JP2008167594A - 多自由度駆動装置および撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この多自由度駆動装置は、被駆動体13を保持する移動体14を異なる方向に駆動するものであって、移動体14を挟み込んで該移動体14に加圧接触する一対の超音波振動子11,12を備える。該一対の超音波振動子11,12は対向配置されて、移動体14に対する駆動方向が互いに異なっている。
【選択図】図1
Description
前記移動体を挟み込んで該移動体に加圧接触する一対の超音波振動子を備え、該一対の超音波振動子は対向配置されて、前記移動体に対する駆動方向が互いに異なる、ことを特徴とする。
13 被駆動体
14 移動体
17 圧電素子
18 弾性体
19 突起部
22,23 センサ部
24,25 超音波振動子
26,27 ボール支持部
28 センサ部
29 信号処理部
30 演算処理部
31 駆動回路部
41,42 インピーダンス素子
51〜58 FET
58 発振器部
59〜62 位相シフタ
63〜66 スイッチング回路部
67,68 支持部材
69 ベース部材
Claims (12)
- 被駆動体を保持する移動体を異なる方向に駆動する多自由度駆動装置であって、
前記移動体を挟み込んで該移動体に加圧接触する一対の超音波振動子を備え、該一対の超音波振動子は対向配置されて、前記移動体に対する駆動方向が互いに異なる、ことを特徴とする多自由度駆動装置。 - 前記一対の超音波振動子は、同一位置で前記移動体を挟んで加圧接触する突起部を有する、ことを特徴とする請求項1に記載の多自由度駆動装置。
- 前記移動体に対して前記一対の超音波振動子を2組以上配置した、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の多自由度駆動装置。
- 前記一対の超音波振動子によって駆動される前記移動体を駆動方向に沿って案内するガイド機構を備える、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の多自由度駆動装置。
- 前記一対の超音波振動子の駆動を制御する制御手段を備える、ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の多自由度駆動装置。
- 前記制御手段は、前記一対の超音波振動子の振動の山が互いに向かい合うように該一対の超音波振動子を制御する、ことを特徴とする請求項5に記載の多自由度駆動装置。
- 前記一対の超音波振動子に対して駆動信号を出力する発振器部を共通化した、ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の多自由度駆動装置。
- 前記一対の超音波振動子を個別に支持する一対の支持部材を備え、該一対の支持部材は、前記移動体を間に挟んで同一位置に配置される、ことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の多自由度駆動装置。
- 前記一対の支持部材は、前記移動体に対する前記一対の超音波振動子の駆動方向に対して45°をなす直線上に配置される、ことを特徴とする請求項8に記載の多自由度駆動装置。
- 前記一対の超音波振動子をそれぞれ前記支持部材で支持したときの形状が同一形状である、ことを特徴とする請求項8又は9に記載の多自由度駆動装置。
- 前記一対の超音波振動子により駆動される前記移動体の駆動方向の位置を検出するセンサ部を備え、前記制御手段は、前記センサ部による検出信号に基づいて前記一対の超音波振動子の駆動を制御する、ことを特徴とする請求項5〜10のいずれか一項に記載の多自由度駆動装置。
- 請求項1〜11のいずれか一項に記載の多自由度駆動装置を備え、前記被駆動体が、撮像装置の光学系、光学部品、または撮像素子である、ことを特徴とする撮像装置。
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