JP2007099466A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007099466A5 JP2007099466A5 JP2005293116A JP2005293116A JP2007099466A5 JP 2007099466 A5 JP2007099466 A5 JP 2007099466A5 JP 2005293116 A JP2005293116 A JP 2005293116A JP 2005293116 A JP2005293116 A JP 2005293116A JP 2007099466 A5 JP2007099466 A5 JP 2007099466A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- holder
- processing
- processing stage
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005293116A JP4854256B2 (ja) | 2005-10-06 | 2005-10-06 | パネル処理装置及び処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005293116A JP4854256B2 (ja) | 2005-10-06 | 2005-10-06 | パネル処理装置及び処理方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007099466A JP2007099466A (ja) | 2007-04-19 |
JP2007099466A5 true JP2007099466A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2008-11-20 |
JP4854256B2 JP4854256B2 (ja) | 2012-01-18 |
Family
ID=38026783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005293116A Expired - Fee Related JP4854256B2 (ja) | 2005-10-06 | 2005-10-06 | パネル処理装置及び処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4854256B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4841537B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2011-12-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 基板処理方法及びフラットパネルディスプレイの製造方法 |
JP4845903B2 (ja) * | 2008-02-05 | 2011-12-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ワークハンドリング装置及び部品搭載装置 |
JP5373331B2 (ja) * | 2008-07-29 | 2013-12-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 基板処理装置 |
JP5479701B2 (ja) * | 2008-10-06 | 2014-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 表示パネルモジュール組立装置 |
JP5352329B2 (ja) * | 2009-04-13 | 2013-11-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 実装処理作業装置及び実装処理作業方法並びに表示基板モジュール組立ライン |
JP2012203304A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Hitachi High-Technologies Corp | Fpdモジュールの組立装置 |
JP2013110114A (ja) * | 2012-12-27 | 2013-06-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機elデバイス製造装置及び角度補正機構 |
JP2022154234A (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-13 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理システム、搬送アーム及び環状部材の搬送方法 |
KR102482535B1 (ko) * | 2022-06-09 | 2022-12-29 | 에이치비솔루션(주) | 기판 이송 장치 및 이를 위한 시스템 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11322069A (ja) * | 1998-05-12 | 1999-11-24 | Canon Inc | 基板搬送用フィンガ組立体 |
JP2002026104A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 受け渡し装置、およびロボットによる受け渡し方法 |
JP2004006467A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Osaki Engineering Co Ltd | パネルまたは基板のパーツ実装装置 |
JP4334369B2 (ja) * | 2004-02-09 | 2009-09-30 | 富士機械製造株式会社 | 基板搬送装置 |
-
2005
- 2005-10-06 JP JP2005293116A patent/JP4854256B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6064684B2 (ja) | 基板処理システムおよび基板反転装置 | |
CN106044211B (zh) | 一种用于盖板物料的自动上料下料设备 | |
US9878364B2 (en) | Workpiece loading apparatus | |
CN102874540B (zh) | 生产线设备及使用该生产线设备的生产线系统 | |
CN110937402B (zh) | 一种自动摆盘设备 | |
WO2018003573A1 (ja) | 搬送システム | |
CN110844577B (zh) | 上料机及上料方法 | |
JP5274053B2 (ja) | ワーク搬送装置 | |
CN204685612U (zh) | 全自动lcd端子清洗机 | |
JP5940640B2 (ja) | 8ロボットアームを備えた搬送ロボット | |
CN110884042A (zh) | 全自动剪切检测一体机 | |
JP5882473B2 (ja) | ワーク搬送装置及びそれを用いたワーク搬送方法 | |
JP2007099466A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
TWI279375B (en) | Apparatus for transferring laminated basal plate | |
JP5283930B2 (ja) | 搬送装置 | |
CN205393817U (zh) | 一种电池自动焊接装配线 | |
CN109399139B (zh) | 一种工件间隔上料机 | |
CN107855407B (zh) | 一种冲压流水线 | |
JP4854256B2 (ja) | パネル処理装置及び処理方法 | |
WO2015083239A1 (ja) | ワーク移送システム | |
CN211109979U (zh) | 一种连续性装卸的自动装卸笼机 | |
JP2006008396A (ja) | 板状部材の搬送装置および搬送方法と、フラットパネルディスプレイの製造装置および製造方法 | |
CN110950072B (zh) | 收料装置 | |
JP2006327819A (ja) | ガラス板の移載装置および移載方法 | |
JP6244168B2 (ja) | ワーク載せ替え装置 |