42にて判断された場合にのみ、搬入可の許可信号を受け取る。そしてこの信号に基づいて実際の搬入動作の制御指令信号が出され、搬入が完了したことを確認した後に、検査処理部47に対して検査実行指令信号が出される。
【0020】
その後検査完了を以て検査完了信号が出されると、基板5をそれぞれの検査ステージA,Bから搬出する処理が行われる。すなわち、排他制御処理部42に基板搬出の可否の問合せを行う。そして排他制御処理部42が基板搬出に何ら支障がないと判断して搬出可の許可信号を出し、検査ステージA基板搬出処理部44、検査ステージB基板搬出処理部46がこの許可信号を受け取ったならば、搬出動作の実行指令信号を出力するとともに、基板搬入状態記憶部41の記憶内容を更新する。上記説明のように、検査ステージA基板搬入処理部43、検査ステージB基板搬入処理部45、検査ステージA基板搬出処理部44、検査ステージB基板搬出処理部46は、搬入・搬出制御手段となっている。
【0021】
次に基板検査装置の動作を図5〜図9のフローに沿って説明する。まず図5を参照して、基板搬送先決定処理について説明する。基板5が上流側の他装置から送られ、基板検査装置1の搬送経路に到達したことがセンサSFによって検出されたか否かが判断される(ST1)。検出されなければ常に同様の検出監視を継続し、検出されたならば、基板搬入状態記憶部47の記憶内容に基づいて、検査ステージAに基板5が無いか否かが判断される(ST2)。ここで、基板無しと判断されたならば、検査ステージAの基板搬入状態を“有”に更新する(ST3)とともに、検査ステージAへの基板搬入処理実行指令信号を出力する(ST4)。そして、新たな基板の検出監視のためST1に戻る。
【0022】
またST2にて基板“有”と判断されたならば、検査ステージBに基板が無いか否かが判断される(ST5)。ここで基板“無し”と判断されたならば、検査ステージBの基板搬入状態を“有”に更新する(ST6)とともに、検査ステージB基板搬入処理実行信号を出力する(ST7)。ST5にて基板“有”と判断されたならば、ST2に戻って同様に検査ステージAについての前述の判断を繰り返す。
【0023】
次に検査ステージA,Bへの基板搬入処理について図6、図7のフローに沿って説明する。図6は検査ステージAを、図7は検査ステージBを対象としたフローを示すものである。基板搬送先決定処理部40から基板搬入実行指令が送信されると、まず基板搬入動作の実行可否の判断を行う(ST11A,11B)。この判断は、排他制御処理部42からの許可信号の有無により行われ、許可信号を受けた時点にのみ以下の搬入動作に移行する。許可信号を受けた後、ストッパfを解除し(ST12A,12B)、次いでモータM1を駆動する(ST13A,13B)。これにより、ストッパfの位置で停止していた基板5は下流側へ搬送され、ストッパaに当接して停止する。
【0024】
そしてこの状態となった基板5をセンサSAで検出したか否かを判断し(ST14A,14B)、検出されたならば、モータM1を停止させて(ST15A,15B)、搬送を停止する。この後、次の基板が検査ステージAに誤って搬入されるのを防止するために直ちにストッパfを上昇させ(ST16A,16B)、次いでシリンダDA,DBを駆動して、基板の下受け部材19を上昇させる(ST17A,17B)。これにより、基板5はマスクプレート20の下面に押し当てられ、検査ステージA,Bでの検査実行準備が完了する。この後、検査部36に対して検査実行指令が出力される(ST18A,18B)。
【0025】
これにより、基板5の導電性ボール4の状態がカメラ22により撮像され、撮像結果は検査部36によって検査処理される。検査結果は検査結果記憶部37に記憶され、所定の形で出力される。
【0026】
次に図8、図9を参照して検査ステージA,Bからの基板搬出処理について説明する。図8は検査ステージAを、図9は検査ステージBを対象としたフローを示すものである。まず、検査処理部47から検査完了信号が送信されると、基板搬出動作の実行可否の判断を行う(ST21A,21B)。この判断も搬入動作と同様に、排他制御処理部42からの許可信号に基づくものである。許可信号を受けたならば、シリンダDA,DBを駆動して下受け部材19を下降させる(ST22A,22B)。これにより検査後の基板5は搬送経路のベルト12上に載置される。次いでモータM1を駆動し(ST23A,23B)、ストッパa,bを解除する(ST24A,24B)。これにより、基板5はベルト12によって下流側へ搬送される。そして、基板5がストッパa,bを通過するのに必要な所定時間の経過を待って(ST25A,25B)、再びストッパa,bを上昇させる(ST26A,26B)。そして、基板搬入状態記憶部41に記憶された基板ステージA,Bの基板搬入状態を“無し”に更新する(ST27A,27B)。
【0027】
以上説明したように、基板検査装置のように正味の作業時間が短く、全体のタクトタイムに占める基板の搬送時間が長いような場合において、搬送経路に沿って複数の検査ステージを設け、これらの検査ステージに搬送経路上の基板を持ち上げる持ち上げ手段を設けることにより、1つの検査ステージにて検査が行われている間に、他の検査ステージでの基板の搬入・搬出を行わせることができる。これにより、基板の搬送動作中においても、いずれかの検査ステージでは検査作業が行われることとなり、検査装置としての本来の機能を休止することなく、搬送待ちによる休止時間を排除して稼働効率を大幅に向上させることができる。
【0028】
また、搬送経路上での基板を検出するとともに、各検査ステージでの基板の有無のデータを常に記憶させ、そのデータに基づいて基板が搬送される搬送先を決定し、さらに各検査ステージでの基板の搬入・搬出をリアルタイムに更新される前記データに基づいて制御することにより、手待ちによるタイムロスを省いて効率的な基板の搬送を行うことができ、したがって装置全体のタクトタイムを短縮することができる。
【0029】
【発明の効果】
本発明によれば、搬送経路に複数の検査ステージを設け、これらの検査ステージに搬送経路上の基板を持ち上げる持ち上げ手段を設けたので、1つの検査ステージにて検査が行われている時間中にも他の検査ステージでの基板の搬入、搬出を行うことができ、また基板の検査ステージへの搬入・搬出を制御する制御手段を設けたので、基板の搬送を効率よく行うことができる。したがって基板搬送による作業の待ち時間を解消して装置の稼働効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の基板検査装置の正断面図
【図2】(a)本発明の一実施の形態の基板検査装置の側断面図
(b)本発明の一実施の形態の基板検査装置の側断面図
【図3】本発明の一実施の形態の基板検査装置のシステム構成を示すブロック図
【図4】本発明の一実施の形態の基板検査装置の機能ブロック図
【図5】本発明の一実施の形態の基板検査装置の基板搬送先決定処理のフロー図
【図6】本発明の一実施の形態の基板検査装置の検査ステージへの基板搬入処理のフロー図
【図7】本発明の一実施の形態の基板検査装置の検査ステージへの基板搬入処理のフロー図
【図8】本発明の一実施の形態の基板検査装置の検査ステージからの基板搬出処理のフロー図
【図9】本発明の一実施の形態の基板検査装置の検査ステージからの基板搬出処理のフロー図
【符号の説明】
1 基板検査装置
2 撮像部
5 基板
12 ベルト
19 下受け部材
40 基板搬送先決定処理部
41 基板搬入状態記憶部
43 検査ステージA基板搬入処理部
44 検査ステージA基板搬出処理部
45 検査ステージB基板搬入処理部
46 検査ステージB基板搬出処理部
47 検査処理部
A,B 検査ステージ
DA、DB シリンダ
M1、M2 モータ
PL 基板搬送ライン
SF、SA、SB センサ
Claims (1)
- 導電性ボールが搭載された基板を所定の搬送経路に沿って搬送する搬送手段と、前記搬送経路に設けられ下面に基板が押し当てられるマスクプレートを備えた複数の検査ステージと、前記検査ステージに設けられ前記搬送経路上の基板を持ち上げるとともに前記マスクプレートの下面に押し当てる持ち上げ手段と、前記複数の検査ステージへの基板の搬入・搬出を制御する制御手段とを備え、この制御手段が、前記搬送経路の上流側からの基板の接近を検出する検知手段と、前記各検査ステージでの基板の有無を記憶する搬入状態記憶手段と、前記検知手段で検出した基板が搬送される検査ステージを前記搬入状態記憶手段に記憶されている情報に基づいて決定する搬送先決定手段と、各検査ステージでの基板の搬入・搬出制御処理を行う搬入・搬出制御手段とを有し、且つ前記マスクプレートに押し当てられた基板を撮像するカメラと、前記カメラによって撮像した基板の画像を画像処理して検査結果を出力する検査部を備えたことを特徴とする基板検査装置。
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JP16314198A JP3617311B2 (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | 基板検査装置 |
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JP16314198A JP3617311B2 (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | 基板検査装置 |
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JP16314198A Expired - Fee Related JP3617311B2 (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | 基板検査装置 |
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Cited By (1)
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1998
- 1998-06-11 JP JP16314198A patent/JP3617311B2/ja not_active Expired - Fee Related
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