JP2007036213A - 半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】プロセスを複雑にすることなく、高耐圧で低オン抵抗なスーパージャンクション構造を有する半導体素子を提供する。
【解決手段】下部ピラー層SJ1は、下部p型ピラー層13と下部n型ピラー層14とを横方向の周期Aで交互に形成してなる。一方上部ピラー層SJ2は、上部p型ピラー層15と、上部n型ピラー層16とを周期Aよりも小さい横方向の周期B(B<A)で交互に形成してなる。下部n型ピラー層14は、上部n型ピラー層16と接続され、これによりドリフト層が連続的に形成されるよう、周期A、Bが選択されている。
【選択図】図1
【解決手段】下部ピラー層SJ1は、下部p型ピラー層13と下部n型ピラー層14とを横方向の周期Aで交互に形成してなる。一方上部ピラー層SJ2は、上部p型ピラー層15と、上部n型ピラー層16とを周期Aよりも小さい横方向の周期B(B<A)で交互に形成してなる。下部n型ピラー層14は、上部n型ピラー層16と接続され、これによりドリフト層が連続的に形成されるよう、周期A、Bが選択されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体素子に関し、より詳しくはドリフト層にp型ピラー層とn型ピラー層を横方向に交互に埋め込んだスーパージャンクション構造を備えた半導体素子に関する。
縦型パワーMOSFETのオン抵抗は、伝導層(ドリフト層)部分の電気抵抗に大きく依存する。そして、このドリフト層の電気抵抗は、その不純物濃度で決定され、不純物濃度を高くすればオン抵抗を下げることができる。しかし、不純物濃度が高くなると、ドリフト層がベース層と形成するPN接合の耐圧が下がるため、不純物濃度は耐圧に応じて決まる限界以上には上げることはできない。このように、素子耐圧とオン抵抗との間にはトレードオフの関係が存在する。このトレードオフを改善することは、低消費電力の半導体素子を提供しようとする場合に重要な課題である。このトレードオフには素子材料により決まる限界が有り、この限界を越えることが低オン抵抗の半導体素子の実現への道である。
この問題を解決するMOSFETの一例として、ドリフト層にスーパージャンクション構造と呼ばれるp型ピラー層とn型ピラー層を横方向に交互に埋め込んだ構造が知られている(例えば、特許文献1参照)。スーパージャンクション構造はp型ピラー層とn型ピラー層に含まれるチャージ量(不純物量)を同じとすることで、擬似的にノンドープ層を作り出し、高耐圧を保持しつつ、高ドープされたn型ピラー層を通して電流を流すことで、材料限界を越えた低オン抵抗を実現するものである。
このようなスーパージャンクション構造のMOSFETの耐圧は、スーパージャンクション構造の厚さに比例して増加する。従って、高耐圧の素子を実現するためには、スーパージャンクション構造を厚く形成する必要がある。通常、スーパージャンクション構造は、イオン注入とエピタキシャル成長を繰り返す方法や、半導体層にトレンチを形成した後このトレンチ内に結晶成長により半導体層を埋め込む方法などにより形成される。このため、厚いスーパージャンクション構造を形成するためには、イオン注入とエピタキシャル成長の繰り返し数を増やすことや、トレンチ溝の深さを深くすることが必要となる。
特開2003−273355号公報
本発明は、プロセスを複雑にすることなく、高耐圧で低オン抵抗なスーパージャンクション構造を有する半導体素子を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係る半導体素子は、第1導電型の第1半導体層と、前記第1半導体層上に第1導電型の第1半導体ピラー層と第2導電型の第2半導体ピラー層とを第1の周期で周期的に交互に配置してなる第1ピラー層と、前記第1ピラー層上に第1導電型の第3半導体ピラー層と第2導電型の第4半導体ピラー層とを前記第1の周期よりも小さい第2の周期で横方向に周期的に交互に配置すると共に前記第1半導体ピラー層に前記第3半導体ピラー層が接続されるように配置してなる第2ピラー層と、前記第1半導体層に電気的に接続された第1の主電極と、前記第4半導体ピラー層の表面に選択的に形成された第2導電型の半導体ベース層と、前記半導体ベース層の表面に選択的に形成された第1導電型の半導体拡散層と、前記半導体ベース層と半導体拡散層に接合するように形成された第2の主電極と、前記半導体ベース層、前記半導体拡散層、及び前記第3半導体ピラー層に絶縁膜を介して隣接するように形成された制御電極とを備えたことを特徴とする。
この発明によれば、プロセスを複雑にすることなく、高耐圧で低オン抵抗なスーパージャンクション構造を有する半導体素子を提供することが可能となる。
次に、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
(第1の実施形態) 図1は本発明の第1の実施の形態に係わるパワーMOSFETの構成を模式的に示す断面図である。このMOSFETは、n+型ドレイン層12を有している。このMOSFETは、n+型ドレイン層12の表面に、下部ピラー層SJ1を形成し、さらにこの上に上部ピラー層SJ2とを積み重ね、この下部ピラー層SJ1及び上部ピラー層SJ2の2層構造のドリフト層を有するスーパージャンクション構造を採用している。
(第1の実施形態) 図1は本発明の第1の実施の形態に係わるパワーMOSFETの構成を模式的に示す断面図である。このMOSFETは、n+型ドレイン層12を有している。このMOSFETは、n+型ドレイン層12の表面に、下部ピラー層SJ1を形成し、さらにこの上に上部ピラー層SJ2とを積み重ね、この下部ピラー層SJ1及び上部ピラー層SJ2の2層構造のドリフト層を有するスーパージャンクション構造を採用している。
下部ピラー層SJ1は、下部p型ピラー層13と下部n型ピラー層14とを横方向の周期Aで交互に形成してなる。一方上部ピラー層SJ2は、上部p型ピラー層15と、上部n型ピラー層16とを周期Aよりも小さい横方向の周期B(B<A)で交互に形成してなる。なお、下部n型ピラー層14は、上部n型ピラー層16と接続され、これによりドリフト層が連続的に形成されるよう、周期A、Bが選択されている。この実施の形態において各ピラー層13、14、15、16は、図1に示すように紙面に沿った断面(XZ面)が縦長の矩形で、紙面垂直方向(Y方向)に延在されたストライプ形状を備えている。
上部ピラー層SJ2のp型ピラー層15の表面には、p型ベース層17が拡散形成され、更にこのp型ベース層17の表面にはn型ソース層18が選択的に拡散形成されている。p型ベース層17、及びn型ソース層18も、ピラー層13〜16と同様に、Y方向に延在するストライプ形状に形成されている。
また、p型ベース層17及びn型ソース層18から上部n型ピラー層16を介して他方のp型ベース層17およびn型ソース層18に至る領域上には、膜厚約0.1μmの酸化シリコン膜からなるゲート絶縁膜19を介してゲート電極20がストライプ形状に形成されている。このゲート電極20を挟むように、p型ベース層17及びn型ソース層18上には、ソース電極21が形成されている。n+型ドレイン層12の下面には、ドレイン電極11が形成されている。ゲート電極20及びソース電極21も、n型ソース層18等と同様にY方向を長手方向とするようにストライプ状に形成されている。
従来のスーパージャンクション構造のMOSFETでは、ドリフト層の深さ方向全体亘って同一の横方向周期でn型ピラー層とp型ピラー層が形成されていた。そして、スーパージャンクション構造の耐圧は、スーパージャンクション構造の厚さに比例するため、高耐圧化するためには、ピラー層を厚くする必要があった。通常、スーパージャンクション構造は、イオン注入と埋め込み成長を複数回繰り返す方法や深いトレンチ溝の埋め込み成長により形成される。高耐圧な素子を形成するためには、埋め込み回数やトレンチ深さが増加し、プロセスが複雑になってしまう。
このため、本実施の形態のMOSFETでは、図1に示すように横方向周期の異なる複数段のスーパージャンクション構造を上下方向に積み重ねるように形成する。これにより、プロセスを複雑にすることなく、高耐圧と低オン抵抗の両方を実現する。この実施の形態のMOSFETの耐圧は、上部、下部それぞれのピラー層SJ1、SJ2の耐圧の和に等しくなる。下部ピラー層SJ1は、横方向周期Aが広くアスペクト比が小さく、その厚さも上部ピラー層SJ2に比べ小さいため、形成が容易である。この下部ピラー層SJ1の上に横方向周期Bを小さくして上部ピラー層SJ2を形成する。下部ピラー層SJ1の厚さを、必要な耐圧増加分を賄うように設定すれば、上部ピラー層SJ2の厚さは従来程度で良いことになる。従って、プロセスを複雑にすることなく、高耐圧のパワーMOSFETを得ることが可能となる。
例えば、900Vの耐圧を有するMOSFETを形成しようとすると、従来のプロセスでは600V耐圧の素子の1.5倍の厚さのスーパージャンクション構造を形成する必要があり、従ってプロセスも複雑になる。しかし、本実施の形態の構造では、下部ピラー層SJ1で300Vの耐圧を保持し、上部ピラー層SJ2では600Vの耐圧を保持することができれば、900V耐圧素子を実現することができる。下部ピラー層SJ1のプロセスは単純であり、上部ピラー層SJ2のプロセスは従来の600V耐圧素子のままで、厚さも従来と同じ厚さで構わない。従って、本実施の形態によれば、プロセスを複雑にすることなく900V耐圧素子を実現することが可能である。
このようなパワーMOSFETにおいて、ソース・ドレイン間に高電圧が印加されると、上下のピラー層SJ1、SJ2は完全に空乏化する。ゲート電極10にゲート電圧が印加されてオン状態になると、上下のピラー層SJ1,SJ2にキャリアが流れ込んで空乏層は消滅する。このキャリアが流れ込むために、各下部p型ピラー層13は、いずれかの上部p型ピラー層15及びp型ベース層17を介して、n型ソース層18と接続している必要がある。
この実施の形態のMOSFETの具体的な製造工程を、図2〜図8を参照して説明する。まず、図2に示すように、n+型ドレイン層12上に下部n型ピラー層14となるn型層14’を結晶成長する。次に、図3に示すように、このn型層14’上にフォトリソグラフィ法によりレジストM1を形成し、このレジストM1をマスクとしてn型層14’にボロン(B)をイオン注入する。レジストM1の形成間隔は、下部ピラー層SJ1の横方向周期Aと等しくされている。
Bイオン注入の後、図4に示すようにn型層14’を所定の厚さだけ堆積させた後、この上に上部n型ピラー層16となるn型層16’を形成する。その後、n型層14’に対し例えば1150℃×10時間程度の熱処理を行って、図5に示すように、n型層14’に注入されたボロンを拡散させて、下部p型ピラー層13を形成する。これにより、下部p型ピラー層13と下部n型ピラー層14とが横方向に交互に形成されてなる下部ピラー層SJ1が形成される。なお、この工程による場合、各ピラー層13の不純物プロファイルは、図5に示すような山形又は波形となる。
続いて図6に示すように、フォトリソグラフィとエッチングにより、横方向周期B(B<A)でn型層16’にトレンチ15’を形成し、更に図7に示すようにこのトレンチ15’内にp型半導体層をエピタキシャル成長により埋め込み形成することにより、上部p型ピラー層15を形成する。これにより、上部p型ピラー層15と下部n型ピラー層16とが横方向に交互に形成されてなる上部ピラー層SJ2が形成される。上部ピラー層SJ2の上面は、化学的機械研磨法(CMP法)により平坦化する。最後に、周知のパワーMOSトランジスタの製造工程に従って、p型半導体ピラー層15の上部にp型半導体ベース層17を形成した後、p型半導体ベース層17の表面に選択的にn型ソース層18を形成する。次に、周知のMOSトランジスタ製造工程により、ゲート絶縁膜19、ゲート電極20、ソース電極21、ドレイン電極11をそれぞれ形成してスーパージャンクション構造のパワーMOSFETが完成する。上述したように、下部ピラー層SJ1は横方向周期Aが上部ピラー層SJ2の横方向周期Bよりも大きいため、少ない埋め込み成長回数で形成することが可能である。一方、上部ピラー層SJ2は、下部ピラー層SJ1があるため、例えば従来と同様のアスペクト比に形成されたとしても、従来よりも高い耐圧のMOSFETを得ることができる。
また、本実施の形態の構造では、簡単な製造工程により高い耐圧を得ることができるだけでなく、従来の構造と比べてオン抵抗も同程度かそれ以下とすることができる。一例として、従来の600V耐圧のスーパージャンクション構造の縦型MOSFETのオン抵抗が20mΩcm2であるとする。このとき、この従来の構造において900V耐圧を得ようしてスーパージャンクション構造の厚さを1.5倍に大きくすると、オン抵抗は55mΩcm2となる。オン抵抗は耐圧の2.5乗に比例するからである。
一方、本実施の形態の構造のように横方向周期の大きい下部ピラー層を追加する場合、オン抵抗は最小で39mΩcm2程度、最大でも従来構造と同程度の58mΩcm2程度であると見積もられる。本実施の形態の構造の場合、素子全体の耐圧が、上部ピラー層SJ2の耐圧と下部ピラー層SJ1の耐圧の和により決定される。オン抵抗についても同様に、上部ピラー層SJ2のオン抵抗と下部ピラー層SJ1のオン抵抗の和により素子全体のオン抵抗が決定される。
上部ピラー層SJ2が耐圧600V、オン抵抗20mΩcm2であり、下部ピラー層SJ1に耐圧300Vを持たせて素子全体として900V耐圧を得ようとする場合、下部ピラー層SJ1の厚さは20μm程度となる。上記の製造工程のように、エピタキシャル層の成長と不純物のイオン注入工程を1回だけ繰り返して下部ピラー層SJ1を形成する場合、アスペクト比は1〜2であり、このため、下部ピラー層SJ1の横方向周期は20〜40μmとなる。この場合に下部ピラー層SJ1のオン抵抗は、19〜38mΩcm2となる。従って、素子全体のオン抵抗は、上部ピラー層SJ2のオン抵抗(20mΩcm2)と下部ピラー層SJ1のオン抵抗(19〜38mΩcm2)の和の39〜58mΩcm2程度となる。
このように、1回のエピタキシャル成長と不純物のイオン注入工程を繰り返すだけの下部ピラー層SJ1を上部ピラー層SJ2の下部に積み重ねるだけで、従来と同程度又はそれより低いオン抵抗を実現することが可能である。下部ピラー層SJ1のアスペクト比が1.04よりも大きいと、従来の構造に比べオン抵抗を小さくすることができる。
この実施の形態のMOSFETの別の製造工程を、図9〜図16を参照して説明する。まず、図9及び図10に示すように、n+型ドレイン層12上に成長させたn型層14’上にフォトリソグラフィ法によりレジストM2を形成する。そしてこのレジストM2をマスクとしてn型層14’にボロン(B)をイオン注入する。レジストM2の形成間隔は、下部ピラー層SJ1の横方向周期Aと等しくされている。続いてレジストM2を剥離させた後、図11に示すように、レジストM2が形成されなかった領域にレジストM3を形成する。このレジストM3をマスクとして、リン(P)をn型層14’にイオン注入する。これにより、先に注入されたボロンの間にリンが注入される。
このイオン注入の後、図12に示すようにn型層14’を所定の厚さだけ堆積させた後、この上に上部n型ピラー層16となるn型層16’を形成する。その後、n型層14’に対し例えば1150℃×10時間程度の熱処理を行って、図13に示すように、n型層14’に注入されたボロン及びリンを拡散させて、下部p型ピラー層13及び下部n型ピラー層14を形成する。これにより、下部p型ピラー層13と下部n型ピラー層14とが横方向に交互に形成されてなる下部ピラー層SJ1が形成される。
その後、図14〜図16に示すように、図6〜図8に示す工程と同様に、トレンチ15’の形成、トレンチ15’へのp型半導体層の埋め込み成長及びCMP法により上部ピラー層SJ2を形成し、周知のMOSトランジスタ製造工程を実行して、図1に示すようなMOSFETが完成する。
なお、図2〜図8の製造工程、図9〜図16の製造工程共に、下部ピラー層SJ1はイオン注入とエピタキシャル成長を1回繰り返す工程により製造するものとして説明したが、これを複数回繰り返す工程も実施可能である。また、上部ピラー層SJ2を、イオン注入とエピタキシャル成長を複数回繰り返すプロセスで形成することも可能である。上下のピラー層SJ1とSJ2の両方をエピタキシャル成長工程と不純物イオン注入工程を繰り返して形成する場合、上部ピラー層SJ2の横方向周期が下部ピラー層SJ1の横方向周期より狭いことは、素子を形成する上で有効である。すなわち、下部ピラー層SJ1は、横方向周期が長いため、熱工程による不純物の拡散に時間がかかる。一方、上部ピラー層SJ2は、横方向周期が短い分、熱工程による不純物の拡散はより短時間で良い。従って、拡散時間の長い下部ピラー層SJ1の熱工程を行った後、エピタキシャル成長と不純物イオン注入工程を繰り返し、短時間の熱工程により上部ピラー層SJ2を形成することができる。
(第2の実施形態) 図17は本発明の第2の実施の形態に係わるパワーMOSFETの構成を模式的に示す断面図である。図1と同一部分の詳しい説明は省略し、ここでは異なる部分についてのみ説明する。
図17に示す構造は、上部と下部のピラー層SJ1、SJ2をストライプ状に形成している点で第1の実施の形態の構造と同一である。しかし、そのストライプ形状の延在方向が直交するようにピラー層SJ1、SJ2が配置されている点で、第1の実施の形態と異なっている。この第2の実施の形態の構造の場合、上下のピラー層SJ1、SJ2の位置合わせズレが生じた場合でも、オン抵抗の増加を抑制することができる。すなわち、第1の実施の形態のように、上部と下部のピラー層SJ1、SJ2をストライプ状に形成し、且つその延在方向を同一とした場合でも、両者の位置合わせが正確である場合、問題はない。ただし、両者の間で位置ズレが生じ、下部p型ピラー層13が、上部p型ピラー層15のいずれかに接続されない状態が起きると、電流経路が遮断され、この分だけオン抵抗が増加してしまう。これに対して、この第2の実施の形態に示すように、上下のピラー層SJ1、SJ2の延在方向が直交したものであると、位置合わせズレが生じた場合でも上記のような電流経路の遮断等が生じることはなく、オン抵抗の増加を抑制することができる。
(第3の実施形態) 図18は本発明の第3の実施の形態に係わるパワーMOSFETの構造を模式的に示す断面図である。図1と同一部分の詳しい説明は省略し、ここでは異なる部分についてのみ説明する。
図18に示す構造では、上部ピラー層SJ2は上記の実施の形態と同様のストライプ形状に形成されている。これに対し、下部ピラー層SJ1では、下部p型ピラー層13が、下部n型ピラー層14となるn型層に格子状に埋め込まれて形成されている。これにより、下部p型ピラー層13は、上部p型ピラー層15のいずれかに繋がる電流経路は遮断されず、オン抵抗の増加が抑制されるとともにプロセスの簡略化が可能となる。
p型ピラー層13の格子形成周期Aが上部ピラー層SJ2の横方向周期Bよりも大きくされているため、多少位置ズレが生じたとしても、下部p型ピラー層13は、いずれかの上部p型ピラー層15に接続される。そして、下部p型ピラー層13の一つ一つは独立で横方向に接続されていないため、素子形成領域端部まで空乏層が伸びることがない。このため、上部ピラー層SJ2を形成する際に、下部ピラー層SJ2との位置合わせが不要となり、製造工程がより一層簡便となる。
なお、下部p型ピラー層13を格子状に形成する代わりに千鳥状、すなわちある一列に並ぶ下部p型ピラー層13の隙間に、隣接する一列に並ぶ下部p型ピラー層13の各々が位置するような配列としてもよい。この場合、上部p型ピラー層15と下部p型ピラー層13が確実に接続されるように、下部p型ピラー層13の格子形成周期Aは、上部p型ピラー層15の横方向周期Bの整数倍であることが望ましい。
(第4の実施の形態) 次に、本発明の第4の実施の形態を、図19乃至図21を参照して説明する。図19はこの第4の実施の形態に係わるパワーMOSFETの構造を模式的に示す断面図である。また、図20及び図21は、それぞれ図19のA−A'、B−B'断面図である。図20に示すように、この実施の形態では、上部ピラー層SJ2も、上部n型ピラー層16を構成するn型層に形成したトレンチに、上部p型ピラー15を埋め込んで格子状に形成した点で、上記の実施の形態と異なっている。なお、図示は省略するが、p型ベース層17、ゲート電極20も、上部n型ピラー層16に沿って格子状に形成されている。この形態でも、下部p型ピラー層13の格子形成周期Aを、上部p型ピラー層15の格子形成周期Bよりも大きくされる。従って、下部p型ピラー層13は、上部p型ピラー層15のいずれかに接続されるので、オン抵抗の増加等の問題は生じない。
図22乃至図24は、この第4の実施の形態の変形例を示す。この例では、上部p型ピラー層15、及び下部p型ピラー層13が、格子状でなく千鳥状に配置されている。この場合にも、上部p型ピラー層15、及び下部p型ピラー層13の千鳥状格子の形成周期は、後者の方が前者よりも大きく形成されているものである。この場合も、上部p型ピラー層15と下部p型ピラー層13が確実に接続されるように下部p型ピラー層13の格子周期Aは、上部p型ピラー層15の格子周期Bの整数倍であることが望ましい。
以上、発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加等が可能である。例えば、上記の実施の形態では、第1の導電型をn型、第2の導電型をp型として説明をしたが、第1の導電型をp型、第2の導電型をn型としても実施可能である。
また、上記実施の形態ではゲート電極としてプレナーゲート構造を有する素子を用いた例を説明したが、トレンチゲート構造のゲート電極を採用することも可能である。また、上記の実施の形態において、p型ベース層及びn型ソース層、及びゲート電極は、ストライプ状、格子状、千鳥状いずれの形状に形成してもよく、特にストライプ状に形成する場合、スーパージャンクション構造と平行に形成しても、直交するように形成してもよい。
また半導体としてシリコン(Si)を用いたMOSFETを説明したが、半導体としては、例えばシリコンカーバイト(SiC)や窒化ガリウム(GaN)、等の化合物半導体やダイアモンドなどのワイドバンドギャップ半導体を用いることができる。
更にスーパージャンクション構造を有するMOSFETを例に挙げて説明したが、本発明の構造は、スーパージャンクション構造を有する素子であれば、SBDやMOSFETとSBDとの混載素子、SIT、IGBTなどの素子でも適用可能である。
11・・・ドレイン電極、 12・・・n+型ドレイン層、 SJ1・・・下部ピラー層、 SJ2・・・上部ピラー層、 13・・・下部p型ピラー層、 14・・・下部n型ピラー層、15・・・上部p型ピラー層、 16・・・上部n型ピラー層、 17・・・p型ベース層、 18・・・n型ソース層、 19・・・ゲート絶縁膜、 20・・・ゲート電極、 21・・・ソース電極。
Claims (5)
- 第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層上に第1導電型の第1半導体ピラー層と第2導電型の第2半導体ピラー層とを第1の周期で横方向に周期的に交互に配置してなる第1ピラー層と、
前記第1ピラー層上に第1導電型の第3半導体ピラー層と第2導電型の第4半導体ピラー層とを前記第1の周期よりも小さい第2の周期で横方向に周期的に交互に配置すると共に前記第1半導体ピラー層に前記第3半導体ピラー層が接続されるように配置してなる第2ピラー層と、
前記第1半導体層に電気的に接続された第1の主電極と、
前記第4半導体ピラー層の表面に選択的に形成された第2導電型の半導体ベース層と、
前記半導体ベース層の表面に選択的に形成された第1導電型の半導体拡散層と、
前記半導体ベース層と半導体拡散層に接合するように形成された第2の主電極と、
前記半導体ベース層、前記半導体拡散層、及び前記第3半導体ピラー層に絶縁膜を介して隣接するように形成された制御電極と
を備えたことを特徴とする半導体素子。 - 複数の前記第2半導体ピラー層の各々は、複数の前記第4半導体ピラー層のいずれかに接続されていることを特徴とする請求項1記載の半導体素子。
- 前記第1ピラー層は、前記第2ピラー層よりも厚さが小さいことを特徴とする請求項2記載の半導体素子。
- 前記第1乃至第4半導体ピラー層は同一方向を長手方向とするストライプ形状に形成されていることを特徴とする請求項2又は3記載の半導体素子。
- 前記第1半導体ピラー層と前記第2半導体ピラー層とが第1の方向を長手方向とするストライプ形状に形成され、
前記第3半導体ピラー層と前記第4半導体ピラー層とが前記第1の方向と交差する第2の方向を長手方向とするストライプ形状に形成されたことを特徴とする請求項2又は3記載の半導体素子。
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