KR102482535B1 - 기판 이송 장치 및 이를 위한 시스템 - Google Patents

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KR102482535B1
KR102482535B1 KR1020220070358A KR20220070358A KR102482535B1 KR 102482535 B1 KR102482535 B1 KR 102482535B1 KR 1020220070358 A KR1020220070358 A KR 1020220070358A KR 20220070358 A KR20220070358 A KR 20220070358A KR 102482535 B1 KR102482535 B1 KR 102482535B1
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오준호
강의석
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에이치비솔루션(주)
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    • H01L51/56—

Abstract

본 발명은 기판 이송 장치 및 시스템에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 서로 일정 간격으로 이격되어 배치된 복수의 진공 척들, 상기 복수의 진공 척들을 연결하는 연결 부재, 및 상기 복수의 진공 척들 사이에 각각 위치하여 상기 연결 부재와 결합되고, 기판을 이송시키는 로봇 모듈의 암들 각각의 진동을 저감시키는 복수의 진동 저감부들을 포함할 수 있다.

Description

기판 이송 장치 및 이를 위한 시스템{A SUBSTRATE TRANSFER DEVICE AND THE SYSTEM THEREFOR}
본 발명은 기판 이송 장치 및 이를 위한 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes, OLED)는 액정 패널에 빛을 공급하는 후방 조명인 백라이트(back light)가 필요하지 않으며, 형광성 유기화합물을 기반으로 하는 발광 소자의 일종이다. 이러한 유기발광다이오드는 액정과 달리 자체적으로 빛을 발산할 수 있다. 이러한 유기발광다이오드로 이루어진 유기발광다이오드 패널(즉, OLED 물질이 증착되어 있는 글라스)은 디스플레이 장치에 사용되고 있다.
이러한 유기발광다이오드는 제조과정에서 파티클에 의한 불량 방지 목적으로 증착 면이 아래로 향하게 페이스 다운으로 진공척에 흡착을 시킨 후, 패널 하부에서 검사를 진행한다.
예를 들면, 중소형 패널로 페이스 다운 상태로 로봇이 이송을 해서 특정 모듈에 놓아두면, 특정 모듈이 이동을 해서 부착하는 방식이다. 그런데, 이러한 방식은 로봇, 특정 모듈이 패널의 비 성막 엣지 부분을 접촉해서 이송하기 때문에 대형 패널은 중앙부의 처짐의 문제로 사용할 수 없는 문제점이 있다.
따라서, 로봇 모듈을 이용하여 대형 패널을 진공 척에 직접 흡착시킴으로써, 패널의 중앙부의 처짐 문제를 해결할 뿐만 아니라, 운용상의 시간을 줄여 제조 비용을 절감시킬 필요성이 제기된다.
뿐만 아니라, 로봇을 이용하여 대형 패널을 진공 척의 페이스 다운으로 직접 흡착시키는 과정에서 발생되는 로봇 암의 진동을 제거하여 로봇 암의 진동에 따른 대형 패널의 낙하를 방지할 필요성이 제기된다.
종래에는 기판의 엣지 부분을 접촉해서 이송하기 때문에 대형 기판의 경우 중앙부의 처짐이 발생하고, 또한 기판의 낙하 위험이 큰 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 대형 기판을 이송할 경우 중앙부의 처짐 발생을 해결하고, 기판의 낙하 위험을 제거하는 기판 이송 장치 및 이를 위한 시스템을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은 복수의 진공 척들 각각의 하부에 기판을 흡착시킬 수 있는 복수의 진공 패드들을 배치하여 기판을 흡착시키는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은 푸쉬 타입(push type) 또는 클램핑 타입(clamping type)의 진동 저감 장치를 복수의 진공 척들 사이에 각각 배치하여 기판의 진동을 저감시키는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 서로 일정 간격으로 이격되어 배치된 복수의 진공 척들, 상기 복수의 진공 척들을 연결하는 연결 부재, 및 상기 복수의 진공 척들 사이에 각각 위치하여 상기 연결 부재와 결합되고, 기판을 이송시키는 로봇 모듈의 암들 각각의 진동을 저감시키는 복수의 진동 저감부들을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 이송 시스템은 기판 이송 장치의 복수의 진공 척들의 하부로 기판을 흡착하여 이동시키는 로봇 모듈, 및 상기 복수의 진공 척들 사이에 각각 위치하여 상기 복수의 진공 척들을 연결하는 연결 부재와 결합되고, 상기 로봇 모듈의 암들 각각의 진동을 저감시키는 복수의 진동 저감부들이 배치된 상기 기판 이송 장치를 포함할 수 있다.
본 발명은 복수의 진공 척들 사이에 각각 위치하여 기판을 이송하는 로봇 모듈의 암들 각각의 진동을 저감함으로써, 기판의 중앙부가 처지는 문제를 해결하고, 기판의 낙하 위험을 원천적으로 제거할 수 있다.
또한, 본 발명은 진동 저감부를 로봇 모듈의 암의 진행 방향에 대응되는 위치에 배치함으로써, 로봇 모듈의 암의 진동을 효율적으로 제거할 수 있다.
또한, 본 발명은 푸쉬 타입의 진동 저감부가 일 단이 연결 부재에 결합되고, 타 단에 적어도 하나의 홀이 형성된 결합 부재, 로봇 모듈의 암에 접촉하여 암을 하방으로 가압하는 가압부, 및 결합 부재의 타 단에 형성된 홀을 관통하여 가압부와 결합되는 완충부를 포함함으로써, 로봇 모듈의 암들 각각의 떨림이 상이한 경우에도 각각의 암들의 떨림을 효율적으로 저감할 수 있다.
또한, 본 발명은 클램핑 타입의 진동 저감부가 연결 부재와 고정 결합된 고정부, 회전축을 중심으로 고정부 상에서 일정 각도로 회전하는 회전부, 및 회전부의 회전에 기반하여, 로봇 모듈의 암의 하부로 이동하는 기판을 지지하는 지지부를 포함함으로써, 로봇 암의 길이에 상관 없이 로봇 암들의 떨림을 저감할 수 있다.
상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판을 이동시키는 로봇 모듈이 암들을 통해 기판을 흡착한 상태를 나타낸 예시도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 푸쉬 타입의 진동 저감부가 결합된 진공 척 모듈의 상면을 나타낸 예시도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 푸쉬 타입의 진동 저감부가 결합된 진공 척 모듈의 하면을 나타낸 예시도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 척 모듈에 결합된 클램핑 타입의 진동 저감 장치가 오프 상태임을 나타낸 예시도이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 척 모듈에 결합된 클램핑 타입의 진동 저감 장치가 온 상태임을 나타낸 예시도이다
도 4a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 클램핑 타입의 진동 저감 장치의 회전 동작을 나타낸 예시도이다.
도 4b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 클램핑 타입의 진동 저감 장치가 기판을 지지한 상태를 나타낸 예시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 척 모듈로 기판을 이송시킨 로봇 모듈이 진공 척 모듈로부터 이탈되는 상태를 나타낸 예시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 시스템의 동작을 나타낸 순서도이다.
전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것으로, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 제1 구성요소는 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다.
또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다.
명세서 전체에서, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 각 구성요소는 단수일수도 있고 복수일 수도 있다.
본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.
명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다
이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 기판 이송 장치 및 이를 위한 시스템을 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판을 이동시키는 로봇 모듈이 암들을 통해 기판을 흡착한 상태를 나타낸 예시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판을 이동시키는 로봇 모듈(100)은 복수의 암들(111, 112, 113,…)을 포함할 수 있다. 복수의 암들(111, 112, 113,…)은 동일한 방향으로 지향될 수 있다. 그리고, 복수의 암들(111, 112, 113,…) 각각의 일 단은 본체(120)에 결합되어 있다. 또한, 복수의 암들(111, 112, 113,…) 각각은 서로 일정 간격을 두고 이격되어 있다.
일 실시 예에 따르면, 복수의 암들(111, 112, 113,…) 각각의 하면에는 복수의 진공 패드들이 배치될 수 있다. 예를 들면, 로봇 모듈(100)의 제1 암(111)의 하면에는 복수의 진공 패드들(111a, 111b,…111n)이 배치될 수 있다.
이와 같이, 복수의 암들(111, 112, 113,…) 각각의 하면에 배치된 복수의 진공 패드들을 이용하여 기판(130)은 진공 흡착된다. 예를 들면, 상기 기판(130)은 유기발광 다이오드(Organic Light-Emitting Diode, OLED) 패널을 포함할 수 있다.
도 2a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 푸쉬 타입의 진동 저감부가 결합된 진공 척 모듈의 상면을 나타낸 예시도이다. 도 2b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 푸쉬 타입의 진동 저감부가 결합된 진공 척 모듈의 하면을 나타낸 예시도이다. 도 3a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 척 모듈에 결합된 클램핑 타입의 진동 저감 장치가 오프 상태임을 나타낸 예시도이다. 도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 척 모듈에 결합된 클램핑 타입의 진동 저감 장치가 온 상태임을 나타낸 예시도이다
도 2a, 도 2b, 도 3a, 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 장치(예: 진공 척 모듈(200))은 복수의 진공 척들(210)을 포함할 수 있다. 복수의 진공 척들(210)은 동일한 방향으로 지향될 수 있다. 예를 들면, 복수의 진공 척들(211, 212, 213,…)이 지향하는 방향은 로봇 모듈(100)의 복수의 암들(111, 112, 113,…)이 지향하는 방향과 반대일 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 복수의 진공 척들(211, 212, 213,…) 각각은 서로 일정 간격을 두고 이격되어 있다. 예를 들면, 복수의 진공 척들(210)간의 간격(예: 제1 진공 척(211)과 제2 진공 척(212) 간의 간격(214))은 로봇 모듈(100)의 암(예: 제1 암(111))의 너비보다 크다.
이와 같이, 복수의 진공 척들(210)간의 간격(예: 제1 진공 척(211)과 제2 진공 척(212) 간의 간격(214))이 로봇 모듈(100)의 암(예: 제1 암(111))의 너비보다 크기 때문에, 로봇 모듈(100)의 암(예: 제1 암(111))은 복수의 진공 척들 간의 간격(예: 제1 진공 척(211)과 제2 진공 척(212) 간의 간격(214)) 사이에 배치될 수 있다.
예를 들면, 로봇 모듈(100)의 암들(111, 112, 113,…)은 복수의 진공 척들(210)의 하부에 배치된 상태에서 복수의 진공 척들(210)과 수평이 되도록 상 방향으로 이동하고, 결국 복수의 진공 척들 간의 간격 사이에 배치될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 복수의 진공 척들(211, 212, 213,…) 각각의 일 단은 연결 부재(220)에 결합될 수 있다. 상기 연결 부재(220)는 복수의 진공 척들(211, 212, 213,…)의 진행 방향과 수직 방향으로 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 연결 부재(220)는 복수의 진공 척들(211, 212, 213,…) 각각의 일 단의 상면과 물리적으로 결합될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 연결 부재(220)는 진공 척들 간의 간격(214)에 대응되는 부분에 로봇 모듈(100)의 암이 배치되도록 홈(215)이 형성되어 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 연결 부재(220)의 일 면에는 복수의 진동 저감부들이 배치될 수 있다. 상기 연결 부재(220)의 일 면에는 복수의 진동 저감부들이 서로 일정 간격을 두고 배치될 수 있다. 예를 들면, 제1 진동 저감부(230)는 로봇 모듈(100)의 암이 배치되도록 형성된 홈(215)의 상부에 배치되어 상기 연결 부재(220)와 결합될 수 있다. 이러한 복수의 진동 저감부들 각각은 로봇 모듈(100)의 암의 진동을 저감시키도록 동작할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 복수의 진동 저감부들 각각은 복수의 진공 척들 사이에 각각 위치하여 연결 부재(220)와 결합되고, 기판(130)을 이송시키는 로봇 모듈(100)의 암들 각각의 진동을 저감시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 복수의 진동 저감부들 중 적어도 하나는 연결 부재(220) 상에서 로봇 모듈(100)의 암의 진행 방향에 대응되는 위치에 배치되며, 푸쉬 타입(push type) 진동 저감 장치 또는 클램핑 타입(clamping type) 진동 저감 장치 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
푸쉬 타입은 로봇 암의 떨림 또는 진동을 저감하거나, 또는 정밀한 위치 제어를 위해 로봇 암의 끝 단을 미는 방식이다.
그리고, 클램핑 타입은 로봇 암의 끝 단을 당기는 것으로서, 기판의 하부를 지지하는 방식이다.
이와 같이, 진동 저감부가 로봇 암의 끝 단에 접촉한 후, 진동과 위치 정렬이 완료되면, 기판은 로봇 암의 진공 패드에서 진공 척 모듈의 진공 패드로 이동된다.
도 2a 및 도 2b는 푸쉬 타입(push type)의 진동 저감 장치가 진공 척 모듈에 결합된 상태를 나타낸 예시이다.
일 실시 예에 따르면, 푸쉬 타입(push type) 진동 저감 장치는 로봇 모듈(100)의 암의 타 단을 일정 압력으로 하방으로 가압하여 암의 진동을 저감시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 진동 저감부(예: 푸쉬 타입 진동 저감 장치)는 일 단이 연결 부재(220)에 결합되고, 타 단에 적어도 하나의 홀이 형성된 결합 부재(231), 로봇 모듈(100)의 암에 접촉하여 상기 암을 하방으로 가압하는 가압부(232), 및 상기 결합 부재(231)의 타 단에 형성된 홀을 관통하여 상기 가압부(232)와 결합되는 완충부(233, 234)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 완충부는 하나 또는 그 이상일 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 완충부(233, 234)는 로봇 모듈(100)의 암의 진동을 저감시키는 완충 부재(예: 스프링)가 내부에 구비될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 클램핑 타입(clamping type) 진동 저감 장치는 로봇 모듈(100)의 암의 타 단을 하부에서 지지하여 암의 진동을 저감시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 진공 척 모듈(200)의 복수의 진공척들(211, 212, 213,…) 각각의 하면에는 복수의 진공 패드들이 배치될 수 있다. 예를 들면, 진공 척 모듈(200)의 제1 암(211)의 하면에는 복수의 진공 패드들(211a, 211b,…, 211n)이 배치될 수 있다.
이와 같이, 복수의 진공척들(211, 212, 213,…)은 각각의 하면에 배치된 복수의 진공 패드들을 이용하여 로봇 모듈(100)의 복수의 암들(111, 112, 113,…)에 의해 이동되는 기판(130)을 진공 흡착한다.
도 3a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 척 모듈에 결합된 클램핑 타입의 진동 저감 장치가 오프(OFF) 상태를 나타낸 예시도이고, 도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 척 모듈에 결합된 클램핑 타입의 진동 저감 장치가 온(ON) 상태를 나타낸 예시이다.
일 실시 예에 따르면, 진동 저감부는 클램핑 타입(clamping type)의 진동 저감 장치(310)를 포함할 수 있다. 클램핑 타입(clamping type)의 진동 저감 장치(310)는 로봇 모듈(100)의 암의 타 단의 하부에서 암을 지지하여 암의 진동을 저감시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 진동 저감부(예: 클램핑 타입 진동 저감 장치)는 고정부를 통해 연결 부재(220)와 고정 결합된 상태에서 회전부를 회전축을 중심으로 회전시키고, 지지부를 이용하여 로봇 모듈의 암의 하부를 지지함으로써, 암의 진동을 저감시킬 수 있다. 이하, 도 4a 및 도 4b에서는 클램핑 타입의 진동 저감 장치의 동작에 대해 기술한다.
상술한 바와 같이, 로봇 암에 구성이 되어 있는 진공 패드의 높이와 진공 척에 구성이 되어 있는 진공 패드의 높이를 동일하게 함으로써, 기판은 로봇 암에서 진공 척 모듈로 이송되고, 흡착 위치는 정렬하게 된다.
도 4a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 클램핑 타입의 진동 저감 장치의 회전 동작을 나타낸 예시도이다. 도 4b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 클램핑 타입의 진동 저감 장치가 기판을 지지한 상태를 나타낸 예시도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 진동 저감부(예: 클램핑 타입 진동 저감 장치)(310)는 모터(미도시)의 동력에 기반하여 상부에서 하부로 회전될 수 있다.
또한, 진동 저감부(예: 클램핑 타입 진동 저감 장치)(310)는 하부에서 기판의 하면을 지지할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 진동 저감부(예: 클램핑 타입 진동 저감 장치)(310)에 포함된 모터(미도시)는 지지부(430)가 기판(130)의 하부에 위치하도록 회전부(420)를 일정 각도(예: 180o)로 회전시키는 동력을 제공할 수 있다. 이와 같이, 회전부(420)와 지지부(430)는 모터로부터 제공된 동력에 의해, 회전하게 되고, 이러한 회전에 따라 지지부(430)는 진공 척 모듈(200)의 척들(211, 212, 212,…)의 하부에 배치하게 된다.
일 실시 예에 따르면, 상기 회전부(420)는 지지부(430)가 기판(130)의 하부에 위치하도록 동작하여 일 방향(예: -Z 방향)으로 지지부(430)를 회전시키고, 타 방향(예: Z 방향)(440)으로 지지부(430)를 이동시킬 수 있다. 이러한 동작에 의해 지지부(430)는 기판(130)을 지지할 수 있다.
이와 같이, 지지부(430)는 회전부(420)와의 피스톤 동작에 따라 상 방향 또는 하 방향으로 움직이며, 로봇 모듈(100)의 암의 하부에 밀착 접촉된다.
일 실시 예에 따르면, 상기 지지부(430)는 로봇 모듈(100)의 암의 하부를 접촉하여 기판(130)를 지지하도록 상면에 돌기가 형성되어 있다.
일 실시 예에 따르면, 진동 저감부(예: 클램핑 타입 진동 저감 장치)(310)는 피스톤(미도시), 및/또는 모터(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 회전부(420)는 힌지(또는 회전축)(411)를 통해 고정부(410)와 결합될 수 있고, 회전될 수 있다. 지지부(430)는 기판(130)을 지지하는 돌기(431)를 포함할 수 있다. 돌기(431)는 지지부(430)의 일 측(예: 기판(130)의 가장자리)에 배치될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공 척 모듈로 기판을 이송시킨 로봇 모듈이 진공 척 모듈로부터 이탈되는 상태를 나타낸 예시도이다.
도 5를 참조하면, 로봇 모듈(100)은 암(111)의 하부에 배치된 복수의 진공 패드들(111a, 111b,…, 111n)을 통해 기판(130)을 흡착하여 진공 척 모듈(200)의 척들(211, 212, 212…) 각각의 하부에 이동시킨다. 이후, 진공 척 모듈(200)은 척들(211, 212, 212…) 각각의 하부에 배치된 복수의 진공 패드들(211a, 211b,…, 211n)를 이용하여 로봇 모듈(100)로부터 이동된 기판(130)을 흡착한다.
그리고, 기판(130)이 진공 척 모듈(200)에 안착되면, 로봇 모듈(100)은 진공 척 모듈(200)의 척들(211, 212, 212…)의 상 방향으로 이동하여 진공 척 모듈(200)로부터 이탈한다.
일 실시 예에 따르면, 기판(130)이 진공 척 모듈(200)에 안착되면, 진동 저감부(예: 클램핑 타입 진동 저감 장치)(310)는 온 상태로 전환(예: 도 4a의 반대 상황)(510)한다. 이후, 로봇 모듈(100)은 진공 척 모듈(200)의 척들(211, 212, 212…)의 상 방향으로 이동하여 진공 척 모듈(200)로부터 이탈할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 기판 이송 장치(예: 진공 척 모듈(200))는 로봇 모듈(100)의 복수의 암들(111, 112, 113,…) 각각의 하부에 배치된 진공 패드들(111a, 111b,…, 111n)과 진공 척 모듈(200)의 복수의 진공 척들(211, 212, 213,…) 각각의 하부에 배치된 진공 패드들(211a, 211b, 211c,…211n)의 진공 압력을 제어할 수 있는 프로세서(미도시)를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 프로세서는 로봇 모듈(100)의 암들 각각이 복수의 진공 척들의 하부에서 복수의 진공 척들 각각의 사이로 상 방향으로 이동하면, 복수의 진동 저감부들 중 적어도 하나를 온(ON) 시킬 수 있다. 예를 들면, 로봇 모듈(100)의 암들 각각이 복수의 진공 척들 각각의 사이에 위치하게 되면, 로봇 모듈(100)의 암들 각각의 진동을 저감하기 위해 복수의 진동 저감부들을 온(ON) 시키도록 동작할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 프로세서는 복수의 진공 척들 각각의 하부에 배치된 복수의 진공 패드들의 진공 압력이 정상 범위 이내인지 확인하고, 복수의 진공 패드들의 진공 압력이 정상 범위 이내이면, 복수의 진공 패드들의 진공 압력을 온(ON) 시켜 기판을 상기 복수의 진공 패드들에 흡착시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 시스템의 동작을 나타낸 순서도이다.
이하, 도 1 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 시스템의 동작을 상세히 설명하면 다음과 같다.
일 실시 예에 따르면, 로봇 모듈(100)은 복수의 암들 각각의 하면에 부착된 복수의 진공 패드들을 이용하여 기판을 흡착할 수 있다(S610). 로봇 모듈(100)은 복수의 암들 각각의 하면에 부착된 복수의 진공 패드들의 진공 압력을 조절하여 기판(130)을 흡착시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 로봇 모듈(100)은 흡착된 기판을 진공 척 모듈의 하부로 이동시킨다(S612). 로봇 모듈(100)은 암들 각각의 하면에 부착된 기판(130)을 진공 척 모듈의 하부로 이동시킬 수 있다.
이 경우, 로봇 모듈(100)은 암들 각각이 진공 척 모듈의 척들 사이로 이동 가능하도록 진공 척 모듈의 하부의 적절한 위치로 이동할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 로봇 모듈(100)은 암들 각각을 진공 척 모듈의 척들 사이로 이동시킨다(S614). 로봇 모듈(100)은 암들 각각이 진공 척 모듈의 척들 사이에 균일하게 배치되도록 상 방향으로 이동할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 기판 이송 장치(예: 프로세서)는 진동 저감부를 온(ON)시킨다(S616). 기판 이송 장치(예: 프로세서)는 로봇 모듈(100)의 암들 각각이 진공 척 모듈의 척들 사이에 균일하게 배치되는 것으로 식별되면, 진동 저감부를 이용하여 로봇 모듈(100)의 암들의 진동을 저감시키도록 동작할 수 있다.
예를 들면, 진동 저감부가 푸쉬 타입 진동 저감 장치이면, 진동 저감부는 가압부를 로봇 모듈의 암에 접촉하여 하방으로 가압하여 로봇 모듈의 암의 진동을 저감시킬 수 있다.
예를 들면, 진동 저감부가 클램핑 타입 진동 저감 장치이면, 진동 저감부는 회전부를 회전축을 중심으로 일정 각도로 회전시켜, 지지부를 로봇 모듈의 암의 하부로 이동시키고, 지지부를 기판의 하면에 접촉시킴으로써, 로봇 모듈의 암의 진동을 저감시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 기판 이송 장치(예: 프로세서)는 진공 척의 진공 패드에 대한 정상 여부를 확인할 수 있다(S618). 기판 이송 장치(예: 프로세서)는 진공 척의 하부에 배치된 복수의 진공 패드들을 진공시킨 후, 진공 압력의 분석을 통해서 진공 패드에 대한 정상 여부를 확인할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 기판 이송 장치(예: 프로세서)는 진공 패드가 정상인지 식별할 수 있다(S620). 기판 이송 장치(예: 프로세서)는 진공 패드의 진공 압력이 정상 범위 이내인지 확인하고, 복수의 진공 패드들의 진공 압력이 정상 범위 이내이면, 복수의 진공 패드들의 진공 능력이 정상인 것으로 판단할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 기판 이송 장치(예: 프로세서)는 진공 척의 하부에 배치된 적어도 하나의 진공 패드의 진공 압력을 온(ON) 시킬 수 있다(S622). 기판 이송 장치(예: 프로세서)는 복수의 진공 패드들의 진공 능력이 정상인 것으로 판단되면, 진공 척의 하부에 배치된 적어도 하나의 진공 패드를 진공시킬 있다.
일 실시 예에 따르면, 로봇 모듈(100)은 로봇 암의 하부에 배치된 진공 패드의 진공 압력을 오프(OFF)시킬 수 있다(S624). 기판 이송 장치(예: 프로세서)는 진공 척의 하부에 배치된 적어도 하나의 진공 패드를 진공시켜 기판이 전공 척의 하부에 흡착되면, 로봇 암의 하부에 배치된 진공 패드의 진공 압력을 오프시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 기판 이송 장치는 진동 저감부를 오프(OFF) 시킬 수 있다(S626). 기판 이송 장치는 로봇 암의 하부에 배치된 진공 패드의 진공 압력이 오프되면, 진동 저감부를 오프(OFF) 시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 기판 이송 장치(예: 프로세서)는 로봇 암의 하부에 배치된 진공 패드의 진공 압력이 오프되면, 진동 저감부를 이용하여 로봇 모듈(100)의 암들의 진동을 저감시키는 동작을 해제할 수 있다.
예를 들면, 진동 저감부가 푸쉬 타입 진동 저감 장치이면, 진동 저감부는 가압부를 로봇 모듈의 암에 접촉하여 하방으로 가압하는 동작을 해제할 수 있다.
예를 들면, 진동 저감부가 클램핑 타입 진동 저감 장치이면, 진동 저감부는 지지부를 기판의 하면으로부터 이탈시키고, 회전부를 회전축을 중심으로 일정 각도로 회전시켜, 지지부를 로봇 모듈의 암의 하부로부터 이탈시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 로봇 모듈(100)은 진공 척 모듈로부터 이탈한다(S628). 진동 저감부의 가압 동작이 해제되면, 로봇 모듈(100)은 진공 척 모듈로부터 이탈되도록 움직일 수 있다. 또한, 지지부가 로봇 모듈의 암의 하부로부터 이탈되면, 로봇 모듈(100)은 진공 척 모듈로부터 이탈되도록 움직일 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 이송 장치는 로봇 모듈을 통해서 기판을 진공 척들의 하부로 로딩하고, 로봇의 암을 흡착 위치로 상승시키고, 진동 저감부를 동작시켜 기판을 진공 척들의 하부에 배치된 진공 패드에 접촉시킨다. 이후, 본 발명의 기판 이송 장치는 진공 패드를 진공시키고 진동 저감부의 동작을 오프시킨 후, 로봇 암의 진공 패드의 진공을 해제함으로써, 기판을 진공 척 모듈에 흡착시킬 수 있다.
본 발명은 이러한 방식을 통해 대형 기판을 이송시킬 수 있다.
이상에서 상술한 각각의 순서도에서의 각 단계는 도시된 순서에 무관하게 동작될 수 있거나, 또는 동시에 수행될 수 있다. 또한, 본 발명의 적어도 하나의 구성 요소와, 상기 적어도 하나의 구성 요소에서 수행되는 적어도 하나의 동작은 하드웨어 및/또는 소프트웨어로 구현 가능할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.
100: 로봇 모듈 111, 112, 113: 암
111a, 111b, 111n: 진공 패드 120: 본체
130: 기판 200: 진공 척 모듈
211, 212, 213: 진공 척 220: 연결 부재
230: 진동 저감부 231: 결합부재
232: 가압부 233, 234: 완충부

Claims (13)

  1. 기판 이송 장치에 있어서,
    서로 일정 간격으로 이격되어 배치된 복수의 진공 척들;
    상기 복수의 진공 척들을 연결하는 연결 부재; 및
    상기 복수의 진공 척들 사이에 각각 위치하여 상기 연결 부재와 결합되고, 기판을 이송시키는 로봇 모듈의 암들 각각의 진동을 저감시키는 복수의 진동 저감부들을 포함하며,
    상기 복수의 진동 저감부들 중 적어도 하나는,
    상기 연결 부재 상에서 상기 로봇 모듈의 암의 진행 방향에 대응되는 위치에 배치되며, 푸쉬 타입(push type) 진동 저감 장치 또는 클램핑 타입(clamping type) 진동 저감 장치 중 어느 하나를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 푸쉬 타입 진동 저감 장치는,
    일 단이 상기 연결 부재에 결합되고, 타 단에 적어도 하나의 홀이 형성된 결합 부재;
    상기 로봇 모듈의 암에 접촉하여 상기 암을 하방으로 가압하는 가압부; 및
    상기 결합 부재의 타 단에 형성된 홀을 관통하여 상기 가압부와 결합되는 완충부를 포함하는 기판 이송 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 완충부는,
    상기 로봇 모듈의 암의 진동을 저감시키는 완충 부재를 포함하는 기판 이송 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 클램핑 타입 진동 저감 장치는,
    상기 연결 부재와 고정 결합된 고정부;
    회전축을 중심으로 상기 고정부 상에서 일정 각도로 회전하는 회전부; 및
    상기 회전부의 회전에 기반하여, 상기 로봇 모듈의 암의 하부로 이동하는 상기 기판을 지지하는 지지부를 포함하는 기판 이송 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 지지부는
    상기 회전부와의 피스톤 동작에 따라 상 방향 또는 하 방향으로 움직이며, 상기 로봇 모듈의 암의 하부에 밀착 접촉하는 기판 이송 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 지지부는,
    상기 로봇 모듈의 암의 하부를 접촉하여 지지하도록 상면에 돌기가 형성된 기판 이송 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 진공 척들 각각의 하부에는 상기 로봇 모듈의 암들에 의해 이송되는 상기 기판을 흡착하기 위한 복수의 진공 패드들이 배치된 기판 이송 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    프로세서를 더 포함하며,
    상기 프로세서는,
    상기 로봇 모듈의 암들 각각이 상기 복수의 진공 척들의 하부에서 상기 복수의 진공 척들 각각의 사이로 상 방향으로 이동하면, 상기 복수의 진동 저감부들을 온(ON) 시키도록 설정된 기판 이송 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 프로세서는,
    상기 복수의 진공 척들 각각의 하부에 배치된 복수의 진공 패드들의 진공 압력이 정상 범위 이내인지 확인하고,
    상기 복수의 진공 패드들의 진공 압력이 정상 범위 이내이면, 상기 복수의 진공 패드들의 진공 압력을 온(ON) 시켜 상기 기판을 상기 복수의 진공 패드들에 흡착시키도록 설정된 기판 이송 장치.
  11. 기판 이송 시스템에 있어서,
    기판 이송 장치의 복수의 진공 척들의 하부로 기판을 흡착하여 이동시키는 로봇 모듈; 및
    상기 복수의 진공 척들 사이에 각각 위치하여 상기 복수의 진공 척들을 연결하는 연결 부재와 결합되고, 상기 로봇 모듈의 암들 각각의 진동을 저감시키는 복수의 진동 저감부들이 배치된 상기 기판 이송 장치를 포함하며,
    상기 복수의 진동 저감부들 중 적어도 하나는,
    상기 연결 부재 상에서 상기 로봇 모듈의 암의 진행 방향에 대응되는 위치에 배치되며, 푸쉬 타입(push type) 진동 저감 장치 또는 클램핑 타입(clamping type) 진동 저감 장치 중 어느 하나를 포함하는 기판 이송 시스템.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 기판 이송 장치는,
    상기 로봇 모듈의 암들 각각이 상기 복수의 진공 척들의 하부에서 상기 복수의 진공 척들 각각의 사이로 상 방향으로 이동하면, 상기 복수의 진동 저감부들을 온(ON) 시키는 기판 이송 시스템.
  13. 삭제
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