JP2007080626A - 電子放出型電極及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1のギャップを隔てて対向して配置された第1及び第2の電極と、これら第1及び第2の電極上に、前記第1のギャップよりも狭い第2のギャップを隔てて形成された、電子を放出するための第1の導電性膜及び前記第1の導電性膜から電子を引き出すための第2の導電性膜を具備することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
Claims (11)
- 第1のギャップを隔てて対向して配置された第1及び第2の電極と、これら第1及び第2の電極上に、前記第1のギャップよりも狭い第2のギャップを隔てて形成された、電子を放出するための第1の導電性膜及び前記第1の導電性膜から電子を引き出すための第2の導電性膜を具備することを特徴とする電子放出型電極。
- 前記第1及び第2の電極と、前記第1の導電性膜及び第2の導電性膜は、エッチングにより形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の電子放出型電極。
- 前記第1及び第2の電極と、前記第1及び第2の導電性膜は、エッチング速度が異なる導電体からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子放出型電極。
- 前記第1及び第2の電極と、前記第1及び第2の導電性膜は、Ti、V、Zr、Mo、Co、Ni、Nb、Ta、W、Pt、Au、Cu、Al、及びCrからなる群から選択された少なくとも一種の金属、これらの金属の酸化物、窒化物、又は酸窒化物からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の電子放出型電極。
- 前記第1及び第2の電極はCr又はCr化合物からなり、前記第1及び第2の導電性膜は、Cr又はCr化合物のエッチング条件に十分な耐性を有する金属又は金属化合物からなることを特徴とする請求項4に記載の電子放出型電極。
- 基板上に、請求項1〜5のいずれかに記載の電子放出型電極を配置したことを特徴とする電子放出素子。
- 請求項6に記載の電子放出素子を複数個配置し、これら電子放出素子に対向して蛍光体層を配置してなることを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の電子放出型電極を製造する方法であって、
導電体層及び導電性膜を順次積層する工程、
前記導電性膜上にレジストパターンを形成する工程、
前記レジストパターンをマスクとして前記導電性膜に第1のエッチングを施し、間に第2のギャップを隔てて対向する第1の導電性膜及び第2の導電性膜を形成する工程、
前記レジストパターンをマスクとして前記導電体層に第2のエッチングを施し、サイドエッチングにより間に前記第2のギャップより広い第1のギャップを隔てて対向する第1の電極及び第2の電極を形成する工程、及び
前記レジストパターンを除去する工程
を具備することを特徴とする電子放出型電極の製造方法。 - 前記第1及び第2のエッチング処理は、プラズマエッチングであることを特徴とする請求項8に記載の電子放出型電極の製造方法。
- 前記第1及び第2のエッチング処理は、化学的薬液によるウエットエッチングであることを特徴とする請求項8に記載の電子放出型電極の製造方法。
- 前記第1及び第2のエッチング処理は、一方がプラズマエッチング、他方が化学的薬液によるウエットエッチングであることを特徴とする請求項8に記載の電子放出型電極の製造方法。
Priority Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009187946A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-20 | Qinghua Univ | 電界放出型電子源及びその製造方法 |
JP2009187945A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-20 | Qinghua Univ | 電界放出型電子源及びその製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0456040A (ja) * | 1990-06-22 | 1992-02-24 | Yokogawa Electric Corp | 微小真空デバイス |
JPH0465048A (ja) * | 1990-07-04 | 1992-03-02 | Agency Of Ind Science & Technol | 電子放出素子 |
JPH05198253A (ja) * | 1991-10-02 | 1993-08-06 | Sharp Corp | 電界放出型電子源 |
JPH07254354A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-10-03 | Toshiba Corp | 電界電子放出素子、電界電子放出素子の製造方法およびこの電界電子放出素子を用いた平面ディスプレイ装置 |
JPH08255560A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Canon Inc | 表面伝導型電子放出素子の製造方法および同方法によって製造された表面伝導型電子放出素子ならびに同電子放出素子を備えた電子源基板・表示パネル・画像形成装置 |
JPH0945220A (ja) * | 1995-07-26 | 1997-02-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 電子放出用冷陰極およびその製造方法 |
JPH09251836A (ja) * | 1996-03-15 | 1997-09-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 電界電子放出素子とその製造方法及びこの電界電子放出素子を用いる表示装置 |
JP2002270085A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Toshiba Corp | 電界電子放出素子とその製造方法 |
-
2005
- 2005-09-13 JP JP2005265629A patent/JP2007080626A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0456040A (ja) * | 1990-06-22 | 1992-02-24 | Yokogawa Electric Corp | 微小真空デバイス |
JPH0465048A (ja) * | 1990-07-04 | 1992-03-02 | Agency Of Ind Science & Technol | 電子放出素子 |
JPH05198253A (ja) * | 1991-10-02 | 1993-08-06 | Sharp Corp | 電界放出型電子源 |
JPH07254354A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-10-03 | Toshiba Corp | 電界電子放出素子、電界電子放出素子の製造方法およびこの電界電子放出素子を用いた平面ディスプレイ装置 |
JPH08255560A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Canon Inc | 表面伝導型電子放出素子の製造方法および同方法によって製造された表面伝導型電子放出素子ならびに同電子放出素子を備えた電子源基板・表示パネル・画像形成装置 |
JPH0945220A (ja) * | 1995-07-26 | 1997-02-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 電子放出用冷陰極およびその製造方法 |
JPH09251836A (ja) * | 1996-03-15 | 1997-09-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 電界電子放出素子とその製造方法及びこの電界電子放出素子を用いる表示装置 |
JP2002270085A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Toshiba Corp | 電界電子放出素子とその製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009187946A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-20 | Qinghua Univ | 電界放出型電子源及びその製造方法 |
JP2009187945A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-20 | Qinghua Univ | 電界放出型電子源及びその製造方法 |
US8237344B2 (en) | 2008-02-01 | 2012-08-07 | Tsinghua University | Electron emission apparatus and method for making the same |
US8368296B2 (en) | 2008-02-01 | 2013-02-05 | Tsinghua University | Electron emission apparatus and method for making the same |
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