JP2007033765A

JP2007033765A - パターン製造システム、露光装置、及び露光方法

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Publication number: JP2007033765A
Application number: JP2005215783A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Suganuma; 敦菅沼; Yuji Shimoyama; 裕司下山; Masataka Miyanishi; 正孝宮西; Takashi Okayasu; 孝岡安
Original assignee: Nippon CMK Corp; Fujifilm Holdings Corp; CMK Corp
Current assignee: Nippon CMK Corp; Fujifilm Holdings Corp; CMK Corp
Priority date: 2005-07-26
Filing date: 2005-07-26
Publication date: 2007-02-08

Abstract

【課題】基板上に形成する導体の厚さのばらつきによりパターン線の線幅にばらつきが生じるのを抑えることができるパターン製造システム、露光装置、及び露光方法を提供する。
【解決手段】様々な線幅のパターン線を含むテストパターンが形成された複数種類の銅厚のテスト基板を画像認識手段６０により撮像し、パターン線の線幅を実測して銅厚、線幅、及び露光補正量の対応関係を示す補正テーブルを作成する。基板に回路パターンを形成する際には、基板毎に銅厚測定部９により基板上に形成された銅箔の銅厚を測定し、測定した銅厚に応じた露光補正量を補正テーブルから求め、求めた露光補正量で露光量を補正する。
【選択図】図２

Description

本発明は、プリント基板の回路パターン等を製造する際に発生する仕上がりのばらつきを抑制するパターン製造システム、露光装置、及び露光方法に関するものである。

例えば、プリント基板の回路パターンを製造する場合、従来は、フォトマスクを作成し、このフォトマスクを利用して基板上のレジストを露光し硬化させた後、該レジストを現像してレジストパターンを形成し、このレジストパターンを利用して基板上の銅箔をエッチングすることにより回路パターンを形成する方法がとられている。上記従来の方法においては、エッチングを行う際、レジストパターン線の密度に依存して基板上の銅箔がエッチングされる量が変わり、仕上がる回路パターン線の線幅にばらつきが発生する虞があった。そこで、形成しようとしている回路パターン線の密度に基づいて予め入力データの補正を行いフォトマスクのパターン線の調整を行うようにしたものがある（例えば、特許文献１）。

また、レジストパターンの線幅が所定の線幅以下だとオーバーエッチングが発生することから、このオーバーエッチングが発生するレジストパターンのパターン線の線幅を予め測定しておき、所定の線幅以下のレジストパターンのパターン線の線幅を太らせるように補正ラインを付加するものもある（例えば、特許文献２）。

あるいは、エッチング液を繰り返し使用することによってエッチング液が劣化し、エッチングされた回路パターンの線幅が違ってくるというような仕上がりのばらつきを防ぐために、基板の空き領域（配線部分以外の領域）にテストパターンを埋め込み、エッチング後にそのテストパターンを画像認識してエッチングされた量の変化を確認して、それに応じて新たなエッチング液の供給やシャワー圧を変化させるように制御するものもある（例えば、特許文献３）。

しかしながら、前述の特許文献１や特許文献２の方法では、入力データの線幅を補正して仕上がった回路パターン線の線幅を指定された線幅に近づけようとするものではあるが、繰り返し加工を行うことにより現像液やエッチング液が徐々に劣化し、この劣化に伴って発生する仕上がりのばらつきを抑制することはできない。また、このようなフォトマスクを作成する方法でエッチング液の劣化などによる仕上がりのばらつきを抑制するためには、何度もフォトマスクを作成し直す必要があり生産コストが高くついてしまう。

一方、特許文献３では、パターン線がエッチングされた量の変化を確認して、新たなエッチグ液の供給やシャワー圧を変化させることで仕上がりが一定になるようにエッチングの進行を制御しようとしているが、このような新たなエッチング液の供給やシャワー圧の変化による制御では応答性が安定せず仕上がりのばらつきが残ってしまうという問題がある。

また、近年回路パターンの複雑化、高精細化に伴い、より精度の高い仕上がりが求められ、このようなエッチング液の劣化などによって生じる仕上がりのばらつきも無視できないものとなってきている。

これらの問題を解決するため、特許文献４では、生産コストが高くならず、現像液やエッチング液の劣化などに影響されて仕上がりがばらつくということがなく、仕上がり精度の高いパターン製造システムが提案されている。
特開平６−１８６７２４号公報特開２００１−１３４６２７公報特開平９−１６２５２２号公報特開２００５−９９７３９号公報

しかしながら、例えばパネルめっき法により基板を銅めっきすることにより基板上に導体を形成した場合、その導体の厚さ（銅厚）にばらつきが生じる場合がある。この場合、銅厚の差によりエッチング後のパターン線の線幅が異なってしまう。例えば銅厚が２０μｍの場合、エッチング後のパターン線の線幅は３〜５μｍ程ばらついてしまう場合がある。また、基板に銅箔を積層する（プレスする）方法を用いた場合でも銅箔のロット毎のばらつきによりエッチング後のパターン線の線幅がばらついてしまう場合がある。

本発明は、上記事情に鑑み、基板上に形成する導体の厚さのばらつきによりパターン線の線幅にばらつきが生じるのを抑えることができるパターン製造システム、露光装置、及び露光方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１記載のパターン製造システムは、目標形成パターンを形成するための加工用パターンデータに基づき、基板に付着させた被エッチング材上のレジストに、所定の露光量で直接描画露光する露光部と、露光された前記レジストを現像してレジストパターンを形成する現像部と、前記被エッチング材をエッチングして形成パターンを形成するエッチング部と、所定のパターン線を含むテストパターンが前記形成パターンとして形成された前記被エッチング材の厚さが異なる複数のテスト基板をスキャンして画像情報を得る画像認識手段と、前記画像情報のパターン線の線幅に基づいて、前記被エッチング材の厚さと、前記所定の露光量を補正する露光補正量及び前記加工用パターンデータの線幅データを補正する線幅補正量の少なくとも一方の補正量との対応関係を表す補正テーブルを作成するテーブル作成手段と、前記基板上に形成された被エッチング材の厚さを測定する測定手段と、測定した被エッチング材の厚さに応じた補正量を前記補正テーブルから求め、求めた補正量で前記所定の露光量及び前記加工用パターンデータの線幅データの少なくとも一方を補正する補正部と、を備えたことを特徴とする。

ここで、「加工用パターン」、「レジストパターン」、「形成パターン」、「目標形成パターン」は、パターン線の座標値と線幅であらわされるものである。また、「目標形成パターン」とは、形成しようとしている形成パターン、そのときのパターン線の座標値と線幅であらわされるものである。「被エッチング材」とは、基板上に付着された銅箔のように、エッチング液によりエッチングされるものをいう。

また、「露光補正量」とは、エッチング後の形成パターンの線幅を目標形成パターンの線幅にするために所定の露光量を補正する量である。

本発明によれば、所定のパターン線を含むテストパターンが形成された被エッチング材の厚さが異なる複数のテスト基板をスキャンしてパターン線の線幅を求め、これに基づいて、被エッチング材の厚さと所定の露光量を補正する露光補正量及び加工用パターンデータの線幅データを補正する線幅補正量の少なくとも一方の補正量との対応関係を表す補正テーブルを作成する。そして、基板上に形成された被エッチング材の厚さを測定し、測定した被エッチング材の厚さに応じた補正量を補正テーブルから求め、求めた補正量で所定の露光量及び加工用パターンデータの線幅データの少なくとも一方を補正するため、エッチング後の被エッチング材の厚さが異なる場合でも、パターン線の線幅がばらつくのを抑えることができる。

なお、請求項２に記載したように、前記テストパターンは、線幅の異なる複数種類のパターン線を含み、前記作成手段は、前記画像情報のパターン線の線幅に基づいて、前記被エッチング材の厚さ、前記線幅、及び前記補正量の対応関係を表す補正テーブルを作成し、前記補正部は、測定した被エッチング材の厚さ及び形成しようとするパターン線の線幅に応じた補正量を前記補正テーブルから求め、求めた補正量で前記所定の露光量及び前記加工用パターンデータの線幅データの少なくとも一方を補正するようにしてもよい。これにより、被エッチング材及び線幅毎に露光量及び線幅データの少なくとも一方を補正することができ、より適正に補正することができる。

また、製造装置には、加工条件が同一となるようにして加工を行っても場所によって形成された結果が違ってくるというように、それぞれ装置毎に特有のローカリティが現れる。

そこで、請求項３に記載したように、前記測定手段は、前記基板を複数の領域に分けた分割領域毎に被エッチング材の厚さを測定し、前記補正部は、分割領域毎に前記所定の露光量及び前記加工用パターンデータの線幅データの少なくとも一方を補正することが好ましい。これにより、基板内で被エッチング材の厚さが異なる場合でもパターン線の線幅がばらつくのを抑えることができる。

請求項４記載の露光装置は、現像及びエッチングを経て目標形成パターンを形成するための加工用パターンデータに基づき、基板に付着させた被エッチング材上のレジストに、所定の露光量で直接描画露光する露光部と、前記基板上に形成された被エッチング材の厚さを測定した厚さ情報を取得する厚さ情報取得手段と、前記被エッチング材の厚さと前記所定の露光量を補正する露光補正量及び前記加工用パターンデータの線幅データを補正する線幅補正量の少なくとも一方の補正量との対応関係を表す補正テーブルを記憶する記憶手段と、前記厚さ情報が示す前記被エッチング材の厚さに応じた補正量を前記補正テーブルから求め、求めた補正量で前記所定の露光量及び前記加工用パターンデータの線幅データの少なくとも一方を補正する補正部と、を備えたことを特徴とする。

この発明によれば、エッチング後の被エッチング材の厚さが異なる場合でも、パターン線の線幅がばらつくのを抑えることができる。

請求項５記載の露光方法は、現像及びエッチングを経て目標形成パターンを形成するための加工用パターンデータに基づき、基板に付着させた被エッチング材上のレジストに、所定の露光量で直接描画露光を行う方法であって、前記基板上に形成された被エッチング材の厚さを測定した厚さ情報を取得し、前記厚さ情報が示す前記被エッチング材の厚さに応じた前記所定の露光量を補正する露光補正量及び前記加工用パターンデータの線幅データを補正する線幅補正量の少なくとも一方の補正量を、前記被エッチング材の厚さと前記所定の露光量を補正する露光補正量及び前記加工用パターンデータの線幅データを補正する線幅補正量の少なくとも一方の補正量との対応関係を表す補正テーブルから求め、求めた補正量で前記所定の露光量及び前記加工用パターンデータの線幅データの少なくとも一方を補正することを特徴とする。

なお、被エッチング材の厚さと、露光補正量及び線幅補正量の少なくとも一方との対応関係を表す演算式を用意し、この演算式に基づいて、測定した被エッチング材の厚さに応じた露光補正量及び線幅補正量の少なくとも一方を求めるようにしてもよい。

本発明によれば、基板上に形成する導体の厚さのばらつきによりパターン線の線幅にばらつきが生じるのを抑えることができる、という効果を有する。

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。

図１は、パターン製造システム１の概略構成を示す図であり、このパターン製造システム１により形成パターンの一例である回路パターンを製造する場合について説明する。

基板上に回路パターンを形成する場合には、まず、銅箔貼着工程Ａにおいて基板上に回路形成材である銅箔を貼着し、整面工程Ｂにおいて貼着した銅箔の上面を機械研磨や化学研磨で整面処理し、ラミネーション工程Ｃにおいて、整面した銅箔上面にレジスト（レジスト材）をラミネートする。

また、外層基板に回路パターンを形成する場合は、図７に示すように、図１に示す工程において作成された内層基板に穴あけ工程Ａ１でスルーホール等を作成し、次に銅メッキ工程Ａ２により層間接続とパターン全面に銅メッキを行い導体を形成し、整面工程Ｂの後、ラミネーション工程Ｃにおいてレジストをラミネートする。

次に、本発明のパターン製造システム１により、基板にラミネートされたレジストを露光し、露光されたレジストを現像してレジストパターンを形成し、レジストパターンが形成された基板上の銅箔をエッチングして形成パターンを形成する。

上記パターン製造システム１は、ラミネートされたレジスト材にパターンを露光する直描型の露光装置（露光部）４、露光されたレジストを現像してレジストパターンを形成する現像装置（現像部）５、レジストパターンが形成された基板上の銅箔をエッチングして形成パターンを形成するエッチング装置（エッチング部）６、整面工程後の基板上に形成された銅箔の厚さを測定する銅厚測定部９を備えている。

エッチング装置６には、銅箔をエッチングして形成された形成パターンをスキャンした画像情報２００が得られるように、ＣＣＤカメラを用いた光学式検査機（ＡＯＩ）などの画像認識装置（画像認識手段）６０が設けられ、画像認識装置６０は露光装置４とネットワーク８で接続されて、画像情報２００が画像認識装置６０から露光装置４に送信される。

ＣＡＤ（Computer Aided Design）などを用いて設計された目標形成パターン（実際に形成しようとしている回路パターン）は、ＣＡＭ（Computer Aided Manufacturing）７に取り込まれ、ＣＡＭ７では、目標形成パターンの面付けレイアウト処理、位置合わせ用のマーキング、識別用のシンボルデータ、パターンの均一化用のダミーデータなどの付加情報の付加などを行った後に、回路パターンを加工するための座標値、線幅などを含む加工用パターンデータ１００（例えば、Ｇｅｒｂｅｒデータなど）に変換されて露光装置４に出力される。

露光装置４は、図２に示すように、ＣＡＭ７から入力された加工用パターンデータ１００を加工に適した形式に変換するデータ変換手段４１と、回路パターンが設計どおりの仕上がりとなるように露光装置の露光量を補正する補正部４５と、加工用パターンデータ１００に従って基板両面の露光を行う露光制御手段（露光用光源を含む）４４と、を備えている。以下、本実施の形態では、補正手段４５を露光装置４内に設けた場合について説明するが、他のコンピュータに補正手段４５を備えた補正装置（補正部）を露光装置４に接続するようにしてもよい。

また、補正手段４５は、様々な線幅のパターン線を含むテストパターンが露光、現像されたテスト基板をエッチング後に画像認識装置６０で認識された画像情報２００に基づいて、テスト基板に形成されたパターン線の線幅を測定し、この測定結果に基づいて銅厚に応じて露光量を補正するための補正テーブルを作成するテーブル作成部４２と、得られた補正テーブルを記憶するメモリ４６と、銅厚測定部９で測定された銅厚データ３００及びメモリ４６に記憶された補正テーブルに基づいて露光量を調整する調整手段４３と、を備えている。

上記露光装置４として、レーザなどを用いてレジストに直接描画する直描装置が用いられる。例えば、図３に示すように、レーザ直描装置４０はレーザ発生装置から発せられるレーザビームＬＢをビームスプリッターやビームセパレータを介して複数の描画用光束Ｌに分割し、分割された光束が一列状に並ぶ描画用光束ＬＬとなって描画テーブルＴ上に到達するように構成され、描画テーブルＴにセットされた基板Ｓ上を主走査方向（Ｙ方向）と副走査方向（Ｘ方向）に描画用光束ＬＬを走査させて基板Ｓに１列状に並んだドットで描画を行うものである。具体的には、特開平７−１５９９３公報や特開平９−３２３１８０公報などに開示されている。あるいは、直描型の露光装置として、ＬＣＤ（液晶表示素子）やＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）などの空間光変調素子を用いるものであってもよい。

このようなレーザ直描装置４０で基板上のレジストに描画を行う場合には、加工用パターンデータ１００をラスタデータに変換したものを描画データとし、この描画データに基づいて露光制御手段４４で露光が行われる。また、露光は装置に設定されている標準露光量に基づいて行うが、必要に応じて露光量を調整することが可能である。露光量を調整するためには、調整手段４３で求めた露光量を描画データとは別の情報として露光制御手段４４に伝達することもできるが、露光量を描画データの画素を多値で表すものとし、調整手段４３で求めた露光量に対応した多値に描画データを変換して露光制御手段４４に伝達することもできる（例えば、１画素を２５５階調で表し、２５５が最大の露光量を表し数値が小さくなるほど露光量は小さくなる）。

銅厚測定部９は、例えば基板上に形成された銅箔の表面にプローブを押し当て、このプローブに電流を流して電圧を測定し、この測定結果から抵抗値を算出して膜厚に換算する装置を用いることができる（例えば日本アクア株式会社のアクアオームテスター等）。なお、銅厚を測定できるものであれば、これに限られるものではない。

次に、テーブル作成部４２による補正テーブルの作成について、図４に示すフローチャートを参照して説明する。

まず、補正テーブルの作成に当たって、様々な線幅Ｌ１，Ｌ２，・・・のパターン線を含む予め定めたテストパターンが露光、現像、エッチングされた、様々な銅厚ｔ１，ｔ２，ｔ３，・・・のテスト基板を作成する。なお、これらのテスト基板は、テスト基板内で銅厚のばらつきがないものを用意することが好ましい。また、テストパターンは、実際に形成する回路パターンで使用する線幅全てについてのパターン線を含むようにする。

そして、テスト基板を画像認識手段６０にセットし（Ｓ１００）、テスト基板の実測を行う。すなわち、テスト基板上に形成されたテストパターンを撮像し、この画像情報２００に基づいて、テストパターンに含まれる様々な線幅のパターン線の線幅をテーブル作成部４２により測定する。測定結果は一時的にメモリ４６に記憶する。

そして、実測を行っていないテスト基板がある場合には（Ｓ１０４−Ｎ）、そのテスト基板を画像認識手段６０にセットし、上記と同様に各種線幅の実測を行う。これを全てのテスト基板について行う。これにより、銅厚ｔ１，ｔ２，・・・と実測した線幅との対応関係が得られる。

全てのテスト基板について実測が終了した場合には（Ｓ１０４−Ｙ）、テーブル作成部４２は、前記対応関係と、各銅厚の線幅の理想値とに基づいて補正テーブルを作成する（Ｓ１０６）。具体的には、実測により得られた線幅と、その線幅の理想値との差分に応じた露光補正量、すなわち、この露光補正量で露光量を補正した場合に、エッチング後のパターン線の線幅がほぼ理想値となるような露光補正量を、銅厚及び線幅の種類毎に求め、銅厚、線幅、及び露光補正量の関係を示す補正テーブルを作成する。なお、前記差分に応じた露光補正量は、例えば前記差分と露光補正量との関係を予め求めておき、この関係から求めることができる。このようにして作成した補正テーブルは、メモリ４６に記憶（登録）される。

また、補正テーブルに代えて、銅厚及び線幅をパラメータとし、これらのパラメータから露光補正量を求めるための演算式を前記対応関係等から求め、この演算式をメモリ４６に登録するようにしてもよい。

次に、パターン製造システム１を用いて同じ回路パターンを繰り返し製造する場合の作用について、図５のフローチャートに従って説明する。

まず、回路パターンを製造するために、露光装置４はＣＡＭ７から基板の加工用パターンデータ１００を受信し（Ｓ２００）、露光装置４では受信したＧｅｒｂｅｒデータ等のベクトルデータ形式の加工用パターンデータ１００をデータ変換手段４１でラスタデータ形式の加工用パターンデータ（描画データ）に変換する（Ｓ２０２）。

そして、整面工程後の基板上に形成された銅箔の厚さを銅厚測定部９により測定する（Ｓ２０４）。なお、測定は複数のポイントで行う。例えば、図６に示すように、基板上の領域を複数の領域（Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４）に分割し、各領域の中央を測定ポイントＰ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４とする。図２に示すように、測定結果は、銅厚データ３００として調整手段４３へ出力される。

次に、調整手段４３は、銅厚測定部９から出力された銅厚データ３００で表される各測定ポイントの銅厚に応じた線幅毎の露光補正量をメモリ４６に記憶された補正テーブルから各々読み出す（Ｓ２０６）。読み出した各露光補正量は露光制御手段４４に出力される。

そして、露光制御手段４４で基板の銅箔上にラミネートされたレジストの露光を行う（Ｓ２０８）。このとき、調整手段４３から出力された各測定ポイントの銅厚に応じた線幅毎の露光補正量により基板上の各領域の露光量がそれぞれ補正される。すなわち、例えば基板上の領域Ｄ１の回路パターンを露光する場合には、測定ポイントＰ１の銅厚及び形成しようとする回路パターンの線幅に応じた露光補正量で補正する。

基板の銅箔上にラミネートされたレジストが露光されると、現像装置５で現像を行って不要なレジストが除去され（ポジ型レジストの場合は露光されたレジストが除去され、ネガ型レジストの場合は露光されていないレジストが除去される）、銅箔の上面にレジストパターンが形成される（Ｓ２１０）。

さらに、レジストパターンが形成された基板上の銅箔をエッチング装置６でエッチングして形成パターンが形成される（Ｓ２１２）。そして、次の基板も同様に処理される。

このように、基板１枚毎に銅厚を測定し、測定した銅厚に応じて露光量を適正に補正するので、基板上に形成された銅箔の銅厚がばらついた場合でも、エッチング後のパターン線の線幅にばらつきが生じるのを抑えることができる。

なお、本実施形態では、銅厚に応じて露光量を補正することにより銅厚のばらつきによるパターン線の線幅のばらつきを抑える場合について説明したが、銅厚に応じて加工用パターンデータ１００のパターン線の線幅データを補正するようにしてもよい。この場合、テスト基板の実測により得られた線幅と、その線幅の理想値との差分に応じた線幅データを、銅厚及び線幅の種類毎に求め、銅厚、元の線幅データ、及び補正後の線幅データの関係を示す補正テーブルを作成すればよい。また、露光量及び加工用パターンデータ１００のパターン線の線幅データの両方を補正するようにしてもよい。

なお、本実施形態のように銅厚に応じて露光量を補正する処理と特開２００５−９９７３９号公報に記載された補正処理とを組み合わせた補正処理を実行するようにしてもよい。

内層基板の作成工程及びパターン製造システムの構成を説明するための図である。露光装置のブロック図である。レーザ直描装置の図である。補正テーブル作成処理を表すフローチャートである。パターン製造システムの動作を表すフローチャートである。基板上の領域の分割を説明するための図である。外層基板の作成工程及びパターン製造システムの構成を説明するための図である。

符号の説明

Ａ銅箔貼着工程
Ａ１穴あけ工程
Ａ２銅メッキ工程
Ｂ整面工程
Ｃラミネーション工程
１パターン製造システム
４露光装置
５現像装置
６エッチング装置
７ＣＡＭ
８ネットワーク
９銅厚測定部
４０レーザ直描装置
４１データ変換手段
４２テーブル作成部
４３調整手段
４４露光制御手段
４５補正部
４６メモリ
６０画像認識装置
１００加工用パターンデータ
２００画像情報
３００銅厚データ

Claims

目標形成パターンを形成するための加工用パターンデータに基づき、基板に付着させた被エッチング材上のレジストに、所定の露光量で直接描画露光する露光部と、
露光された前記レジストを現像してレジストパターンを形成する現像部と、
前記被エッチング材をエッチングして形成パターンを形成するエッチング部と、
所定のパターン線を含むテストパターンが前記形成パターンとして形成された前記被エッチング材の厚さが異なる複数のテスト基板をスキャンして画像情報を得る画像認識手段と、
前記画像情報のパターン線の線幅に基づいて、前記被エッチング材の厚さと、前記所定の露光量を補正する露光補正量及び前記加工用パターンデータの線幅データを補正する線幅補正量の少なくとも一方の補正量との対応関係を表す補正テーブルを作成するテーブル作成手段と、
前記基板上に形成された被エッチング材の厚さを測定する測定手段と、
測定した被エッチング材の厚さに応じた補正量を前記補正テーブルから求め、求めた補正量で前記所定の露光量及び前記加工用パターンデータの線幅データの少なくとも一方を補正する補正部と、
を備えたパターン製造システム。
前記テストパターンは、線幅の異なる複数種類のパターン線を含み、前記作成手段は、前記画像情報のパターン線の線幅に基づいて、前記被エッチング材の厚さ、前記線幅、及び前記補正量の対応関係を表す補正テーブルを作成し、前記補正部は、測定した被エッチング材の厚さ及び形成しようとするパターン線の線幅に応じた補正量を前記補正テーブルから求め、求めた補正量で前記所定の露光量及び前記加工用パターンデータの線幅データの少なくとも一方を補正することを特徴とする請求項１記載のパターン製造システム。
前記測定手段は、前記基板を複数の領域に分けた分割領域毎に被エッチング材の厚さを測定し、前記補正部は、分割領域毎に前記所定の露光量及び前記加工用パターンデータの線幅データの少なくとも一方を補正することを特徴とする請求項１又は請求項２記載のパターン製造システム。
現像及びエッチングを経て目標形成パターンを形成するための加工用パターンデータに基づき、基板に付着させた被エッチング材上のレジストに、所定の露光量で直接描画露光する露光部と、
前記基板上に形成された被エッチング材の厚さを測定した厚さ情報を取得する厚さ情報取得手段と、
前記被エッチング材の厚さと前記所定の露光量を補正する露光補正量及び前記加工用パターンデータの線幅データを補正する線幅補正量の少なくとも一方の補正量との対応関係を表す補正テーブルを記憶する記憶手段と、
前記厚さ情報が示す前記被エッチング材の厚さに応じた補正量を前記補正テーブルから求め、求めた補正量で前記所定の露光量及び前記加工用パターンデータの線幅データの少なくとも一方を補正する補正部と、
を備えた露光装置。
現像及びエッチングを経て目標形成パターンを形成するための加工用パターンデータに基づき、基板に付着させた被エッチング材上のレジストに、所定の露光量で直接描画露光を行う方法であって、
前記基板上に形成された被エッチング材の厚さを測定した厚さ情報を取得し、
前記厚さ情報が示す前記被エッチング材の厚さに応じた前記所定の露光量を補正する露光補正量及び前記加工用パターンデータの線幅データを補正する線幅補正量の少なくとも一方の補正量を、前記被エッチング材の厚さと前記所定の露光量を補正する露光補正量及び前記加工用パターンデータの線幅データを補正する線幅補正量の少なくとも一方の補正量との対応関係を表す補正テーブルから求め、求めた補正量で前記所定の露光量及び前記加工用パターンデータの線幅データの少なくとも一方を補正することを特徴とする露光方法。