JP2007033967A - 液晶装置の製造方法、液晶装置および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 対向する一対の基板の間に液晶層を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、前記一対の基板の対向する面側にITO電極11を形成する工程と、前記一対の基板の少なくとも一方の電極の表面にAl膜13を形成する工程と、Al膜13に対してイオンビームを照射することにより当該Al膜13に微細な異方的形状を付与する工程と、Al膜13について多孔質処理する工程とを含むことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
また、本発明は、安定なプレチルト角を有する液晶分子配向を簡便に実現することができる液晶装置の製造方法、液晶装置および電子機器を提供することを目的とする。
本発明によれば、前記イオンビームを照射する工程及び多孔質処理する工程により、安定なプレチルト角を有する液晶分子配向を簡便に実現することができる。例えば、電極に金属膜を形成する工程の後に、その金属膜の表面に対して斜め方向からイオンビームを照射する。すると、金属膜の表面に、イオンビームの照射方向に関連した微細な異方的形状が形成される。その後、陽極酸化法を用いて金属膜を陽極酸化することなどにより、異方的形状が形成された金属膜に、多数の微細孔を形成することができる。これらにより、金属膜は、例えば、液晶層の液晶分子について、所定のプレチルト角を持った垂直配向(又は水平配向)、すなわち傾斜配向にする配向制御膜となることができる。
したがって、本発明の製造方法によって製造された液晶装置によれば、この傾斜配向によって電圧印加時の液晶の動作方向を決定することができるので、リバースチルトドメイン(液晶分子の傾倒方向の異なる領域)などの配向欠陥をなくすことができ、高画質の液晶装置を実現することができる。また、本発明によれば、配向膜として無機膜を用いることができるため、従来の液晶装置で用いられているポリイミド有機膜よりも耐溶剤性、耐光性などの信頼性を高めることができる。さらに、本発明によれば、異方的形状及び徴細孔からなる液晶配向構造を実現することができ、すなわち微細な形状で液晶配向を実現でき、液晶配向を安定化することができる。このため、長寿命の液晶ディスプレイを実現することができる。さらに、本発明によれば、イオンビームの照射によって異方的形状を形成するので、配向能力が高く、配向安定性及び信頼性に優れた配向膜を容易に形成することのできる。
本発明によれば、例えば、イオンビームの照射角度を調整することにより、プレチルト角の大きさを簡便に調整することができる。
一般に、金属膜を陽極酸化した場合、その陽極酸化の条件を変えることによって緻密で欠陥のない膜から多孔質な膜まで様々な膜を形成することができる。例えば大きな電流で短時間陽極酸化を行った場合には、多数の微細孔がランダムに開孔した多孔質膜が形成され、逆に小さな電流で長時間陽極酸化を行った場合には、緻密で欠陥のない膜が形成される。また、その中間の条件をとった場合には、多数の微細孔が規則的に配列した2次元配列構造を有する多孔質膜が形成されるようになる。本方法は、陽極酸化法を用いて基板の表面に多孔質の陽極酸化膜を形成し、この陽極酸化膜の表面に形成された多数の微細孔によって液晶の配向を制御するようにしたものである。
本方法によれば、液晶が微細孔の内周面に沿って確実に配向されるため、高い配向能力を実現することができる。また、この配向膜は無機材料からなるため、ポリイミド等の有機配向膜に比べて耐光性や耐溶剤性に優れており、又、微細孔で液晶配向を実現している(即ち、形状配向膜の一種である)ので、安定した配向が得られる。さらに、陽極酸化法を用いることで製造装置を小型化でき、斜方蒸着のように影になる部分がないので配向ムラが生じることもない。また、陽極酸化法を用いた場合には、前記微細孔のピッチ,サイズ,形状,深さ等を陽極酸化の条件によって調節することができるため、最適化によって安定な配向状態を容易に実現することが可能である。
さらに、本発明によれば、陽極酸化膜の表面には、多数の微細孔のみならず、イオンビームの照射により異方的形状が形成される。そこで、本発明は、安定なプレチルト角を形成し、配向能力が高く、配向安定性及び信頼性に優れた配向膜を容易に形成することができる。
前記金属膜としては、この他にタングステン(Ta)、チタン(Ti)等のいわゆるバルブ金属と呼ばれるものやその合金を使用することができるが、この中でもアルミニウムは前記のような微細孔を形成しやすい。また、金属膜として、例えば、アルミニウムを使用した場合に形成されるポーラスアルミナの陽極酸化皮膜(配向膜)は無機膜であるため、従来技術の液晶装置で用いられているポリイミド有機膜よりも耐溶剤性、耐光性などの信頼性が優れた液晶装置を実現することができる。
本発明によれば、前記陽極酸化を良好に実行でき、高い配向能力をもつ微細孔を金属膜に形成することができる。
本発明によれば、アルゴンイオンビームによって、簡便に、金属膜の表面に異方的形状を付与することができる。また、本発明においては、液晶層を挟持する一対の基板の一方基板の電極は、透明電極に代えて、高反射率の金属電極であってもよい。このようにすると、反射型の液晶装置を製造することができる。
例えば、金属膜についての多孔質処理では、金属膜の表面に、垂直方向に孔軸をもった多数の微細孔が形成される。この微細孔により、液晶分子を垂直配向することはできるが所定のプレチルト角を持った垂直配向にすることは一般に困難である。そこで、本発明は金属膜の表面に、多数の微細孔のみならず異方的形状を形成することができるので、液晶層の液晶分子について所定のプレチルト角を持った垂直配向にする液晶装置を製造することができる。
本発明によれば、例えば、液晶層を挟持する一対の基板における一方の基板の電極には有機配向膜を形成し、他方の基板の電極には金属膜表面について異方的形状及び多孔質処理されてなる配向膜を形成することができる。そこで、本発明は、他方の基板の配向膜では、耐溶液性、耐光性などの信頼性を高めながら、液晶配向の安定性を高めることができ、長寿命の液晶装置を製造することができる。
本発明によれば、安定なプレチルト角を有する液晶分子配向構造を備えた液晶装置を低コストで提供することができる。また、本発明によれば、配向能力が高く、配向安定性及び信頼性に優れた配向膜を容易に形成することのできる液晶装置
を低コストで提供することができる。
本発明によれば、高画質な表示をすることができ、耐溶剤性、耐光性などの信頼性にも優れた電子機器を提供することができる。
図1は、本発明の第1実施形態に係る液晶装置の製造方法を説明するための模式断面図である。そして、図1は、本製造方法における異方的形状を付与する工程を示しており、液晶層を挟持する一対の基板における一方の基板(陽極酸化により配向膜を形成しようとする基板)の模式的断面図である。図1に示すように、ガラス等の基板10上に透明電極であるITO電極11を形成し、このITO電極11上にAl(アルミ)膜13を形成する。例えば、純度99.9%のアルミニウムをスパッタ法で2000[オングストローム]の厚みで形成する。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図5は、本発明の第2実施形態に係る液晶装置を示す模式断面図である。本実施形態の液晶装置2は、ITO電極11,21上に酸化シリコン(SiO2)膜14,24を介してイオンビームによる異方的形状付きアルミナ陽極酸化膜(配向膜)12,22を形成したガラス等の基板10,20で、液晶層を挟持した構成となっている。すなわち、本実施形態の液晶装置2における第1実施形態の液晶装置1との相違点は、ITO電極11,21と配向膜12,22との間に酸化シリコン膜14,24が形成されている点である。そして、本実施形態の液晶装置2においても第1実施形態と同様な方法で、異方的形状と微細孔を持つアルミナ陽極酸化皮膜として配向膜12,22を形成している。ただし、本実施形態では、陽極酸化における電解液として0.5M(mol/l)のシュウ酸(H2C2O4)水溶液を用いた。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。図7は、本発明の第3実施形態に係る液晶装置を示す模式断面図である。本実施形態の液晶装置3は、上側の基板20にはITO電極21上に垂直配向性のポリイミド有機膜25を形成し、下側の基板10にはAl反射電極15の表面にイオンビームによる微小な異方的形状を有する陽極酸化膜(配向膜)12を形成した基板を用いている。ここで、陽極酸化膜(配向膜)12の形成は、第1実施形態と同様な方法により、異方的形状と微細孔を持つアルミナ陽極酸化皮膜としている。
図9は、上記第1から第3実施形態の液晶装置1,2,3のいずれかを搭載した電子機器の一例を示す図である。図9(a)に示す携帯電話300は、上記実施形態の液晶装置1,2,3のいずれかを表示部301として備えて構成されている。図9(b)に示す腕時計310は、上記実施形態の液晶装置1,2,3のいずれかを表示部311として備えて構成されている。図9(c)に示すパーソナルコンピュータ320は、上記実施形態の液晶装置1,2,3のいずれかを表示部321として備えて構成されている。
Claims (10)
- 対向する一対の基板間に液晶層を挟持してなる液晶装置の製造方法であって、
前記一対の基板の対向する面側に電極を形成する工程と、
前記一対の基板の少なくとも一方の電極の表面に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜に対してイオンビームを照射することにより当該金属膜に異方的形状を付与する工程と、
前記金属膜について多孔質処理する工程とを含むことを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 前記イオンビームの照射は、前記金属膜の表面に対して該イオンビームが所定の角度をなすように斜めに照射することを特徴とする請求項1に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記多孔質処理は、電解液を用いて前記金属膜を陽極酸化することにより、前記基板の表面に、前記液晶を配向させるための複数の微細孔を有する陽極酸化膜を形成する処理であることを特徴とする請求項1又は2に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記金属膜は、アルミニウム、マグネシウム、又はこれらのいずれかの合金からなることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記電解液は、シュウ酸、リン酸、硫酸、クロム酸などの酸性の電解液からなることを特徴とする、請求項3又は4に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記電極は、透明電極であり、
前記イオンビームは、アルゴンイオンビームであることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の液晶装置の製造方法。 - 前記金属膜は、前記異方的形状の付与及び多孔質処理が施されることにより、前記液晶層の液晶分子について所定のプレチルト角を持った垂直配向にするものとなることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記一対の基板における一方の基板の電極の表面に、有機配向膜を形成する工程を備えたことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の液晶装置の製造方法。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載の製造方法を用いて製造されたものであることを特徴とする液晶装置。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載の製造方法を用いて製造された液晶装置を備えたことを特徴とする電子機器。
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