JP2007059433A - カスコード接続回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 2つの電界効果型トランジスタ(以下、「FET」という。)がカスコード接続されたカスコード接続回路であって、ソースが接地された第1のFETと、ソースが第1のFETのドレインに接続された第2のFETと、アノードが第1のFETのソースに接続され、カソードが第2のFETのゲートに接続されたショットキーバリアダイオードとを備えている。
【選択図】 図1
Description
ここで、Cgsはゲート・ソース間容量、gmは相互コンダクタンス、RLは外部負荷(固定)である。このうち、トランジスタの能動層のばらつきによって変化するパラメータはCgs及びgmである。Cgsは動作時の空乏層幅で殆ど決定されるが、gmは空乏層幅だけでなく能動層のシート濃度Nsやピンチオフ電圧Vpにも相関を持つ。
表1
ただし、低雑音HEMT(High Electron Mobility Transistor)構造を元にデバイスシミュレーションで計算し、ゲート幅Wgを1mm、ゲート・ソース間電圧Vgsを−0.3V、ドレイン電圧Vdを2Vとした。なお、Vgs=−0.3Vはgmがほぼ最大となる電圧である。また、Vgs=−0.3V及びVd=2Vというのは、高利得な低雑音HEMTでは良く用いられる電圧領域である。
本発明の実施の形態1に係るカスコード接続回路は、2つの電界効果型トランジスタ(以下、「FET」という。)がカスコード接続されたカスコード接続回路であって、図1に示すように、ソースが接地された第1のFET1と、ソースが第1のFET1のドレインに接続された第2のFET2と、アノードが第1のFET1のソースに接続され、カソードが第2のFET2のゲートに接続されたショットキーバリアダイオード21と、第2のFET2のドレインと第2のFET2のゲートとの間に接続された抵抗4(第1の抵抗)と、第1のFET1のソースと第2のFET2のゲートとの間にショットキーバリアダイオード21とは並列に接続された抵抗5(第2の抵抗)とを有する。なお、第1のFET1のゲート、第1のFET1のソース、及び第2のFET2のドレインは、それぞれ、カスコード接続回路のゲート、ソース、及びドレインとして機能する。
図4は、本発明の実施の形態2に係るカスコード接続回路を示す回路図である。この回路には、実施の形態1の構成に加えて、ショットキーバリアダイオード21と直列に抵抗27が設けられている。この抵抗27を設けたことにより、カスコード接続回路の動作が安定する。
図6は、本発明の実施の形態3に係るカスコード接続回路のショットキーバリアダイオードを示す断面図であり、図7はその平面図である。このショットキーバリアダイオードは、ショットキー層12上にショットキー接合されたカソード電極23を有する。即ち、実施の形態1とは異なり、カソード電極23を能動層上にオーミック接合するのではなくショットキー接合して、逆方向の2つのショットキーバリアダイオードを直列接続している。
図8は、本発明の実施の形態4に係るカスコード接続回路のショットキーバリアダイオードを示す断面図である。アノード電極22は、ショットキー層12上にショットキー接合された高抵抗金属膜31と、この高抵抗金属膜31上に形成された低抵抗金属膜32とから構成される。
高周波FETにおいて高出力増幅器を作成する場合、温度上昇が問題となる。Au、Ag、Cuなどの低抵抗金属は一般に高温信頼性が低く、比較的容易に半導体層と反応する。このため、ゲート電極等を形成する際に、タングステン合金等の高温信頼性の高い高抵抗金属がバリアメタルとして半導体層と低抵抗金属層の間に挿入される。この場合、バリアメタルが半導体層と接触し、ショットキー接合を形成する。一般にバリアメタルとして使用される金属の抵抗率は高いが、低抵抗金属を重ねて積層することで抵抗を下げてトランジスタ特性を向上させている。
図1の抵抗4,5の抵抗値が低いと大きなバイパス電流が流れ、効率が著しく落ちる。従って、抵抗4,5は通常1KΩ以上必要である。もし、抵抗4,5をエピ抵抗又は注入抵抗で形成する場合、シート抵抗が低いため、充分な抵抗値を確保するには抵抗を長くする必要がある。これにより、チップサイズが増大し、製造コストが増加するという問題がある。
2 第2のFET
3 コンデンサ
4,5,27 抵抗
11 チャネル
12 ショットキー層
13 高濃度ドープ半導体層
14 能動層
21 ショットキーバリアダイオード
22 アノード電極
23 カソード電極
31 高抵抗金属膜
32 低抵抗金属膜
Claims (8)
- 2つの電界効果型トランジスタ(以下、「FET」という。)がカスコード接続されたカスコード接続回路であって、
ソースが接地された第1のFETと、
ソースが前記第1のFETのドレインに接続された第2のFETと、
アノードが前記第1のFETのソースに接続され、カソードが前記第2のFETのゲートに接続されたショットキーバリアダイオードとを備えていることを特徴とするカスコード接続回路。 - n(3以上の正の整数)個のFETがカスコード接続されたカスコード接続回路であって、
ソースが接地された第1のFETと、
mが2乃至nの正の整数であり、ソースが第m−1のFETのドレインに接続された第mのFETと、
アノードが前記第1のFETのソースに接続され、カソードが前記第mのFETのゲートに接続された第m−1のショットキーバリアダイオードとを備えていることを特徴とするカスコード接続回路。 - 前記ショットキーバリアダイオードは、前記能動層上にショットキー接合されたアノード電極と、前記能動層上にオーミック接合されたカソード電極とを有することを特徴とする請求項1に記載のカスコード接続回路。
- 前記アノード電極と前記カソード電極の間で前記能動層の幅が狭くなっていることを特徴とする請求項3に記載のカスコード接続回路。
- 前記ショットキーバリアダイオードは、能動層上にショットキー接合されたアノード電極と、前記能動層上にショットキー接合されたカソード電極とを有することを特徴とする請求項1に記載のカスコード接続回路。
- 前記アノード電極は、前記第1のFET及び前記第2のFETのソース・ドレイン電極を構成する物質よりも抵抗値が高い物質からなる膜を少なくとも一部に有することを特徴とする請求項3に記載のカスコード接続回路。
- 前記アノード電極は、前記第1のFET及び前記第2のFETのゲート電極と同工程で、前記能動層上にショットキー接合された高抵抗金属膜と、前記高抵抗金属膜上に前記高抵抗金属膜よりも抵抗が低い低抵抗金属膜とを形成した後、前記低抵抗金属膜の全部又は一部を除去することにより形成されることを特徴とする請求項3に記載のカスコード接続回路。
- 前記第2のFETのドレインと前記第2のFETのゲートとの間に接続された第1の抵抗と、前記第1のFETのソースと前記第2のFETのゲートとの間に前記ショットキーバリアダイオードとは並列に接続された第2の抵抗とを更に有し、
前記第1の抵抗及び前記第2の抵抗は、チャネル上に形成された前記チャネルよりも高濃度の不純物を含む高濃度ドープ半導体層の一部を除去することにより形成されることを特徴とする請求項1に記載のカスコード接続回路。
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