JP2007042889A - シリコンウエーハ表面へのボロン汚染抑制方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】オゾンを含む塩酸(HCl/オゾン)又はフッ化水素酸水溶液(HF/オゾン)を用いてシリコンウエーハ表面を洗浄する。
【選択図】図1
Description
本発明で使用可能な洗浄液は、オゾンを含む酸性水溶液である。ここでオゾンは、シリコン表面に酸化膜を形成する。さらにかかるオゾンを含む酸性水溶液の作用によりシリコンウエーハの表面を親水性に維持し、かつ相乗作用的に環境由来のボロンの汚染をほぼ完全に抑制することができるシリコンウエハ表面状態を形成する。
上で説明した洗浄液を使用して、シリコンウエーハを洗浄する方法については特に制限はなく、通常公知のバッチ式浸漬法、又は枚葉洗浄法のいずれも好ましく使用できる。またかかる洗浄が終了した後は、通常公知の純水洗浄、乾燥工程が引き続いて行われる。
本発明で洗浄されたシリコンウエーハはその表面が親水性を維持することから、環境由来のパーティクルの付着に対して強い抵抗性を有する。また環境由来のボロンの汚染に対して極めて強い抑制効果を有する。従って、本発明の方法で洗浄されたシリコンウエーハは、その後の工程(例えば熱処理工程)で使用する目的で環境に長時間暴露することが可能となる。具体的には通常のクリーンルーム内で約5時間程度空気中に暴露しても顕著なパーティクル付着もボロン汚染も生じない。
洗浄液を以下の通り調製した。HClをオゾン水で希釈し、塩酸濃度0.001〜2.0wt%、オゾン10〜50ppmの範囲で種々の濃度の洗浄液を調製した。
めて顕著なボロン汚染抑制効果があることが分かる。
洗浄液を以下の通り調製した。HFをオゾン水で希釈し、フッ酸濃度0.0001〜1wt%、オゾン10〜50ppmの範囲の種々の濃度の洗浄液を調製した。
オゾンを含まないHF水溶液を用いて、実施例2と同様の条件で洗浄した。図3にその結果を示した。明らかにHF/オゾン洗浄液を使用する方が、ボロン汚染に対し高い抑制効果を有することが分かる。
本発明の方法により環境由来のパーティクルの付着に対する抵抗性を調べるために、以下の試験を行った。
A:親水性仕上
A1: APM(5分)処理後、HF/オゾン(HF0.05重量%、オゾン20ppm)で処理した。
A2: APM(5分)処理後、HCL/オゾン(HCl0.5重量%、オゾン20ppm)で処理した。
B:疎水性仕上
B1: APM(5分)処理後、1.5重量%フッ酸で処理した。
以下の方法により、アニール(1200℃、1時間)後の表面品質の指標としてアニールピットとウォーターマークを調べた。測定サンプル数は1000枚とした。ここで、アニールピットとはArアニール前のウェハ表面に付着するパーティクルが原因でアニール後に現れるピット状欠陥を意味し、外観目視で検査する。ウォーターマークとは、リンス水の乾燥痕であり主にエッジ付近に発生し、外観目視で検査する。
(2)APM(5分)処理後、親水性0.5%HCL/20ppmオゾン(5分)で処理した後、スピン乾燥してArアニールを行った。アニールピット発生率0.9%、ウォーターマーク発生率0%であった。
(3)比較のため、APM(5分)処理後、疎水性1.5%HF(5分)で処理した後、スピン乾燥してArアニールを行った。アニールピット発生率10.2%、ウォーターマーク発生率9.8%であった。
Claims (2)
- オゾンを含む酸性水溶液を用いてシリコンウエーハ表面を洗浄することを特徴とする、シリコンウエーハ表面へのボロン汚染を抑制する方法。
- 前記酸性水溶液が塩酸(HCl)又はフッ化水素酸(HF)を含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
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