JP2010056465A - 拡散用ボロンペースト及びそれを用いた太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板に拡散層を形成するためにスクリーン印刷により前記基板上に塗布される拡散用ボロンペーストであって、該拡散用ボロンペーストは少なくとも、前記拡散層のドーパントとなるホウ素を含有するドープ剤と、有機バインダー及び固形分を含有するチクソ剤と、有機溶剤を含むものであり、前記ドープ剤は、ホウ素化合物であることを特徴とする拡散用ボロンペースト。
【選択図】図2
Description
このような必要最小限の工程数といくつかの有用な効果により、民生用太陽電池は以前より低コスト化が図られている。
また、連続印刷により印刷回数を重ねるとペースト中の水分が減少し、ペーストの粘度が増加して、これによりスクリーンメッシュが目詰まりしてしまう。この目詰まりして印刷不能となった製版から、増粘した水溶性のペーストを頻繁にクリーンアップする必要があり、その際に使用する洗浄液等の廃液が環境へ与える負荷が増大する。そのため、水溶性のペーストは、スクリーン印刷の連続印刷に長時間使用することには不向きであった。
このように、ホウ素化合物が、ホウ酸、無水ホウ酸、アルキルホウ酸エステル、塩化ホウ素、ホウ酸メラミン、ホウ酸アンモニウムのうち少なくとも1つを含有するものであることにより、ドープ剤としてp型ドーパントのホウ素を含有するものとすることができる。
そのため、ホウ素を含有する拡散用ボロンペーストとすることができ、基板上に拡散用ボロンペーストを塗布することで基板表面にp型拡散層を形成することができる。
また、ホウ酸、無水ホウ酸、アルキルホウ酸エステル、塩化ホウ素、ホウ酸メラミン、ホウ酸アンモニウムは、市販品を用いることができるため、安価で簡単に入手することができる。
このように、チクソ剤の固形分が粒径の異なる2種類以上のシリカの混合物であることにより、拡散用ボロンペーストをスクリーン印刷した後にベークした際、ボロンガラス前駆体となる固形分の充填率が増大し、膜厚なボロンガラス前駆体の形状を維持することができる。
このように、有機バインダーがポリ酢酸ビニルであることにより、スクリーン開口部からの抜け性が良好で、印刷パターンの滲みを抑制することができ、レベリング性のよいペーストとすることができる。
このように、有機溶剤にその沸点が100℃以上の高沸点溶剤を使用するものであることにより、通常の印刷環境での溶剤の揮発による組成変化がなく、安定した印刷が可能なペーストとすることができる。
このように、上記拡散用ボロンペーストを使用して太陽電池を製造することにより、スクリーン印刷における連続印刷の回数を従来よりも増やすことができるため、生産性および歩留まり良く太陽電池を製造することができる。そのため、製造コストを大幅に削減することができる。
また、本発明の拡散用ボロンペーストを使用して太陽電池を製造することにより、連続印刷に用いる製版の使用回数を増やすことができるため、生産性および歩留まり良く太陽電池を製造でき、その製造コストを大幅に削減することができる。
まず、本発明の有機性の拡散用ボロンペーストの実施形態について説明する。
本発明の拡散用ボロンペーストは、半導体基板にp型拡散層を形成するためにスクリーン印刷により前記基板上に塗布される拡散用ボロンペーストであって、少なくとも、拡散層のドーパントとなるホウ素を含有するドープ剤と、有機バインダー及び固形分を含有するチクソ剤と、有機溶剤を含むものである。
そして、本発明では、ホウ素を含有するドープ剤は、ホウ素化合物である。
さらに、連続印刷が可能なため、スクリーン製版の洗浄の回数が減り、デバイス製造における生産性および歩留まりの向上、及びコスト削減につながる。
そして、ドープ剤がp型ドーパントとなるホウ素を含有するホウ素化合物であることにより、スクリーン印刷で基板上に拡散用ボロンペーストを塗布することで、簡便かつ容易な方法で基板表面にp型拡散層を形成することができる。
このことより、ドープ剤としてp型ドーパントのホウ素を含有するものとすることができるため、ホウ素を含有する拡散用ボロンペーストとすることができる。そのため、基板上に拡散用ボロンペーストを塗布することで基板表面にp型拡散層を形成することができる。
また、ホウ素化合物は、市販品を用いることができるため、安価で簡単に入手することができる。
このような範囲が望ましい理由は、ホウ素の濃度が0.5%以上であれば、十分にホウ素が拡散するため、金属電極とのオーミックコンタクトを取ることができ、直列抵抗が増加して変換効率が低下することがない。また、ホウ素の濃度が10%以下であれば、p型拡散層と金属電極とのオーミックコンタクトが十分に取ることができ、アウトディフージョンおよびオートドープによって電極下部以外のp型拡散層のシート抵抗を下げることがなく、短絡電流の低下と共に変換効率を低下することがないためである。
さらに、粒子状シリカは、乾式シリカと湿式シリカのどちらでも使用することができ、また、ホウ素化合物や有機バインダーとの相溶性・付着性を高めるために表面をシラン類やシリコーン類で疎水化処理されたものを用いても良い。例えば、比表面積が200〜400m2/gの粒径が小さい疎水化処理された球状ゾルゲル法シリカと比表面積が100m2/gの粒径の大きな沈降シリカの重量比1対1の混合物を使用することができる。
これらは親水性シリカであるため、そのまま用いられる場合もあり、また、その表面を有機シリル基を有する化合物で表面処理した疎水性シリカとして用いても良い。
具体的には、日本アエロジル社製「アエロジル」(アエロジルは登録商標)、東ソー・シリカ社製「ニプシル」、「ニプジェル」、富士シリシア化学社製「サイリシア」(サイリシアは登録商標)が挙げられる。
そして、BET法による比表面積が100m2/g以上、150〜500m2/gのものがよく用いられる。
これにより、熱処理工程において、ボロン成分とシリカとの焼結を促進することができ、ボロンのアウトディフュージョンを防止することができる。
有機バインダーの具体例としては、皮膜性(皮膜性とは、化合物を溶媒に溶解した後、乾燥させた時に、均一な膜を形成する性質を指す)を有する線状有機ポリマーが挙げられる。
このような線状有機ポリマーの例としては、アクリル樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリウレア樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、メタクリル樹脂、ポリスチレン系樹脂、ノボラック型フェノール系樹脂、ポリエステル樹脂、合成ゴム、天然ゴムが挙げられる。
また、有機バインダーがポリ酢酸ビニルである場合、全ペーストの重量に対して5〜30%含有することが望ましい。これにより、スクリーン開口部からの抜け性が良好であり、印刷パターンの滲みを抑制でき、レベリング性の良好なペーストが得られる。
特に、好適な有機溶剤の具体例を挙げるなら、高沸点溶剤としてTPM(Isobutylic Acid 3−Hydroxy−2,2,4−trimethylpentyl Ester)を用いることができる。
しかしながら、高沸点溶剤として使用可能な化合物はこれに限定されない。
脂肪族炭化水素系溶剤としては、例えば、出光興産製「IPソルベント」、シェル化学社製「Shellsol D40」(Shellsolは登録商標)、「Shellsol D70」、「Shellsol 70」、「Shellsol 71」、Exxon社製「Isopar G」、「Isopar H」、「Isopar L」、「Isopar M」、「Exxol D40」、「Exxol D80」、「Exxol D100」、「Exxol D130」(沸点:279〜316℃)、「Exxol D140」(沸点:280〜320℃)、「Exxol DCS100/140」、等が挙げられる。
図1は製造する太陽電池の概略図であり、図2は本発明に係る有機性の拡散用ボロンペーストを用いた太陽電池の製造方法のフロー図である。
太陽電池は通常、表面に凹凸形状を形成するのが好ましい。その理由は、可視光域の反射率を低減させるために、できる限り2回以上の反射を受光面で行わせる必要があるためである。これら一つ一つの山のサイズは1〜20μm程度でよい。代表的な表面凹凸構造としてはV溝、U溝が挙げられる。これらは,研削機を利用して、形成可能である。また、ランダムな凹凸構造を作るには、水酸化ナトリウムにイソプロピルアルコールを加えた水溶液に浸してウェットエッチングしたり、他には、酸エッチングやリアクティブ・イオン・エッチング等を用いることが可能である。なお、図1では両面に形成したテクスチャ構造は微細なため省略している。
そして、プラズマエッチャーを用い,接合分離を行う。この接合分離では、プラズマやラジカルが受光面や裏面に侵入しないよう,サンプルをスタックし,その状態で,端面を数ミクロン削る。
次に、スクリーン印刷装置を用い、裏面に銀を主成分としたペーストを塗布し、乾燥させる。さらに表面側もスクリーン印刷装置を用い、櫛形電極パターン印刷版を用いて銀電極を印刷し、乾燥させる。その後、所定の熱プロファイルにより焼成を行い、裏面電極5および表面櫛形電極6を形成する。これら電極形成は真空蒸着法、スパッタリング法等、上記印刷法だけによらなくとも可能である。
これにより、図1に示すような太陽電池を簡単な手法で製造することができる。
このように連続的に印刷するために使用されるスクリーン製版は、使用回数を重ねれば重ねるほど、メッシュ開口部の目詰まりが多くなるが、本発明の上記拡散用ボロンペーストを使用すれば、粘度が湿度による周囲の環境に影響を受けずに所望の粘度に制御され、連続印刷の安定性に優れた有機性の拡散用ボロンペーストであるため、1枚のスクリーン製版での連続印刷の回数を大幅に改善することができる。
(実施例1)
まず、以下の材料を配合して有機性の拡散用ボロンペーストを作製した。
<拡散用ボロンペーストの作製>
○ドープ剤
ホウ酸メラミン:90g
○チクソ剤(有機バインダー)
ポリ酢酸ビニル(重合度500):80g
○チクソ剤(固形分)
疎水化処理された球状ゾルゲル法シリカ(比表面積200〜400m2/g):40g
沈降シリカ(比表面積100m2/g):40g
○有機溶剤
TPM(Isobutylic Acid 3−Hydroxy−2,2,4−trimethylpentyl Ester)(沸点244℃):320g
上記のとおり配合した本発明の有機性の拡散用ボロンペーストを使用して、上記太陽電池の製造方法の実施形態で説明した方法で太陽電池を製造した。
まず、結晶面方位(100)、15cm角200μm厚、アズスライス比抵抗2Ω・cmリンドープn型単結晶シリコン基板を用意して、40質量%水酸化ナトリウム水溶液に浸し、ダメージ層をエッチングで取り除き、その後、3質量%水酸化ナトリウムにイソプロピルアルコールを加えた水溶液に浸し、ウェットエッチングすることにより、ランダムテクスチャを形成した。
まず、以下の材料を配合して水溶性の拡散用ボロンペーストを作製した。
<拡散用ボロンペーストの作製>
ホウ酸:60g
ポリビニルアルコール:100g
水:20g
<太陽電池の製造>
上記実施例1の太陽電池の製造方法において、上記のとおり配合した水溶性の拡散用ボロンペーストを使用して製造した太陽電池についても実施例1と同様の評価を行った。
このとき、水溶性の拡散用ボロンペーストを印刷の際は、印刷機内の雰囲気を印刷機付属の加湿温調機を用いて、25℃、65%に保持して印刷を行った。
上記実施例1の太陽電池の製造方法において、実施例1で作製した有機性の拡散用ボロンペーストを連続印刷に使用した。そして、連続印刷回数が30000回となった拡散用ボロンペーストを使用して製造した太陽電池についても実施例1と同様の評価を行った。
上記実施例1の太陽電池の製造方法において、比較例1で作製した水溶性の拡散用ボロンペーストを連続印刷に使用した。そして、連続印刷回数が1000回となった拡散用ボロンペーストを使用して製造した太陽電池についても実施例1と同様の評価を行った。
比較例2は、表1に示した実施例1と比較して、シート抵抗値が大きく上昇しており、フィルファクタが低下していた。これは、ペーストの増粘による印刷擦れに起因しており、金属電極とのオーミックコンタクトが上昇した結果であると考えられる。
4…n型拡散層、 5…裏面電極、 6…表面櫛形電極。
Claims (6)
- 基板に拡散層を形成するためにスクリーン印刷により前記基板上に塗布される拡散用ボロンペーストであって、該拡散用ボロンペーストは少なくとも、
前記拡散層のドーパントとなるホウ素を含有するドープ剤と、
有機バインダー及び固形分を含有するチクソ剤と、
有機溶剤を含むものであり、
前記ドープ剤は、ホウ素化合物であることを特徴とする拡散用ボロンペースト。 - 前記ホウ素化合物は、ホウ酸、無水ホウ酸、アルキルホウ酸エステル、塩化ホウ素、ホウ酸メラミン、ホウ酸アンモニウムのうち少なくとも1つを含有するものであることを特徴とする請求項1に記載の拡散用ボロンペースト。
- 前記チクソ剤の固形分は、粒子状シリカであり、粒径の異なる2種類以上のシリカの混合物であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の拡散用ボロンペースト。
- 前記有機バインダーは、ポリ酢酸ビニルであることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の拡散用ボロンペースト。
- 前記有機溶剤は、沸点が100℃以上の高沸点溶剤であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の拡散用ボロンペースト。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の拡散用ボロンペーストを用いて、スクリーン印刷により前記拡散用ボロンペーストを基板に塗布し、該基板に熱処理を施して拡散層を形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。
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