JP2007080780A - 超電導線材の製造方法および超電導機器 - Google Patents

超電導線材の製造方法および超電導機器 Download PDF

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Abstract

【課題】 製造コストを低減することができるとともに超電導線材の機械的強度も向上することができる超電導線材の製造方法およびその方法により得られた超電導線材を含む超電導機器を提供する。
【解決手段】 基板上または基板上に形成された中間層上に超電導層を形成する工程と、超電導層上に銀安定化層を形成する工程と、超電導層および銀安定化層が形成された後の基板を硫酸銅水溶液中に浸漬させる工程と、硫酸銅水溶液をめっき浴として用いた電気めっきにより銀安定化層上に銅安定化層を形成する工程と、を含む、超電導線材の製造方法と、その方法により得られた超電導線材を含む超電導機器である。
【選択図】 図6

Description

本発明は、超電導線材の製造方法および超電導機器に関する。
図9に、従来の超電導線材の一例の模式的な断面図を示す。この従来の超電導線材は、Ni合金などからなる基板1上に酸化セリウムやイットリア安定化ジルコニアなどからなる中間層2、Ho−Ba−Cu−O系やY−Ba−Cu−O系などの酸化物超電導体からなる超電導層3および超電導層3の安定化層として銀からなる銀安定化層4を順次積層した構成を有している(たとえば、特許文献1の図1参照)。
上記の従来の超電導線材においては、超電導層3を構成する酸化物超電導体の酸素量が変動することにより超電導層3の特性が大きく変化する。そこで、超電導層3上に銀安定化層4を形成した後に熱処理を施すことによって、超電導層3を構成する酸化物超電導体の酸素量を調整することが一般的に行なわれている。
しかしながら、銀は工業材料としては比較的高価な材料であり、銀安定化層4の形成に多量の銀を用いると製造コストが高くなるという問題があった。また、銀安定化層4を用いた場合には、超電導線材の十分な機械的強度が得られないという問題もあった。
このような問題を解決するために、超電導線材の超電導層3上にその長手方向にわたって均一に半田で銅箔を貼り付ける手法が提案されている。
特開平7−37444号公報
しかしながら、上記の銅箔を貼り付ける手法においては、超電導線材の長手方向にわたって半田で均一に銅箔を貼り付けるために高度な技術を要し、また、銅箔と超電導層との密着性が低く、剥がれが生じやすいという問題もあった。
上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、製造コストを低減することができるとともに超電導線材の機械的強度も向上することができる超電導線材の製造方法およびその方法により得られた超電導線材を含む超電導機器を提供することにある。
本発明は、基板上または基板上に形成された中間層上に超電導層を形成する工程と、超電導層上に銀安定化層を形成する工程と、超電導層および銀安定化層が形成された後の基板を硫酸銅水溶液中に浸漬させる工程と、硫酸銅水溶液をめっき浴として用いた電気めっきにより銀安定化層上に銅安定化層を形成する工程と、を含む、超電導線材の製造方法である。なお、本発明においては、基板と超電導層との間に他の層が含まれていてもよい。また、本発明においては、超電導層と銀安定化層との間に他の層が含まれていてもよい。
ここで、本発明の超電導線材の製造方法においては、電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度を10A/dm2未満とすることが好ましい。
また、本発明の超電導線材の製造方法において、銀安定化層は5μm以下の厚みに形成され、銅安定化層は10μm以上の厚みに形成されることが好ましい。
また、本発明は、上記のいずれかの超電導線材の製造方法によって得られた超電導線材を含む超電導機器である。
本発明によれば、製造コストを低減することができるとともに超電導線材の機械的強度も向上することができる超電導線材の製造方法およびその方法により得られた超電導線材を含む超電導機器を提供することができる。
以下、本発明の超電導線材の製造方法の好ましい一例について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
まず、図1の模式的断面図に示すように、たとえばテープ状の基板1を用意する。ここで、基板1としては、たとえば、ニッケルを主成分とする合金などの導電性基板を用いることができる。なかでも、基板1としては、ニッケルを主成分とする合金を用いることが好ましく、特にニッケルを主成分とする合金はタングステンを含むことが好ましい。なお、本発明において、「主成分」は、基板を構成する原子の総原子数の50%以上を占めることを意味する。
次に、図2の模式的断面図に示すように、基板1上に中間層2を形成する。ここで、中間層2としては、たとえば、酸化セリウム層、イットリア安定化ジルコニア層(YSZ層)、ガドリニアとジルコニアとからなるGdZrO層および酸化マグネシウム層の群から選択された少なくとも1種の導電層などを用いることができる。なかでも、中間層2としては、基板1側から酸化セリウム層、YSZ層および酸化セリウム層の順序で積層された3層の積層体を用いることが好ましい。
ここで、YSZ層は以下の組成式(1)でその組成が表わされる。
(ZrO21-x(Y23x …(1)
上記の組成式(1)において、1−xはZrO2(ジルコニア)の組成比を示し、xはY23(イットリア)の組成比を示す。なお、上記の組成式(1)において、xは0.03≦x≦0.1を満たす実数である。
また、中間層2は、たとえば、スパッタリング法、レーザアブレーション法、電子ビーム蒸着法およびIBAD(Ion Beam Assist Deposition)法からなる群から選択された少なくとも1種の方法などにより形成することができる。
次いで、図3の模式的断面図に示すように、中間層2上に超電導層3を形成する。ここで、超電導層3としては、たとえば、ホルミウム(Ho)とバリウム(Ba)と銅(Cu)と酸素(O)を含むHo−Ba−Cu−O系の酸化物超伝導体またはイットリウム(Y)とバリウム(Ba)と銅(Cu)と酸素(O)を含むY−Ba−Cu−O系の酸化物超伝導体などのRe−Ba−Cu−O系の酸化物超伝導体を用いることができる。なお、Reは希土類元素を示しており、ReとしてはHoおよびY以外にもガドリニウム(Gd)またはサマリウム(Sm)などを用いることができる。
ここで、Re−Ba−Cu−O系の酸化物超伝導体は以下の組成式(2)で組成が表わされる酸化物超伝導体である。
ReaBabCucd …(2)
上記の組成式(2)において、aは希土類元素の組成比を示し、bはバリウムの組成比を示し、cは銅の組成比を示し、dは酸素の組成比を示す。なお、上記の組成式(2)において、aは0.7≦a≦1.3を満たす実数であり、bは1.7≦b≦2.3を満たす実数であり、cは2.7≦c≦3.3を満たす実数であり、dは6≦d≦8を満たす実数である。Re−Ba−Cu−O系の酸化物超伝導体のなかでも超電導層3としては上記の組成式(2)中のReがHoとなる組成式でその組成が表わされるHo−Ba−Cu−O系の酸化物超伝導体を用いることが好ましい。
また、超電導層3は、たとえば、スパッタリング法、レーザアブレーション法、MOD(Metal Organic Deposition)法およびMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法からなる群から選択された少なくとも1種の方法などにより形成することができる。
続いて、図4の模式的断面図に示すように、超電導層3上に銀安定化層4を形成する。ここで、銀安定化層4は、たとえば、スパッタリング法などの少なくとも1種の方法などを用いて、超電導層3上に銀からなる膜を成膜することによって形成することができる。また、銀安定化層4は、5μm以下の厚みに形成されることが好ましい。銀安定化層4の厚みが5μmよりも厚く形成された場合には銀安定化層4の形成に多量の銀を用いることによって製造コストが高くなる傾向にあり、また銀の機械的強度の低さに起因して超電導線材の十分な機械的強度が得られない傾向にある。また、銀安定化層4は1μm以上の厚みに形成されることが好ましい。銀安定化層4の厚みが1μmよりも薄く形成された場合には、超電導層3の保護が不十分となるおそれがある。したがって、上記の理由によれば、銀安定化層4の厚みは1μm以上5μm以下であることが好ましい。
次いで、図5の模式的構成図に示すように、容器8にめっき浴として収容された硫酸銅水溶液7中に、中間層2、超電導層3および銀安定化層4が順次積層された基板1を陰極として浸漬させるとともに、電極6を正極として浸漬させる。そして、上記の銀安定化層4と電極6との間に電極6の方が銀安定化層4よりも電位が高くなるように電圧を印加することによって電気めっきを行なう。これにより、図6の模式的断面図に示すように、銀安定化層4の表面に銅安定化層5が形成されて、本発明の超電導線材が得られる。
ここで、上記の電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度は10A/dm2未満とすることが好ましく、特に9A/dm2以下であることが好ましい。上記の電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度が10A/dm2以上である場合には、電流密度が大きすぎて密着性の高い銅安定化層5が形成できないおそれがある。また、上記の電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度が9A/dm2以下である場合には、密着性の高い銅安定化層5を形成することができる傾向にある。
また、銅安定化層5は10μm以上の厚みに形成されることが好ましい。銅安定化層5が10μm未満の厚みに形成された場合には、銅安定化層5の厚みが薄いため、銅安定化層5の電気的安定化層としての機能が不十分となって超電導状態が崩れたときに銅安定化層5が焼損したり、銅安定化層5の機械的強度が不十分となってハンドリングなどによって超電導特性が劣化したりするおそれがある。また、銅安定化層5は50μm以下の厚みに形成されることが好ましい。したがって、上記の理由によれば、銅安定化層5の厚みは10μm以上50μm以下であることが好ましい。
なお、上記の電気めっきによって銅は基板1の表面などにも堆積し得るが、図6においては説明の便宜のため図示していない。
また、硫酸銅水溶液7には、光沢剤などの従来から公知の添加剤が適宜添加されていてもよい。
上記のようにして得られた本発明の超電導線材は、たとえば超電導ケーブル、超電導モータ、発電機、磁気分離装置、単結晶引上げ炉用マグネット、MRI(Magnetic Resonance Imaging)、NMR(Nuclear Magnetic Resonance)、リニアモーターカーまたは変圧器などの超電導機器に用いることができる。
(実施例1)
まず、幅10mm×長さ100m×厚さ0.1mmのテープ状のニッケルとタングステンとの合金からなる配向性の基板を用意した。ここで、基板中において、ニッケルは基板を構成する原子の総原子数の95%を占めており、タングステンは基板を構成する原子の総原子数の5%を占めていた。
次に、この基板上にスパッタリング法によって厚さ0.1μmの第1酸化セリウム層を形成した。続いて、この第1酸化セリウム層上にレーザアブレーション法によって厚さ1μmのYSZ層を形成した。さらに、YSZ層上にスパッタリング法によって厚さ0.1μmの第2酸化セリウム層を形成した。これにより、上記の第1酸化セリウム層、YSZ層および第2酸化セリウム層が基板側からこの順序で積層された3層の積層体からなる中間層を基板上に形成した。ここで、YSZ層は、(ZrO20.92(Y230.08の組成式で表わされる組成であった。
次いで、上記の中間層上に、レーザアブレーション法によって上記の組成式(2)を満たすHoBa2Cu37-δの組成式で表わされる組成のHo−Ba−Cu−O系の酸化物超電導体からなる厚さ1μmの超電導層を形成した。
そして、超電導層上に、スパッタリング法によって厚さ3μmの銀安定化層を形成した。
その後、容器に収容されためっき浴である硫酸銅水溶液中に、基板上に上記の中間層、超電導層および銀安定化層を順次積層した被めっき体を陰極として浸漬し、さらに正極として電極を浸漬した。そして、電極の方が銀安定化層よりも電位が高くなるように銀安定化層と電極との間に電圧を印加して電気めっきを行なうことによって、銀安定化層上に厚さ10μmの銅安定化層を形成し、実施例1の超電導線材を作製した。ここで、電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度が3A/dm2になるように電気めっきが行なわれた。
このようにして作製した実施例1の超電導線材の外観を検査したところ、実施例1の超電導線材は光沢を有して表面が平滑となっており、銅安定化層の密着性が非常に高いことが確認された。
(実施例2)
銅安定化層を20μmの厚みに形成したこと以外は実施例1と同一の方法および同一の条件で実施例2の超電導線材を作製した。
このようにして作製した実施例2の超電導線材の外観を実施例1と同様にして検査したところ、実施例2の超電導線材も実施例1の超電導線材と同様に光沢を有して表面が平滑となっており、銅安定化層の密着性が非常に高いことが確認された。
(比較例1)
硫酸銅水溶液に代えてめっき浴としてシアン化銅水溶液を用いたこと以外は実施例1と同一の方法および同一の条件で比較例1の超電導線材を作製した。
このようにして作製した比較例1の超電導線材の外観を実施例1と同様にして検査したところ、比較例1の超電導線材においては銅安定化層が浮いていて密着性が不十分な箇所が多数見受けられた。また、比較例1の超電導線材においては、めっき浴が超電導線材の内部に染み込んで変色している多数箇所も見受けられた。
(比較例2)
銅安定化層を20μmの厚みに形成したこと以外は比較例1と同一の方法および同一の条件で比較例2の超電導線材を作製した。
このようにして作製した比較例2の超電導線材の外観を実施例1と同様にして検査したところ、比較例2の超電導線材においても銅安定化層が浮いていて密着性が不十分な箇所が多数見受けられた。また、比較例2の超電導線材においては、めっき浴が超電導線材の内部に染み込んで変色している箇所も多数見受けられた。
なお、上記の実施例1〜2および比較例1〜2のそれぞれの超電導線材の外観の検査結果を以下の表1に示す。
Figure 2007080780
表1に示すように、硫酸銅水溶液をめっき浴として用いた電気めっきにより銅安定化層の形成を行なった実施例1および実施例2の超電導線材は、シアン化銅水溶液をめっき浴として用いた比較例1および比較例2の超電導線材と比べて、密着性が高く、変色のない優れた外観を有していることが確認された。
(比較例3)
銅安定化層を形成しなかったこと以外は実施例1と同一の方法および同一の条件で比較例3の超電導線材を作製した。
(臨界電流測定)
上記の実施例1、実施例2および比較例3の超電導線材のそれぞれについて臨界電流の測定を行なった。その結果、実施例1および実施例2の超電導線材はそれぞれ臨界電流の測定が可能であったが、比較例3の超電導線材は臨界電流の測定中に焼損してしまい、臨界電流の測定が不可能であった。
(実施例3)
電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度を2A/dm2にするとともに電気めっき時間を23分としたこと以外は実施例1と同一の方法および同一の条件で実施例3の超電導線材を作製した。
このようにして作製した実施例3の超電導線材の外観を実施例1と同様にして検査したところ、実施例3の超電導線材も実施例1の超電導線材と同様に光沢を有して表面が平滑となっており、銅安定化層の密着性が非常に高いことが確認された。
(実施例4)
電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度を2A/dm2にするとともに電気めっき時間を45分として厚さ20μmの銅安定化層を形成したこと以外は実施例1と同一の方法および同一の条件で実施例4の超電導線材を作製した。
このようにして作製した実施例4の超電導線材の外観を実施例1と同様にして検査したところ、実施例4の超電導線材も実施例1の超電導線材と同様に光沢を有して表面が平滑となっており、銅安定化層の密着性が非常に高いことが確認された。
(実施例5)
電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度を3A/dm2にするとともに電気めっき時間を15分としたこと以外は実施例1と同一の方法および同一の条件で実施例5の超電導線材を作製した。
このようにして作製した実施例5の超電導線材の外観を実施例1と同様にして検査したところ、実施例5の超電導線材も実施例1の超電導線材と同様に光沢を有して表面が平滑となっており、銅安定化層の密着性が非常に高いことが確認された。
(実施例6)
電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度を3A/dm2にするとともに電気めっき時間を30分として厚さ20μmの銅安定化層を形成したこと以外は実施例1と同一の方法および同一の条件で実施例6の超電導線材を作製した。
このようにして作製した実施例6の超電導線材の外観を実施例1と同様にして検査したところ、実施例6の超電導線材も実施例1の超電導線材と同様に光沢を有して表面が平滑となっており、銅安定化層の密着性が非常に高いことが確認された。
(実施例7)
電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度を3A/dm2にするとともに電気めっき時間を10分として厚さ6μmの銅安定化層を形成したこと以外は実施例1と同一の方法および同一の条件で実施例7の超電導線材を作製した。
このようにして作製した実施例7の超電導線材の外観を実施例1と同様にして検査したところ、実施例7の超電導線材も実施例1の超電導線材と同様に光沢を有して表面が平滑となっており、銅安定化層の密着性が非常に高いことが確認されたが、臨界電流測定の作業時におけるハンドリングにより超電導特性が低下してしまった。
(実施例8)
電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度を5A/dm2にするとともに電気めっき時間を10分として厚さ10μmの銅安定化層を形成したこと以外は実施例1と同一の方法および同一の条件で実施例8の超電導線材を作製した。
このようにして作製した実施例8の超電導線材の外観を実施例1と同様にして検査したところ、実施例8の超電導線材も実施例1の超電導線材と同様に光沢を有して表面が平滑となっており、銅安定化層の密着性が非常に高いことが確認された。
(実施例9)
電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度を9A/dm2にするとともに電気めっき時間を10分として厚さ18μmの銅安定化層を形成したこと以外は実施例1と同一の方法および同一の条件で実施例9の超電導線材を作製した。
このようにして作製した実施例9の超電導線材の外観を実施例1と同様にして検査したところ、実施例9の超電導線材も実施例1の超電導線材と同様に光沢を有して表面が平滑となっており、銅安定化層の密着性が非常に高いことが確認された。
(実施例10)
電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度を10A/dm2にするとともに電気めっき時間を10分として厚さ20μmの銅安定化層を形成したこと以外は実施例1と同一の方法および同一の条件で実施例10の超電導線材を作製した。
このようにして作製した実施例10の超電導線材の外観を実施例1と同様にして検査したところ、実施例10の超電導線材は銅安定化層に粉を吹いたような状態の箇所が見受けられ、実施例1の超電導線材と比べて銅安定化層の密着性がやや不十分であることが確認された。
なお、上記の実施例3〜10のそれぞれの超電導線材の外観の検査結果を以下の表2に示す。
Figure 2007080780
表2に示すように、硫酸銅水溶液をめっき浴として用いた電気めっきにおいて電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度を10A/dm2未満として作製された実施例3〜9の超電導線材は、その電流密度を10A/dm2として作製された実施例10の超電導線材と比べて、密着性が高く、変色のない優れた外観を有する傾向にあった。したがって、電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度は10A/dm2未満であることが好ましく、特に9A/dm2以下であることが好ましいことが確認された。
(比較例4)
銅安定化層を形成せずに銀安定化層の厚みを20μmに形成したこと以外は実施例1と同一の方法および同一の条件で比較例4の超電導線材を作製した。
(曲げ歪み率と臨界電流との関係)
上記の実施例3、実施例4および比較例4の超電導線材のそれぞれについて曲げ歪み率と臨界電流との関係を検査した。その結果を図7に示す。なお、図7において、横軸は曲げ歪み率(%)を示しており、縦軸は曲げ歪み率が0%であるときの臨界電流値を1としたときのそれぞれの曲げ歪み率における臨界電流値(相対値)を示している。また、図7における曲げ歪み率は以下の式(3)で算出した。
曲げ歪み率(%)=100×(T/2)/{R+(T/2)}…(3)
なお、上記の式(3)において、Rは超電導線材を曲げたときに超電導線材が形成する曲率円の直径であり、Tは超電導線材の厚みである。
図7から明らかなように、硫酸銅水溶液をめっき浴とした電気めっきにより形成された銅安定化層を有する実施例3および実施例4の超電導線材は、銅安定化層が形成されず銀安定化層のみを有する比較例4の超電導線材と比べて曲げ歪み率が増大した場合でもより大きな臨界電流が流れる傾向にあり、優れた超電導特性を示すことが確認された。
(引張応力と臨界電流との関係)
上記の実施例3、実施例4および比較例4の超電導線材のそれぞれについて引張応力と臨界電流との関係を検査した。その結果を図8に示す。なお、図8において、横軸は引張応力(kg/mm2)を示しており、縦軸は引張応力が0であるときの臨界電流値を1としたときのそれぞれの引張応力における臨界電流値(相対値)を示している。また、図8における引張応力は引張方向に垂直な超電導線材の断面の面積1mm2当たりに加えられる引張応力(kg)である。
図8から明らかなように、硫酸銅水溶液をめっき浴とした電気めっきにより形成された銅安定化層を有する実施例3および実施例4の超電導線材は、銅安定化層が形成されず銀安定化層のみを有する比較例4の超電導線材と比べて引張応力が増大した場合でもより大きな臨界電流が流れる傾向にあり、優れた超電導特性を示すことが確認された。
本発明によれば、従来の超電導線材の銀安定化層の一部を銅安定化層に置き換えることによって工業的に高価な銀の使用量を低減することができるために超電導線材の製造コストを低減することができ、また銀よりも機械的強度が大きい銅を用いることによって超電導線材の機械的強度も向上することができる。さらに、上記の銅安定化層の形成を硫酸銅水溶液をめっき浴として用いた電気めっきにより行なうことによって密着性が高く、変色等のない優れた外観を有する超電導線材を得ることができる。特に、密着性の高い銅安定化層を得るためには、電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度を10A/dm2未満、特に9A/dm2以下とすることが好ましい。
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本発明に用いられる基板の好ましい一例の模式的な断面図である。 本発明に用いられる基板の中間層形成後の好ましい一例の模式的な断面図である。 本発明に用いられる基板の超電導層形成後の好ましい一例の模式的な断面図である。 本発明に用いられる基板の銀安定化層形成後の好ましい一例の模式的な断面図である。 本発明において用いられる電気めっき装置の好ましい一例の模式的な構成図である。 本発明の超電導線材の好ましい一例の模式的な断面図である。 本発明の超電導線材と従来の超電導線材における曲げ歪み率と臨界電流との関係を示す図である。 本発明の超電導線材と従来の超電導線材における引張応力と臨界電流との関係を示す図である。 従来の超電導線材の一例の模式的な断面図である。
符号の説明
1 基板、2 中間層、3 超電導層、4 銀安定化層、5 銅安定化層、6 電極、7 硫酸銅水溶液、8 容器。

Claims (4)

  1. 基板上または基板上に形成された中間層上に超電導層を形成する工程と、
    前記超電導層上に銀安定化層を形成する工程と、
    前記超電導層および前記銀安定化層が形成された後の前記基板を硫酸銅水溶液中に浸漬させる工程と、
    前記硫酸銅水溶液をめっき浴として用いた電気めっきにより前記銀安定化層上に銅安定化層を形成する工程と、
    を含む、超電導線材の製造方法。
  2. 前記電気めっき時における被めっき体の表面の電流密度を10A/dm2未満とすることを特徴とする、請求項1に記載の超電導線材の製造方法。
  3. 前記銀安定化層は5μm以下の厚みに形成され、前記銅安定化層は10μm以上の厚みに形成されることを特徴とする、請求項1または2に記載の超電導線材の製造方法。
  4. 請求項1から3のいずれかに記載の超電導線材の製造方法によって得られた超電導線材を含む、超電導機器。
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