JP2007035719A - ホウ素拡散用塗布液 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)ホウ素化合物、(B)水溶性高分子化合物、(C)水を含み、20℃での粘度が500〜100000mPa・sであることを特徴とするホウ素拡散用塗布液。
【選択図】なし
Description
<ホウ素拡散用塗布液の作製>
実施例1
超純水320gにPVA(平均重合度:500、ケン化度:88モル%)85gを溶解させ、溶液Aを作製した。
実施例1において、PVAの平均重合度を800、ケン化度を71モル%とし、使用量を70gとした以外は実施例1と同様にしてホウ素拡散用塗布液を作製した。
実施例1において、PVAの平均重合度を1400、ケン化度を78モル%とし、使用量を50gとした以外は実施例1と同様にしてホウ素拡散用塗布液を作製した。
実施例1において、PVAの平均重合度を500、ケン化度を71モル%とし、使用量を70gとし、ホウ酸を30gとした以外は実施例1と同様にしてホウ素拡散用塗布液を作製した。
超純水320gにPVA(平均重合度:100、ケン化度:88モル%)85gを溶解させ、溶液Cを作製した。
超純水73.7gにPVA(重量平均分子量:300、ケン化度:88モル%)9.3gを溶解させ、溶液Eを作製した。
ブルックフィールド社製のB型粘度計、ローター:No.5を用い、50rpmの回転速度で23℃の条件下にて、ホウ素拡散用塗布液の粘度を測定した。表1に実施例1〜5 および比較例1、2のホウ素拡散用塗布液の粘度を示す。
<シリコン半導体ウェーハへの塗布、拡散>
13インチサイズのガラス上に仮止めした10〜20Ω・cmの比抵抗値を有するP型シリコンウェーハ(厚み:200μm、大きさ:4インチ)上にスクリーン印刷機およびポリエステル製#380メッシュを使用して実施例1〜5のホウ素拡散用塗布液を用い、塗膜厚さが1.0〜1.5μmになるようにスクリーン印刷を行った。
Claims (6)
- (A)ホウ素化合物、(B)水溶性高分子化合物、(C)水を含み、20℃での粘度が500〜100000mPa・sであることを特徴とするホウ素拡散用塗布液。
- ホウ素化合物(A)が、ホウ酸、無水ホウ酸、四ホウ酸アンモニウム水和物、アルキルホウ酸エステルおよび塩化ホウ素からなる群から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1記載のホウ素拡散用塗布液。
- 水溶性高分子化合物(B)が、ポリビニルアルコールであることを特徴とする請求項1または2記載のホウ素拡散用塗布液。
- さらに、沸点が100℃以上の水混和性有機溶剤(D)を含有することを特徴とする請求項1、2、または3記載のホウ素拡散用塗布液。
- 水混和性有機溶剤(D)が、ジエチレングリコール誘導体であることを特徴とする請求項4記載のホウ素拡散用塗布液。
- さらに、界面活性剤(E)を含有することを特徴とする請求項1、2、3、4または5記載のホウ素拡散用塗布液。
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