JP2007070715A - スパッタリングターゲット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 デュアルカソードスパッタリング装置に使用するスパッタリングターゲットであって、このスパッタリング装置に装着した時に、処理対象である基板と対向する面の側端部に面取り部を有するスパッタリングターゲット。
【選択図】 図1
Description
図4に、デュアルカソードスパッタリング装置の一例の概略図を示す。
図4に示すように、一対のターゲット1A,1Bに交流電圧をかけることにより、カソードとアノードを交替させ、ターゲット間で電子を移動させる。さらに、基板をアース電位よりフローティングする構成としている。
この構成により、薄膜層のチャージを防ぐことができ、基板21側及び治具等からの異常放電が発生しにくいものとなり、アーキングが抑制される。
従って、こうしたスパッタリングを用いた薄膜形成において、膜質の向上を図るためには、基板の温度上昇を抑え、電圧を下げる必要がある。また、反応効率の向上も望まれている。さらに、大面積の基板に対応する薄膜形成技術において、均一な優れた品質の薄膜形成を実現し、しかもその経済的コストを抑えた技術が望まれている。
しかしながら、このような装置は高価な電源設備の増設が必要という難点があった。
本発明によれば、以下のスパッタリングターゲットが提供される。
1.デュアルカソードスパッタリング装置に使用するスパッタリングターゲットであって、前記スパッタリング装置に装着した時に、処理対象である基板と対向する面の側端部に面取り部を有するスパッタリングターゲット。
2.インジウム、錫、亜鉛、セリウム及びサマリウムから選択される金属元素を少なくとも一つ含む酸化物の焼結体である1に記載のスパッタリングターゲット。
3.前記酸化物が、酸化インジウムと酸化錫の混合物である2に記載のスパッタリングターゲット。
4.前記酸化物が、酸化インジウムと酸化亜鉛の混合物である2に記載のスパッタリングターゲット。
図1は、本発明のスパッタリングターゲットの一実施形態を示す図であり、(a)は上面図を、(b)は断面図を示す。
スパッタリングターゲット1は円柱形であり、スパッタリング装置に装着したときに基板と対向する面となる対向面11と、対向面の側面13がある。対向面11と側面13が結合する角部、即ち、対向面11の側端部には、面取り部12が形成してある。
尚、スパッタリングターゲット1は円柱形であるが、この形状に限定されず、例えば、対向面が楕円形、円筒形、長方形等の形状を有していてもよい。また、ターゲットの厚さや大きさは、スパッタリング装置に合わせて適宜調整することができる。
なかでも酸化物が、酸化インジウムと酸化錫の混合物(ITO)又は酸化インジウムと酸化亜鉛の混合物(IZO)であることが好ましい。
尚、ターゲットの面取り部の断面は、必ずしも滑らかな曲線状である必要はなく、例えば、図2(a)に示すように、複数の直線の結合によって弧を描いた形状であってもよい。また、図2(b)に示すように、側面13全体が面取り部12となっていてもよい。
このスパッタリング装置は、真空チャンバ(図示せず)内に、ツインカソードを形成するターゲット対1A,1Bが、処理対象である基板21に対向して設けられている。
ターゲット対1A,1Bは、それぞれバッキングプレート22A、22Bに取り付けられる。
ターゲット対間での電子の移動を交互に行なうため、交流電圧を印加する交流電源回路23がバッキングプレートに接続されている。交流電源回路23は、周波数10〜300KHzのスイッチング回路と共振器とから構成されている(図示せず)。共振器は、交流周波数の大きさに応じて変化する共振点に対応した共振周波数を自動的に設定して共振する自励発振型の構成となっている。
交流電源回路23により、一対のスパッタリングターゲット1A,1Bに交流電圧を印加する。これにより一方のターゲットがカソード(マイナス極)となるときは、必ず他方のターゲットはアノード(プラス極)となる。
真空チャンバ内に反応ガス(例えば、アルゴン)を供給することにより、プラズマが発生し、これがスパッタリングターゲットに衝突することにより、ターゲットの表面から原子が飛び出す。この原子が基板上に堆積し薄膜を形成する。
尚、本発明のスパッタリングターゲットを装着するスパッタリング装置は、一対のターゲットを装着するデュアルカソード型であれば特に制限されず、例えば、上述した特許文献1に開示された装置等で使用できる。また、バッキングプレート、反応性ガス等は、この分野において公知であるものを問題なく使用できる。
実施例1
酸化インジウムと酸化スズの粉末(平均粒子系1μm以下)を、インジウムのモル比[In/(In+Sn)]が0.9、スズのモル比[Sn/(In+Sn)]が0.1となるように混合し、湿式ボールミル容器内に収容し、72時間に渡って混合粉砕した。
ついで、得られた粉砕物を造粒してから直径4インチ、厚さ5mmの円柱状にプレス成型した。これを焼成炉に収容した後、1400℃の温度で36時間加熱焼成した。このようにして得られた焼結体の側端部を曲率半径が7mmとなるように面取り研磨し、スパッタリングターゲットを作製した。
この焼結体からなる一対のターゲットをACスパッタ装置(図3参照)に装填し、また、ターゲット対の対向する位置にガラス基板を置いて、基板上に薄膜を形成した。そのときの条件は、アルゴン雰囲気下、スパッタ圧力を0.1Pa、スパッタ電圧を400V、周波数を50kHzとした。
その結果、ガラス基板上に2×10−4Ω・cmの透明導電膜を得ることができた。
使用原料を酸化インジウムと酸化亜鉛の粉末(平均粒子系1μm以下)とし、インジウムのモル比[In/(In+Zn)]が0.9、亜鉛のモル比[Zn/(In+Zn)]が0.1の割合となるようにした他は、実施例1と同様にして焼結体を得た。
この焼結体の端面を曲率半径が4mmとなるように研磨したものについて、実施例1と同様にして電極膜のスパッタ成膜を行った。この結果、対向するガラス基板上に4×10−4Ω・cmの透明導電膜を得た。
使用原料を酸化インジウム、酸化亜鉛及び酸化サマリウムの粉末(平均粒子系1μm以下)とし、インジウムのモル比[In/(In+Zn+Sm)]が0.8、亜鉛のモル比[Zn/(In+Zn+Sm)]が0.1、サマリウムのモル比[Sm/(In+Zn+Sm)]が0.1となるようにした他は、実施例1と同様にして焼結体を得た。
この焼結体の端面を曲率半径が8mmとなるように研磨したものについて、実施例1と同様にして電極膜のスパッタ成膜を行った。
この結果、対向するガラス基板上に8×10−4Ω・cmの透明導電膜を得た。
使用原料を酸化インジウム、酸化錫及び酸化セリウムの粉末(平均粒子系1μm以下)とし、インジウムのモル比[In/(In+Sn+Ce)]が0.8、錫のモル比[Sn/(In+Sn+Ce)]が0.1、セリウムのモル比[Ce/(In+Sn+Ce)]が0.1となるようにした他は、実施例1と同様にして焼結体を得た。
この焼結体の端面を曲率半径が7mmとなるように研磨したものについて、実施例1と同様にして電極膜のスパッタ成膜を行った。
この結果、対向するガラス基板上に6×10−4Ω・cmの透明導電膜を得た。
使用原料を酸化インジウムと酸化亜鉛の粉末(平均粒子系1μm以下)とし、インジウムのモル比[In/(In+Zn)]が0.9であり、亜鉛のモル比[Zn/(In+Zn)]が0.1となるようにした他は、実施例1と同様にして焼結体を得た。
得られた焼結体について面取りをせず、側端部が直角の状態であるものを使用して、実施例1と同様に電極膜のスパッタ成膜を行った。
その結果、スパッタは放電が安定せず、時々アーキングが発生した。対向するガラス基板上に8×10−4Ω・cmの透明導電膜を得たが、褐色を帯びていた。
このように、面取りを行わなかったターゲットは放電が安定しないため、良質の透明導電膜を得ることができなかった。
11 対抗面
12 面取り部
13 側面
21 基板
22A,22B バッキングプレート
23 交流電源回路
Claims (4)
- デュアルカソードスパッタリング装置に使用するスパッタリングターゲットであって、
前記スパッタリング装置に装着した時に、処理対象である基板と対向する面の側端部に面取り部を有するスパッタリングターゲット。 - インジウム、錫、亜鉛、セリウム及びサマリウムから選択される金属元素を少なくとも一つ含む酸化物の焼結体である請求項1に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記酸化物が、酸化インジウムと酸化錫の混合物である請求項2に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記酸化物が、酸化インジウムと酸化亜鉛の混合物である請求項2に記載のスパッタリングターゲット。
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