CN111261729B - 一种掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法 - Google Patents

一种掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111261729B
CN111261729B CN201911406068.9A CN201911406068A CN111261729B CN 111261729 B CN111261729 B CN 111261729B CN 201911406068 A CN201911406068 A CN 201911406068A CN 111261729 B CN111261729 B CN 111261729B
Authority
CN
China
Prior art keywords
silicon
doping
slurry
particles
particle size
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201911406068.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111261729A (zh
Inventor
龚健花
杨建平
秦贤松
闫方存
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Kuangyu Technology Co ltd
Original Assignee
Shanghai Kuangyu Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Kuangyu Technology Co ltd filed Critical Shanghai Kuangyu Technology Co ltd
Priority to CN201911406068.9A priority Critical patent/CN111261729B/zh
Publication of CN111261729A publication Critical patent/CN111261729A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111261729B publication Critical patent/CN111261729B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0216Coatings
    • H01L31/02161Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/02167Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/0248Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
    • H01L31/0256Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
    • H01L31/0264Inorganic materials
    • H01L31/028Inorganic materials including, apart from doping material or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/1804Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof comprising only elements of Group IV of the Periodic Table
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

本发明公开了一种掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法。其中掺杂方法,包括如下步骤:S31配置掺杂用硅浆料的步骤;S32对硅片基底进行预处理的步骤;S33通过丝网印刷技术将所述掺杂用硅浆料涂覆在硅片表面的步骤;S34对完成掺杂用硅浆料涂覆的硅片进行热处理的步骤;S35对掺杂处理完成后的硅片进行性能测试的步骤。本发明所提供的掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法浆料均匀性和印刷性能佳,有效提高硅片的导电率。

Description

一种掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法
技术领域
本发明涉及太阳能电池光伏技术领域,尤其涉及一种掺杂硅片及硅片掺杂方法。
背景技术
目前,随着环境的不断恶化和能源日益紧缺,加强环境保护和开发清洁能源已成为世界各国高度关注的问题。作为一种重要的光电能量转换器件,太阳能电池的研究受到了人们的热切关注。近年随着太阳能电池新技术、新工艺和新结构的开发和利用,使太阳电池行业得到了迅猛发展。针对多晶硅太阳电池产业来说,降低太阳能电池成本和提高太阳能电池转换效率已成为行业发展和竞争的两个主要目标。从技术角度改进和优化现有工艺成为了提高太阳能电池转换效率的首要任务。现有技术中的硅片,不但电阻率较高,导电性能较差,硅片的制造成本也较高。
发明内容
本发明的目的是提供一种掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法。
本发明所提供的掺杂用硅浆料,按照重量百分比包括以下组分:硅颗粒70-80%,玻璃粉1-7.5%,MnO2粉末1-3%,有机粘接剂6.85-17%,掺杂物颗粒1-3%,以上各组分的重量百分比总和为100%。
本发明所提供的掺杂用硅浆料的制备方法,包括如下步骤:S21将硅颗粒与有机溶剂混合,机械搅拌分散均匀,得到第一混合液;S22将所述第一混合液通过分散设备进一步分散,得到二氧化硅的第一预制浆料;S23将所述二氧化硅的预制浆料中加入掺杂物粉末、玻璃粉、MnO2粉末,机械搅拌分散均匀,得到二氧化硅的第二预制浆料;S24在所述第二预制浆料中加入玻璃粉,机械搅拌分散均匀,获得掺杂用硅浆料;S25将S24中获得的掺杂用硅浆料静置20分钟,以排出浆料中的气泡。
本发明所提供的硅片的掺杂方法,包括如下步骤:S31配置掺杂用硅浆料的步骤;S32对硅片基底进行预处理的步骤;S33通过丝网印刷技术将所述掺杂用硅浆料涂覆在硅片表面的步骤;S34对完成掺杂用硅浆料涂覆的硅片进行热处理的步骤;S35对掺杂处理完成后的硅片进行性能测试的步骤。
本发明所提供的掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法浆料均匀性和印刷性能佳,有效提高硅片的导电率。
附图说明
图1为本发明实施例二所述的掺杂用硅浆料的制备方法步骤示意图;
图2为本发明实施例三所述的硅片的掺杂方法步骤示意图;
图3为本发明实施例三所述的硅片的掺杂方法中对硅片基底进行预处理的步骤示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例一
本实施例提供一种掺杂用硅浆料,其特征在于,按照重量百分比包括以下组分:硅颗粒70-80%,玻璃粉1-7.5%,MnO2粉末1-3%,有机粘接剂6.85-17%,掺杂物颗粒1-3%,以上各组分的重量百分比总和为100%。
所述掺杂物颗粒为磷颗粒或硼颗粒。
所述硅颗粒的粒径为12-500纳米。
所述磷颗粒包括第一粒径磷颗粒及第二粒径磷颗粒;所述第一粒径磷颗粒的粒径为20-250微米;所述第二粒径磷颗粒的粒径为3-650纳米。
所述硼颗粒包括第一粒径硼颗粒及第二粒径硼颗粒;所述第一粒径硼颗粒的粒径为65-530微米;所述第二粒径硼颗粒的粒径为60-700纳米。
所述有机粘结剂按重量百分比包括以下组分:
乙基纤维素0.05-8%,有机溶剂10-48%,有机成膜助剂20-70%,有机添加剂10-15%,以上各组分的重量百分比总和为100%。
本实施例所提供的掺杂用硅浆料,用于对硅片进行掺杂处理,浆料粘度在35000-75000mPa.s之间,掺杂后可提高硅片的导电率,从而提高太阳能电池的转换效率。
实施例二
如图1所示,本实施例提供一种实施例一所述的掺杂用硅浆料的制备方法,包括如下步骤:
S21将硅颗粒与有机溶剂混合,机械搅拌分散均匀,得到第一混合液;
S22将所述第一混合液通过分散设备进一步分散,得到二氧化硅的第一预制浆料;
S23将所述二氧化硅的预制浆料中加入掺杂物粉末、玻璃粉、MnO2粉末,机械搅拌分散均匀,得到二氧化硅的第二预制浆料;
S24在所述第二预制浆料中加入玻璃粉,机械搅拌分散均匀,获得掺杂用硅浆料;
S25将S24中获得的掺杂用硅浆料静置20分钟,以排出浆料中的气泡,从而完成本实施例提供的掺杂用硅浆料的制备。
所述硅颗粒为利用等离子体在气相中制得的硅纳米颗粒。
将掺杂用硅浆料在常温下贮存1-30天。
所述有机溶剂为丙酮、丁酮、乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚、N,N-二甲基甲酰胺或醋酸乙烯酯中的任意一种或至少两种的混合物。
实施例三
如图2所示,本实施例提供一种硅片的掺杂方法,包括如下步骤:
S31配置掺杂用硅浆料的步骤;本领域技术人员可以理解,所述配置掺杂用硅浆料的步骤采用实施例二所述的制备方法;
S32对硅片基底进行预处理的步骤;
S33通过丝网印刷技术将所述掺杂用硅浆料涂覆在硅片表面的步骤;
S34对完成掺杂用硅浆料涂覆的硅片进行热处理的步骤;
S35对掺杂处理完成后的硅片进行性能测试的步骤。
如图3所示,所述S32对硅片基底进行预处理的步骤,包括:
S321依次在甲苯、丙酮、超纯水中超声清洗2分钟,再用超纯水清洗;
S322在Piranha溶液中80℃处理10min,用超纯水清洗;
S323将硅片在用重量百分比为49%的氢氟酸(HF)与重量百分比为40%的(NH4F)按照体积比为1∶7混合而成的溶液中腐蚀90s,其中超声腐蚀60S3,再用纯水清洗;
S324将用氨水(NH3·H2O)、过氧化氢(H2O2)和水(H2O)按照体积比为1∶1∶6进行混合的溶液加热至80摄氏度,将硅片放置在该溶液中处理15分钟,再用纯水清洗;
S325将用氯化氢(HCl)、过氧化氢(H2O2)和水(H2O)按照体积比为1∶1∶6进行混合的溶液加热至85摄氏度,将硅片放置在该溶液中处理10分钟,再用纯水清洗;
S326用高纯氮气将硅片吹干。
本领域技术人员可以理解,所述Piranha溶液为浓硫酸(H2SO4)和30%过氧化氢的混合溶液。本实施例所述的Piranha溶液为质量百分比为98%的硫酸和和质量百分比为30%的过氧化氢(H2O2)按照体积比为4:1混合而成。
所述S34对完成掺杂用硅浆料涂覆的硅片进行热处理的步骤,在氮气和氧气按照体积比为95:5混合的混合气体中进行。
所述S34对完成掺杂用硅浆料涂覆的硅片进行热处理的步骤,包括第一次热处理和第二次热处理步骤;所述第一次热处理步骤的问题为400摄氏度,处理时间为30分钟;所述第二次热处理步骤的问题为900摄氏度,处理时间为60分钟。
本领域技术人员可以理解,当磷硅原子比大于0.45,磷浓度在~6wt%以上时,或在硼硅原子比大于0.9,硼浓度在~2wt%以上时,掺杂硅浆料可实现方块电阻小于50欧姆的掺杂效果。在手工印制的条件粘度在40000-70000mPa.s之间的磷掺杂硅浆料和粘度在45000mPa.s左右的硼掺杂硅浆料具有最佳的印刷效果。本实施例所提供的掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法,浆料均匀性和印刷性能佳,有效提高硅片的导电率。
最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种掺杂用硅浆料,其特征在于,按照重量百分比包括以下组分:硅颗粒70-80%,玻璃粉1-7.5%,MnO2 粉末1-3%,有机粘接剂6.85-17%,掺杂物颗粒1-3%,以上各组分的重量百分比总和为100%;所述掺杂物颗粒为磷颗粒或硼颗粒;所述硅颗粒的粒径为12-500纳米;所述磷颗粒包括第一粒径磷颗粒及第二粒径磷颗粒;所述第一粒径磷颗粒的粒径为20-250微米;所述第二粒径磷颗粒的粒径为3-650纳米;所述硼颗粒包括第一粒径硼颗粒及第二粒径硼颗粒;所述第一粒径硼颗粒的粒径为65-530微米;所述第二粒径硼颗粒的粒径为60-700纳米。
2.如权利要求1所述的掺杂用硅浆料,其特征在于,所述有机粘结剂按重量百分比包括以下组分:乙基纤维素0.05-8%,有机溶剂10-48%,有机成膜助剂20-70%,有机添加剂10-15%,以上各组分的重量百分比总和为100%。
3.一种掺杂用硅浆料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
S21将硅颗粒与有机溶剂混合,机械搅拌分散均匀,得到第一混合液;
S22将所述第一混合液通过分散设备进一步分散,得到二氧化硅的第一预制浆料;
S23将所述二氧化硅的预制浆料中加入掺杂物粉末、玻璃粉、MnO2 粉末,机械搅拌分散均匀,得到二氧化硅的第二预制浆料;
S24在所述第二预制浆料中加入玻璃粉,机械搅拌分散均匀,获得掺杂用硅浆料;
S25将S24中获得的掺杂用硅浆料静置20分钟,以排出浆料中的气泡;
所述硅颗粒为利用等离子体在气相中制得的硅纳米颗粒;所述有机溶剂为丙酮、丁酮、乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚、N,N-二甲基甲酰胺或醋酸乙烯酯中的任意一种或至少两种的混合物。
4.一种硅片的掺杂方法,其特征在于,包括如下步骤:
S31配置掺杂用硅浆料的步骤;
S32对硅片基底进行预处理的步骤;
S33通过丝网印刷技术将所述掺杂用硅浆料涂覆在硅片表面的步骤;
S34对完成掺杂用硅浆料涂覆的硅片进行热处理的步骤;
S35对掺杂处理完成后的硅片进行性能测试的步骤;
所述S32对硅片基底进行预处理的步骤,包括:
S321依次在甲苯、丙酮、超纯水中超声清洗2分钟,再用超纯水清洗;
S322在Piranha溶液中80℃处理10min,用超纯水清洗;
S323将硅片在用重量百分比为49%的氢氟酸(HF)与重量百分比为40%的(NH4F )按照体积比为1∶7混合而成的溶液中腐蚀90s,其中超声腐蚀60s ,再用纯水清洗;
S324将用氨水(NH3 · H2O )、过氧化氢(H2O2 )和水(H2O )按照体积比为1∶1∶6进行混合的溶液加热至80摄氏度,将硅片放置在该溶液中处理15分钟,再用纯水清洗;
S325将用氯化氢(HCl)、过氧化氢(H2O2 )和水(H2O )按照体积比为1∶1∶6进行混合的溶液加热至85摄氏度,将硅片放置在该溶液中处理10分钟,再用纯水清洗;
S326用高纯氮气将硅片吹干。
5.如权利要求4所述的硅片的掺杂方法,其特征在于,所述S34对完成掺杂用硅浆料涂覆的硅片进行热处理的步骤,在氮气和氧气按照体积比为95:5混合的混合气体中进行。
6.如权利要求5所述的硅片的掺杂方法,其特征在于,所述S34对完成掺杂用硅浆料涂覆的硅片进行热处理的步骤,包括第一次热处理和第二次热处理步骤;所述第一次热处理步骤的温度 为400摄氏度,处理时间为30分钟;所述第二次热处理步骤的温度 为900摄氏度,处理时间为60分钟。
CN201911406068.9A 2019-12-31 2019-12-31 一种掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法 Active CN111261729B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911406068.9A CN111261729B (zh) 2019-12-31 2019-12-31 一种掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911406068.9A CN111261729B (zh) 2019-12-31 2019-12-31 一种掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111261729A CN111261729A (zh) 2020-06-09
CN111261729B true CN111261729B (zh) 2022-03-29

Family

ID=70948551

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911406068.9A Active CN111261729B (zh) 2019-12-31 2019-12-31 一种掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111261729B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114517094B (zh) * 2020-11-20 2023-08-22 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 一种丝网印刷电化学刻蚀用浆料及其制备方法和应用

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010056465A (ja) * 2008-08-29 2010-03-11 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 拡散用ボロンペースト及びそれを用いた太陽電池の製造方法
CN102592769A (zh) * 2012-03-05 2012-07-18 华东师范大学 一种镍纳米颗粒/硅纳米线磁性复合材料的制备方法
CN103280402A (zh) * 2013-05-23 2013-09-04 苏州金瑞晨科技有限公司 一种含高聚磷纳米硅浆料的制备方法及其应用
CN105161404A (zh) * 2011-01-13 2015-12-16 日立化成株式会社 p型扩散层形成用组合物、p型扩散层的制造方法和太阳能电池元件的制造方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110180137A1 (en) * 2010-01-25 2011-07-28 Hitachi Chemical Company, Ltd. Paste composition for electrode and photovoltaic cell
US9156740B2 (en) * 2011-05-03 2015-10-13 Innovalight, Inc. Ceramic boron-containing doping paste and methods therefor
CN102543253A (zh) * 2012-02-17 2012-07-04 杜国平 铝硅硼浆料及其制备方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010056465A (ja) * 2008-08-29 2010-03-11 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 拡散用ボロンペースト及びそれを用いた太陽電池の製造方法
CN105161404A (zh) * 2011-01-13 2015-12-16 日立化成株式会社 p型扩散层形成用组合物、p型扩散层的制造方法和太阳能电池元件的制造方法
CN102592769A (zh) * 2012-03-05 2012-07-18 华东师范大学 一种镍纳米颗粒/硅纳米线磁性复合材料的制备方法
CN103280402A (zh) * 2013-05-23 2013-09-04 苏州金瑞晨科技有限公司 一种含高聚磷纳米硅浆料的制备方法及其应用

Also Published As

Publication number Publication date
CN111261729A (zh) 2020-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102181935B (zh) 一种制作单晶硅绒面的方法及腐蚀液
CN101937946B (zh) 一种太阳电池硅片的表面织构方法
CN106098810B (zh) 一种晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法
CN107245760A (zh) 太阳能电池硅片的处理方法
CN110783464A (zh) 一种钙钛矿太阳能电池及其制备方法
CN108400297A (zh) 一种硅基锂离子电池负极材料及其制备方法
CN105745764A (zh) 用于太阳能电池和其他半导体装置的钝化的方法、设备和系统
CN111261729B (zh) 一种掺杂用硅浆料、制备方法及硅片的掺杂方法
CN101950763B (zh) 基于硅线阵列掺磷的芯壳型结构太阳能电池及其制备方法
CN111082136B (zh) 一种动力锂电池纤维膜固体电解质及制备方法
CN111653650A (zh) 一种TOPCon电池生产片清洗参数优化及制备方法
CN110518075B (zh) 一种黑硅钝化膜、其制备方法及应用
CN108666380B (zh) 一种具有类倒棱台绒面结构的金刚线切割多晶硅片及其制绒方法
CN101638247B (zh) 由纳米棒组成的二氧化锡纳米空心球的制备及其在锂电池中的应用
CN107093708A (zh) 一种全n型硅锂离子电池负极材料的制备方法
CN107482081B (zh) 太阳能电池片及其制备方法和太阳能电池
CN107579133B (zh) 一种背接触式黑硅电池及其制备方法
CN102716867B (zh) 一种用于太阳能电池的晶体硅片的清洗方法
CN110311043A (zh) 一种Sb-二氧化锡纳米前驱体、利用其作为电子传输层制备钙钛矿太阳能电池的方法
CN111040766B (zh) 多晶硅片制绒液、黑硅材料的制备方法及其在加速PERC电池LeTID恢复中的应用
CN102181937B (zh) 一种制作太阳能多晶硅绒面的腐蚀液的激活方法
CN104835879A (zh) 一种多晶硅太阳能电池片的制绒方法
CN106133916A (zh) 太阳能电池光接收表面的钝化
CN112133831B (zh) 一种基于二氧化锡传输层的光伏器件的制备方法和应用
CN114759147A (zh) 一种钙钛矿电池的制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant