JP2007048868A - 積層指示装置、多層基板製造システム、及び多層基板製造方法 - Google Patents
積層指示装置、多層基板製造システム、及び多層基板製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 内層のワークボードの不良ピースの存在を画像認識装置60によって検査し、不良ピースが存在する場合には、そのワークボードのワークID及び不良ピースの位置の情報を含む不良情報200が生成され、露光装置4に出力される。露光装置4は、外層用のワークボードの露光時に、対応する内層の基板の不良ピースの存在を不良情報200に基づいて特定し、不良ピースが存在する場合には、その位置に不良ピースであることを示す識別マークが露光されるように露光用の描画データを変更して露光する。不良ピースの位置が一致するような基板の組み合わせを不良情報200に基づいて求め、求めた組み合わせのワークIDを積層指示情報300として生成し、出力部10へ出力する。
【選択図】 図2
Description
B 整面工程
C ラミネーション工程
1 パターン製造システム
4 露光装置
5 現像装置
6 エッチング装置
7 CAM
8 ネットワーク
10 出力部(出力手段)
20 ワークボード
40 レーザ直描装置
41 データ変換手段
44 露光制御手段
46 メモリ
50 シート
52 ピース
60 画像認識装置(検査手段、生成手段)
100 加工用パターンデータ
200 不良情報
300 積層指示情報(組み合わせ情報)
Claims (5)
- 形成パターンが形成された単位基板が複数配設されて成る構成基板を複数個積層する際に、積層する前記構成基板の組み合わせを指示する積層指示装置において、
前記構成基板に配設された単位基板のうち、前記形成パターンに不良が存在する不良の単位基板の位置に関する情報を含む不良情報を入力する入力手段と、
入力した前記不良情報に基づいて、前記構成基板を積層した時に前記不良の単位基板の位置が一致するような前記構成基板の組み合わせに関する組み合わせ情報を生成する生成手段と、
を備えたことを特徴とする積層指示装置。 - 形成パターンが形成された単位基板が複数配設されて成る構成基板を複数個積層して多層基板を製造する多層基板製造システムにおいて、
前記単位基板に形成された形成パターンの不良を単位基板毎に検査して、不良の単位基板の位置に関する情報を含む不良情報を生成する検査手段と、
前記不良情報に基づいて、前記構成基板を積層した時に前記不良の単位基板の位置が一致するような前記構成基板の組み合わせに関する組み合わせ情報を生成する生成手段と、
生成した組み合わせ情報を出力する出力手段と、
を備えたことを特徴とする多層基板製造システム。 - 前記出力手段は、前記組み合わせ情報を用紙に印刷する印刷手段及び前記組み合わせ情報を表示する表示手段の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項2記載の多層基板製造システム。
- 前記構成基板に識別符号を付与する付与手段をさらに備え、前記不良情報が、前記不良の単位基板を含む構成基板の識別符号と前記不良の単位基板の位置を示す位置情報とを含み、前記組み合わせ情報が、前記不良の単位基板の位置が一致する組み合わせの構成基板の識別符号を含むことを特徴とする請求項2又は請求項3記載の多層基板製造システム。
- 形成パターンが形成された単位基板が複数配設されて成る構成基板を複数個積層して多層基板を製造する多層基板製造方法において、
前記単位基板に形成された形成パターンの不良を単位基板毎に検査して、不良の単位基板の位置に関する情報を含む不良情報を生成し、
前記不良情報に基づいて、前記構成基板を積層した時に前記不良の単位基板の位置が一致するような前記構成基板の組み合わせに関する組み合わせ情報を生成し、
生成した組み合わせ情報を出力する
ことを特徴とする多層基板製造方法。
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