JP2007055772A - 微小物品搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定部11と、微小物品を載置するための支持面16を備え、複数の軸方向において振動素子を介して前記固定部11と連結された搬送基板と、前記各振動素子に所定の電圧を印加し、前記微小物品を搬送する搬送処理手段と、前記搬送基板上の微小物品を拡大した状態で監視する監視装置33とを有する。この場合、前記各振動素子に所定の電圧が印加され、前記微小物品が搬送されるので、支持面16上に載置された微小物品を正確に搬送することができる。
【選択図】図1
Description
q1<qa<q2
にする。したがって、微小物品61、62のうちの微小物品61だけを搬送することができる。
16、16a、16b 支持面
17 振動ブロック
21、21a〜21c、22、22a、22b、23、23a〜23c ピエゾ素子
33 監視装置
35 制御部
46、48、56、61、62 微小物品
Claims (17)
- (a)固定部と、
(b)微小物品を載置するための支持面を備え、複数の軸方向において振動素子を介して前記固定部と連結された搬送基板と、
(c)前記各振動素子に所定の電圧を印加し、前記微小物品を搬送する搬送処理手段と、(d)前記搬送基板上の微小物品を拡大した状態で監視する監視装置とを有することを特徴とする微小物品搬送装置。 - 前記搬送処理手段は、前記各振動素子に交流電圧を印加し、搬送基板に振動を発生させる粗動処理手段を備える請求項1に記載の微小物品搬送装置。
- 前記搬送処理手段は、前記各振動素子に直流電圧を印加し、微小物品の位置決めを行う微動処理手段を備える請求項1に記載の微小物品搬送装置。
- 前記監視装置は、拡大機能付きのカメラである請求項1に記載の微小物品搬送装置。
- 前記各振動素子に前記電圧を印加するための電圧発生部が接続される請求項1に記載の微小物品搬送装置。
- 前記監視装置によって撮影された微小物品の画像が送られ、該画像を表示する表示部を有する請求項1に記載の微小物品搬送装置。
- 前記表示部に表示された画像を見ながら操作するためのジョイスティックを有する請求項6に記載の微小物品搬送装置。
- 前記各振動素子に位相を反転させた交流電圧を印加するための反転部を有する請求項1に記載の微小物品搬送装置。
- 前記支持面上に微小物品を所定の方向に移動させるための支持部が形成される請求項1に記載の微小物品搬送装置。
- 前記支持面上の所定の位置に微小物品の位置決め用の治具が配設される請求項1に記載の微小物品搬送装置。
- (a)前記搬送基板上に、固定部材によって取付部材が固定され、
(b)該取付部材上に微小物品が載置される請求項1に記載の微小物品搬送装置。 - 前記搬送基板上に、微小物品を収容するための治具、及び前記微小物品の位置決めを行うための位置決め用の治具が配設される請求項1に記載の微小物品搬送装置。
- (a)前記搬送基板は第1、第2のブロックを備え、
(b)該第1、第2のブロックの支持面上に微小物品が載置される請求項1に記載の微小物品搬送装置。 - 寸法又は形状が異なる複数の微小物品のうちの一つの微小物品だけを搬送する分離搬送処理手段を有する請求項1に記載の微小物品搬送装置。
- (a)前記交流電圧を発生させる電圧発生部と、
(b)前記交流電圧の振幅及び位相を変更する振幅位相制御回路とを有する請求項1〜14のいずれか1項に記載の微小物品搬送装置。 - 前記支持面の表面が粗面化される請求項1〜15のいずれか1項に記載の微小物品搬送装置。
- 前記固定部は減圧された室内に配設される請求項1〜16いずれか1項に記載の微小物品搬送装置。
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