JP2007053334A - 膜パターンの形成方法、デバイス、電気光学装置、電子機器、及びアクティブマトリクス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の膜パターンの形成方法は、基板18上に第1バンク層35と第2バンク層36とを積層形成する工程と、前記第1バンク層35及び第2バンク層36をパターニングすることで、第1のパターン形成領域56と、該第1のパターン形成領域56に連続し、かつ該第1のパターン形成領域56より幅が広い第2のパターン形成領域55とからなるパターン形成領域13を有するバンク34を形成する工程と、を有し、前記第1バンク層35、第2バンク層36の形成材料がいずれもシロキサン結合を主鎖としてなる材料であり、前記第2バンク層の形成材料が、側鎖にフッ素結合を有する材料であることを特徴としている。
【選択図】図3
Description
これに対して、液体吐出ヘッドから液体材料を液滴状に吐出する液滴吐出法、いわゆるインクジェット法を用いて基板上に所定パターンからなる配線等を形成する方法が提案されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。このインクジェット法では、パターン用の液体材料(機能液)を基板に直接パターン配置し、その後熱処理やレーザー照射を行って所望のパターンを形成する。従って、この方法によれば、フォトリソグラフィ工程が不要となり、プロセスが大幅に簡略化されるとともに、パターン位置に原材料を直接配置することができるので、使用量も削減できるというメリットがある。
そこで、例えば幅の広い配線形成領域の一部分の幅を狭め、この配線形成領域から微細な配線形成領域への機能液の流入量を増加させることで、微細な配線パターンの厚膜化を図る方法が考えられる。
すると、例えばこの技術をゲート配線とこれに連続するゲート電極との形成に応用しようとした場合に、これらゲート配線とゲート電極との間で膜厚が異なってしまうことにより、安定したトランジスタ特性が得られ難くなってしまう。
また、第1のバンク形成材料及び第2のバンク形成材料について無機質のシロキサン結合を主鎖としてなる材料を用いているので、無機材料からなる耐熱性に優れたバンクを形成することができ、例えば膜パターンを導電膜とする場合には、その焼成温度を高めることができ、導電膜の結晶性を高めて低抵抗の膜を得ることができる。
したがって、本発明によれば、均一かつ迅速に機能液をパターン形成領域内に広がらせることができるとともに、毛細管現象を利用した細部への機能液の供給についても迅速にかつ確実に行えるようになる。これにより、均一な膜厚の膜パターンを短時間のうちに安定的に形成することができる。
したがって、本発明によれば、均一かつ迅速に機能液をパターン形成領域内に広がらせることができるとともに、毛細管現象を利用した細部への機能液の供給についても迅速にかつ確実に行えるようになる。これにより、均一な膜厚の膜パターンを短時間のうちに安定的に形成することができる。
この形成方法によれば、下層側に配される第1バンク層の側壁について機能液に対する接触角を50°未満としていることで、パターン形成領域内に配された機能液を特定形状にて濡れ広がらせることができる。すなわち、機能液の濡れ広がりの先端形状を、パターン形成領域の側壁に沿う部分が進行方向へ延びた平面視凹形状とすることができ、均一かつ迅速に機能液をパターン形成領域内に広がらせることができるとともに、毛細管現象を利用した細部への機能液の供給についても迅速にかつ確実に行えるようになる。これにより、均一な膜厚の膜パターンを短時間のうちに安定的に形成することができる。
すなわち、本発明は積層構造の膜パターンの形成にも好適に用いることができる。また本発明では、第1バンク層、第2バンク層の接触角がそれぞれ調整されて積層形成されているので、従来のプラズマ処理による撥液性付与を行う形成方法のように、積層構造の膜パターンを形成する場合に、各層の形成工程の間にプラズマ処理等の撥液化処理を設けることを要せず、極めて効率よく積層構造の膜パターンを形成可能である。
積層構造の膜パターンを形成する場合には、第1乾燥膜の形成後その上面に配される第2の機能液についても良好な濡れ広がり性を得るために、第1乾燥膜の厚さを第1バンク層の厚さより薄くし、第2の機能液についても第1バンク層の側壁による濡れ広がりを助長する作用を利用できるようにすることが好ましい。
この形成方法によれば、バンクのみの焼成工程を省略できるので、膜パターン形成工程における処理時間の短縮を実現でき、デバイスの製造効率を高めることができる。
形成する膜パターンが積層構造を有するものである場合にも、バンクの焼成と膜パターンの焼成とを一括に行うことができ、膜パターン形成工程の効率を高めることができる。
本発明の電気光学装置によれば、高精度な電気的特性等を有するデバイスを備えることから、品質や性能の向上を図った電気光学装置を実現することができる。
ここで、本発明において、電気光学装置とは、電界により物質の屈折率が変化して光の透過率を変化させる電気光学効果を有するものの他、電気エネルギーを光学エネルギーに変換するもの等も含んで総称している。具体的には、電気光学物質として液晶を用いる液晶表示装置、電気光学物質として有機EL(Electro-Luminescence)を用いる有機EL装置、無機ELを用いる無機EL装置、電気光学物質としてプラズマ用ガスを用いるプラズマディスプレイ装置等がある。さらには、電気泳動ディスプレイ装置(EPD:Electrophoretic Display)、フィールドエミッションディスプレイ装置(FED:電界放出表示装置:Field Emission Display)等がある。
本発明の電子機器によれば、品質や性能の向上が図られた電気光学装置を備えることで、信頼性の高いものとなる。
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明の一部の態様を示すものであり、本発明を限定するものではない。また、以下の説明に用いる各図面では、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材ごとに縮尺を適宜変更している。
まず、本実施形態において、膜パターンを形成するための液滴吐出装置について図1を参照して説明する。
図1は、本発明の膜パターン形成方法に用いられる装置の一例として、液滴吐出法によって基板上に液体材料を配置する液滴吐出装置(インクジェット装置)IJの概略構成を示す斜視図である。
ステージ307は、この液滴吐出装置IJによりインク(液体材料)を設けられる基板Pを支持し、基準位置に固定する不図示の固定機構を備えている。本実施形態の場合、後述する基板18を支持するものである。
Y軸方向ガイド軸305は、基台309に対して動かないように固定されている。ステージ307は、Y軸方向駆動モータ303を備えている。Y軸方向駆動モータ303はステッピングモータ等であり、制御装置CONTからY軸方向の駆動信号が供給されると、ステージ307をY軸方向に移動する。
クリーニング機構308は、液滴吐出ヘッド301をクリーニングするものである。クリーニング機構308には、図示しないY軸方向の駆動モータが備えられている。このY軸方向の駆動モータの駆動により、クリーニング機構308は、Y軸方向ガイド軸305に沿って移動する。クリーニング機構308の移動も制御装置CONTにより制御される。
ヒータ315は、ここではランプアニールにより基板Pを熱処理する手段であり、基板P上に塗布された液体材料に含まれる溶媒の蒸発及び乾燥を行う。このヒータ315の電源の投入及び遮断も制御装置CONTにより制御される。
図2において、液体材料(配線パターン用インク、機能液)を収容する液体室312に隣接してピエゾ素子322が設置されている。液体室312には、液体材料を収容する材料タンクを含む液体材料供給系323を介して液体材料が供給される。
ピエゾ素子322は駆動回路324に接続されており、この駆動回路324を介してピエゾ素子322に電圧を印加し、ピエゾ素子322を変形させることにより、液体室312が変形し、ノズル325から液体材料が吐出される。この場合、印加電圧の値を変化させることにより、ピエゾ素子322の歪み量が制御される。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子322の歪み速度が制御される。
なお、液体材料の吐出原理としては、上述した圧電体素子であるピエゾ素子を用いてインクを吐出させるピエゾ方式の他にも、液体材料を加熱し発生した泡(バブル)により液体材料を吐出させるバブル方式等、公知の様々な技術を適用することができる。このうち、上述したピエゾ方式では、液体材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えないという利点を有する。
導電性微粒子としては、例えば、Au、Ag、Cu、Pd、Mn、Cr、Co、In、Sn、ZnBi、Niのうちのいずれかを含有する金属微粒子の他、これらの酸化物、合金、金属間化合物、有機塩、有機金属化合物、並びに導電性ポリマーや超電導体の微粒子などが用いられる。
これらの導電性微粒子は、分散性を向上させるために表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。
導電性微粒子の粒径は1nm以上0.1μm以下であることが好ましい。0.1μmより大きいと、後述する液体吐出ヘッドのノズルに目詰まりが生じるおそれがある。また、1nmより小さいと、導電性微粒子に対するコーティング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。
次に、本実施形態において基板上の機能液(インク)を位置規制するバンク構造体について図3(a)、(b)を参照して説明する。
図3(a)は、バンク構造体の概略構成を示す平面図である。また、図3(b)は、図3(a)に示すF−F’線矢視における前記バンク構造体の側断面図である。
本実施形態のバンク構造体は、図3(a)、(b)に示すように、基板18上にバンク34が形成された構成を備えている。このバンク34により区画された領域が、機能液を配置するための領域となるパターン形成領域13である。本実施形態のパターン形成領域13は、後述するTFTを構成するゲート配線、及びゲート電極を形成するための基板18上に設けられた領域である。
また、前記第1のパターン形成領域55の幅は、前記第2のパターン形成領域56の幅よりも広く形成されている。本実施形態では、第1のパターン形成領域55の幅は、前記液滴吐出装置IJから吐出される機能液の飛翔径と略等しいか、あるいは、僅かに大きくなるように形成されている。このようなバンク構造を採用することにより、前記第1のパターン形成領域55に吐出した機能液を毛細管現象を利用して、微細なパターンである第2のパターン形成領域56に機能液を流入させることができるようになっている。
なお、各パターン形成領域55,56における幅とは、各パターン形成領域55,56が延在する方向(X,Y)に対して直交する方向の各パターン形成領域55,56の端部間の長さを表している。図3(a)に示すように、前記第1のパターン形成領域55の幅は長さH1、前記第2のパターン形成領域56の幅は長さH2である。
次に、本実施形態におけるバンク構造体の形成方法、及びこのバンク構造体によって区画されたパターン形成領域13に、膜パターンとしてゲート配線を形成する方法について説明する。
図4は、前記バンク構造体の形成工程を順に示した側部断面図である。図4(a)〜(d)は、図3(a)のF−F’矢視における側断面に沿って第1のパターン形成領域55、及び第2のパターン形成領域56からなるパターン形成領域13を形成する工程を示した図である。また、図5は、図4(a)〜(d)に示した製造工程において形成されたバンク構造に、機能液を配置して膜パターン(ゲート配線)を形成する工程を説明する断面図である。
まず、図4(a)、(b)に示すように、スピンコート法により、基板18の全面に第1のバンク形成材料を塗布して第1バンク層35aを形成し(乾燥条件;80℃/60秒)、さらに第1バンク層35a上に、第2のバンク形成材料を塗布して第2バンク層36aを形成する(乾燥条件;80℃/60秒)。この場合、前記バンク形成材料の塗布方法として、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート、インクジェット法等の各種方法を適用することが可能である。
また第1のバンク形成材料としては、上記の材料の他、シロキサン結合を主鎖としてなり、側鎖の一部にアルキル基、アルケニル基、又はアリール基を有する材料も用いることができる。
すなわち、第2のバンク形成材料としては、シロキサン結合を主鎖としてなり、その側鎖にフッ素結合を含む材料、ないし、シロキサン結合を主鎖としてなる材料であって、フッ素を含有するシラン化合物又は界面活性剤を含むものが用いられる。
R2の炭素数は脱離するアルコールの分子量が比較的小さく、除去が容易であり形成される膜の緻密性の低下を抑制できるという観点から、1〜4の範囲であることが好ましい。
次に、図4(c)に示すように、基板18上に設けられたバンク層35a、36aに、露光装置(図示しない)からの光をマスクMを介して照射することで、第1のパターン形成領域55、第2のパターン形成領域56を形成する。ここでは、光が照射されることで露光されたバンク層35a、36aは、後述する現像工程により溶解除去可能になる。そして、前述したようなパターン形成領域13を有したバンク構造を形成する。
次いで、前述した露光工程の後、図4(d)に示すように、露光されたバンク層35a、35bを、例えばTMAH(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)で現像処理し、被露光部を選択的に除去する。その後、焼成(300℃/60分)することで、図4(d)に示すように、第2のパターン形成領域56と、第1のパターン形成領域55とを含むパターン形成領域13をかたどるバンク34を基板18上に形成することができる。
なお、本実施形態において、バンク34の焼成を行わずに、現像処理により形成されたパターン形成領域13に機能液Lを吐出配置することも可能であり、この場合には、上記HF洗浄は不要である。
次に、上述した工程により得られたバンク構造によって形成されたパターン形成領域13に、前記液滴吐出装置IJを使用して機能液を吐出配置して、ゲート配線(膜パターン)を形成する工程について説明する。ところで、微細配線パターンである第2のパターン形成領域56には、機能液Lを直接配置することが難しい。よって、第2のパターン形成領域56への機能液Lの配置を、第1のパターン形成領域55に配置した機能液Lを、上述したように毛細管現象により第2のパターン形成領域56に流入させる方法により行うこととする。
なお、液滴吐出後、同一経過時間における機能液Lの広がり長さW1、W2は、それぞれ約220μm、約80μmであり、図5(b)に示した実施形態に係るものは、図5(c)のものに比して2.7倍程度広がりやすくなっていることが本発明者により確認されている。
続いて、第1のパターン形成領域55及び第2のパターン形成領域56に機能液Lを配置した後、必要に応じて乾燥処理を行う。これにより、機能液Lの分散媒の除去及びパターンの膜厚を確保することができる。具体的には、前記第1のパターン形成領域55に配置された機能液Lが第1配線パターン40となり、前記第2のパターン形成領域56に配置された機能液Lが第2配線パターン41となる。
機能液Lを配置した後、機能液Lの導電性材料が例えば有機銀化合物の場合、導電性を得るために、熱処理を行い、有機銀化合物の有機分を除去し銀粒子を残留させる必要がある。そのため、機能液Lを配置した後の基板には熱処理や光処理を施すことが好ましい。
熱処理や光処理は通常大気中で行なわれるが、必要に応じて、水素、窒素、アルゴン、ヘリウムなどの不活性ガス雰囲気中で行うこともできる。熱処理や光処理の処理温度は、分散媒の沸点(蒸気圧)、雰囲気ガスの種類や圧力、微粒子や有機銀化合物の分散性や酸化性等の熱的挙動、コーティング剤の有無や量、基材の耐熱温度などを考慮して適宜決定される。例えば、有機銀化合物の有機分を除去するためには、約200℃で焼成することが必要である。また、プラスチックなどの基板を使用する場合には、室温以上100℃以下で行なうことが好ましい。
以上の工程により機能液Lの導電性材料(有機銀化合物)である銀粒子が残留し、導電性膜に変換されることで、図6(c)に示すように、互いの膜厚差がほとんど無い、連続する導電膜パターン、すなわちゲート配線として機能する第1配線パターン40、及びゲート電極として機能する第2配線パターン41を得ることができる。
このように、ゲート配線とゲート電極間での膜厚差を略無くなることで、トランジスタ特性を安定させることができる。
上記第1実施形態では、形成する膜パターンが単一材料からなる場合について説明したが、本発明に係る膜パターンの形成方法は、形成する膜パターンが複数種の材料の積層構造である場合にも従来に比して有利な形成方法となっている。例えば、電気光学装置の画素を構成するゲート配線では、Ag,Cu,Al等から選ばれる1種又は2種以上の金属材料を用いて形成された基体層と、Ni,Ti,W,Mn等から選ばれる1種又は2種以上の金属材料を用いて形成された被覆層とを積層してなる2層構造を採用することがある。このような2層構造により、基体層を構成するAgやCu,Alのゲート絶縁膜への拡散を被覆層によって防止し、これによりTFTに動作不良や移動度の低下等が生じるのを防止するためである。さらには、上記基体層と基板との間に、両者の密着性を向上させるための密着層(例えばMnが用いられる。)を設けることもある。
次に、本発明の膜パターンの形成方法により形成された膜パターンを備えるデバイスについて説明する。本実施形態においては、ゲート配線を備える画素(デバイス)及びその画素の形成方法について、図7及び図8を参照して説明する。
本実施形態においては、上述したバンク構造体及び膜パターンの形成方法を利用して、ボトムゲート型のTFT30のゲート電極、ソース電極、ドレイン電極等を有する画素を形成する。なお、以下の説明においては、上述した図5、及び図6に示した膜パターン形成工程と同様の工程についての説明は省略する。また、上記実施形態に示す構成要素と共通の構成要素については同一の符号を付す。
まず始めに、上述の膜パターンの形成方法によって形成された膜パターンを備える画素(デバイス)の構造について説明する。
図7は、本実施形態の画素構造250を示した図である。
図7に示すように、画素構造250は、基板上に、ゲート配線40(第1配線パターン)と、このゲート配線40から延出して形成されるゲート電極41(第2配線パターン)と、ソース配線42と、このソース配線42から延出して形成されるソース電極43と、ドレイン電極44と、ドレイン電極44に電気的に接続される画素電極45とを備えている。ゲート配線40はX軸方向に延在して形成され、ソース配線42はゲート配線40と交差してY軸方向に延在して形成されている。そして、ゲート配線40とソース配線42との交差点の近傍にはスイッチング素子であるTFTが形成されている。このTFTがオン状態となることにより、TFTに接続される画素電極45に駆動電流が供給されるようになっている。
図8(a)〜(e)は、図7に示すC−C’線に沿った画素構造250の形成工程を示した断面図である。なお、画素電極の形成時にも上述した本発明に係る膜パターンの形成方法を採用することもできる。
図8(a)に示すように、上述した方法によって形成されたゲート電極41を含むバンク34面上に、プラズマCVD法等により、ゲート絶縁膜39を成膜する。ここで、ゲート絶縁膜39は窒化シリコンからなる。次に、ゲート絶縁膜39上に活性層を成膜する。
続けて、フォトリソグラフィ処理及びエッチング処理により、図8(a)に示すように所定形状にパターニングしてアモルファスシリコン膜46を形成する。
次に、アモルファスシリコン膜46上にコンタクト層47を成膜する。続けて、フォトリソグラフィ処理及びエッチング処理により、図8(a)に示すように所定形状にパターニングする。なお、コンタクト層47はn+型シリコン膜を原料ガスやプラズマ条件を変化させることにより形成する。
このエッチング処理により、ソース電極43及びドレイン電極44間に形成されているコンタクト層47のn+型のシリコン膜が除去され、n+シリコン膜の下層に形成されるアモルファスシリコン膜46の一部が露出する。このようにして、ソース電極43の下層には、n+シリコンからなるソース領域32が形成され、ドレイン電極44の下層には、n+シリコンからなるドレイン領域33が形成される。そして、これらのソース領域32及びドレイン領域33の下層には、アモルファスシリコンからなるチャネル領域(アモルファスシリコン膜46)が形成される。
以上説明した工程により、ボトムゲート型のTFT30を形成する。
なお、この画素電極用バンク34eについても、本発明に係る膜パターンの形成方法で用いる積層構造のバンクを形成することがより望ましい。側面が撥インク性であると、画素電極用インクがバンクとの接触面で弾かれやすく、また液滴形状が凸形状を示しやすくなり、平坦化に乾燥・焼成等での条件設定が必要となる。
以上説明したような工程により、図7に示した本実施形態の画素を形成することができる。
次に、上記バンク構造を用いた膜パターンの形成方法により形成した画素(デバイス)を備える本発明の電気光学装置の一例である液晶表示装置について説明する。
図9は、本発明にかかる液晶表示装置について、各構成要素とともに示す対向基板側から見た平面図である。図10は図9のH−H’線に沿う断面図である。図11は、液晶表示装置の画像表示領域においてマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路図で、なお、以下の説明に用いた各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材ごとに縮尺を異ならせてある。
なお、データ線駆動回路201及び走査線駆動回路204をTFTアレイ基板10の上に形成する代わりに、例えば、駆動用LSIが実装されたTAB(Tape Automated Bonding)基板とTFTアレイ基板10の周辺部に形成された端子群とを異方性導電膜を介して電気的及び機械的に接続するようにしてもよい。なお、液晶表示装置100においては、使用する液晶50の種類、すなわち、TN(Twisted Nematic)モード、C−TN法、VA方式、IPS方式モード等の動作モードや、ノーマリホワイトモード/ノーマリブラックモードの別に応じて、位相差板、偏光板等が所定の向きに配置されるが、ここでは図示を省略する。
また、液晶表示装置100をカラー表示用として構成する場合には、対向基板20において、TFTアレイ基板10の後述する各画素電極に対向する領域に、例えば、赤(R)、緑(G)、青(B)のカラーフィルタをその保護膜とともに形成する。
図12において、有機EL装置401は、基板411、回路素子部421、画素電極431、バンク部441、発光素子451、陰極461(対向電極)、及び封止基板471から構成された有機EL素子402に、フレキシブル基板(図示略)の配線及び駆動IC(図示略)を接続したものである。回路素子部421は、アクティブ素子であるTFT30が基板411上に形成され、複数の画素電極431が回路素子部421上に整列して構成されたものである。そして、TFT30を構成するゲート配線61が、上述した実施形態の配線パターンの形成方法により形成されている。
本発明の電気光学装置によれば、高精度な電気的特性等を有するデバイスを備えることから、品質や性能の向上を図った電気光学装置を実現することができる。
次に、本発明の電子機器の具体例について説明する。
図13は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図13において、600は携帯電話本体を示し、601は上記実施形態の液晶表示装置を備えた液晶表示部を示している。
図13に示す電子機器は、上記実施形態のバンク構造を有するパターン形成方法により形成された液晶表示装置を備えたものであるので、高い品質や性能が得られる。
なお、本実施形態の電子機器は液晶装置を備えるものとしたが、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ型表示装置等、他の電気光学装置を備えた電子機器とすることもできる。
例えば、上記実施形態においては、フォトリソグラフィ処理及びエッチング処理により、所望パターンのバンク構造を形成していた。これに対して、上記形成方法に代えて、レーザーを用いてパターニングすることにより、所望のパターンを形成するようにしてもよい。
Claims (22)
- 基板上に設けられたバンクによって区画されたパターン形成領域に、機能液を配置して膜パターンを形成する方法において、
基板上に第1のバンク形成材料を配置して第1バンク層を形成する工程と、
前記第1バンク層上に第2のバンク形成材料を配置して第2バンク層を形成する工程と、
前記第1バンク層及び第2バンク層をパターニングすることで、第1のパターン形成領域と、該第1のパターン形成領域に連続し、かつ該第1のパターン形成領域より幅が広い第2のパターン形成領域とからなるパターン形成領域を有するバンクを形成する工程と、を有し、
前記第1のバンク形成材料及び第2のバンク形成材料が、いずれもシロキサン結合を主鎖としてなる材料であり、前記第2のバンク形成材料が、側鎖にフッ素結合を有する材料であることを特徴とする膜パターンの形成方法。 - 基板上に設けられたバンクによって区画されたパターン形成領域に、機能液を配置して膜パターンを形成する方法において、
基板上に第1のバンク形成材料を配置して第1バンク層を形成する工程と、
前記第1バンク層上に第2のバンク形成材料を配置して第2バンク層を形成する工程と、
前記第1バンク層及び第2バンク層をパターニングすることで、第1のパターン形成領域と、該第1のパターン形成領域に連続し、かつ該第1のパターン形成領域より幅が広い第2のパターン形成領域とからなるパターン形成領域を有するバンクを形成する工程と、を有し、
前記第1のバンク形成材料及び第2のバンク形成材料が、いずれもシロキサン結合を主鎖としてなる材料であり、前記第2のバンク形成材料が、フッ素を含有するシラン化合物又は界面活性剤を含む材料であることを特徴とする膜パターンの形成方法。 - 基板上に設けられたバンクによって区画されたパターン形成領域に、機能液を配置して膜パターンを形成する方法において、
基板上に第1のバンク形成材料を配置して第1バンク層を形成する工程と、
前記第1バンク層上に第2バンク層を形成する工程と、
前記第1バンク層及び第2バンク層をパターニングすることで、第1のパターン形成領域と、該第1のパターン形成領域に連続し、かつ該第1のパターン形成領域より幅が広い第2のパターン形成領域とからなるパターン形成領域を有するバンクを形成する工程と、を有し、
前記第1のバンク形成材料はシロキサン結合を主鎖としてなる材料であり、前記第2バンク層はフッ素系の表面処理材料からなることを特徴とする膜パターンの形成方法。 - 前記パターン形成領域に臨む前記第1バンク層側壁の前記機能液に対する接触角が50°未満であり、前記第2バンク層の前記機能液に対する接触角が前記第1バンク層の接触角より大きい角度である前記バンクを設けることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の膜パターンの形成方法。
- 前記パターン形成領域の底面部における前記機能液に対する接触角を、前記第1バンク層側壁の接触角以下の角度とすることを特徴とする請求項4に記載の膜パターンの形成方法。
- 前記第2バンク層の前記機能液に対する接触角を50°以上とすることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の膜パターンの形成方法。
- 前記第1のバンク形成材料が、側鎖に−H、−OH、−(CH2CH2O)nH、−COOH、−COOK、−COONa、−CONH2、−SO3H、−SO3Na、−SO3K、−OSO3H、−OSO3Na、−OSO3K、−PO3H2、−PO3Na2、−PO3K2、−NO2、−NH2、−NH3Cl、−NH3Br、≡HNCl、≡NHBrから選ばれる1種以上を有する材料であることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の膜パターンの形成方法。
- 前記第1のバンク形成材料が、側鎖の一部にアルキル基、アルケニル基、又はアリール基を有する材料であることを特徴とする請求項7に記載の膜パターンの形成方法。
- 前記第2のバンク形成材料が、側鎖に、F基、−CF3基、−CF2−鎖、−CF2CF3、−(CF2)nCF3、−CF2CFCl−、から選ばれる一種以上を有することを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の膜パターンの形成方法。
- 前記第2バンク層を、前記第1バンク層より薄く形成することを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の膜パターンの形成方法。
- 前記パターン形成領域に第1の機能液を配置する工程と、
前記パターン形成領域内の第1の機能液を乾燥させて第1乾燥膜を形成する工程と、
前記第1乾燥膜上に第2の機能液を配置する工程と、
を有し、
前記第1の機能液を乾燥させてなる第1乾燥膜の膜厚を、前記第1バンク層の厚さより薄く形成することを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の膜パターンの形成方法。 - 前記パターン形成領域に機能液を配置する工程と、
前記パターン形成領域内の機能液を乾燥させて乾燥膜を形成する工程と、
前記バンクと前記乾燥膜とを一括して焼成する工程と、
を有することを特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載の膜パターンの形成方法。 - 前記パターン形成領域内に複数層の乾燥膜を積層形成した後、該乾燥膜と前記バンクとを一括して焼成することを特徴とする請求項12に記載の膜パターンの形成方法。
- 請求項1から13のいずれか1項に記載の形成方法を用いて基板上に形成されたバンクと、該バンクに囲まれたパターン形成領域と、該パターン形成領域に形成された膜パターンとを有することを特徴とするデバイス。
- 前記第2のパターン形成領域に形成された膜パターンをゲート配線として、前記第1のパターン形成領域に形成された膜パターンをゲート電極として備えることを特徴とする請求項14に記載のデバイス。
- 前記第2のパターン形成領域に形成された膜パターンをソース配線として、前記第1のパターン形成領域に形成された膜パターンをソース電極として備えることを特徴とする請求項14に記載のデバイス。
- 前記第2のパターン形成領域に形成された膜パターンをドレイン配線として、前記第1のパターン形成領域に形成された膜パターンをドレイン電極として備えることを特徴とする請求項14に記載のデバイス。
- 請求項14から17のいずれか1項に記載のデバイスを備えたことを特徴とする電気光学装置。
- 請求項18に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
- アクティブマトリクス基板の製造方法であって、
基板上にゲート配線を形成する第1の工程と、
前記ゲート配線上にゲート絶縁膜を形成する第2の工程と、
前記ゲート絶縁膜を介して半導体層を積層する第3の工程と、
前記ゲート絶縁膜の上にソース電極及びドレイン電極を形成する第4の工程と、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極上に絶縁材料を配置する第5の工程と、
前記絶縁材料を配置した上に画素電極を形成する第6の工程と、を有し、
前記第1の工程及び前記第4の工程及び前記第6の工程の少なくとも一つの工程において、請求項1ないし13のいずれか1項に記載の膜パターンの形成方法を用いることを特徴とするアクティブマトリクス基板の製造方法。 - アクティブマトリクス基板の製造方法であって、
基板上にソース電極及びドレイン電極を形成する第1の工程と、
前記ソース電極及びドレイン電極の上に半導体層を形成する第2の工程と、
前記半導体層の上にゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成する第3の工程と、
前記ドレイン電極と接続する画素電極を形成する第4の工程と、を有し、
前記第1の工程及び前記第3の工程及び前記第4の工程の少なくとも一つの工程において、請求項1ないし13のいずれか1項に記載の膜パターンの形成方法を用いることを特徴とするアクティブマトリクス基板の製造方法。 - アクティブマトリクス基板の製造方法であって、
基板上に半導体層を形成する第1の工程と、
前記半導体層上にゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成する第2の工程と、
前記ゲート絶縁膜に形成したコンタクトホールを介して、前記半導体層のソース領域に接続するソース電極と、前記半導体層のドレイン領域に接続するドレイン電極とを形成する第3の工程と、
前記ドレイン電極と接続する画素電極を形成する第4の工程と、を有し、
前記第2の工程及び前記第3の工程及び前記第4の工程の少なくとも一つの工程において、請求項1ないし13のいずれか1項に記載の膜パターンの形成方法を用いることを特徴とするアクティブマトリクス基板の製造方法。
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