JP2007052886A - 垂直磁気記録ヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】 記録磁界傾度の低下を抑えつつ記録磁界強度を増大でき、高周波記録時も高いSN比が得られる高記録性能の垂直磁気記録ヘッドを得る。
【解決手段】 記録媒体との対向面で所定のギャップ間隔をあけて対向する主磁極層及びリターンパス層と、この主磁極層及びリターンパス層に記録磁界を与えるコイル層とを備えた垂直磁気記録ヘッドにおいて、上記リターンパス層は主磁極層と対向する面側から順にギャップ調整層と主体層とを積層してなり、このギャップ調整層は、少なくとも主磁極層及び記録媒体と対向する領域に存在し、主磁性層及び主磁極層よりも比抵抗の小さい磁性材料から形成する。
【選択図】 図4
【解決手段】 記録媒体との対向面で所定のギャップ間隔をあけて対向する主磁極層及びリターンパス層と、この主磁極層及びリターンパス層に記録磁界を与えるコイル層とを備えた垂直磁気記録ヘッドにおいて、上記リターンパス層は主磁極層と対向する面側から順にギャップ調整層と主体層とを積層してなり、このギャップ調整層は、少なくとも主磁極層及び記録媒体と対向する領域に存在し、主磁性層及び主磁極層よりも比抵抗の小さい磁性材料から形成する。
【選択図】 図4
Description
本発明は、記録媒体平面に垂直な磁界を与えて記録動作する垂直磁気記録ヘッドに関する。
磁気ヘッド装置には、記録媒体平面に平行な磁界を与えて記録動作する長手記録(面内記録)型と、記録媒体平面に垂直な磁界を与えて記録動作する垂直記録型とがあり、今後の更なる高記録密度化には垂直記録型が有力視されている。
垂直磁気記録ヘッドは、周知のように、記録媒体との対向面に、非磁性絶縁層を間に挟んで主磁極層とリターンパス層を積層した構造を有している。主磁極層とリターンパス層は、媒体対向面よりもハイト方向奥部において磁気的に接続され、非磁性絶縁層内には、この主磁極層及びリターンパス層に記録磁界を与えるためのコイル層が存在する。コイル層を通電することにより主磁極層とリターンパス層の間に記録磁界が誘導されると、該記録磁界が主磁極層の媒体対向面に露出する先端面から記録媒体のハード膜に垂直に入射し、同記録媒体のソフト膜を通ってリターンパス層に戻る。これにより、主磁極層との対向部分で磁気記録がなされる。このような垂直磁気記録ヘッドは、特許文献1〜3に記載されている。
特開昭62−159313号公報
特開2001−266310号公報
特開2005−101245号公報
上記垂直磁気記録ヘッドにおいて、近年では、記録媒体との対向面における主磁極とリターンパス層の間隔、すなわち、ギャップ間隔を約50nm程度と狭く設定することが一般的になっている(シールデッドポール構造)。このようにギャップ間隔を狭くすれば、主磁極からリターンパス層へ向かう磁束が増大し、主磁極から記録媒体内を通過してリターンパス層へ戻る記録磁界の傾き(磁界傾度)が急峻になってにじみの少ない磁気記録を実現できる。主磁極層からリターンパス層へ向かう磁束が増大すると、結果として主磁極層から記録媒体に漏れる磁束が減り記録磁界強度は小さくなるが、磁界傾度が増大しているので相対的にSN比は維持される。
しかしながら、記録磁界の強度が小さいと、保磁力の非常に大きな記録媒体に対しては記録できない虞がある。また、垂直磁気記録ヘッドでは、書込みトラック幅がコイル層を流れる電流の周波数に依存する傾向があり、高周波記録時に書込みトラック幅が小さくなり、延いてはSN比も低減してしまう問題がある。
本発明は、記録磁界傾度の低下を抑えつつ記録磁界強度を増大でき、高周波記録時も高いSN比が得られる高記録性能の垂直磁気記録ヘッドを得ることを目的としている。
本発明は、ギャップ間隔を広げれば主磁極層から記録媒体に漏れる磁束が増大すること、リターンパス層の主磁極層に対向する側の透磁率を下げれば擬似的にギャップ間隔が広がること、及び、リターンパス層を多層構造とし、最も比抵抗の小さい磁性層を主磁極層との対向面側に臨ませて設ければ、記録磁界の高速極性反転動作に伴う渦電流損失によって主磁極層に対向する側の透磁率が下がることに着目してなされたものである。
すなわち、本発明は、記録媒体との対向面に露出し、該媒体対向面で所定のギャップ間隔をあけて対向する主磁極層及びリターンパス層と、この主磁極層及びリターンパス層に記録磁界を与えるコイル層とを備えた垂直磁気記録ヘッドにおいて、リターンパス層は、主磁極層と対向する面側から順にギャップ調整層と主体層とを積層して形成され、ギャップ調整層は、少なくとも主磁極層及び前記記録媒体と対向する領域に存在し、主磁性層及び主磁極層よりも比抵抗の小さい磁性材料からなることを特徴としている。
ギャップ調整層は、300nm以下の膜厚で形成されていることが実際的である。ギャップ調整層を300nmを超える膜厚で備えても、得られる効果はギャップ調整層を300nm以下の膜厚で備えた場合とほぼ同等になる。
本発明によれば、コイル層を流れる電流の周波数が高くなるほどギャップ調整層の透磁率が低減してギャップ間隔が擬似的に拡大されるので、記録磁界傾度の低下を抑制しつつ記録磁界強度を増大でき、高周波記録時も高いSN比が得られる高記録性能の垂直磁気記録ヘッドが得られる。
図1は本発明による垂直磁気記録ヘッドの全体構造を示す部分縦断面図、図2は同垂直磁気記録ヘッドの部分正面図、図3は同垂直磁気記録ヘッドの部分平面図である。この図1〜図3においてX方向、Y方向及びZ方向は、トラック幅方向、ハイト方向(=記録媒体Mからの漏れ磁界方向)及び記録媒体Mの移動方向でそれぞれ定義される。
垂直磁気記録ヘッドHは、記録媒体Mに垂直磁界を与え、記録磁界Mのハード膜Maを垂直方向に磁化させる。記録媒体Mは、残留磁化の高いハード膜Maを媒体表面側に、磁気透過率の高いソフト膜Mbをハード膜Maよりも内側に有している。この記録媒体Mは、例えばディスク状であり、ディスクの中心が回転軸中心となって回転させられる。
スライダ101はAl2O3・TiCなどの非磁性材料で形成されており、スライダ101の媒体対向面101aが記録媒体Mに対向し、記録媒体Mが回転すると、表面の空気流によりスライダ101が記録媒体Mの表面から浮上する。あるいは、スライダ101が記録媒体Mに摺動する。
スライダ101のトレーリング側端面101bには、Al2O3またはSiO2などの無機材料による非磁性絶縁層102が形成されて、この非磁性絶縁層102の上に読取り部HRが形成されている。
読取り部HRは、下部シールド層103と、上部シールド層106と、この下部シールド層103及び上部シールド層106の間を埋める無機絶縁層(ギャップ絶縁層)105と、この無機絶縁層105内に位置する読み取り素子104とを有している。読み取り素子104は、AMR、GMR、TMRなどの磁気抵抗効果素子である。
上部シールド層106の上には、コイル絶縁下地層107を介して、導電性材料で形成された複数本の第1コイル層108が形成されている。第1コイル層108は、例えばAu,Ag,Pt,Cu,Cr,Al,Ti,NiP,Mo,Pd,Rhから選ばれる1種、または2種以上の非磁性金属材料からなる。あるいはこれら非磁性金属材料が積層された積層構造であってもよい。第1コイル層108の周囲は、Al2O3などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層109が形成されている。
コイル絶縁層109の上面は平坦化されていて、この平坦面の上に図示しないメッキ下地層が形成され、さらにメッキ下地層の上に、主磁極層110が形成されている。主磁極層110は、記録媒体との対向面F(以下、単に対向面Fという)から図示Y方向(ハイト方向)に所定長さLを有し、且つ、対向面Fに露出する先端面110aの図示X方向(トラック幅方向)の寸法がトラック幅Twに規定されている。この主磁極層110は、Ni−Fe、Co−Fe、Ni−Fe−Coなどの飽和磁束密度の高い強磁性材料で、例えばメッキにより形成されている。
主磁極層110は、図3に示すように、先端面110aを含みトラック幅方向の寸法がトラック幅Twに規定されている前方部S1と、この前方部S1の基端部110bから図示Y方向に向かうにつれて、図示X方向の寸法W1がトラック幅Twよりも広がって延びる傾斜部S2と、後方部S3を有して構成される。トラック幅Twは具体的には0.01μm〜0.5μm、前方部S1のハイト方向の寸法は具体的には0.01μm〜0.5μmの範囲内で形成される。後方部S3は、図示X方向の寸法W1が最も広い部分で0.1μm〜1000μm程度であり、また傾斜部S2及び後方部S3の図示Y方向の寸法は0.1μm〜1000μm程度である。
主磁極層110の図示X方向の両側及び図示Y方向の後方には、第1絶縁材料層111が形成されている。第1絶縁材料層111は、例えばAl2O3、SiO2、Al−Si−Oで形成することができる。この主磁極層110及び第1絶縁材料層111の上には、アルミナまたはSiO2などの非磁性無機絶縁材料によって、ギャップ層113が形成されている。ギャップ層113上には、コイル絶縁下地層114を介して第2コイル層115が形成されている。第2コイル層115は第1コイル層108と同様に、導電性材料によって複数本形成されている。第2コイル層115は、例えばAu,Ag,Pt,Cu,Cr,Al,Ti,NiP,Mo,Pd,Rhから選ばれる1種、または2種以上の非磁性金属材料からなる。あるいはこれら非磁性金属材料が積層された積層構造であってもよい。
上記第1コイル層108と第2コイル層115とは、トロイダル状になるように、それぞれのトラック幅方向(図示X方向)における端部同士が電気的に接続されている。コイル層(磁界発生手段)の形状は特にトロイダル形状に限定されるものではない。
第2コイル層115の周囲は、Al2O3などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層116が形成され、このコイル絶縁層116の上からギャップ層113上にかけて、パーマロイなどの強磁性材料により、リターンパス層150が形成されている。リターンパス層150は、対向面Fに露出する先端面150aを有し、この対向面Fでギャップ間隔Gをあけて主磁極層110と対向している。リターンパス層150のハイト方向の後端部は、主磁極層110と接続する接続部150bである。ギャップ層113上であって対向面Fから所定距離離れた位置には、無機または有機材料によってGd決め層118が形成されている。この対向面FからGd決め層118の前端縁までの距離により、垂直磁気記録ヘッドHのギャップデプス長が規定される。
リターンパス層150のハイト方向の後方には、第2コイル層115から延出されたリード層119が、コイル絶縁下地層114を介して形成されている。そして、リターンパス層150およびリード層119が、無機非磁性絶縁材料などで形成された保護層120に覆われている。
図2に示すように、主磁極層110の先端面110aの厚み寸法はリターンパス層150の先端面150aの厚みよりも小さく、主磁極層110の前端面110cのトラック幅方向(図示X方向)の幅寸法Twはリターンパス層150の先端面150aの同方向での幅寸法Wrよりも十分に短い。つまり、対向面Fにおいて、主磁極層110の先端面110aの面積はリターンパス層150の先端面150aでの面積よりも十分に小さくなる。従って、主磁極層110の先端面110aに洩れ記録磁界の磁束Φが集中し、この集中している磁束Φにより記録媒体Mのハード膜Maが垂直方向へ磁化されて、磁気データが記録される。
以上の全体構成を有する垂直磁気記録ヘッドHにおいて、リターンパス層150は、図4(A)に拡大して示すように、主磁極層110に対向する側から順にギャップ調整層151と主体層152とを積層した二層構造で形成されている。
主体層152は、対向面Fに露出する先端面152aを有しており、この先端面152aで、主磁極層110から記録媒体Mに射出され該記録媒体M内を通過して戻ってくる記録磁界の磁束Φを受け取る(カップリングする)。この主体層152は、主磁極層110よりも比抵抗の小さいNiFe等の軟磁性材料で形成され、0.1〜5μm程度、より実際的には1.5〜2μm程度の膜厚を有している。本実施形態の主体層152は、メッキ形成したNi30Fe70合金膜からなる。
ギャップ調整層151は、コイル層108、115を流れる電流の周波数に応じてギャップ間隔Gを擬似的に自動調整する機能を有し、主体層152の直下位置に設けられて記録媒体M及び主磁極層110と対向する面に臨んでいる。ギャップ調整層151の先端面151aは、主体層152の先端面152aと一緒に平面150aを構成して対向面Fに露出している。このギャップ調整層151は、主体層152よりも比抵抗の小さい軟磁性材料、例えばCoFeやNiFe等で形成されている。より好ましくは、ギャップ調整層151が主磁極層110の比抵抗よりも小さい比抵抗の軟磁性材料で形成されているとよい。この場合、主体層と主磁極層の比抵抗は同一でもよく大小を問わない。本実施形態のギャップ調整層151は、Ni80Fe20合金膜からなり、主体層のメッキ下地膜も兼ねている。
図4(A)(B)は、記録動作時におけるギャップ調整層151の作用を説明する模式断面図である。低周波記録時は、図4(A)に示すように、ギャップ調整層151は主体層152と一体に機能し、主磁極層110から記録媒体Mに射出され該記録媒体M内を通過して戻ってくる記録磁界の磁束Φを受け取る(カップリングする)。この場合のギャップ間隔は、主磁極層110からギャップ調整層151の下面(=ギャップ層113の上面)までの距離間隔G1である。
これに対し、コイル層108、115に高周波電流を与えて高周波記録動作させると、ギャップ調整層151の比抵抗が主体層152及び主磁極層110よりも小さいため、該高周波電流によって渦電流損失が生じる。渦電流損失が生じると、ギャップ調整層151は表皮効果により主磁極層110に対向する側の透磁率が低下し、該主磁極層110に対向する側に磁束がながれにくくなる。この渦電流損失により磁束がながれなくなった領域はギャップ調整層が存在していないものとみなすことができ、図4(B)に示すようにギャップ間隔はギャップ調整層151の磁束が流れる領域から主磁極層110までの距離間隔G2となり、結果として、擬似的に拡大される。ギャップ間隔Gが擬似的に広くなれば、主磁極層110から記録媒体Mに漏れる磁束Φが増大するので、記録磁界強度を高めることができる。また、磁気的書込みトラック幅寸法も増大する。
周知のように、渦電流損失は、磁化の変化速度の2乗に比例し、コイル層108、115を流れる電流(記録電流)の周波数増加に伴って増大する。よって、ギャップ調整層151は、記録電流の周波数が高くなるほど主磁極層110に対向する側の透磁率が低下し、ギャップ間隔Gを擬似的に拡大させるように振舞う。このようにギャップ調整層151を介しギャップ間隔Gが記録電流の周波数に応じて自動調整されると、高周波記録時における磁気的書込みトラック幅寸法の低減が抑えられ、且つ、コイル層108、115を流れる電流の周波数が高くなるにつれて主磁極層110から記録媒体Mに漏れる磁束が増大することから高周波記録時のSN比の低下も抑えられる。これにより、安定したSN比を得ることができる。
ギャップ調整層151の膜厚は、300nm程度を上限とすることが実際的である。300nmを超える厚さでギャップ調整層151を設けても、得られる効果は300nmとした場合と同じであることを実験的に確認している。
図5及び図6は、垂直磁気記録ヘッドを記録動作させ、コイル層に流す電流の周波数[MHz]を変化させながら該周波数に対するSN比[dB]の変化及び磁気的書込みトラック幅寸法[μm]の変化をそれぞれ測定した結果を示している。
測定対象の垂直磁気記録ヘッドは、ギャップ調整層を備えない垂直磁気記録ヘッドA(比較例)と、ギャップ調整層と主体層からリターンパス層を形成した垂直磁気記録ヘッドB(本実施例)である。図5及び図6では、破線が垂直磁気記録ヘッドA(比較例)を、実線が垂直磁気記録ヘッドB(実施例)をそれぞれ示している。この垂直磁気記録ヘッドA、Bは、ギャップ調整層の有無を除いて、同一の層構成となっている。垂直磁気記録ヘッドA、Bにおける主磁極層及びリターンパス層の材料構成を、以下に示す。Bsは飽和磁束密度[単位G]、ρは比抵抗[単位Ω・m]である。
[比較例]垂直磁気記録ヘッドA
主磁極層;Fe80Ni14Co6合金(Bs=2.1、ρM=35)
300nm
リターンパス下地層;Ni50Fe50合金(Bs=1.5、ρB=50)
300nm
リターンパス層;Ni30Fe70合金(Bs=1.8、ρR=32)
1600nm
この主磁極層、リターンパス下地層及びリターンパス層において、比抵抗ρの大小関係はρR<ρM<ρBである。
主磁極層;Fe80Ni14Co6合金(Bs=2.1、ρM=35)
300nm
リターンパス下地層;Ni50Fe50合金(Bs=1.5、ρB=50)
300nm
リターンパス層;Ni30Fe70合金(Bs=1.8、ρR=32)
1600nm
この主磁極層、リターンパス下地層及びリターンパス層において、比抵抗ρの大小関係はρR<ρM<ρBである。
[実施例]垂直磁気記録ヘッドB
主磁極層;Fe80Ni14Co6合金(Bs=2.1、ρM=35)、
300nm
リターンパス層;
ギャップ調整層=Ni80Fe20合金(Bs=1、ρG=20)
300nm
主体層=Ni30Fe70合金(Bs=1.8、ρR=32)
1600nm
この主磁極層、ギャップ調整層及び主体層において、比抵抗ρの大小関係はρG<ρR<ρMである。
主磁極層;Fe80Ni14Co6合金(Bs=2.1、ρM=35)、
300nm
リターンパス層;
ギャップ調整層=Ni80Fe20合金(Bs=1、ρG=20)
300nm
主体層=Ni30Fe70合金(Bs=1.8、ρR=32)
1600nm
この主磁極層、ギャップ調整層及び主体層において、比抵抗ρの大小関係はρG<ρR<ρMである。
記録動作条件を以下に示す。この記録動作条件は、垂直磁気記録ヘッドA、Bにおいて同一である。
回転数:5400rpm
Radius:22mm
skew:0deg
Iw(記録電流):40mA
Ib(リードバイアス電流):140mV
回転数:5400rpm
Radius:22mm
skew:0deg
Iw(記録電流):40mA
Ib(リードバイアス電流):140mV
図5及び図6からも明らかなように、本実施例(垂直記録磁気ヘッドB)のほうが比較例(垂直磁気記録ヘッドA)よりも、高周波数記録時にSN比及び磁気的書込みトラック幅寸法の低下を抑えられ、より高いSN比が得られる。
本実施形態では、ギャップ調整層151が主体層152のメッキ下地膜を兼ねているので該主体層152の直下位置にほぼ全面的に形成されているが、ギャップ調整層151は全面的に形成されている必要はなく、図7や図8に示すように、少なくとも記録媒体Mとの対向面F及び主磁極層110との対向面に臨んでいればよい。
本実施形態では、ギャップ調整層151と主体層152の二層構造でリターンパス層150を形成しているが、リターンパス層150は三層以上の多層構造であってもよい。リターンパス層150を三層以上の多層構造とする場合には、主磁極層110と対向する側ほど、比抵抗の小さい磁性材料で形成した層を設けて渦電流損失を生じさせやすくする。
101 スライダ
101a 媒体対向面
101b トレーリング側端面
108 第1コイル層
110 主磁極層
113 ギャップ層
115 第2コイル層
150 リターンパス層
151 ギャップ調整層
151a 先端面
152 主体層
152a 先端面
F (記録媒体との)対向面
H 垂直磁気記録ヘッド
M 記録媒体
Ma ハード膜
Mb ソフト膜
101a 媒体対向面
101b トレーリング側端面
108 第1コイル層
110 主磁極層
113 ギャップ層
115 第2コイル層
150 リターンパス層
151 ギャップ調整層
151a 先端面
152 主体層
152a 先端面
F (記録媒体との)対向面
H 垂直磁気記録ヘッド
M 記録媒体
Ma ハード膜
Mb ソフト膜
Claims (2)
- 記録媒体との対向面に露出し、該媒体対向面で所定のギャップ間隔をあけて対向する主磁極層及びリターンパス層と、この主磁極層及びリターンパス層に記録磁界を与えるコイル層とを備えた垂直磁気記録ヘッドにおいて、
前記リターンパス層は、前記主磁極層と対向する面側から順にギャップ調整層と主体層とを積層して形成され、
前記ギャップ調整層は、少なくとも前記主磁極層及び前記記録媒体と対向する領域に存在し、前記主磁性層及び前記主磁極層よりも比抵抗の小さい磁性材料からなることを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。 - 請求項1記載の垂直磁気記録ヘッドにおいて、前記ギャップ調整層は、300nm以下の膜厚で形成されている垂直磁気記録ヘッド。
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