JP2007071914A - 三次元微小成形体製造用感光性ドライフィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくともカバーフィルムと該カバーフィルム上に形成された感光性樹脂組成物層とから構成され、前記感光性樹脂組成物層が透明基板上に前記カバーフィルムと反対側の面を前記透明基板に接触させて積層された後、前記透明基板側から化学線が所定のパターンに従って照射されることによって三次元微小成形体の硬化潜像が前記感光性樹脂組成物層の内部に形成される三次元微小成形体製造用感光性ドライフィルムにおいて、前記カバーフィルムにおける前記化学線の透過率を70%〜30%に設定する。
【選択図】 なし
Description
前記アルカリ可溶性樹脂(A)としては、例えば、(メタ)アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂、フェノールノボラック系樹脂、クレゾールノボラック系樹脂等が挙げられる。アルカリ現像性の点からは(メタ)アクリル系樹脂が好ましい。
前記光重合性化合物(B)は、いわゆる重合性モノマーであって、分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有することを特徴とする。この光重合性化合物(B)は、好ましくは「4官能以上の重合可能なエチレン不飽和基を有する化合物(B−1)」を含有する。この化合物(B−1)を含有することにより、三次元微小成形体の硬度を永久膜に適した値まで高めることができる。
前記光重合開始剤(C)としては、ヘキサアリールビスイミダゾール系化合物(C−1)または/およびジアルキルベンゾフェノン系化合物(C−2)を含むことが好ましい。これら光重合開始剤は、特にレジスト表面における光吸収特性に優れているので、背面露光を行った場合にも高い表面形成精度を実現することができる。また、ヘキサアリールビスイミダゾール系化合物(C−1)を有することにより、特に密着性、解像性に優れた効果を奏することができる。
00質量部に対して、0.1〜30質量部、より好ましくは1〜20質量部である。
前記感光性樹脂組成物には、上記成分の他に粘度調整などの目的のために必要に応じて、アルコール類、ケトン類、酢酸エステル類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルエステル類、石油系溶剤などの希釈用の有機溶剤を適宜加えることができる。
カバーフィルム、感光性樹脂組成物層、保護フィルムから構成される感光性ドライフィルムを用いて、マイクロレンズを作成した。前記感光性樹脂組成物の組成は、ベンジルメタクリレート:メタクリル酸の質量比80:20の共重合体(平均分子量80,000 50質量%MEK溶液)、ジペンエリスリトールヘキサアクリレート(1分子中に4官能以上の重合可能なエチレン不飽和基を有する化合物(B−1))、NK−エステル BPE−100(新中村化学社製、ビスフェノール骨格を有する化合物(B−2))、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体(C−1)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(C−2)、であった。
ベンジルメタクリレート:メタクリル酸の質量比80:20の共重合体(平均分子量80,000 50質量%MEK溶液)・・・・・固形分換算で100質量部
ジペンエリスリトールヘキサアクリレート(1分子中に4官能以上の重合可能なエチレン不飽和基を有する化合物(B−1))・・・・・60質量部
NK−エステル BPE−100(新中村化学社製、エチレンオキシド変性ビスフェノールAジメタクリレート、ビスフェノール骨格を有する化合物(B−2))・・・・・20質量部
2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体・・・・・10質量部
4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン・・・・・0.7質量部
なお、評価基準は下記の通り。
ハレーション
有り・・・感光性樹脂組成物層に吸着溝が写り込んでいる。
なし・・・感光性樹脂組成物層に吸着溝が写り込んでいない。
パターン形状
不良・・・所望の(等比的に連続して変化した)レンズ形状が形成されていない。
良好・・・所望の(等比的に連続して変化した)レンズ形状が形成されている。
2 感光性樹脂組成物層
4 ガラス基板
5 露光装置土台
5a 吸着溝
Claims (5)
- 少なくともカバーフィルムと該カバーフィルム上に形成された感光性樹脂組成物層とから構成され、前記感光性樹脂組成物層が透明基板上に前記カバーフィルムと反対側の面を前記透明基板に接触させて積層された後、前記透明基板側から化学線が所定のパターンに従って照射されることによって三次元微小成形体の硬化潜像が前記感光性樹脂組成物層の内部に形成される三次元微小成形体製造用感光性ドライフィルムであって、
前記カバーフィルムにおける前記化学線の透過率が70%〜30%に設定されていることを特徴とする三次元微小成形体製造用感光性ドライフィルム。 - 前記カバーフィルムが着色剤を含有しており、該着色剤の含有により前記化学線透過率が70%〜30%に調整されていることを特徴とする請求項1に記載の三次元微小成形体製造用感光性ドライフィルム。
- 前記化学線が405nm波長光であることを特徴とする請求項1または2に記載の三次元微小成形体製造用感光性ドライフィルム。
- 前記感光性樹脂組成物が成分中の光重合開始剤として、ジアルキルベンゾフェノン系化合物およびヘキサアリールビスイミダゾール系化合物の少なくともいずれかを含有することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の三次元微小成形体製造用感光性ドライフィルム。
- 前記感光性樹脂組成物が成分中の重合性モノマーとして、1分子中に4官能以上の重合可能なエチレン不飽和基を有する化合物の少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の三次元微小成形体製造用感光性ドライフィルム。
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