JP2007067427A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 積層型の電子部品を形成する際に用いられる電子部品の各層として用いられるシートの製造方法であって、
   所定の電気的特性を有する第一の粉体と感光性の有機系バインダーとを含む第一の部分を所定厚さで支持板上に形成する工程と、
   前記第一の部分に対して所定パターンを形成するための露光処理を行い、現像液により現像処理を行い前記第一の部分に第一の空間部分を形成する工程と、
   前記第一の空間部分に第二の空間部分を形成するように、前記第一の空間部分を部分的に残し前記第一の粉体とは異なる所定の電気的特性を有する第二の粉体と感光性の有機系バインダーとを含む第二の部分を形成する工程と、
   前記第一及び第二の粉体とは異なる電気的特性を有する第三の粉体を含む第三の部分を前記第二の空間部分に形成する工程と、を備える電子部品を形成する際に用いられるシートの製造方法。
2. 前記シートの厚み方向において、異なった物性を有する第一の部分〜第三の部分のいずれか２つが形成されることを特徴とする請求項１に記載のシートの製造方法。
3. 前記シートが延在する平面方向において、前記異なった物性を有する第一の部分〜第三の部分のいずれか２つが形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載のシートの製造方法。
4. 前記第二の部分に含まれる前記粉体は導電性を有し、前記第三の部分に含まれる前記粉体は絶縁性を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のシートの製造方法。
5. 前記第二及び第三の部分は、電着処理によって形成されることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のシートの製造方法。