JP2007220231A - 垂直磁気記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 リターンヨーク層27の対向面H1aでの形状は、トラック幅方向(図示X方向)と平行な方向に直線状で形成される下辺27cと、主磁極層24と膜厚方向(図示Z方向)で対向する位置に、上方に向けて突出し最大幅寸法T1がトラック幅Twよりも大きい突出部27a1が形成された中央部27aと、前記中央部27aのトラック幅方向(図示X方向)の両側に広がり、前記中央部27aよりも膜厚の薄い両側端部27bと、を有して形成されている。これにより、記録能力の向上効果とPTP発生の抑制効果の双方を適切に得ることが出来る。
【選択図】 図2
Description
記録媒体との対向面にトラック幅Twで露出する主磁極を備えた第1磁性層と、前記対向面で、前記第1磁性層上に非磁性層を介して対向するリターンヨーク層と、前記第1磁性層及び前記リターンヨーク層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を有し、
前記リターンヨーク層の前記対向面での形状は、トラック幅方向と平行な方向に直線状で形成された下辺と、前記第1磁性層と膜厚方向で対向する位置に、上方に向けて突出しトラック幅Twよりも大きい最大幅寸法T1を有する突出部が設けられた中央部と、前記中央部のトラック幅方向の両側に広がり、前記中央部の膜厚よりも薄い膜厚で形成された両側端部と、を有することを特徴とするものである。
前記絶縁層の前縁から前記対向面までの前方領域には前記非磁性層の上面が平坦化面で形成されており、
前記リターンヨーク層の突出部は、前記絶縁層上から、前記前方領域上にかけて形成され、
少なくとも前記前方領域では、前記リターンヨーク層の下面が平坦化面で形成され、前記中央部の膜厚が前記両側端部の膜厚よりも厚く形成されていることが好ましい。これにより、簡単且つ適切に、中央部に突出する突出部を備え、前記中央部の膜厚が両側端部よりも厚い対向面形状を有するリターンヨーク層を形成することが出来る。
(a) 前記第1磁性層上に前記非磁性層を形成し、さらに前記コイル層を形成する工程、
(b) 前記非磁性層上に、少なくとも前記コイル層上を覆うコイル絶縁層を含む絶縁層を上方に向けて突出形成するとともにハイト方向に後退させて形成し、このとき、次工程で、前記リターンヨーク層の中央部に突出部が形成され、前記リターンヨーク層の中央部での膜厚が、前記絶縁層の前方領域にて前記中央部のトラック幅方向の両側に形成される両側端部よりも厚い膜厚で形成されるように、前記絶縁層の前縁と前記対向面間の間隔L1を調整して、前記絶縁層よりも前方に前記非磁性層の上面が平坦化面で露出する前記前方領域を形成する工程、
(c) 前記前方領域上から前記絶縁層上にかけて前記リターンヨーク層を形成し、前記リターンヨーク層を、前記対向面から、トラック幅方向と平行な方向に直線状で形成された下辺と、前記第1磁性層と膜厚方向で対向する位置に、上方に向けて突出し最大幅寸法T1が前記トラック幅Twよりも大きい突出部が設けられた中央部と、前記中央部のトラック幅方向の両側に広がり、前記中央部よりも薄い膜厚で形成された両側端部と、を有する形状にて露出させる工程、
を有することを特徴とするものである。
21 ギャップ層
23 上層コイル片
24 主磁極層
26 コイル絶縁層
27 リターンヨーク層
27a (リターンヨーク層の)中央部
27a1 (リターンヨーク層の)突出部
27b (リターンヨーク層の)両側端部
28 間隔調整絶縁層
50 補助ヨーク層
70 コイル層
Claims (5)
- 記録媒体との対向面にトラック幅Twで露出する主磁極を備えた第1磁性層と、前記対向面で、前記第1磁性層上に非磁性層を介して対向するリターンヨーク層と、前記第1磁性層及び前記リターンヨーク層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を有し、
前記リターンヨーク層の前記対向面での形状は、トラック幅方向と平行な方向に直線状で形成された下辺と、前記第1磁性層と膜厚方向で対向する位置に、上方に向けて突出しトラック幅Twよりも大きい最大幅寸法T1を有する突出部が設けられた中央部と、前記中央部のトラック幅方向の両側に広がり、前記中央部の膜厚よりも薄い膜厚で形成された両側端部と、を有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。 - 前記第1磁性層と前記リターンヨーク層との間であって、前記対向面よりもハイト方向後方には、少なくとも前記コイル層上を覆うコイル絶縁層を有し上方に向けて突出する絶縁層が設けられ、
前記絶縁層の前縁から前記対向面までの前方領域には前記非磁性層の上面が平坦化面で形成されており、
前記リターンヨーク層の突出部は、前記絶縁層上から、前記前方領域上にかけて形成され、
少なくとも前記前方領域では、前記リターンヨーク層の下面が平坦化面で形成され、前記中央部の膜厚が前記両側端部の膜厚よりも厚く形成されている請求項1記載の垂直磁気記録ヘッド。 - 前記突出部の前記最大幅寸法T1は、前記第1磁性層の最大幅寸法よりも大きい請求項1又は2に記載の垂直磁気記録ヘッド。
- 前記対向面に現れる前記突出部の上辺は、曲面状である請求項1ないし3のいずれかに記載の垂直磁気記録ヘッド。
- 記録媒体との対向面にトラック幅Twで露出する主磁極を備えた第1磁性層と、前記対向面で、前記第1磁性層上に非磁性層を介して対向するリターンヨーク層と、前記第1磁性層及び前記リターンヨーク層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を有して成る垂直磁気記録ヘッドの製造方法であって、
(a) 前記第1磁性層上に前記非磁性層を形成し、さらに前記コイル層を形成する工程、
(b) 前記非磁性層上に、少なくとも前記コイル層上を覆うコイル絶縁層を含む絶縁層を上方に向けて突出形成するとともにハイト方向に後退させて形成し、このとき、次工程で、前記リターンヨーク層の中央部に突出部が形成され、前記リターンヨーク層の中央部での膜厚が、前記絶縁層の前方領域にて前記中央部のトラック幅方向の両側に形成される両側端部よりも厚い膜厚で形成されるように、前記絶縁層の前縁と前記対向面間の間隔L1を調整して、前記絶縁層よりも前方に前記非磁性層の上面が平坦化面で露出する前記前方領域を形成する工程、
(c) 前記前方領域上から前記絶縁層上にかけて前記リターンヨーク層を形成し、前記リターンヨーク層を、前記対向面から、トラック幅方向と平行な方向に直線状で形成された下辺と、前記第1磁性層と膜厚方向で対向する位置に、上方に向けて突出し最大幅寸法T1が前記トラック幅Twよりも大きい突出部が設けられた中央部と、前記中央部のトラック幅方向の両側に広がり、前記中央部よりも薄い膜厚で形成された両側端部と、を有する形状にて露出させる工程、
を有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
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