JP2007063402A - 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール系樹脂、(C)(C−1)カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン及び/又は(C−2)カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサンとエポキシ樹脂との反応生成物、並びに(D)酸化マイクロクリスタリンワックスを含有することを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物、(C)成分と(D)成分との重量比(C)/(D)が3/1〜1/5であるエポキシ樹脂組成物。
Description
また、生産性向上への取り組みとしては離型効果の高い離型材の適用が提案されている(例えば、特許文献4参照。)。しかしながら、離型効果の高い離型剤は必然的に成形品の表面に浮き出しやすく、連続生産すると成形品の外観を著しく汚してしまう欠点があった。成形品外観に優れるエポキシ樹脂組成物として特定の構造を有するシリコーン化合物を添加する手法等が提案されている(例えば、特許文献5、6参照。)。しかしながら、該エポキシ樹脂組成物は、離型性が不十分なので、連続成形においてエアベント部分で樹脂がとられ、キャビティへの樹脂の未充填等の成形不具合を生じさせる等、生産性の低下を引き起こす問題があった。
以上より、半田耐熱性、離型性、連続成形性、成形品外観、金型汚れ全ての課題に対応した半導体封止用エポキシ樹脂組成物が要求されている。
[1] (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール系樹脂、(C)(C−1)カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン及び/又は(C−2)カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサンとエポキシ樹脂との反応生成物、並びに(D)酸化マイクロクリスタリンワックスを含有することを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
である。
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の(C)成分に用いるカルボキシル基を有するオルガノポリシロキサンは、1分子中に1個以上のカルボキシル基を有するオルガノポリシロキサンであり、酸化マイクロクリスタリンワックスと併用する必要がある。カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサンを単独で使用した場合、離型性が不十分となり、連続成形性が低下する。酸化マイクロクリスタリンワックスを単独使用した場合は成形品の外観が悪い。カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサンと酸化マイクロクリスタリンワックスと併用することにより、酸化マイクロクリスタリンワックスを相溶化させることができ、成形品の外観と離型性を両立でき、連続成形が良好になる。本発明の(C)成分と酸化マイクロクリスタリンワックス(D)との併合配合割合(C)/(D)は、重量比で3/1〜1/5が望ましく、この範囲が最も効果が高い。
また、本発明に用いられるカルボキシル基を有するオルガノポリシロキサンを添加する効果を損なわない範囲で、他のオルガノポリシロキサンを併用することができる。
本発明で用いられる酸化マイクロクリスタリンワックスを用いることによる効果を損なわない範囲で他の離型剤を併用することもできる。併用できる離型剤としては、例えばカルナバワックス等の天然ワックス、ステアリン酸亜鉛等の高級脂肪酸の金属塩類等が挙げられる。
本発明のエポキシ樹脂組成物を用いて、半導体素子等の各種の電子部品を封止し、半導体装置を製造するには、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の従来からの成形方法で硬化成形すればよい。
実施例1
E−1:式(2)で表されるエポキシ樹脂(日本化薬(株)製、NC3000P、軟化点58℃、エポキシ当量274) 8.13重量部
0.20重量部
1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7(以下、DBUという)
0.20重量部
溶融球状シリカ(平均粒径21μm) 85.00重量部
カップリング剤(γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン) 0.40重量部
カーボンブラック 0.40重量部
を混合し、熱ロールを用いて、95℃で8分間混練して冷却後粉砕し、エポキシ樹脂組成物を得た。得られたエポキシ樹脂組成物を、以下の方法で評価した。結果を表1に示す。
スパイラルフロー:低圧トランスファー成形機を用いて、EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用金型に、金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間120秒の条件でエポキシ樹脂組成物を注入し、流動長を測定した。単位はcm。判定基準は70cm未満を不合格(×)、70cm以上を合格(○)とした。
表1の配合に従い、実施例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得て、実施例1と同様にして評価した。結果を表1に示す。
実施例1で用いたもの以外で、該実施例及び比較例で用いた原材料を以下に示す。
E−2:ビフェニル型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、YX−4000、エポキシ当量190g/eq、融点105℃)
E−3:オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、EOCN−1020 62、エポキシ当量200g/eq、軟化点62℃)
H−2:パラキシリレン変性ノボラック型フェノール樹脂(三井化学(株)製、XLC−4L、水酸基当量168g/eq、軟化点62℃)
酸化マイクロクリスタリンワックス2(滴点105℃、酸価30mg/KOH、鹸化価50mg/KOH、平均粒径45μm、粒径106μm以上の粒子0.0重量%)
マイクロクリスタリンワックス(滴点95℃、平均粒径45μm、粒径106μm以上の粒子0.0重量%、非酸化品)
Claims (6)
- (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール系樹脂、(C)(C−1)カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサン及び/又は(C−2)カルボキシル基を有するオルガノポリシロキサンとエポキシ樹脂との反応生成物、並びに(D)酸化マイクロクリスタリンワックスを含有することを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記(C)成分と前記(D)との重量比(C)/(D)が3/1〜1/5である請求の範囲第1項又は第2項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 請求の範囲第1項ないし第5項のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。
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