KR20160118464A - 기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20160118464A
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엄기상
박귀수
김대훈
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판 이송 시 기판 이송 유닛의 진동을 방지할 수 있는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 유닛은, 기판을 지지하는 아암 및 아암의 진동 방향의 역방향으로 진동함으로써, 아암의 진동을 상쇠시키는 동조 질량 감쇠기를 포함한다. 아암은 바디 및 기판이 놓이는 핸드를 포함하고, 동조 질량 감쇠기는 기판과의 간섭을 피하기 위해 바디에 설치된다.

Description

기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{SUBSTRATE TRANSFERING UNIT AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 기판을 이송하는 기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판 상으로 감광액을 공급하는 포토리소그라피, 식각, 이온주입, 증착 그리고 세정 등의 다양한 공정들이 수행된다. 이러한 공정이 수행되는 과정에서 기판은 하나의 장치에서 다른 장치로 이송된다. 이와 같은 이송 과정에서 기판의 핸들링은 이송로봇 등의 기판 이송 유닛에 의해 수행될 수 있다.
기판 이송 시 진동에 의한 기판의 손상을 방지하기 위해 기판 이송 유닛에는 진동을 방지하는 수단이 제공된다. 일반적으로 진동을 방지 하는 수단은 기판 이송 유닛을 구동하는 구동기 및 이를 제어하는 제어기를 이용하여 기판 이송 유닛의 운동 상태를 제어함으로써 진동을 방지하나 이 경우, 기판 이송 유닛이 복수개의 암(Arm)을 포함하는 경우, 각각의 암에 대한 진동을 방지하는 것이 용이하지 않다.
본 발명은 기판 이송 시 진동을 방지할 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 기판이 놓이는 각각의 아암에 대한 진동을 방지할 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 기판 이송 시 기판의 손상을 방지할 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 기판 이송 유닛을 제공한다. 일 실시 예에 의하면, 기판을 이송하는 기판 이송 유닛은, 기판을 지지하는 아암; 및 상기 아암에 설치되고, 상기 아암의 진동 방향과 역 방향으로 진동함으로써, 상기 아암에 가해지는 진동을 감쇠시키는 동조 질량 감쇠기;를 포함한다.
상기 동조 질량 감쇠기는, 역진동 추; 및 상기 아암 및 상기 역진동 추에 연결되어 상기 역진동 추를 지지하고, 상기 역진동 추가 상기 아암에 대해 상대적으로 왕복 운동이 가능하도록 탄성을 가지는 탄성 지지 부재;를 포함한다.
상기 아암은, 바디; 및 상기 바디의 일측에 제공되고 기판이 놓이는 핸드;를 포함하되, 상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 바디에 설치되고, 상기 역진동 추는, 상기 바디로부터 일정 거리로 이격되게 제공되며, 상기 탄성 지지 부재는, 상기 바디의 상부면으로부터 돌출되게 제공되는 지지축; 및 상기 지지축의 상부 끝단으로부터 상기 바디의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공되고, 끝단이 상기 역진동 추와 연결되며, 탄성을 가지는 판 스프링;을 포함한다.
상기 아암은, 바디; 및 상기 바디의 일측에 제공되고 기판이 놓이는 핸드;를 포함하되, 상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 바디에 설치되고, 상기 역진동 추는, 상기 바디로부터 일정 거리로 이격되게 제공되며, 상기 탄성 지지 부재는, 상기 바디의 상부면으로부터 돌출되게 제공되고, 탄성을 가지는 탄성 부재; 및 상기 탄성 부재의 상부 끝단으로부터 상기 바디의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공되고, 끝단이 상기 역진동 추와 연결되는 지지 바;를 포함한다.
상기 아암은, 바디; 및 상기 바디의 일측에 제공되고 기판이 놓이는 핸드;를 포함하되, 상기 바디의 상면에는, 상기 역진동 추가 삽입되는 삽입부가 형성되고, 상기 탄성 지지 부재는, 상기 역진동 추의 측면 및 상기 삽입부의 내측면을 연결하는 탄성 부재를 포함한다.
상기 탄성 지지 부재는, 복수개가 상기 역 진동추의 측면을 둘러싸도록 서로 이격되게 배열된다.
상기 탄성 지지 부재는, 4개로 제공될 수 있다.
각각의 상기 탄성 지지 부재는, 탄성 계수가 서로 동일 또는 상이하게 제공된다
상기 바디의 상면에는 삽입부가 형성되고, 상기 역진동 추의 하부는 상기 삽입부에 삽입된다.
상기 삽입부는, 홈으로 제공된다.
상기 역진동 추는, 상단이 상기 삽입부의 상단보다 높은 위치에 위치된다.
상기 역진동 추는 원판형으로 제공될 수 있다.
상기 삽입부는, 상부에서 바라볼 때 원형으로 제공될 수 있다.
상기 아암은 복수개가 상하 방향으로 이격되게 제공되고, 상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 복수개의 아암에 각각 설치된다.
다른 실시 예에 의하면, 기판을 이송하는 기판 이송 유닛은, 기판을 지지하는 아암; 및 상기 아암에 설치되는 동조 질량 감쇠기;를 포함하되, 상기 동조 질량 감쇠기는, 역진동 추; 및 탄성을 가지고, 상기 역진동 추와 상기 아암을 연결하는 탄성 지지 부재;를 포함한다.
상기 아암은, 바디; 및 상기 바디의 일측에 제공되고 기판이 놓이는 핸드;를 포함하되, 상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 바디에 설치되고, 상기 역진동 추는, 상기 바디로부터 일정 거리로 이격되게 제공되며, 상기 탄성 지지 부재는, 상기 바디의 상부면으로부터 돌출되게 제공되는 지지축; 및 상기 지지축의 상부 끝단으로부터 상기 바디의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공되고, 끝단이 상기 역진동 추와 연결되며, 탄성을 가지는 판 스프링;을 포함한다.
상기 아암은, 바디; 및 상기 바디의 일측에 제공되고 기판이 놓이는 핸드;를 포함하되, 상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 바디에 설치되고, 상기 역진동 추는, 상기 바디로부터 일정 거리로 이격되게 제공되며, 상기 탄성 지지 부재는, 상기 바디의 상부면으로부터 돌출되게 제공되고, 탄성을 가지는 탄성 부재; 및 상기 탄성 부재의 상부 끝단으로부터 상기 바디의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공되고, 끝단이 상기 역진동 추와 연결되는 지지 바;를 포함한다.
상기 탄성 지지 부재는, 복수개가 상기 역 진동추의 측면을 둘러싸도록 서로 이격되게 배열된다.
상기 바디의 상면에는 삽입부가 형성되고, 상기 역진동 추의 하부는 상기 삽입부에 삽입된다.
상기 아암은 복수개가 상하 방향으로 이격되게 제공되고, 상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 복수개의 아암에 각각 설치된다.
또한, 본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 일 실시 예에 의하면 기판 처리 장치는 내부에 기판에 대해 공정 처리가 수행되는 공간이 제공된 복수개의 공정 챔버를 포함하는 공정 모듈; 기판을 수용하는 캐리어가 놓이는 로드 포트; 및 상기 로드 포트에 놓인 캐리어 및 상기 공정 챔버 간에 또는 각각의 상기 공정 챔버간에 기판을 이송하는 기판 이송 유닛을 포함하되, 상기 기판 이송 유닛은, 기판을 지지하는 아암; 및 상기 아암에 설치되는 동조 질량 감쇠기;를 포함하되, 상기 동조 질량 감쇠기는, 역진동 추; 및 탄성을 가지고, 상기 역진동 추와 상기 아암을 연결하는 탄성 지지 부재;를 포함한다.
상기 아암은, 바디; 및 상기 바디의 일측에 제공되고 기판이 놓이는 핸드;를 포함하되, 상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 바디에 설치되고, 상기 역진동 추는, 상기 바디로부터 일정 거리로 이격되게 제공되며, 상기 탄성 지지 부재는, 상기 바디의 상부면으로부터 돌출되게 제공되는 지지축; 및 상기 지지축의 상부 끝단으로부터 상기 바디의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공되고, 끝단이 상기 역진동 추와 연결되며, 탄성을 가지는 판 스프링;을 포함한다.
상기 아암은, 바디; 및 상기 바디의 일측에 제공되고 기판이 놓이는 핸드;를 포함하되, 상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 바디에 설치되고, 상기 역진동 추는, 상기 바디로부터 일정 거리로 이격되게 제공되며, 상기 탄성 지지 부재는, 상기 바디의 상부면으로부터 돌출되게 제공되고, 탄성을 가지는 탄성 부재; 및 상기 탄성 부재의 상부 끝단으로부터 상기 바디의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공되고, 끝단이 상기 역진동 추와 연결되는 지지 바;를 포함한다.
상기 탄성 지지 부재는, 복수개가 상기 역 진동추의 측면을 둘러싸도록 서로 이격되게 배열된다.
상기 바디의 상면에는 삽입부가 형성되고, 상기 역진동 추의 하부는 상기 삽입부에 삽입된다.
상기 아암은 복수개가 상하 방향으로 이격되게 제공되고, 상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 복수개의 아암에 각각 설치된다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 본 발명의 장치는 기판 이송 시 진동을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 본 발명의 장치는 기판이 놓이는 각각의 아암에 대한 진동을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 이송 시 기판의 손상을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 기판 이송 유닛의 일부를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 기판 이송 유닛을 나타낸 측면도이다.
도 4는 도 2의 동조 질량 감쇠기를 A-A방향으로 절단한 모습을 나타낸 사시도이다.
도 5 내지 도 8은 도 2의 동조 질량 감쇠기의 다른 실시예들을 나타낸 도면들이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 본 발명의 기판 처리 장치(1)를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 인덱스모듈(10)과 공정 모듈(20)을 가지고, 인덱스모듈(10)은 로드 포트(120) 및 이송프레임(140)을 가진다. 로드 포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정 모듈(20)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 이하, 로드 포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정 모듈(20)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하며, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 칭한다.
로드포트(140)에는 기판(W)을 수용하는 캐리어(130)가 놓인다. 로드 포트(120)는 복수 개가 제공될 수 있으며 이들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 로드 포트(120)의 개수는 공정 모듈(20)의 공정효율 및 풋 프린트조건 등에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(130)에는 기판(W)들을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 다수의 슬롯(미도시)이 형성된다. 캐리어(130)로는 전면개방일체형포드(Front Opening Unifed Pod;FOUP)가 사용될 수 있다.
공정 모듈(20)은 버퍼유닛(220), 이송챔버(240), 그리고 공정 챔버(260)를 포함한다. 이송챔버(240)는 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 평행하게 배치된다. 이송챔버(240)의 양측에는 각각 공정 챔버(260)들이 배치된다. 이송챔버(240)의 일측 및 타측에서 공정 챔버(260)들은 이송챔버(240)를 기준으로 대칭되도록 제공된다. 이송챔버(240)의 일측에는 복수 개의 공정 챔버(260)들이 제공된다. 공정 챔버(260)들 중 일부는 이송챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정 챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송챔버(240)의 일측에는 공정 챔버(260)들이 A X B의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정 챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정 챔버(260)의 수이다. 이송챔버(240)의 일측에 공정 챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정 챔버(260)들은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정 챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정 챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한, 상술한 바와 달리, 공정 챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.
버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 이송챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송챔버(240)와 이송프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼유닛(220)은 그 내부에 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공되며, 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개가 제공된다. 버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 마주보는 면 및 이송챔버(240)와 마주보는 면이 개방된다.
이송프레임(140)은 로드 포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송프레임(140)에는 인덱스레일(142)과 인덱스로봇(144)이 제공된다. 인덱스레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스로봇(144)은 인덱스레일(142) 상에 설치되며, 인덱스레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 직선 이동된다. 인덱스로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정 모듈(20)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 이의 다른 일부는 캐리어(130)에서 공정 모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.
이송챔버(240)는 버퍼유닛(220)과 공정 챔버(260) 간에, 그리고 공정 챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송챔버(240)에는 가이드레일(242)과 메인로봇(244)이 제공된다. 가이드레일(242)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인로봇(244)은 가이드레일(242) 상에 설치되고, 가이드레일(242) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. 메인로봇(244)은 베이스(244a), 몸체(244b), 그리고 메인암(244c)을 가진다. 베이스(244a)는 가이드레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(244b)는 베이스(244a)에 결합된다. 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 몸체(244b)에 결합되고, 이는 몸체(244b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인암(244c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다.
공정 챔버(260)의 내부에는 기판에 대해 공정 처리가 수행되는 공간이 제공된다. 공정 챔버(260) 내에는 기판(W)에 대해 세정 공정을 수행하는 구성이 제공될 수 있다. 공정 챔버(260) 내부에 제공되는 구성은 수행하는 세정 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 이와 달리 각각의 공정 챔버(260) 내의 구성은 동일게 제공될 수 있다. 선택적으로 공정 챔버(260)들은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 공정 챔버(260) 내의 구성들은 서로 동일하고, 서로 상이한 그룹에 속하는 공정 챔버(260) 내의 구성은 서로 상이하게 제공될 수 있다. 예컨대, 공정 챔버(260)가 2개의 그룹으로 나누어지는 경우, 이송챔버(240)의 일측에는 제 1 그룹의 공정 챔버(260)들이 제공되고, 이송챔버(240)의 타측에는 제 2 그룹의 공정 챔버(260)들이 제공될 수 있다. 선택적으로 이송챔버(240)의 양측에서 하층에는 제 1 그룹의 공정 챔버(260)들이 제공되고, 상층에는 제 2 그룹의 공정 챔버(260)들이 제공될 수 있다. 제 1 그룹의 공정 챔버(260)와 제 2 그룹의 공정 챔버(260)는 각각 사용되는 케미컬의 종류나, 세정 방식의 종류에 따라 구분될 수 있다. 이와 달리, 제 1 그룹의 공정 챔버(260)와 제 2 그룹의 공정 챔버(260)는 하나의 기판(W)에 대해 순차적으로 공정을 수행하도록 제공될 수 있다. 예컨대, 기판(W)은 제 1 그룹의 공정 챔버(260)에서 케미컬처리공정 또는 린스공정이 수행되고, 제 2 그룹의 공정 챔버(260)에서 린스공정 또는 건조공정이 수행될 수 있다.
상술한 실시 예의 경우, 내부에서 세정 공정이 수행되고, 복수개가 제공되는 공정 챔버(260)를 포함하는 기판 처리 장치를 예로 설명하였으나 이와 달리, 공정 챔버(260)는 하나로 제공될 수 있다. 또한, 각각의 공정 챔버(260)는 내부에 포토리소그라피, 식각, 이온주입, 증착 등 기판을 처리하는 다양한 공정을 수행하는 구성 중 하나가 제공될 수 있다.
이하, 본 발명의 기판 이송 유닛에 대해 설명한다. 본 발명의 기판 이송 유닛은 도 1의 인덱스로봇(144) 및 메인로봇(244)에 대응된다. 따라서, 상술한 바와 같이, 기판 이송 유닛은 제공된 레일을 따라 이동하며, 로드 포트에 놓인 캐리어 및 공정 챔버 간 또는 각각의 공정 챔버 간에 기판을 이송한다.
도 2는 본 발명의 기판 이송 유닛의 일부를 나타낸 사시도이다. 도 3은 본 발명의 기판 이송 유닛을 나타낸 측면도이다. 도 2 및 도 3을 참고하면, 기판 이송 유닛은 아암(1100) 및 동조 질량 감쇠기(1200)를 포함한다.
아암(1100)은 기판 이송 시 기판을 지지한다. 아암(1100)은 도 1의 인덱스암(144c) 또는 메인암(244c)에 대응된다. 아암(1100)은 복수개가 제공될 수 있다. 아암(1100)은 복수개가 제공되는 경우, 각각 개별 구동되도록 제공될 수 있다. 또한, 아암(1100)은 각각 상하 방향을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치될 수 있다. 아암(1100)은 바디(1110) 및 핸드(1120)를 포함한다.
바디(1110)는 핸드(1120)와 그 외의 기판 이송 유닛(1000)의 구성에 연결되어 핸드(1120)를 지지하는 골격을 제공한다. 바디(1110)는 일 방향으로 설정 길이를 갖는 로드(Rod) 형상으로 제공될 수 있다. 바디(1110)의 일측에는 핸드(1120)가 제공된다. 바디(1110)의 타측은 기판 이송 유닛(1000)의 핸드(1120) 이외의 구성에 연결된다. 바디(1110)는 기판 이송 유닛(1000)의 그 외의 구성에 의해 회전되거나 상하 높이가 조절되도록 운동할 수 있다.
핸드(1120)는 바디(1110)의 일측에 제공된다. 핸드(1120)에는 기판 이송 시 기판이 놓인다. 기판이 놓이는 핸드(1120)의 상면에는 진공압을 형성하는 진공 홀이 형성되어 진공압에 의해 기판이 핸드(1120)로부터 일탈되는 것을 방지할 수 있다. 이와 달리, 핸드(1120)는 기판이 이탈되는 것을 방지하기 위한 다양한 구성으로 제공될 수 있다.
도 4는 도 2의 동조 질량 감쇠기(1200)를 A-A방향으로 절단한 모습을 나타낸 사시도이다. 도 2 및 도 4를 참고하면, 동조 질량 감쇠기(1200)는 아암(1100)의 진동 방향과 역 방향으로 진동함으로써, 아암(1100)에 가해지는 진동을 감쇠시킨다. 동조 질량 감쇠기(1200)는 아암(1100)에 설치된다. 예를 들면, 동조 질량 감쇠기(1200)는 핸드(1120)에 놓이는 기판과의 간섭을 피하기 위해 바디(1110)에 설치될 수 있다. 이와 달리, 동조 질량 감쇠기(1200)는 핸드(1120)의 하면 등 아암(1100)의 기판과의 간섭을 피할 수 있는 부분에 설치될 수 있다. 동조 질량 감쇠기(1200)는 역진동 추(1220) 및 탄성 지지 부재(1230)를 포함한다.
역진동 추(1220)는 실험에 의해 아암(1100)의 진동을 최대한 감쇠시킬 수 있는 질량 및 형태로 제공된다. 예를 들면, 역진동 추(1220)는 실험에 의해 대체로 원판형의 형태를 가지도록 제공될 수 있다. 역진동 추(1220)는 아암(1100)에 대해 상대적으로 운동될 수 있도록 아암(1100)으로부터 일정 거리로 이격되게 제공된다. 따라서, 동조 질량 감쇠기(1200)가 바디(1110)에 설치되는 경우, 역진동 추(1220)는 바디(1110)로부터 일정 거리로 이격되게 제공된다.
예를 들면, 바디(1110)의 상면에는 삽입부(1111)가 형성된다. 삽입부(1111)에는 역진동 추(1220)가 삽입되어 탄성 지지 부재(1230)에 의해 지지된다. 예를 들면, 역진동 추(1220)의 하부는 삽입부(1111)에 삽입되고, 상단이 삽입부(1111)의 상단보다 높은 위치에 위치될 수 있다. 삽입부(1111)는 바디(1110)의 상면으로부터 아래 방향으로 만입된 홈 형상으로 제공될 수 있다. 이 경우, 역진동 추(1220)의 측면은 삽입부(1111)의 내측면과 일정 간격 이격되게 배치되고, 역진동 추(1220)의 하단은 삽입부(1111)의 바닥으로부터 일정 간격 이격되게 배치된다. 따라서, 역진동 추(1220)가 아암(1100)의 진동에 대해 역 방향으로 진동할 수 있도록 제공된다. 삽입부(1111)는 역진동 추(1220)의 형태에 따라 다양하게 제공될 수 있다. 예를 들면, 역진동 추(1220)가 원판형으로 제공되는 경우, 삽입부(1111)는 상부에서 바라볼 때, 원형으로 제공될 수 있다.
도 5는 도 2의 삽입부의 다른 실시 예를 나타낸 사시도이다. 도 5를 참고하면, 도 4의 경우와 달리, 역진동 추(1220)가 아암(1100)의 진동에 대해 역 방향으로 진동할 수 있도록 삽입부(1111)는 바디(1110)의 상하면을 관통하는 홀의 형태로 제공될 수 있다. 그 외 삽입부의 형태 및 구조는 도 4의 경우와 유사하다.
다시 도 2 및 도 4를 참고하면, 탄성 지지 부재(1230)는 아암(1100) 및 역진동 추(1220)에 연결되어 역진동 추(1220)를 지지한다. 탄성 지지 부재(1230)는 역진동 추(1220)가 아암(1100)에 대해 상대적으로 왕복 운동이 가능하도록 탄성을 가진다. 탄성 지지 부재(1230)는 복수개가 제공될 수 있다. 이 경우, 각 탄성 지지 부재(1230)의 탄성 정도는 실험에 의해 아암(1100)의 진동을 최대한 감쇠할 수 있도록 결정된다. 예를 들면, 각 탄성 지지 부재(1230)의 탄성 정도는 실험에 의해 서로 동일 또는 상이하게 제공될 수 있다. 각 탄성 지지 부재(1230)의 배치 형태 또한 실험에 의해 아암(1100)의 진동을 최대한 감쇠할 수 있도록 결정된다. 예를 들면, 실험에 의해 탄성 지지 부재(1230)는 4개가 역진동 추(1220)의 측면을 둘러싸도록 서로 일정 간격으로 이격되게 배열될 수 있다. 탄성 지지 부재(1230)는 지지축(1231) 및 판 스프링(1232)을 포함한다.
지지축(1231)은 바디(1110)의 상부면으로부터 돌출되게 제공된다. 지지축(1231)은 그 상단이 판 스프링(1232)에 연결되어 판 스프링(1232)을 지지한다.
판 스프링(1232)은 지지축(1231)의 상단으로부터 바디(1110)의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공된다. 판 스프링(1232)은 끝단이 역진동 추(1220)와 연결된다. 판 스프링(1232)은 탄성을 가지는 재질로 제공된다. 따라서, 역진동 추(1220)는 바디(1110)에 대해 상대적으로 운동이 가능하도록 제공된다. 도 4의 경우와 같이, 역진동 추(1220)가 상하 방향으로 휘어지도록 제공된 판 스프링(1232)에 의해 아암(1100)과 연결되는 경우, 일반적인 용수철 등에 의해 연결된 경우에 비해 역진동 추(1220)의 상하 운동에 대한 방향성을 가질 수 있으므로 아암(1100)의 상하 방향 진동에 대해 보다 효율적인 진동 감쇠 효과를 가진다.
다시 도 3을 참고하면, 아암(1100)이 복수개로 제공된 경우, 동조 질량 감쇠기(1200)는 복수개의 아암(1100)에 각각 설치된다. 따라서, 아암(1100) 각각의 고유 진동수가 상이할 경우, 또는 아암(1100)이 각각 독립해 이동할 경우, 아암(1100) 각각의 진동을 효율적으로 감쇠시킬 수 있다.
상술한 바와 달리, 동조 질량 감쇠기(1200)는 다양한 구조로 제공될 수 있다. 도 6은 도 2의 동조 질량 감쇠기(1200)의 다른 실시 예를 나타낸 사시도이다. 도 6을 참고하면, 탄성 지지 부재(1230)는 도 4의 경우와 달리, 탄성 부재(1233) 및 지지 바(1234)를 포함한다.
탄성 부재(1233)는 바디(1110)의 상부면으로 돌출되게 제공된다. 탄성 부재(1233)는 탄성을 가지는 재질로 제공된다. 예를 들면, 탄성 부재(1233)는 용수철로 제공될 수 있다.
지지 바(1234)는 탄성 부재(1233)의 상부 끝단으로부터 바디(1110)의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공된다. 탄성 부재(1233)는 끝단이 역진동 추(1220)와 연결된다.
그 외, 동조 질량 감쇠기(1200)의 구조 및 기능 등은 도 4의 경우와 유사하다.
도 7은 도 2의 동조 질량 감쇠기(1200)의 또 다른 실시 예를 나타낸 평면도이다. 도 8은 동조 질량 감쇠기(1200)의 또 다른 실시 예를 나타낸 측 단면도이다. 도 7 및 도 8을 참고하면, 상술한 바와 달리, 탄성 지지 부재(1230)는 역진동 추(1220)의 측면 및 삽입부(1111)의 내측면을 연결하는 탄성 부재(1233)를 포함한다. 예를 들면, 탄성 부재(1233)는 양 끝단이 역진동 추(1220)의 측면 및 삽입부(1111)의 내측면에 연결된 용수철로 제공될 수 있다. 그 외 동조 질량 감쇠기(1200)의 구조 및 기능 등은 도 4의 경우와 유사하다.
1: 기판 처리 장치 10: 인덱스모듈
20: 공정 모듈 120: 로드 포트
130: 캐리어 144: 인덱스로봇
144c: 인덱스암 244: 메인로봇
244c: 메인암 260: 공정 챔버
1000: 기판 이송 유닛 1100: 아암
1110: 바디 1111: 삽입부
1200: 동조 질량 감쇠기 1220: 역진동 추
1230: 탄성 지지 부재

Claims (30)

  1. 기판을 이송하는 기판 이송 유닛에 있어서,
    기판을 지지하는 아암; 및
    상기 아암에 설치되고, 상기 아암의 진동 방향과 역 방향으로 진동함으로써, 상기 아암에 가해지는 진동을 감쇠시키는 동조 질량 감쇠기;를 포함하는 기판 이송 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 동조 질량 감쇠기는,
    역진동 추; 및
    상기 아암 및 상기 역진동 추에 연결되어 상기 역진동 추를 지지하고, 상기 역진동 추가 상기 아암에 대해 상대적으로 왕복 운동이 가능하도록 탄성을 가지는 탄성 지지 부재;를 포함하는 기판 이송 유닛.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 아암은,
    바디; 및
    상기 바디의 일측에 제공되고 기판이 놓이는 핸드;를 포함하되,
    상기 동조 질량 감쇠기는 상기 바디에 설치되는 기판 이송 유닛.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 역진동 추는 상기 바디로부터 일정 거리로 이격되게 제공되며,
    상기 탄성 지지 부재는,
    상기 바디의 상부면으로부터 돌출되게 제공되는 지지축; 및
    상기 지지축의 상부 끝단으로부터 상기 바디의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공되고, 끝단이 상기 역진동 추와 연결되며, 탄성을 가지는 판 스프링;을 포함하는 기판 이송 유닛.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 역진동 추는 상기 바디로부터 일정 거리로 이격되게 제공되며,
    상기 탄성 지지 부재는,
    상기 바디의 상부면으로부터 돌출되게 제공되고, 탄성을 가지는 탄성 부재; 및
    상기 탄성 부재의 상부 끝단으로부터 상기 바디의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공되고, 끝단이 상기 역진동 추와 연결되는 지지 바;를 포함하는 기판 이송 유닛.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 아암은,
    바디; 및
    상기 바디의 일측에 제공되고 기판이 놓이는 핸드;를 포함하되,
    상기 바디의 상면에는 상기 역진동 추가 삽입되는 삽입부가 형성되고,
    상기 탄성 지지 부재는 상기 역진동 추의 측면 및 상기 삽입부의 내측면을 연결하는 탄성 부재를 포함하는 기판 이송 유닛.
  7. 제 2 항 내지 제 6 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 탄성 지지 부재는 복수개가 상기 역 진동추의 측면을 둘러싸도록 서로 이격되게 배열되는 기판 이송 유닛.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 탄성 지지 부재는, 4개로 제공되는 기판 이송 유닛.
  9. 제 7 항에 있어서,
    각각의 상기 탄성 지지 부재는 탄성 계수가 서로 동일하게 제공되는 기판 이송 유닛.
  10. 제 7 항에 있어서,
    각각의 상기 탄성 지지 부재는, 탄성 계수가 서로 상이하게 제공되는 기판 이송 유닛.
  11. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 바디의 상면에는 삽입부가 형성되고,
    상기 역진동 추의 하부는 상기 삽입부에 삽입되는 기판 이송 유닛.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 삽입부는 홈으로 제공되는 기판 이송 유닛.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 역진동 추는 상단이 상기 삽입부의 상단보다 높은 위치에 위치되는 기판 이송 유닛.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 역진동 추는 원판형으로 제공되는 기판 이송 유닛.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 삽입부는,
    상부에서 바라볼 때 원형으로 제공되는 기판 이송 유닛.
  16. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 아암은 복수개가 상하 방향으로 이격되게 제공되고,
    상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 복수개의 아암에 각각 설치되는 기판 이송 유닛.
  17. 기판을 이송하는 기판 이송 유닛에 있어서,
    기판을 지지하는 아암; 및
    상기 아암에 설치되는 동조 질량 감쇠기;를 포함하되,
    상기 동조 질량 감쇠기는,
    역진동 추; 및
    탄성을 가지고 상기 역진동 추와 상기 아암을 연결하는 탄성 지지 부재;를 포함하는 기판 이송 유닛.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 아암은,
    바디; 및
    상기 바디의 일측에 제공되고 기판이 놓이는 핸드;를 포함하되,
    상기 동조 질량 감쇠기는 상기 바디에 설치되는 기판 이송 유닛.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 역진동 추는, 상기 바디로부터 일정 거리로 이격되게 제공되며,
    상기 탄성 지지 부재는,
    상기 바디의 상부면으로부터 돌출되게 제공되는 지지축; 및
    상기 지지축의 상부 끝단으로부터 상기 바디의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공되고, 끝단이 상기 역진동 추와 연결되며, 탄성을 가지는 판 스프링;을 포함하는 기판 이송 유닛.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 역진동 추는, 상기 바디로부터 일정 거리로 이격되게 제공되며,
    상기 탄성 지지 부재는,
    상기 바디의 상부면으로부터 돌출되게 제공되고, 탄성을 가지는 탄성 부재; 및
    상기 탄성 부재의 상부 끝단으로부터 상기 바디의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공되고, 끝단이 상기 역진동 추와 연결되는 지지 바;를 포함하는 기판 이송 유닛.
  21. 제 17 항 내지 제 20 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 탄성 지지 부재는, 복수개가 상기 역 진동추의 측면을 둘러싸도록 서로 이격되게 배열되는 기판 이송 유닛.
  22. 제 17 항 및 제 20 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 바디의 상면에는 삽입부가 형성되고,
    상기 역진동 추의 하부는 상기 삽입부에 삽입되는 기판 이송 유닛.
  23. 제 17 항 및 제 20 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 아암은 복수개가 상하 방향으로 이격되게 제공되고,
    상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 복수개의 아암에 각각 설치되는 기판 이송 유닛.
  24. 내부에 기판에 대해 공정 처리가 수행되는 공간이 제공된 복수개의 공정 챔버를 포함하는 공정 모듈;
    기판을 수용하는 캐리어가 놓이는 로드 포트; 및
    상기 로드 포트에 놓인 캐리어 및 상기 공정 챔버 간에 또는 각각의 상기 공정 챔버 간에 기판을 이송하는 기판 이송 유닛을 포함하되,
    상기 기판 이송 유닛은,
    기판을 지지하는 아암; 및
    상기 아암에 설치되는 동조 질량 감쇠기;를 포함하되,
    상기 동조 질량 감쇠기는,
    역진동 추; 및
    탄성을 가지고, 상기 역진동 추와 상기 아암을 연결하는 탄성 지지 부재;를 포함하는 기판 처리 장치.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 아암은,
    바디; 및
    상기 바디의 일측에 제공되고 기판이 놓이는 핸드;를 포함하되,
    상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 바디에 설치되는 기판 처리 장치.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 역진동 추는, 상기 바디로부터 일정 거리로 이격되게 제공되며,
    상기 탄성 지지 부재는,
    상기 바디의 상부면으로부터 돌출되게 제공되는 지지축; 및
    상기 지지축의 상부 끝단으로부터 상기 바디의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공되고, 끝단이 상기 역진동 추와 연결되며, 탄성을 가지는 판 스프링;을 포함하는 기판 처리 장치.
  27. 제 25 항에 있어서,
    상기 역진동 추는, 상기 바디로부터 일정 거리로 이격되게 제공되며,
    상기 탄성 지지 부재는,
    상기 바디의 상부면으로부터 돌출되게 제공되고, 탄성을 가지는 탄성 부재; 및
    상기 탄성 부재의 상부 끝단으로부터 상기 바디의 상부면과 평행한 방향으로 연장되게 제공되고, 끝단이 상기 역진동 추와 연결되는 지지 바;를 포함하는 기판 처리 장치.
  28. 제 24 항 내지 제 27 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 탄성 지지 부재는, 복수개가 상기 역 진동추의 측면을 둘러싸도록 서로 이격되게 배열되는 기판 처리 장치.
  29. 제 24 항 및 제 27 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 바디의 상면에는 삽입부가 형성되고,
    상기 역진동 추의 하부는 상기 삽입부에 삽입되는 기판 처리 장치.
  30. 제 24 항 및 제 27 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 아암은 복수개가 상하 방향으로 이격되게 제공되고,
    상기 동조 질량 감쇠기는, 상기 복수개의 아암에 각각 설치되는 기판 처리 장치.
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