JP2013121197A - 圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット - Google Patents

Abstract

【課題】圧電モーターを小型化し、且つ、駆動精度を向上させる。
【解決手段】圧電材料で形成され端部に凸部が設けられた振動体を、凸部が突出した状態で振動体ケースに収容する。更に、振動体の凸部を振動体ケースごと対象物に押しつけて振動体を振動させることで対象物を駆動する。また、駆動時の反力で振動体ケースが逃げないように、振動体ケースを基台の摺動部に押しつける側圧バネの端面と、振動体ケースとを嵌合させる。こうすれば、振動体ケースが移動しても、側圧バネの端面と振動体ケースとの間で滑りが生じないので、耐摩耗性の部材やコロなどを設ける必要がなくなり、圧電モーターを小型化できる。また、滑りに伴う摩擦力の変動もなくなるので、凸部が対象物に押しつけられる力が安定し、駆動力および駆動量が安定化して駆動精度を向上させることができる。
【選択図】図４

Description

本発明は、圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボットに関する。

圧電材料で形成された部材（圧電部材）を振動させて、対象物を駆動する圧電モーターが知られている。この圧電モーターは、電磁力を利用してローターを回転させる方式の電磁モーターに比べて小型でありながら、大きな駆動力を得ることができ、更に、対象物を高分解能で位置決めすることができるという特徴を有している。このため、たとえばカメラの駆動機構など、種々の装置のアクチュエーターとして用いられている（特許文献１など）。

圧電モーターは、次のような原理で動作する。先ず、圧電部材を略直方体形状に形成して、長手方向の端面に凸部を設けておく。そして、圧電部材に所定周波数の電圧を印加することによって、圧電部材が伸縮する態様の振動と、圧電部材が屈曲する態様の振動とを同時に生じさせる。すると、圧電部材の端面は一方向に回転する楕円運動を開始する。そこで、端面に設けた凸部を対象物に押しつけることで、凸部と対象物との間に働く摩擦力によって対象物を一定方向に移動させることができる。

このため圧電モーターは、圧電部材の端面に設けられた凸部を対象物に押しつけた状態で用いる必要がある。また、対象物を駆動する時に凸部が対象物から受ける反力で圧電部材が逃げないように、圧電部材を保持しておく必要がある。それでいながら、凸部が楕円運動するように圧電部材の振動は許容しなければならない。そこで、凸部を突出させた状態で圧電部材を第１ケースに収め、その第１ケースを摺動可能な状態で第２ケースに収めた構造が用いられる（たとえば、特許文献２）。この構造では、第１ケースによって圧電部材の振動を許容した状態で圧電部材を保持するとともに、第２ケースに設けたバネで第１ケースを後ろ側から対象物に付勢する。更に、第１ケースの側面からも、バネを用いて第１ケースの反対側の側面を第２ケースの内壁面に押しつける。こうすることで、圧電部材の凸部を第１ケースごと対象物に押しつけることができる。また、圧電部材は第１ケース内で振動を許容された状態で保持されており、更に、第１ケースの側面がバネで第２ケースの内壁面に押しつけられているので、対象物を駆動しても凸部が受ける反力で圧電部材が動くこともない。

特開２００８−１８７７６８号公報 特開２００９−３３７８８号公報

しかし近年では、圧電モーターを搭載した装置の小型化および性能向上に対する要請は益々強くなっており、これに伴って圧電モーターに対しても、より一層の小型化および駆動精度の向上が要請されている。

この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、圧電モーターを小型化し、且つ、駆動精度を向上させることが可能な技術の提供を目的とする。

上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の圧電モーターは次の構成を採用した。すなわち、
圧電材料を含む振動体を振動させ、前記振動体の端面に突設された凸部を対象物に接触させることによって、前記対象物を移動させる圧電モーターであって、
前記振動体を収容する振動体ケースと、
前記振動体ケースが摺動する摺動部が設けられ、前記振動体ケースが取り付けられた基台と、
前記振動体ケースから突出した前記凸部を前記対象物の方向に付勢する加圧弾性体と、
前記振動体ケースの摺動方向と交差する方向から、前記振動体ケースを前記基台の前記摺動部に向けて付勢する側圧弾性体と、
を備え、
前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接する側の端面が前記振動体ケースと嵌合する
ことを特徴とする。

このような本発明の圧電モーターにおいては、振動体の凸部を振動体ケースごと対象物に接触させた状態で、振動体を振動させることによって、対象物を移動させることができる。また、振動体ケースは側圧弾性体によって基台の摺動部に押しつけられているので、対象物を駆動する時に凸部が対象物から受ける反力で振動体が逃げてしまうことがない。ここで、振動体ケースは、対象物に対して近付いたり離れたりする方向に摺動し得る。それにも拘わらず、振動体ケースの摺動方向と交差する方向から振動体ケースを摺動部に押しつける側圧弾性体は、振動体ケースに接する側の端面が振動体ケースに嵌合している。

こうすれば、側圧弾性体の端面が、振動体ケースに対して相対的に移動することがない。このため、側圧弾性体の端面と振動体ケースとの間に、耐摩耗性のある部材やコロなどを設ける必要がなくなるので、圧電モーターを小型化することができる。もちろん、振動体ケースは対象物に対して摺動するので、側圧弾性体の端面が振動体ケースに嵌合した構造では、側圧弾性体は振動体ケースを基台の摺動部に押しつけるだけでなく、振動体ケースの摺動を妨げる方向の力も生じる。この力は、振動体の凸部が対象物に押しつけられる力を変動させる方向に作用するので、凸部と対象物との間で生じる摩擦力を変動させ、その結果、圧電モーターの駆動力を変動させる要因となり得る。しかし、実際には、側圧弾性体の端面が振動体ケースとの間で滑ることによる摩擦力の変動や、側圧弾性体と振動体ケースとの間に設けたコロが転がる時の摩擦力の変動による影響の方が大きく、従って、側圧弾性体の端面が振動体ケースとの間で滑らない構造とすることで、むしろ、振動体の凸部が対象物に押しつけられる力の変動を小さくすることができる。また、側圧弾性体の端面が振動体ケースに嵌合することで、側圧弾性体が凸部の押しつけ力に与える変動は、加圧弾性体の製造ばらつきによる押しつけ力のばらつきよりも小さな値に過ぎない。以上のような理由から、側圧弾性体の端面が振動体ケースに嵌合する構造を採用することで、振動体の凸部を対象物に押しつける力の変動を抑制することができる。その結果、圧電モーターの駆動力が安定し、しかも振動体の振動によって凸部が楕円運動する度に同じ距離だけ対象物を移動させることができる。このため、本発明によれば、圧電モーターを小型化し、且つ、駆動精度を向上させることが可能となる。

尚、加圧弾性体あるいは側圧弾性体は、振動体ケースを付勢することが可能であれば良く、コイルバネや板バネなどの、種々の形態のバネを用いることができる。また、たとえば板バネを側圧弾性体として用いた場合は、側圧弾性体の表面のうち、振動体ケースに接触して力を及ぼしている部分が、側圧弾性体の端面となる。一方、コイルバネは大きく変形させて使用することで、振動体ケースが摺動しても付勢力がほとんど変わらない状態で使用することができるので、加圧弾性体あるいは側圧弾性体として好適に用いることができる。また、側圧弾性体の端面は、振動体ケースが摺動する時に振動体ケースとの間で滑らないように嵌合していれば良い。従って、側圧弾性体の端面が振動体ケースに嵌合する態様としては、たとえば、振動体ケースに凹部を設けて側圧弾性体の端面を嵌合しても良いし、振動体ケースから突起を設けて、この突起に側圧弾性体の端面を嵌合しても良い。更には、側圧弾性体の端面から突起を設けて、この突起を振動体ケースに設けた凹部に嵌合しても良い。

また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、側圧弾性体の振動体ケースに接しない側の端面を側圧弾性体保持部で支えることとして、側圧弾性体の側圧弾性体保持部に接する側の端面が、側圧弾性体保持部に嵌合するようにしてもよい。

こうすれば、側圧弾性体の振動体ケースに接していない側の端面も滑ることがない。このため、滑りによって摩擦力が変動し、振動体の凸部が対象物に押しつけられる力が変動することを回避することができる。その結果、圧電モーターの駆動精度をより一層向上させることが可能となる。

また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、加圧弾性体を、振動体ケースの後ろ側（対象物に面する側と反対側）に設けるのではなく、振動体ケースに対して摺動部が設けられている側、あるいは振動体ケースに対して側圧弾性体が設けられている側に設けるようにしてもよい。

こうすれば、振動体ケースの後ろ側に加圧弾性体を設けた場合に比べて、圧電モーターの長さを短くすることができる。その結果、圧電モーターをより一層小型化することが可能となる。

また、上述した本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成しても良い。

本発明の圧電モーターは、小型で且つ高い駆動精度を実現することができる。従って、本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成してやれば、小型で高性能な駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを得ることができる。

また、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品検査装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、検査ソケットに対する電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。

上述したように、本発明の圧電モーターは小型で且つ高い駆動精度を実現することができるから、電子部品を精度良く位置合わせを行うことができ、且つ、小型な電子部品検査装置を実現することが可能となる。

あるいは、本発明の電子部品検査装置は、次のような態様で把握することもできる。すなわち、
把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、
前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、
前記振動体を収容する振動体ケースと、
前記振動体ケースが摺動する摺動部が設けられ、前記振動体ケースが取り付けられた基台と、
前記振動体ケースから突出した前記凸部を前記対象物の方向に付勢する加圧弾性体と、
前記振動体ケースの摺動方向と交差する方向から、前記振動体ケースを前記基台の前記摺動部に向けて付勢する側圧弾性体と、
を備え、
前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接する側の端面が前記振動体ケースと嵌合して ことを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。

更に、上述した本発明の電子部品検査装置は、次のような態様、すなわち、
電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、
前記電子部品を把持する把持装置と、
前記把装置を互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、
前記検査ソケットから見て前記第１軸上または前記第２軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第１軸および前記第２軸の方向への位置および前記第３軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、
前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第１軸または前記第２軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、
前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、
前記移動装置の動作を制御する制御装置と
を備える電子部品検査装置であって、
前記制御装置は、
前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第１制御部と、
前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第２制御部と、
前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第３制御部と、
を備えており、
前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーターである
ことを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。

このような構成の電子部品検査装置は、把持装置に設けられた第１ないし第３の圧電モーターを用いて電子部品の姿勢を調整した後、検査ソケットに装着することができる。ここで、本発明の圧電モーターは、小型で且つ対象物を精度良く駆動することができるので、把持装置に設ける第１ないし第３の圧電モーターとして特に優れている。

更には、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品搬送装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。

上述したように、本発明の圧電モーターは小型で且つ高い駆動精度を実現することができるから、電子部品を精度良く位置合わせを行うことができ、且つ、小型な電子部品搬送装置を実現することができる。

あるいは、本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、
把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、
前記振動体を収容する振動体ケースと、
前記振動体ケースが摺動する摺動部が設けられ、前記振動体ケースが取り付けられた基台と、
前記振動体ケースから突出した前記凸部を前記対象物の方向に付勢する加圧弾性体と、
前記振動体ケースの摺動方向と交差する方向から、前記振動体ケースを前記基台の前記摺動部に向けて付勢する側圧弾性体と、
を備え、
前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接する側の端面が前記振動体ケースと嵌合している
ことを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。

更には、上述した本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、
電子部品を把持する把持装置と、
互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に前記把装置を移動させる移動装置と、
前記移動装置の動作を制御する制御装置と
を備える電子部品搬送装置であって、
前記把持装置は、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーターである
ことを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。

本実施例の圧電モーターの大まかな構成を示した説明図である。 本実施例の本体部の構造を示す分解組立図である。 圧電モーターの動作原理を示す説明図である。 本実施例の圧電モーターの前方側圧バネおよび後方側圧バネの取り付け構造を示した説明図である。 前方側圧バネおよび後方側圧バネを取り付ける他の態様を例示した説明図である。 圧電モーター１０の本体部１００がＸ方向に摺動することによって前方側圧バネが撓む様子を示した説明図である。 前方側圧バネおよび後方側圧バネと第２側壁ブロックとの間にコロを設けた参考例の圧電モーターの断面図である。 振動体ケースの側面に前方側圧バネが嵌合する凹部を設けなかった場合を例示した説明図である。 前方側圧バネが嵌合する凹部を前方ハウジング内に設けなかった場合を例示した説明図である。 前方ハウジング内に前方側圧バネ２１２ｓを取り付ける他の態様を例示した説明図である。 前方側圧バネの中心軸の位置で取った圧電モーターの断面図である。 第１変形例の圧電モーターの構造を示す断面図である。 第２変形例の圧電モーターの構造を示す断面図である。 第３変形例の圧電モーターの構造を示す断面図である。 第４変形例の圧電モーターの構造を示す断面図である。 本実施例の圧電モーターを組み込んで構成された電子部品検査装置を例示した斜視図である。 把持装置に内蔵された微調整機構についての説明図である。 本実施例の圧電モーターを組み込んだ印刷装置を例示した斜視図である。 本実施例の圧電モーターを組み込んだロボットハンドを例示した説明図である。 ロボットハンドを備えたロボットを例示した説明図である。

以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施例を説明する。
Ａ．装置構成：
Ｂ．圧電モーターの動作原理：
Ｃ．側圧バネの取り付け構造：
Ｄ．変形例：
Ｅ．適用例：

Ａ．装置構成 ：
図１は、本実施例の圧電モーター１０の大まかな構成を示した説明図である。図１（ａ）には、本実施例の圧電モーター１０の全体図が示されており、図１（ｂ）には分解組立図が示されている。図１（ａ）に示されるように、本実施例の圧電モーター１０は、大まかには、本体部１００と、基台部２００とから構成されている。本体部１００は基台部２００内に取り付けられており、その状態で一方向に摺動可能となっている。尚、本明細書中では、本体部１００の摺動方向をＸ方向と称する。また、図中に示すように、Ｘ方向と直交する方向を、それぞれＹ方向、Ｚ方向と称するものとする。

本体部１００および基台部２００は、それぞれ複数の部品が組み合わされて構成されている。たとえば基台部２００は、略矩形形状をした基板２３０の上面の両側に、第１側壁ブロック２１０および第２側壁ブロック２２０が止めネジ２４０で締結されることによって構成されている（図１（ｂ）を参照のこと）。圧電モーター１０を組み立てる際には、本体部１００の上方から、第１側壁ブロック２１０および第２側壁ブロック２２０を、止めネジ２４０を用いて基板２３０に取り付ける。

また、第１側壁ブロック２１０には、前方ハウジング２１２、中央ハウジング２１４、後方ハウジング２１６の３つの凹部が形成されている。そして、第１側壁ブロック２１０を基板２３０に取り付ける際には、前方ハウジング２１２に前方側圧バネ２１２ｓを収容し、後方ハウジング２１６に後方側圧バネ２１６ｓを収容した状態で取り付ける。その結果、本体部１００は、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓによって第２側壁ブロック２２０に押しつけられた状態となる。また、本体部１００の側面の、第２側壁ブロック２２０に面する側には、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが取り付けられている。更に、本体部１００の側面には加圧バネ２２２ｓが設けられている。この加圧バネ２２２ｓは、前側コロ１０２ｒの後ろ側の箇所で本体部１００をＸ方向に押圧している。尚、本実施例では、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが本発明の「側圧弾性体」に対応し、加圧バネ２２２ｓが本発明の「加圧弾性体」に対応する。更に、基台部２００が本発明の「基台」に対応し、基台部２００を構成する第１側壁ブロック２１０および第２側壁ブロック２２０が、それぞれ本発明の「側圧弾性体保持部」および「摺動部」に対応する。

また、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが設けられた側と反対側の本体部１００の側面には、Ｚ方向（図面上では上方）に向けて押さえコロ１０４ｒが設けられている。第１側壁ブロック２１０を取り付けた状態では、この押さえコロ１０４ｒは、第１側壁ブロック２１０の中央ハウジング２１４に収容される。また、本体部１００の押さえコロ１０４ｒが設けられた部分の裏面側と、基板２３０との間には、押さえバネ２３２ｓが設けられている。このため、押さえコロ１０４ｒは中央ハウジング２１４の内面に対してＺ方向（図面上では上方）に押しつけられた状態となっている。

図２は、本実施例の本体部１００の構造を示す分解組立図である。本体部１００は、大まかには、振動体ケース１２０内に振動部１１０が収容された構造となっている。振動部１１０は、圧電材料によって直方体形状に形成された振動体１１２と、振動体１１２の長手方向（Ｘ方向）の端面に取り付けられたセラミック製の駆動凸部１１４と、振動体１１２の一方の側面を４分割して設けられた４枚の表電極１１６などから構成されている。尚、図２では示されていないが、４枚の表電極１１６が設けられた側と反対側の側面には、側面のほぼ全面を覆う裏電極が設けられており、この裏電極はグランドに接地されている。尚、本実施例では、駆動凸部１１４が本発明の「凸部」に対応する。

振動部１１０は、表電極１１６および裏電極が設けられた両側面（図２では、Ｚ方向の両側面）から樹脂製の緩衝部材１３０で挟まれた状態で、振動体ケース１２０に収容される。更に、表電極１１６側の緩衝部材１３０の上から、押さえ板１４０、皿バネ１４２、および押さえ蓋１４４が載せられて、押さえ蓋１４４が止めネジ１４６で振動体ケース１２０に締結される。このため振動部１１０は、皿バネ１４２のバネ力によって押さえ付けられながらも、樹脂製の緩衝部材１３０が剪断変形することによって、振動体ケース１２０内で振動体１１２が振動し得る状態で収容されている。

Ｂ．圧電モーターの動作原理 ：
図３は、圧電モーター１０の動作原理を示す説明図である。圧電モーター１０は、振動部１１０の表電極１１６に一定周期で電圧を印加したときに、振動部１１０の駆動凸部１１４が楕円運動することによって動作する。振動部１１０の駆動凸部１１４が楕円運動するのは次の理由による。

先ず、周知のように振動体１１２は、正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図３（ａ）に示すように、４つの表電極１１６の全てに正電圧を印加した後、印加電圧を解除することを繰り返すと、振動体１１２は長手方向（Ｘ方向）に伸縮する動作を繰り返す。このように、振動体１１２が長手方向（Ｘ方向）に伸縮を繰り返す動作を「伸縮振動」と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数（共振周波数）は、振動体１１２の物性と、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決定される。

また、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すように、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６を組（表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組、あるいは表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃの組）として、一定周期で正電圧を印加する。すると振動体１１２は、長手方向（Ｘ方向）の先端部（駆動凸部１１４が取り付けられた部分）が、図面上で右方向あるいは左方向に首を振るような動作を繰り返す。たとえば図３（ｂ）に示したように、表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体１１２は、先端部を図面上で右方向に振るような動作を繰り返す。また、図３（ｃ）に示したように、表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃの組に一定周期で正電圧を印加すると、先端部を図面上で左方向に振るような動作を繰り返す。このような振動体１１２の動作を「屈曲振動」と呼ぶ。このような屈曲振動についても、振動体１１２の物性と、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体１１２は右方向あるいは左方向（Ｙ方向）に大きく首を振って振動する。

ここで、図３（ａ）に示した伸縮振動の共振周波数も、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示した屈曲振動の共振周波数も、振動体１１２の物性や、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）によって決定される。従って、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）を適切に選んでやれば共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体１１２に対して、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図３（ａ）の伸縮振動も誘起される。その結果、図３（ｂ）に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体１１２の先端部分（駆動凸部１１４が取り付けられた部分）が、図面上で時計回りに楕円運動を開始する。また、図３（ｃ）に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体１１２の先端部分が図面上で反時計回りに楕円運動を開始する。

圧電モーター１０は、このような楕円運動を利用して対象物を駆動する。すなわち、振動体１１２の駆動凸部１１４を対象物に押しつけた状態で楕円運動を発生させる。すると駆動凸部１１４は、振動体１１２が伸張する際には対象物に押しつけられた状態で左から右に向かって（あるいは右から左に向かって）移動した後、振動体１１２が収縮する際には対象物から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、対象物は、駆動凸部１１４から受ける摩擦力によって一方向に駆動されることになる。また、対象物が受ける駆動力は、駆動凸部１１４との間で生じる摩擦力に等しいから、駆動力の大きさは、駆動凸部１１４と対象物との間の摩擦係数と、駆動凸部１１４が対象物に押しつけられる力とによって決定される。

以上に説明した圧電モーター１０の動作原理から明らかなように、圧電モーター１０は、駆動凸部１１４を対象物に押しつけた状態で使用する必要がある。このため、本実施例の圧電モーター１０では、駆動凸部１１４を備える本体部１００が基台部２００に対して摺動可能となっており、本体部１００と基台部２００との間に設けられた加圧バネ２２２ｓによって、本体部１００から突き出た駆動凸部１１４を対象物に押しつけるようになっている（図１参照）。

また、対象物を駆動すると、駆動凸部１１４は対象物から反力を受ける。そして、この反力は本体部１００に伝達される。上述したように本体部１００は基台部２００に対して摺動可能としなければならないが、駆動時に受ける反力で本体部１００が摺動方向とは直交する方向に逃げてしまうと、対象物に対して十分な駆動力を伝達することができなくなる。また、本体部１００が逃げると駆動凸部１１４の移動量が減少するので対象物の駆動量が少なくなる。更に、本体部１００の逃げ量は、常に安定しているとは限らないから、対象物の駆動量が不安定となってしまう。そこで、図１に示すように、本実施例の圧電モーター１０では、本体部１００の摺動方向と直交する方向から、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓによって本体部１００を第２側壁ブロック２２０に押しつけるようになっている。ここで、本実施例の圧電モーター１０では、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが次のようにして取り付けられている。

Ｃ．側圧バネの取り付け構造 ：
図４は、本実施例の圧電モーター１０の断面を取ることによって、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓの取り付け構造を示した説明図である。尚、図４（ａ）には、加圧バネ２２２ｓが取り付けられている様子も示されている。図４（ａ）に示されるように、加圧バネ２２２ｓは、本体部１００（実際には本体部１００の振動体ケース１２０）と第２側壁ブロック２２０との間に設けられて、本体部１００をＸ方向（図面上では上方向）に付勢している。

また、本体部１００（実際には振動体ケース１２０）と、第１側壁ブロック２１０との間には、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが設けられており、本体部１００は前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓによって、第２側壁ブロック２２０に押しつけられている。そして、本体部１００と第２側壁ブロック２２０との間には、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが設けられている。このため、本体部１００は第２側壁ブロック２２０に押しつけられた状態で、第２側壁ブロック２２０に対して滑らかに摺動する。その結果、振動体ケース１２０は、Ｙ方向には位置決めされた状態のまま、Ｘ方向に摺動することが可能である。

ここで、前方側圧バネ２１２ｓは第１側壁ブロック２１０の前方ハウジング２１２内に収容されており、後方側圧バネ２１６ｓは第１側壁ブロック２１０の後方ハウジング２１６内に収容されている。但し、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓは、単に前方ハウジング２１２および後方ハウジング２１６内に収容されているのではなく、少なくとも本体部１００（正確には振動体ケース１２０）の側の端面が振動体ケース１２０に対して滑らないような状態で、前方ハウジング２１２および後方ハウジング２１６内に収容されている。また、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓの反対側の端面（第１側壁ブロック２１０側の端面）についても、前方ハウジング２１２および後方ハウジング２１６内で端面が第１側壁ブロック２１０に対して滑らないような状態で収容されている。

図４（ｂ）には、前方ハウジング２１２内で前方側圧バネ２１２ｓが収容されている部分の断面拡大図が示されている。図示されているように、第１側壁ブロック２１０の前方ハウジング２１２の奥側の内壁面には、円形の凹部２１２ｔが形成されている。凹部２１２ｔの内径は、前方側圧バネ２１２ｓの外径と同じ大きさとなっており、前方側圧バネ２１２ｓは、端面が凹部２１２ｔに嵌め込まれている。また、振動体ケース１２０の側にも同様に、前方側圧バネ２１２ｓの外径と同じ大きさを有する円形の凹部１２２ｔが形成されており、前方側圧バネ２１２ｓの端面が嵌め込まれている。また、前方ハウジング２１２の大きさは、前方ハウジング２１２内で前方側圧バネ２１２ｓが動き得るように、前方側圧バネ２１２ｓの外径に対して余裕を持たせた大きさに形成されている。

更に、図示は省略するが、後方側圧バネ２１６ｓについても同様に、後方ハウジング２１６および振動体ケース１２０に凹部が形成されており、この凹部に後方側圧バネ２１６ｓの端面が嵌め込まれている。そして、後方ハウジング２１６の大きさは、後方側圧バネ２１６ｓの外径に対して余裕を持たせた大きさに形成されている。

尚、本実施例では、前方ハウジング２１２および振動体ケース１２０に形成された凹部２１２ｔ，１２２ｔに、前方側圧バネ２１２ｓの端面が嵌め込まれているので、前方側圧バネ２１２ｓの端面は外径部分で取り付けられていることになる。しかし、前方側圧バネ２１２ｓの端面を取り付けることができるのであれば、このような方法に限られるものではない。たとえば、図５に示したように、振動体ケース１２０から、前方側圧バネ２１２ｓの内径に相当する外径の凸部１２２ｕを突設させて、この凸部１２２ｕに前方側圧バネ２１２ｓの内径を嵌め込むようにしても良い。また、前方ハウジング２１２の内壁面からも、前方側圧バネ２１２ｓの内径に相当する外径の凸部２１２ｕを突設させて、この凸部２１２ｕに前方側圧バネ２１２ｓの内径を嵌め込むようにしても良い。

ここで、前述したように本体部１００は、第２側壁ブロック２２０にガイドされてＸ方向に摺動可能に構成されている。従って、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓの端面が、少なくとも振動体ケース１２０に対して滑らないように取り付けられていると、本体部１００がＸ方向に摺動した時に、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが撓むように変形する。また、第１側壁ブロック２１０の側でも、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓの端面が第１側壁ブロック２１０に取り付けられていると、本体部１００が摺動した時に、第１側壁ブロック２１０側の端面で滑って前方側圧バネ２１２ｓあるいは後方側圧バネ２１６ｓの位置がずれることがない。このため、本体部１００の摺動と共に、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが撓むように変形する。

図６には、本実施例の圧電モーター１０で、本体部１００がＸ方向に摺動することによって前方側圧バネ２１２ｓが撓む様子が示されている。図６（ａ）は、本体部１００が未だ摺動しておらず、従って前方側圧バネ２１２ｓが撓んでいない状態を示している。この状態から、本体部１００がプラスのＸ方向（図面上では上向き）に摺動すると、前方側圧バネ２１２ｓの本体部１００側の端面が引きずられるように移動する。その結果、図６（ｂ）に示したように、前方側圧バネ２１２ｓには上向きに反るような撓みが生じる。また逆に、図６（ａ）に示した状態から、本体部１００がマイナスのＸ方向（図面上では下向き）に摺動すると、前方側圧バネ２１２ｓには、図６（ｃ）に示したように下向きに反るような撓みが生じる。また、後方側圧バネ２１６ｓについても、全く同様なことがあてはまる。

ここで、図３を用いて前述したように、圧電モーター１０の駆動力は、駆動凸部１１４と対象物との間の摩擦係数と、駆動凸部１１４を対象物に押しつける力（加圧バネ２２２ｓのバネ力）とによって決定される。また、図６（ｂ）または図６（ｃ）に示すように、前方側圧バネ２１２ｓ（および後方側圧バネ２１６ｓ）が撓むと、駆動凸部１１４を対象物に押しつける力を弱めたり、あるいは強めたりする方向の反力を本体部１００に対して生じさせる。従って、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓに生じる撓みは、圧電モーター１０の駆動力を変動させる要因となり得る。そこで、このような駆動力の変動要因を排除して、安定した駆動力の圧電モーター１０を得るために、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓと第２側壁ブロック２２０との間にコロを設けることが考えられる。

図７は、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓと第２側壁ブロック２２０との間にコロを設けた参考例の圧電モーター９０の断面図である。図示されるように、参考例の圧電モーター９０では、前方側圧バネ２１２ｓと本体部１００（正確には振動体ケース１２０）との間に前側コロ９１２ｒが設けられており、後方側圧バネ２１６ｓと本体部１００（振動体ケース１２０）との間に後側コロ９１６ｒが設けられている。前側コロ９１２ｒは、前方側圧バネ２１２ｓと共に第１側壁ブロック９１０の前方ハウジング９１２内に収容されており、後側コロ９１６ｒは、後方側圧バネ２１６ｓと共に第１側壁ブロック９１０の後側コロ９１６ｒ内に収容されている。また、前方側圧バネ２１２ｓの両端面は、前側コロ９１２ｒおよび第１側壁ブロック９１０に対して取り付けられておらず、後方側圧バネ２１６ｓの両端面も、後側コロ９１６ｒおよび第１側壁ブロック９１０に対して取り付けられていない。その他の点については、参考例の圧電モーター９０も、本実施例の圧電モーター１０と全く同様である。

図７に示した参考例の圧電モーター９０と、図４の本実施例の圧電モーター１０とを比較すれば明らかなように、参考例の圧電モーター９０では、前側コロ９１２ｒおよび後側コロ９１６ｒが追加されている分だけ、第１側壁ブロック９１０が大きくなっている。このため、参考例の圧電モーター９０は、本実施例の圧電モーター１０よりも大型化する。換言すれば、本実施例の圧電モーター１０は、前側コロ９１２ｒや後側コロ９１６ｒを介さず、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが本体部１００（正確には振動体ケース１２０）を直接押す構造を採用することで、圧電モーター１０が小型化されていることになる。また、前側コロ９１２ｒや後側コロ９１６ｒを省くことができれば構造が簡単になるので、圧電モーター１０を容易に製造することも可能となる。

また、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが本体部１００を直接押す構造を採用した場合、本体部１００の摺動によって前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓに撓みが生じる。このため一見すると、圧電モーター１０の駆動力が変動し易くなるように思われる。しかし、参考例の圧電モーター９０から前側コロ９１２ｒおよび後側コロ９１６ｒを省いた上で、前方側圧バネ２１２ｓ（および後方側圧バネ２１６ｓ）の少なくとも振動体ケース１２０に接する側の端面が、振動体ケース１２０に対して滑らないような構造とすることで、以下のような理由から、圧電モーター１０の駆動力および駆動量を安定させることができる。更に、前方側圧バネ２１２ｓ（および後方側圧バネ２１６ｓ）の第１側壁ブロック２１０に接する側の端面も、第１側壁ブロック２１０に対して滑らないような構造としてやれば、こうした効果をより確実に発揮させることができる。結局、本実施例の圧電モーター１０では、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが振動体ケース１２０および第１側壁ブロック２１０に直接当接し、且つ、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓの端面が滑らないような構造を採用することで、圧電モーター１０の小型化および製造容易化を実現するだけでなく、駆動力および駆動量の安定化をも実現していることになる。以下、この理由について詳しく説明する。

先ず、本体部１００がＸ方向に摺動する要因としては、対象物を駆動しているうちに駆動凸部１１４が摩耗することや、駆動された対象物が移動することによって、対象物の位置が圧電モーター１０に対して近付いたり遠ざかったりすることが挙げられる。但し、圧電モーター１０によって駆動される対象物は、裏側から支えられていたり、あるいはガイド部材などによってガイドされたりすることが通常なので、実際には、対象物の位置が大きく変動することはない。また、駆動凸部１１４の摩耗は僅かな量に過ぎない。従って、本体部１００がＸ方向に摺動したとしてもその摺動量は僅かであり、このため、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが撓んで駆動凸部１１４の押しつけ力に影響を与えたとしても、その影響は僅かなものに過ぎない。たとえば、駆動凸部１１４を対象物に押しつける加圧バネ２２２ｓの製造ばらつきでバネ定数が±１０％程度はばらつくので、駆動凸部１１４の押しつけ力も同程度（±１０％程度）にばらつく。しかし、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが撓んだことによる影響は、バネ定数のばらつきによる影響よりも１桁小さくなり、大きめに見積もっても、数分の１程度にしかならない。

また、上述したように本体部１００が摺動する主な原因は、対象物が駆動されて移動するときに、対象物の位置が圧電モーター１０に対して近付いたり遠ざかったりすることにあるから、本体部１００は、ごく小さな振幅で振動するような態様で摺動する。このような態様で摺動する部分にコロ（前側コロ９１２ｒ、後側コロ９１６ｒ）を用いると、コロの外周面およびコロを支える軸の部分では、静止摩擦状態と動摩擦状態とが繰り返されることになって、転がり摩擦係数が不定期に変化する。更に、転がり摩擦係数が変化する際には静止摩擦係数と動摩擦係数との間で変化するから、大きくなる時には２倍以上に大きくなり、小さくなる時には半分以下に小さくなる。加えて、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが本体部１００を押さえつける力は、対象物を駆動した時に駆動凸部１１４が受ける反力で本体部１００が第２側壁ブロック２２０から離れないように押さえつけておくための力である。このため、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓのバネ力は、対象物に加える駆動力の２倍程度の大きさが必要となり、かなりの大きな力となる。その結果、転がり摩擦係数が不定期に変化することで、コロ（前側コロ９１２ｒ、後側コロ９１６ｒ）の部分での摩擦力が不定期に且つ大きく変動することになり、駆動凸部１１４の押しつけ力に対して大きな影響を与える。実際に、ある条件で見積もってみたところ、コロの部分での摩擦力が変動することによる影響は、加圧バネ２２２ｓのバネ定数のばらつきによる影響と同程度の大きさとなる。更に加えて、コロ（前側コロ９１２ｒ、後側コロ９１６ｒ）あるいはコロを支える軸は、断面が完全な真円となるように製造できるわけではないから、このことによる摩擦力の変動も重畳される。

以上の理由から、図７の参考例の圧電モーター９０のように、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが前側コロ９１２ｒや後側コロ９１６ｒを介して本体部１００を押す構造では、コロ（前側コロ９１２ｒ、後側コロ９１６ｒ）の部分で摩擦力が不定期に且つ大きく変化して、駆動凸部１１４の押しつけ力を変化させてしまう。これに対して、本実施例の圧電モーター１０のように、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが、コロを介さずに本体部１００を直接押すようにしても、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓが撓んで駆動凸部１１４の押しつけ力に影響を与えることはほとんどない。むしろ、コロを無くすことで駆動凸部１１４の押しつけ力を安定させることができ、その結果、圧電モーター１０の駆動力を安定させることが可能となる。

また、本実施例の圧電モーター１０では、前方側圧バネ２１２ｓ（および後方側圧バネ２１６ｓ）の本体部１００（正確には振動体ケース１２０）に接する側の端面が、振動体ケース１２０に対して滑らないようになっている。これは次のようなことを考慮したためである。

図８は、振動体ケース１２０の側面に前方側圧バネ２１２ｓが嵌め込まれる凹部１２２ｔを設けなかった場合を例示した説明図である。尚、図８では、前方側圧バネ２１２ｓについてのみ表示しているが、後方側圧バネ２１６ｓについても全く同様なことが当て嵌まる。振動体ケース１２０の側面に凹部１２２ｔを設けなかった場合、前方側圧バネ２１２ｓの端面は、振動体ケース１２０の側面に押しつけられている。このため本体部１００が摺動すると、前方側圧バネ２１２ｓの端面が振動体ケース１２０によって引きずられる結果、たとえば図８（ａ）に示すように前方側圧バネ２１２ｓに撓みが生じる。しかし、前方側圧バネ２１２ｓの端面は、単に振動体ケース１２０の側面に押しつけられているだけであり、しかも圧電モーター１０の動作中は、本体部１００は常に細かく動いている。このため、振動体ケース１２０に引きずられていた前方側圧バネ２１２ｓの端面が何かの拍子に滑って動いてしまい、図８（ｂ）に示すように、前方側圧バネ２１２ｓの撓みが戻ってしまうことが起こり得る。このようなことが生じると、駆動凸部１１４の押しつけ力が不連続に変化し、従って圧電モーター１０の駆動力が不連続に変化することになるので好ましいことではない。

また、図８（ｃ）に示したように、前方側圧バネ２１２ｓを組み付けた状態（本体部１００が摺動していない状態）で、前方側圧バネ２１２ｓが撓んで組み付けられている場合も起こり得る。そして圧電モーター１０の動作中は、本体部１００は常に細かく動いているので、何かの拍子に前方側圧バネ２１２ｓの端面が滑って動いてしまい、図８（ｄ）に示すように前方側圧バネ２１２ｓの撓みが戻ってしまうことが起こり得る。このような場合にも、圧電モーター１０の駆動力が不連続に変化することになるので好ましいことではない。

そこで、本実施例の圧電モーター１０では、振動体ケース１２０の側面に凹部１２２ｔを設けて、前方側圧バネ２１２ｓの端面を凹部１２２ｔに嵌め込んでいる。このため、本体部１００が摺動して前方側圧バネ２１２ｓが撓んでも、前方側圧バネ２１２ｓの端面が滑って前方側圧バネ２１２ｓの撓みが元に戻ってしまうことがない。また、前方側圧バネ２１２ｓを組み付ける際には、前方側圧バネ２１２ｓの端面が振動体ケース１２０の凹部１２２ｔに嵌め込まれるので、前方側圧バネ２１２ｓが撓んだ状態で組み付けられることもない。このため、圧電モーター１０の動作中に駆動力が不連続に変化する事態を回避することが可能となる。

以上では、前方側圧バネ２１２ｓ（および後方側圧バネ２１６ｓ）の振動体ケース１２０側の端面について説明した。前方側圧バネ２１２ｓ（および後方側圧バネ２１６ｓ）の第１側壁ブロック２１０側の端面についても、ほぼ同様なことが当て嵌まる。すなわち、仮に、前方ハウジング２１２内に凹部２１２ｔが形成されておらず、前方側圧バネ２１２ｓの端面が前方ハウジング２１２内で滑り得るような状態であった場合には、圧電モーター１０の動作中に駆動力が突然、不連続に変化することが起こり得る。後方側圧バネ２１６ｓについても同様に、後方側圧バネ２１６ｓの端面が後方ハウジング２１６内で滑り得るような状態であった場合には、圧電モーター１０の動作中に駆動力が突然、不連続に変化することが起こり得る。以下、この点について補足して説明する。

図９は、前方側圧バネ２１２ｓが嵌め込まれる凹部２１２ｔが前方ハウジング２１２内に設けられていない場合を例示した説明図である。尚、図９では、前方側圧バネ２１２ｓについてのみ表示しているが、後方側圧バネ２１６ｓについても全く同様なことが当て嵌まる。前方ハウジング２１２内に凹部２１２ｔを設けなかった場合でも、本体部１００が摺動すると、図９（ａ）に示すように前方側圧バネ２１２ｓに撓みが生じる。しかし、前方ハウジング２１２内で前方側圧バネ２１２ｓの端面が、単に第１側壁ブロック２１０に押しつけられているだけの場合には、何かの拍子に、前方側圧バネ２１２ｓの端面が振動体ケース１２０側から引きずられて、前方ハウジング２１２内で滑ってしまうことが起こり得る。その結果、図９（ｂ）に示したように、前方側圧バネ２１２ｓの撓みが戻ってしまうことが起こり得る。このようなことが生じると、駆動凸部１１４の押しつけ力が不連続に変化し、圧電モーター１０の駆動力が不連続に変化する。

また、図９（ｃ）に示したように、前方側圧バネ２１２ｓを組み付けた時に、前方ハウジング２１２内で前方側圧バネ２１２ｓが正しい位置に取り付けられておらず、前方側圧バネ２１２ｓが撓んだ状態となっている場合も起こり得る。そして圧電モーター１０の動作中に、何かの拍子に、前方ハウジング２１２内で前方側圧バネ２１２ｓの端面が滑って、図９（ｄ）に示すように前方側圧バネ２１２ｓの撓みが戻ってしまうことが起こり得る。このような場合にも、圧電モーター１０の駆動力が不連続に変化する。

本実施例の圧電モーター１０ではこのようなことを考慮して、図４に示すように、第１側壁ブロック２１０の前方ハウジング２１２内にも凹部２１２ｔを設けて、前方側圧バネ２１２ｓの端面を嵌め込むこととしている。また、後方側圧バネ２１６ｓについても同様に、後方ハウジング２１６内に凹部２１６ｔを設けて、後方側圧バネ２１６ｓの端面を嵌め込むこととしている。

尚、前方ハウジング２１２内および後方ハウジング２１６内で、前方側圧バネ２１２ｓや後方側圧バネ２１６ｓの端面が滑らないような構造となっていればよく、必ずしも前方ハウジング２１２内や後方ハウジング２１６内に凹部２１２ｔあるいは凹部２１６ｔを設ける必要はない。たとえば、図１０に示すように、前方ハウジング２１２の少なくとも奥側を、前方側圧バネ２１２ｓの外径に合わせた大きさとしておき、前方ハウジング２１２の内壁面で前方側圧バネ２１２ｓの外側を押さえるようにしてもよい。後方ハウジング２１６についても同様に、後方ハウジング２１６の少なくとも奥側を後方側圧バネ２１６ｓの外径に合わせた大きさとして、後方ハウジング２１６の内壁面で後方側圧バネ２１６ｓの外側を押さえるようにしてもよい。こうすれば、前方ハウジング２１２内および後方ハウジング２１６内で、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓの端面が滑って動くことがないので、圧電モーター１０の動作中に駆動力が突然、不連続に変化する事態を回避することができる。

尚、本実施例の圧電モーター１０では、以上のように、前方ハウジング２１２内および後方ハウジング２１６内でも、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓの端面が滑らないようになっている。しかし、振動体ケース１２０側の端面とは異なり、前方ハウジング２１２内および後方ハウジング２１６内については、圧電モーター１０の製造を容易とする目的で、端面が滑らない構造を省略することも可能である。これは次の理由による。

先ず、振動体ケース１２０が摺動した時に、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓの振動体ケース１２０側の端面は、振動体ケース１２０から直接力を受けている。これに対して、前方ハウジング２１２内および後方ハウジング２１６内の端面は、前方側圧バネ２１２ｓあるいは後方側圧バネ２１６ｓを介して、間接的に振動体ケース１２０からの力を受けるに過ぎない。その一方で、バネ力によって端面が押しつけられる力は、振動体ケース１２０側の端面も、前方ハウジング２１２内あるいは後方ハウジング２１６内の端面も変わりはない。従って、端面の滑り易さは、振動体ケース１２０側の端面の方が大きくなる。換言すれば、圧電モーター１０の動作中に、前方ハウジング２１２内あるいは後方ハウジング２１６内で前方側圧バネ２１２ｓあるいは後方側圧バネ２１６ｓの端面が滑ることは稀である。そこで、前方ハウジング２１２内あるいは後方ハウジング２１６内に凹部２１２ｔや凹部２１６ｔを設けたり（図４参照）、凸部２１２ｕや凸部２１６ｕを設けたり（図５参照）、あるいは、前方ハウジング２１２や後方ハウジング２１６の奥側の部分を狭く形成したりすることなく、前方ハウジング２１２および後方ハウジング２１６を形成することで、圧電モーター１０のより一層の製造容易化を図ることとしても良い。

また、本実施例の圧電モーター１０は、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓの端面が、振動体ケース１２０に対して滑らないように取り付けられているので、次のような利点も得ることができる。図１１は、前方側圧バネ２１２ｓの中心軸の位置で取った圧電モーター１０の断面図である。図１１（ａ）には断面位置を示す上面図が示されており、図１１（ｂ）には断面図が示されている。図１１（ｂ）に示すように、前方側圧バネ２１２ｓの振動体ケース１２０側の端面は、振動体ケース１２０の側面に設けられた凹部２１２ｔに嵌め込まれている。また、振動体ケース１２０の反対側の側面には前側コロ１０２ｒが取り付けられており、前側コロ１０２ｒは第２側壁ブロック２２０に設けられたコロ溝１０２ｔに嵌め込まれている。このため振動体ケース１２０は、一方の側は凹部２１２ｔの部分で前方側圧バネ２１２ｓによってＺ方向（図では上下方向）に位置決めされ、他方の側は前側コロ１０２ｒを介してコロ溝１０２ｔでＺ方向に位置決めされている。このため、振動体ケース１２０をＺ方向に位置決めするために設けられた押さえコロ１０４ｒおよび押さえバネ２３２ｓ（図１を参照のこと）を省略することもできる。そして、押さえコロ１０４ｒおよび押さえバネ２３２ｓ（図１を参照のこと）を省略すれば、圧電モーター１０の構造が更に簡単になるので、より一層製造が容易となるだけでなく、圧電モーター１０を更に小型化することも可能となる。更に、前側コロ１０２ｒ、押さえコロ１０４ｒ、後側コロ１０６ｒの３つのコロで振動体ケース１２０を位置決めする構造は、コロおよびコロが転動する相手側の面（転動面）の加工誤差を考慮すると、必ずしも安定して位置決めできるわけではない。何故なら、振動体ケース１２０は、前側コロ１０２ｒと第２側壁ブロック２２０との接触点、後側コロ１０６ｒと第２側壁ブロック２２０との接触点、押さえコロ１０４ｒと第２側壁ブロック２２０の接触点の３点によって完全に位置決めされてしまう。そして、この状態で振動体ケース１２０がＸ方向に摺動すると、前側コロ１０２ｒ、後側コロ１０６ｒ、および押さえコロ１０４ｒは、それぞれの第２側壁ブロック２２０の転動面を転動する。当然ながら、第２側壁ブロック２２０の転動面にも加工誤差があるから、何れかのコロが転動面から浮いてしまうことが起こり得る。そして、浮いたコロを転動面に押し付けようとすると、振動体ケース１２０の姿勢が変わってしまうことになる。これに対して、押さえコロ１０４ｒおよび押さえバネ２３２ｓを省略することができれば、このような問題を発生させることなく、振動体ケース１２０を安定して位置決めすることが可能となる。

また、本実施例の圧電モーター１０では、本体部１００をＸ方向に付勢する加圧バネ２２２ｓが、本体部１００の側方（本体部１００に対してＹ方向）に設けられている（図１あるいは図４を参照）。本体部１００はＸ方向に長く形成されることが多いから、こうすることでＸ方向への長さを抑制することができ、圧電モーター１０をより一層小型化することが可能となる。

Ｄ．変形例 ：
上述した本実施例の圧電モーター１０には、種々の変形例が存在する。以下では、これらの変形例について簡単に説明する。尚、以下の変形例では、上述した本実施例の圧電モーター１０と異なる部分に焦点を当てて説明し、本実施例の圧電モーター１０と同様な構成については、同じ番号を付すこととして説明を省略する。

図１２は、第１変形例の圧電モーター２０の構造を示す断面図である。図４に示した本実施例の圧電モーター１０では、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが振動体ケース１２０側に設けられていた。これに対して図１２に示す第１変形例の圧電モーター２０では、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが第２側壁ブロック２２０の側に設けられている。こうすれば、本体部１００の重量を小さくすることができるので、本体部１００がＸ方向に摺動し易くすることができる。

図１３は、第２変形例の圧電モーター３０の構造を示す断面図である。第２変形例の圧電モーター３０では、第２側壁ブロック３２０からガイドポール３２０ｇが立設されており、このガイドポール３２０ｇによって本体部１００の摺動がガイドされるようになっている。こうすれば、圧電モーター３０の構造をより簡単にすることができる。

図１４は、第３変形例の圧電モーター４０の構造を示す断面図である。第３変形例の圧電モーター４０では、加圧バネ４１８ｓが本体部１００に対して斜めに設けられている。こうすれば、１つの加圧バネ４１８ｓで、本体部１００を対象物に押しつけながら、同時に本体部１００を第２側壁ブロック４２０に押しつけることができる。このため、図１４に示したように、加圧バネ４１８ｓが後方側圧バネ２１６ｓを兼ねることが可能となり、圧電モーター４０を、より一層小型化することが可能となる。もちろん、後方側圧バネ２１６ｓだけでなく、前方側圧バネ２１２ｓも加圧バネ４１８ｓで兼ねるようにすれば、図１４に示した状態から更に前方側圧バネ２１２ｓも省略することができるので、更に、圧電モーター４０を小型化することも可能となる。

図１５は、第４変形例の圧電モーター５０の構造を示す断面図である。第４変形例の圧電モーター４０では、加圧バネ５１８ｓが、本体部１００に対して、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓと同じ側に設けられている。また、このことに伴って、本実施例の圧電モーター１０に設けられていた押さえコロ１０４ｒや押さえバネ２３２ｓは省略されている。こうすれば、第２側壁ブロック５２０の構造が簡単になるので、圧電モーター５０をより一層小型化することができる。また、本体部１００のＺ方向（図１５では、紙面に垂直な方向）への動きは、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓによって規制されているので、押さえコロ１０４ｒおよび押さえバネ２３２ｓを省略しても問題が生じることはない。

Ｅ．適用例 ：
上述した本実施例の圧電モーター１０あるいは各種変形例の圧電モーター２０、３０，４０，５０は、小型で対象物を精度良く駆動することができるから、以下のような装置の駆動装置として好適に組み込むことができる。

図１６は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んで構成された電子部品検査装置６００を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置６００は、大まかには基台６１０と、基台６１０の側面に立設された支持台６３０とを備えている。基台６１０の上面には、検査対象の電子部品１が載置されて搬送される上流側ステージ６１２ｕと、検査済みの電子部品１が載置されて搬送される下流側ステージ６１２ｄとが設けられている。また、上流側ステージ６１２ｕと下流側ステージ６１２ｄとの間には、電子部品１の姿勢を確認するための撮像装置６１４と、電気的な特性を検査するために電子部品１がセットされる検査台６１６とが設けられている。尚、電子部品１の代表的なものとしては、「半導体」や、「ＣＬＤやＯＬＥＤなどの表示デバイス」、「水晶デバイス」、「各種センサー」、「インクジェットヘッド」、「各種ＭＥＭＳデバイス」などが挙げられる。また、本実施例の検査台６１６は、本発明の「検査ソケット」に対応する。

また、支持台６３０には、基台６１０の上流側ステージ６１２ｕおよび下流側ステージ６１２ｄと平行な方向（Ｙ方向）に移動可能にＹステージ６３２が設けられており、Ｙステージ６３２からは、基台６１０に向かう方向（Ｘ方向）に腕部６３４が延設されている。また、腕部６３４の側面には、Ｘ方向に移動可能にＸステージ６３６が設けられている。そして、Ｘステージ６３６には、撮像カメラ６３８と、上下方向（Ｚ方向）に移動可能なＺステージを内蔵した把持装置６５０が設けられている。また、把持装置６５０の先端には、電子部品１を把持する把持部６５２が設けられている。更に、基台６１０の前面側には、電子部品検査装置６００の全体の動作を制御する制御装置６１８も設けられている。尚、本実施例では、支持台６３０に設けられたＹステージ６３２や、腕部６３４や、Ｘステージ６３６や、把持装置６５０が、本発明の「電子部品搬送装置」に対応する。また、本実施例では、Ｘステージ６３６、Ｙステージ６３２、および把持装置６５０に内蔵されたＺステージが、本発明の「移動装置」に対応する。更に、本実施例の制御装置６１８は、本発明の「第１制御部」、「第２制御部」、「第３制御部」に対応する。

以上のような構成を有する電子部品検査装置６００は、次のようにして電子部品１の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品１は、上流側ステージ６１２ｕに載せられて、検査台６１６の近くまで移動する。次に、Ｙステージ６３２およびＸステージ６３６を動かして、上流側ステージ６１２ｕに載置された電子部品１の真上の位置まで把持装置６５０を移動させる。このとき、撮像カメラ６３８を用いて電子部品１の位置を確認することができる。そして、把持装置６５０内に内蔵されたＺステージを用いて把持装置６５０を降下させて、把持部６５２で電子部品１を把持すると、そのまま把持装置６５０を撮像装置６１４の上に移動させて、撮像装置６１４を用いて電子部品１の姿勢を確認する。続いて、把持装置６５０に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品１の姿勢を調整する。そして、把持装置６５０を検査台６１６の上まで移動させた後、把持装置６５０に内蔵されたＺステージを動かして電子部品１を検査台６１６の上にセットする。把持装置６５０内の微調整機構を用いて電子部品１の姿勢が調整されているので、検査台６１６の正しい位置に電子部品１をセットすることができる。そして、検査台６１６を用いて電子部品１の電気的な特性の検査が終了したら、再び、今度は検査台６１６から電子部品１を取り上げた後、Ｙステージ６３２およびＸステージ６３６を動かして、下流側ステージ６１２ｄの上まで把持装置６５０を移動させ、下流側ステージ６１２ｄに電子部品１を置く。その後、下流側ステージ６１２ｄを動かして、検査が終了した電子部品１を所定位置まで搬送する。

図１７は、把持装置６５０に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示されるように把持装置６５０内には、把持部６５２に接続された回転軸６５４や、回転軸６５４が回転可能に取り付けられた微調整プレート６５６などが設けられている。また、微調整プレート６５６は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能となっている。

ここで、図１７に斜線を付して示されるように、回転軸６５４の端面に向けて回転方向用の圧電モーター１０θが搭載されており、圧電モーター１０θの駆動凸部（図示は省略）が回転軸６５４の端面に押しつけられている。このため、圧電モーター１０θを動作させることによって、回転軸６５４（および把持部６５２）をθ方向に任意の角度だけ精度良く回転させることが可能となっている。また、微調整プレート６５６に向けてＸ方向用の圧電モーター１０ｘと、Ｙ方向用の圧電モーター１０ｙとが設けられており、それぞれの駆動凸部（図示は省略）が微調整プレート６５６の表面に押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｘを動作させることによって、微調整プレート６５６（および把持部６５２）をＸ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、圧電モーター１０ｙを動作させることによって、微調整プレート６５６（および把持部６５２）をＹ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能となっている。従って、図１６の電子部品検査装置６００は、圧電モーター１０θ、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙを動作させることにより、把持部６５２で把持した電子部品１の姿勢を微調整することが可能である。尚、本実施例では、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙがそれぞれ本発明の「第１の圧電モーター」、「第２の圧電モーター」に対応し、圧電モーター１０θが本発明の「第３の圧電モーター」に対応する。また、回転軸６５４や、微調整プレート６５６、圧電モーター１０θ、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙによって構成される微調整機構が、本発明の「駆動装置」に対応する。

図１８は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んだ印刷装置７００を例示した斜視図である。図示した印刷装置７００は、印刷媒体２の表面にインクを噴射して画像を印刷するいわゆるインクジェットプリンターである。印刷装置７００は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ７０１や、排出口７０２や、複数の操作ボタン７０５が設けられている。また、背面側には供給トレイ７０３が設けられている。供給トレイ７０３に印刷媒体２をセットして操作ボタン７０５を操作すると、供給トレイ７０３から印刷媒体２が吸い込まれて、印刷装置７００の内部で印刷媒体２の表面に画像が印刷された後、排出口７０２から排出される。

印刷装置７００の内部には、印刷媒体２上で主走査方向に往復動するキャリッジ７２０と、キャリッジ７２０の主走査方向への動きをガイドするガイドレール７１０が設けられている。また、図示したキャリッジ７２０は、印刷媒体２上にインクを噴射する噴射ヘッド７２２や、キャリッジ７２０を主走査方向に駆動するための駆動部７２４などから構成されている。噴射ヘッド７２２の底面側（印刷媒体２に向いた側）には、複数の噴射ノズルが設けられており、噴射ノズルから印刷媒体２に向かってインクを噴射することができる。また、駆動部７２４には、圧電モーター１０ｍ，１０ｓが搭載されている。圧電モーター１０ｍの駆動凸部（図示は省略）はガイドレール７１０に押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｍを動作させることで、キャリッジ７２０を主走査方向に移動させることができる。また、圧電モーター１０ｓの駆動凸部１１４は、噴射ヘッド７２２に対して押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｓを動作させることで、噴射ヘッド７２２の底面側を印刷媒体２に近付けたり、印刷媒体２から遠ざけたりすることが可能である。また、印刷媒体２として、いわゆるロール紙を用いる印刷装置７００では、画像を印刷したロール紙を切断する機構が必要となる。このような場合には、キャリッジ７２０にカッターを取り付けて主走査方向に移動させれば、ロール紙を切断することも可能である。

図１９は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んだロボットハンド８００を例示した説明図である。図示したロボットハンド８００は、基台８０２から複数本の指部８０３が立設されており、手首８０４を介してアーム８１０に接続されている。ここで、指部８０３の根元の部分は基台８０２内で移動可能となっており、この指部８０３の根元の部分に駆動凸部１１４を押しつけた状態で圧電モーター１０ｆが搭載されている。このため、圧電モーター１０ｆを動作させることで、指部８０３を移動させて対象物を把持することができる。また、手首８０４の部分にも、手首８０４の端面に駆動凸部１１４を押しつけた状態で圧電モーター１０ｒが搭載されている。このため、圧電モーター１０ｒを動作させることで、基台８０２全体を回転させることが可能である。

図２０は、ロボットハンド８００を備えたロボット８５０を例示した説明図である。図示されるようにロボット８５０は、複数本のアーム８１０と、それらアーム８１０の間を屈曲可能な状態で接続する関節部８２０とを備えている。また、ロボットハンド８００はアーム８１０の先端に接続されている。そして、関節部８２０には、関節部８２０を屈曲させるためのアクチュエーターとして圧電モーター１０ｊが内蔵されている。このため、圧電モーター１０ｊを動作させることにより、それぞれの関節部８２０を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。

以上、本発明の圧電モーターや、圧電モーターを搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例や、変形例、適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。

１０…圧電モーター、 １００…本体部、 １０２ｒ…前側コロ、
１０２ｔ…コロ溝、 １０４ｒ…押さえコロ、 １０６ｒ…後側コロ、
１１０…振動部、 １１２…振動体、 １１４…駆動凸部、
１１６…表電極、 １２０…振動体ケース、 １２２ｔ…凹部、
１２２ｕ…凸部、 １３０…緩衝部材、 １４０…押さえ板、
１４２…皿バネ、 １４４…押さえ蓋、 １４６…止めネジ、
２００…基台部、 ２１０…第１側壁ブロック、 ２１２…前方ハウジング、
２１２ｓ…前方側圧バネ、 ２１２ｔ…凹部、 ２１２ｕ…凸部、
２１４…中央ハウジング、 ２１６…後方ハウジング、
２１６ｓ…後方側圧バネ、 ２１６ｔ…凹部、 ２１６ｕ…凸部、
２２０…第２側壁ブロック、 ２２２ｓ…加圧バネ、 ２３０…基板、
２３２ｓ…押さえバネ、 ２４０…止めネジ、 ３２０…第２側壁ブロック、
３２０ｇ…ガイドポール、 ４１８ｓ…加圧バネ、 ４２０…第２側壁ブロック、
５１８ｓ…加圧バネ、 ５２０…第２側壁ブロック、 ６００…電子部品検査装置、
６１０…基台、 ６１２ｄ…下流側ステージ、 ６１２ｕ…上流側ステージ、
６１４…撮像装置、 ６１６…検査台、 ６１８…制御装置、
６３０…支持台、 ６３４…腕部、 ６３８…撮像カメラ、
６５０…把持装置、 ６５２…把持部、 ６５４…回転軸、
６５６…微調整プレート、 ７００…印刷装置、 ７０１…排紙トレイ、
７０２…排出口、 ７０３…供給トレイ、 ７０５…操作ボタン、
７１０…ガイドレール、 ７２０…キャリッジ、 ７２２…噴射ヘッド、
７２４…駆動部、 ８００…ロボットハンド、 ８０２…基台、
８０３…指部、 ８０４…手首、 ８１０…アーム、
８２０…関節部、 ８５０…ロボット

Claims (13)

1. 圧電材料を含む振動体を振動させ、前記振動体の端面に突設された凸部を対象物に接触させることによって、前記対象物を移動させる圧電モーターであって、
   前記振動体を収容する振動体ケースと、
   前記振動体ケースが摺動する摺動部が設けられ、前記振動体ケースが取り付けられた基台と、
   前記振動体ケースから突出した前記凸部を前記対象物の方向に付勢する加圧弾性体と、
   前記振動体ケースの摺動方向と交差する方向から、前記振動体ケースを前記基台の前記摺動部に向けて付勢する側圧弾性体と、
   を備え、
   前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接する側の端面が前記振動体ケースと嵌合する
   ことを特徴とする圧電モーター。
2. 請求項１に記載の圧電モーターであって、
   前記基台は、前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接しない側の端面を支える側圧弾性体保持部を備え、
   前記側圧弾性体の前記側圧弾性体保持部に接する側の端面は、前記側圧弾性体保持部と嵌合する
   ことを特徴とする圧電モーター。
3. 請求項１または請求項２に記載の圧電モーターであって、
   前記加圧弾性体は、前記振動体ケースに対して前記摺動部が設けられている側、あるいは前記側圧弾性体が設けられている側に設けられている
   ことを特徴とする圧電モーター。
4. 請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーターを備える駆動装置。
5. 請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーターを備える印刷装置。
6. 請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーターを備えるロボットハンド。
7. 請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーター、または請求項６に記載のロボットハンドを備えるロボット。
8. 把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、
   請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う
   ことを特徴とする電子部品検査装置。
9. 把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、
   前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
   前記圧電モーターは、
   圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、
   前記振動体を収容する振動体ケースと、
   前記振動体ケースが摺動する摺動部が設けられ、前記振動体ケースが取り付けられた基台と、
   前記振動体ケースから突出した前記凸部を前記対象物の方向に付勢する加圧弾性体と、
   前記振動体ケースの摺動方向と交差する方向から、前記振動体ケースを前記基台の前記摺動部に向けて付勢する側圧弾性体と、
   を備え、
   前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接する側の端面が前記振動体ケースと嵌合して ことを特徴とする電子部品検査装置。
10. 電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、
    前記電子部品を把持する把持装置と、
    前記把装置を互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、
    前記検査ソケットから見て前記第１軸上または前記第２軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第１軸および前記第２軸の方向への位置および前記第３軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、
    前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第１軸または前記第２軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、
    前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、
    前記移動装置の動作を制御する制御装置と
    を備える電子部品検査装置であって、
    前記制御装置は、
    前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第１制御部と、
    前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第２制御部と、
    前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第３制御部と、
    を備えており、
    前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
    前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーターである
    ことを特徴とする電子部品検査装置。
11. 把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
    請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記電子部品の位置合わせを行う
    ことを特徴とする電子部品搬送装置。
12. 把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
    前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
    前記圧電モーターは、
    圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、
    前記振動体を収容する振動体ケースと、
    前記振動体ケースが摺動する摺動部が設けられ、前記振動体ケースが取り付けられた基台と、
    前記振動体ケースから突出した前記凸部を前記対象物の方向に付勢する加圧弾性体と、
    前記振動体ケースの摺動方向と交差する方向から、前記振動体ケースを前記基台の前記摺動部に向けて付勢する側圧弾性体と、
    を備え、
    前記側圧弾性体の前記振動体ケースに接する側の端面が前記振動体ケースと嵌合している
    ことを特徴とする電子部品搬送装置。
13. 電子部品を把持する把持装置と、
    互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に前記把装置を移動させる移動装置と、
    前記移動装置の動作を制御する制御装置と
    を備える電子部品搬送装置であって、
    前記把持装置は、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
    前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーターである
    ことを特徴とする電子部品搬送装置。

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