JP2006526264A - 有機電子デバイス - Google Patents

Abstract

本発明には、支持体と、
活性素子を備えかつ段を有する、支持体上の有機機能性領域と、
有機機能性領域上の活性ポリマーバリヤー層と、
この場合、この活性ポリマーバリヤー層は、湿分および酸化剤を結合することができ、有機機能性領域の段を平坦化することができ、
有機機能性領域および活性ポリマーバリヤー層を包囲するキャップとを有することを特徴とする、湿分または酸化剤に敏感である有機電子デバイスが開示されている。
このような有機電子デバイスは、薄膜被包で簡単に形成させることができ、キャップおよび活性ポリマーバリヤー層の増大されたバリヤー能力のために増大された寿命をも示す。

Description

数多くの有機電子デバイス、例えば有機発光デバイス（OLEDs）、プラスチック集積回路または有機放射線センサー、例えば有機フォトトランジスターは、しばし酸化剤および湿分に対して影響を受けやすい構成成分から構成されており、湿分または酸素に晒された場合には、デバイスの性能の劣化をまねく。

ＯＬＥＤデバイスは、例えば支持体上に位置した機能性スタックを有する。この機能性スタックは、２つの導電性層の間に少なくとも１つまたはそれ以上の有機機能層を有する。導電性層は、電極（カソードおよびアノード）として機能する。電圧が電極に印加された場合には、電荷キャリヤーは、前記の電極によって機能層中に注入され、電荷キャリヤーを再び組合せながら、可視光線は、放出されうる（エレクトロルミネセンス）。通常、塩基性金属、例えばカルシウムまたはマグネシウムを有する、機能性スタックの構成成分の大部分、例えば有機機能層およびカソード層は、湿分または酸化剤、例えば酸素に対して極めて敏感である。支持体上の有機機能性スタックは、通常、キャップによって包囲されており、この場合このキャップは、例えばガラスまたはセラミックからなることができる。

米国特許出願US２００３／００３８５９０Ａ１には、ＯＬＥＤデバイス構造体が記載されており、この場合活性ＯＬＥＤピクセルは、支持体上に配置されており、カバーによって包囲されている。第ＩＩＡ族の金属または第ＩＩＡ族の金属酸化物、例えばカルシウム、バリウム、酸化バリウムまたは酸化カルシウムから構成されている構造化されたゲッター層は、パーマネント（permanent）を吸収するために、包囲された領域内に位置している。この常用のデバイスの１つの主要な欠点は、しばしば上面の電極層であるカソード層がゲッター材料によって被覆されていないことにある。それ故に、カソード層は、ゲッター層が存在しているという事実にも拘わらず、なお湿分または酸素と簡単に反応してデバイスの内部に浸透しうる（例えば、図１参照）。

更に、薄膜被包の形のキャップは、有機電子デバイスのために電流の研究がなされている。有機電子デバイスは、しばしば異なる段を有する活性素子を備えた活性領域を有する。ＯＬＥＤｓは、例えば機能層の構造化のためおよび／またはカソード層の構造化のために、活性領域から突出している張出し断面を備えた棒材からなることができる（例えば、図２〜４参照）。前記の段は、高度に不規則な表面を生じ、この表面上では、薄膜の被包は、付着するのが困難である。

発明の概要
それ故に、活性有機領域中への湿分または酸化剤の拡散を阻止する確実な被包を備えた有機電子デバイスが必要とされる。更に、薄膜被包の形でのキャップが簡単に有機機能性領域の上面上に発生させることができるように有機機能性領域が形成される有機電子デバイスが必要とされる。

本発明は、基本の請求項１に記載の有機電子デバイスを備えさせることによって前記要件に適合する。更に、本発明の好ましい実施態様は、従属請求項の対象である。

基本の請求項に記載の本発明の主要な対象は、湿分または酸化剤に敏感であり、
支持体と、
活性素子を備えかつ段を有する、支持体上の有機機能性領域と、
有機機能性領域上の活性ポリマーバリヤー層と、
この場合、この活性ポリマーバリヤー層は、湿分および酸化剤を結合することができ、有機機能性領域の段を平坦化することができ、
有機機能性領域および活性ポリマー層を包囲するキャップとを有する有機電子デバイスである。

無機ゲッター材料を有する常用の有機電子デバイスとは異なり、本発明の有機電子デバイスは、活性的に結合することができ、それ故にパーマネント、例えば湿分および酸化剤を中和する、活性のポリマーバリヤー層を備えている。この結合は、例えばパーマネントの化学吸着または物理吸着によって行なうことができる。

活性のポリマーバリヤー層は、ポリマーの性質のために、常用の無機ゲッター材料よりもプロセスにとって著しく簡単であり、例えば有機電子デバイスの機能性スタックの上面上の電極上に液体またはペーストとして付着させることができ、通常、有機機能性領域中に存在する段を平坦化することができる。

前記段は、通常、機能性領域の異なる素子に帰因する。ＯＬＥＤデバイスの場合の機能性領域の素子は、例えばストライプカソードとＯＬＥＤデバイスの活性のピクセル領域を定義する中空を有する層とを分離するための張出し断面を備えた棒材であることができる。張出し断面および活性ピクセルを定義する中空を有する層を備えた棒材を有するＯＬＥＤデバイスは、本明細書中で参考のために挙げた、係属されているドイツ連邦共和国特許出願公開第１０１３３６８６号明細書Ａ１中に記載されている。

段、例えば棒材は、約３μｍの高さを有することができる。それ故に、段に隣接して測定された厚さが段の高さよりも厚い活性ポリマーバリヤー層を有する有機機能性層の段を被覆し、それ故に平坦化することが可能である。更に、活性ポリマーバリヤー層の平坦化は、薄膜被包を発生させるための平面を提供する。

活性ポリマーバリヤー層は、好ましくは分散されたシクロデキストリンを有するポリマーマトリックス、環状オレフィンコポリマー、無水物を有するポリマーマトリックスおよびこれらの混合物から選択されている。

シクロデキストリンは、一定の酵素、例えばシクロデキストリングルコーストランスフェラーゼの作用によって形成されたα−Ｄ−グルコースの環状オリゴマーである。シクロデキストリンは、６、７または８個のα−１，４−結合グルコースモノマーから構成されており、α−シクロデキストリン、β−シクロデキストリンまたはγ−シクロデキストリンとして公知である。シクロデキストリン分子は、互いに相対的に特殊な方法で配向されており、したがって連続的なチャンネルは、シクロデキストリンの結晶格子内で形成されている。このチャンネルは、特異的な体積の大きな中空の内部を有し、それ故に浸透物、例えばガス分子を結合することができる。更に、浸透物は、例えばグルコース部分での６番目の炭素の位置での第１ヒドロキシル基および前記分子の２番目および３番目の炭素の位置での第２ヒドロキシル基によってシクロデキストリン分子に供給結合されていてよい。また、前記ヒドロキシル基は、シクロデキストリンの可溶性、相容性および熱安定性を変えるために他の基によって代替されていてもよい。また、ヒドロキシル基の置換基は、シクロデキストリンの結合強さと潜在的な浸透物の結合強さとの間にある値に結合強さを調節するために使用されてもよい。それ故に、シクロデキストリンは、例えば湿分または酸化剤を永続的に中和することができる。好ましくは、シクロデキストリンは、ポリマーマトリックス、例えばポリプロピレン中に分散されている。

環状オレフィンコポリマーは、例えば押出によって配合される２つの成分を有することができる。１つの成分は、例えば酸化可能なポリマー、例えばポリ（エチレン／メチルアクリレート／シクロヘキセニル−メチルアクリレート）（EMCM）であることができる。第２の成分は、例えば光開始剤および触媒、例えば遷移金属触媒から構成されている。２つの成分は、ＵＶ照射への露光下に活性化されていてよい所謂酸素スカベンジング系を形成することができる。更に、前記ポリマーの環状オレフィン基は、開環反応または芳香化反応により、例えば酸素分子と化学的に反応させることができる。

別の実施態様において、活性ポリマーバリヤー層は、無水物を有するポリマーマトリックスであってもよい。無水物は、好ましくはそれぞれの有機酸から水を除去することによって形成させることができる炭酸無水物である。それ故に、前記無水物は、湿分、例えば水分子を極めて効果的に結合させることができる。酸無水物の好ましい例は、有機酸の酸無水物、例えば無水マレイン酸である。この酸無水物は、好ましくはポリマーマトリックス、例えばポリスチレンに共有結合されている。また、酸化剤または湿分の異なる型のために最適なバリヤー性能を保証するために、シクロデキストリンと環状オレフィンコポリマーと環状オレフィン無水物との混合物を使用することもできる。

また、液状の結晶性ポリマーを活性ポリマーバリヤー層として使用することも可能である。前記ポリマーは、液晶と同じ性質を示し、しばしば芳香族ジカルボン酸および芳香族ジアミンまたはフェノールを重縮合することによって合成される。

好ましくは、活性ポリマーバリヤー層は、湿分および酸化剤を化学的に結合させることができ、したがって永続的に結合させることができる。化学結合は、最適な吸収を保証し、湿分および酸化剤を中和する。

好ましくは、活性ポリマーバリヤー層の中程度の厚さは、約１〜１０μｍである。この厚さは、被覆に十分であり、それ故に機能性領域の異なる素子に帰因する有機機能性領域中での大部分の段を平坦化する。

本発明の有機電子デバイスの支持体は、ガラス、金属、ポリマーおよびセラミックから選択されている。ガラス支持体は、例えば所謂直下型（bottom-emitting）ＯＬＥＤデバイスに好ましく、有機機能性スタックによって発生される光は、支持体を通して放出される。

有機機能性スタックを包囲するキャップは、例えばポリマー、金属、セラミックおよびガラスまたはこれらの組合せ物のような材料を有することができる。このキャップは、活性ポリマーバリヤー層とセラミックバリヤー層のバリヤーアセンブリを有することもできる（例えば、図４参照）。

本発明の有機電子デバイスの別の好ましい実施態様において、キャップは、キャップと有機機能性領域との間にキャビティーを備えている。この場合には、活性ポリマーバリヤー層は、キャップが有機機能性領域と接触することを避けるのに十分な厚さを維持することができる。これは、活性ポリマーバリヤー層がキャップと有機機能性領域との間に位置し、それ故にキャップを引き戻すことができる１種の安全帯域を備え、それ故に有機機能性領域の任意の損傷を回避させることを意味する。有利に活性ポリマーバリヤー層は、本質的にキャビティーを充填する（例えば、図２参照）。これは、キャップ、例えば透明のガラスキャップが活性ポリマーバリヤー層上に取り付けられ、それ故に活性ポリマーバリヤー層によって支持されることを意味する。このような配置もよりいっそう安定したキャップを備えている。

このキャップは、セラミックバリヤー層を有することもでき、このセラミックバリヤー層は、有機機能性領域の段を平坦化する活性ポリマーバリヤー層上に位置している。このようなセラミックバリヤー層は、湿分および酸化剤が外側の環境から有機電子デバイスの内部に浸透することを物理的に回避することができる。この実施態様において、セラミックバリヤー層の欠陥を通して浸透する残留湿分および残留酸化剤は、吸収されることができ、下方に存在する活性ポリマーバリヤー層の活性ポリマー材料によって中和されていてよい。セラミックバリヤー層は、通常、１〜２５０ナノメートルの厚さを有する。それ故に、セラミックバリヤー層を活性ポリマーバリヤー層上に発生させることによって、薄膜被包を本発明による有機電子デバイス上に形成させることが可能である。厚さ１μｍの活性ポリマーバリヤー層上に配置された１０^−３ｇ／（ｍ^２／日）の拡散速度を有するセラミックバリヤー層は、第１の浸透分子がかかる薄膜被包によって包囲された有機機能性領域に到達しうる１０．０００時間前に導かれうる。

本発明の１つの好ましい実施態様において、セラミックバリヤー層は、金属窒化物、金属酸化物および金属オキシ窒化物から選択されている。これら金属窒化物、金属酸化物または金属オキシ窒化物の金属構成成分は、好ましくはアルミニウムおよびシリコンから選択されている。このセラミックバリヤー層は、ガスまたは液体を浸透させるために極めて良好な物理的バリヤーを備えていてよい。前記の材料以外に、主に無機化合物および非金属化合物または無機要素および非金属要素からなる他のセラミック材料を使用することができる。

別の実施態様において、支持体またはキャップおよび活性ポリマーバリヤー層は、透明である。支持体、例えばガラスが透明であるような有機光デバイス、所謂直下型（bottom-emitting）ＯＬＥＤデバイスが形成されてよい場合には、発生された光は、支持体を通して目視することができる。キャップおよび活性ポリマーバリヤー層が透明であるような他の場合、所謂トップエミッション型OLEDまたはTOLEDsが形成されうる場合には、有機機能性領域によって放出される光は、キャップおよびポリマーバリヤー層を通過することができる。

本発明の別の実施態様によれば、キャップは、まさに１つのセラミックバリヤー層を有するのではなく、付加的なポリマーバリヤー層と付加的なセラミックバリヤー層との交互のアセンブリを有している。このようなアセンブリは、極めて高いバリヤー能力を示し、例えばまさに１０^−６ｇ／（ｍ^２／日）までの湿分および酸素に対する浸透率を示す。

別の実施態様において、本発明による有機電子デバイスは、さらに湿分および酸化剤を結合することができる少なくとも１つの付加的な活性ポリマーバリヤー層および少なくとも１つのセラミックバリヤー層を有する付加的なバリヤースタックを有している。例えば、このようなバリヤースタックは、可撓性のポリマー支持体上の可撓性の有機電子デバイスにとって極めて有用である。この可撓性のポリマー支持体は、通常、１ｇ／（ｍ^２／日）を上廻る範囲内で水蒸気および酸化剤に対して極めて高い浸透率を示す。この場合、殊にバリヤースタックが可撓性の支持体を通して浸透する大部分の湿分および酸素を吸収するために支持体と有機機能性領域との間に配置されている場合には、バリヤースタックは、湿分および酸化剤に対して付加的なバリヤーを備えていてよい（例えば、図４参照）。

支持体と有機機能性領域との間に配置された付加的なバリヤースタックの場合には、有機機能性領域は、好ましくはバリヤースタック上に位置している。更に、バリヤースタックの少なくとも１つの付加的な活性ポリマーバリヤー層は、有利に有機機能性領域に隣接して位置し、バリヤースタックのセラミックバリヤー層の凸凹を平坦化する。通常、セラミックバリヤー層は、約２５ｎｍ未満 ｒｍｓの凸凹を示し、この場合この凸凹は、有機機能性領域の敏感な構成成分をも損傷しうる。それ故に、有機機能性領域とセラミックバリヤー層との間に活性ポリマーバリヤー層を配置することは、有用である（例えば、図３参照）。

可撓性の支持体の場合、この支持体は、有利にポリマー、例えばポリエーテルスルホン（PES）またはポリエチレンテレフタレート（PET）からなる。本発明の別の好ましい変法において、支持体それ自体は、活性ポリマーバリヤー層である。通常、可撓性の有機電子デバイスのポリマー支持体は、セラミックバリヤー層または活性ポリマーバリヤー層よりも著しく厚手である。可撓性のポリマー支持体は、通常、約１００〜２００μｍの厚さを有する。それ故、湿分および酸化剤スカベンジング材料、例えばシクロデキストリン、環状オレフィンコポリマーまたは無水物は、有利にポリマー支持体に同時押出され、したがってポリマー支持体それ自体は、活性ポリマーバリヤー層として機能することができる。このような支持体は、著しい厚さのために極めて高いバリヤー能力を示す（例えば、図４参照）。

支持体が活性ポリマーバリヤー層として機能する場合には、セラミックバリヤー層は、有利に支持体上に配置されており、支持体をデバイスの外側の環境から保護する。このようなセラミックバリヤー層は、大部分の湿分および酸化剤を活性ポリマーバリヤー支持体との接触から回避させることができる（例えば、図４参照）。

有機機能性領域は、第１の導電性層、第１の導電性層上の有機機能層およびこの機能層上の第２の導電性層のスタックから構成されていてよく、この場合有機機能性層は、少なくとも１つの有機エレクトロルミネセンス層を有している。このような有機機能性スタックを有する電子デバイスは、有機エレクトロルミネセンスデバイス（OLED）を形成する。

第１の導電性層と第２の導電性層との間の有機機能性層は、有機放射線検出層であってもよく、したがって電子デバイスは、有機放射線検出デバイス、例えば有機ソーラー電池を提供する。また、有機機能性スタックは、有機導電性材料を有する所謂プラスチック集積回路を形成することができる。

次に、本発明をよりいっそう詳細に図によって説明する。全ての図は、まさに説明の目的だけのために表わされた略図である。

発明を実施するための最良の形態
図１は、米国特許出願US２００３／００３８５９０Ａ１中の実施例の記載と同様のパターン化されたゲッター層を有する常用の有機エレクトロルミネセンスデバイスを示す断面図である。２つの導電性層の間に挟まれた有機機能性層を有する機能性スタック５は、支持体１上に位置しており、キャップ１０および封止領域２０によって包囲されている。リングの形で機能性スタック５を側方に取り囲むパターン化されたゲッター層１５は、包囲された領域内に位置している。キャップとゲッター層との間には、間隙ｄが存在し、この間隙は、ゲッター層によって吸収されることなく、矢印１２によって示されているように、封止領域２０を通して酸素および湿分を浸透させることができる。

図２は、本発明による有機電子デバイス、ＯＬＥＤデバイス、を示す断面図である。平行なストライプの形の第１の導電性層２５は、支持体２０上に位置している。張出断面を備えた棒材４０は、第１の導電性層２５上に配置されている。有機機能性層３０は、第１の導電性層２５上で２つの隣接した棒材４０間の間隙中に付着されている。第１の導電性層２５のストライプに対して垂直方向に走るストライプの形の棒材４０によって構造化されている第２の導電性層３５は、有機機能性領域の全面積に亘って導電性材料の連続的な被膜を付着させることによってエレクトロルミネセンス形成させることができる。この連続的な被膜は、ストライプ３５を形成する棒材の張出断面で破断している。導電性層２５、３５および棒材４０とともに有機機能性層３０を有する有機機能性スタックの配置は、有機機能性領域中で異なる段を生じる。この段は、有機機能性領域の全体に配置された素子に亘って付着された活性ポリマーバリヤー支持体４５によって被覆され、平坦化されている。キャップ５０、例えばガラスは、全部の有機機能性領域および活性ポリマーバリヤー層４５を包囲している。好ましくは、活性ポリマーバリヤー層４５は、キャップ５０をも支持し、キャップと有機機能性スタックとの接触を回避させる。接触パッド２６は、デバイスの外側から第１の導電性層２５を電気的接触させる程度に存在していてよい。

図３は、本発明による可撓性の有機ＯＬＥＤデバイスの別の実施態様を示す。２つの活性ポリマーバリヤー層６５および７５ならびに１つのセラミックバリヤー層７０から構成されているバリヤースタック８０は、可撓性のポリマー支持体６０上に位置している。互いに垂直方向に走るストライプの形の２つの導電性層８５および９５ならびに１つの有機機能性層９０からなる有機機能性領域は、バリヤースタック８０の上面上に位置している。有機機能性領域は、ＯＬＥＤデバイスの活性ピクセルを定義する中空８２を備えた層８１をも有する。付加的に、カソードストライプを分離するための張出部分を備えた棒材８３は、中空層８１の上面上に位置している。有機機能性スタック、中空層８１および棒材８３の前記の完全な配置は、活性ポリマーバリヤー層１００によって被覆され、平坦化されている。本発明のＯＬＥＤデバイスの前記変形において、キャップ１０５は、セラミックバリヤー層から構成されている。２つのセラミックバリヤー層１０５および７０は、凸凹を有し、この凸凹は、セラミック層に対してぎざぎざした線によって略示されている。活性ポリマーバリヤー層１００または７５は、有機機能性領域に対する何らかの損傷を回避させる２つのセラミックバリヤー層の凸凹を付加的に平坦化するために、それぞれのセラミックバリヤー層と有機機能性領域との間に位置している。また、第１の導電性層８５への外部からの電気的接触を可能にする接触パッド８６が存在している。

図４は、本発明による別のＯＬＥＤデバイスを示す断面図である。第１の導電性層２１０、有機機能性層２１５および棒材２２５とともに第２の導電性層２２０からなる有機機能性領域は、活性ポリマーバリヤー層である可撓性の支持体２００上に位置している。この活性ポリマーバリヤー層の支持体は、支持体の表面上に位置したセラミックバリヤー層２０５によって外側の環境から保護されている。有機機能性領域の段は、活性ポリマーバリヤー層２３０によって平坦化されている。この活性ポリマーバリヤー層の上面上には、セラミックバリヤー層２３５、活性ポリマーバリヤー層２４０および別のセラミックバリヤー層２４５のアセンブリが配置されている。

本発明の範囲は、図示された実施態様に限定されるものではない。実際に、バリヤースタック中でのセラミックバリヤー層および活性ポリマーバリヤー層の順序に特に関連する変形は、可能である。更に、図示された素子を除外して他の段は、本発明によるデバイスの活性ポリマーバリヤー層によって平坦化されていてよい。

本発明は、特許請求の範囲に述べられた任意の特徴の全ての組合せを含む特徴のそれぞれの組合せが特許請求の範囲に明示されていなくとも、それぞれの新規の特徴および特許請求の範囲に述べられた任意の特徴の全ての組合せを含む特徴のそれぞれの組合せによって実施される。

常用の電子デバイスを示す略図。 本発明による有機電子デバイスを示す略図。 本発明による有機電子デバイスの別の実施態様を示す略図。 本発明による有機電子デバイスの別の変形を示す略図。

符号の説明

１、２００ 支持体、 ５ 機能性スタック、 １０ キャップ、 １２ 矢印、 １５ ゲッター層、 ２０ 封止領域（図１）、 ２０ 支持体（図２）、 ２５、２１０ 第１の導電性層、 ２６ 接触パッド、 ３０、２１５ 有機機能性層、 ３５、２２０ 第２の導電性層、 ４０、２２５ 棒材、 ４５ 活性ポリマーバリヤー支持体、 ５０、１０５ キャップ、 ６０ 可撓性のポリマー支持体、 ６５、７５、２３０、２４０ 活性ポリマーバリヤー層、 ７０、２０５、２３５、２４５ セラミックバリヤー層、 ８０ バリヤースタック、 ８１ 中空層、 ８２ 中空、 ８３ 棒材、 ８５、９５ 導電性層、 ８６ 接触パッド、 ９０ 有機機能性層、 １００ 活性ポリマーバリヤー層、 ｄ 間隙

Claims (23)

1. 湿分または酸化剤に敏感である有機電子デバイスにおいて、
   支持体と、
   活性素子を備えかつ段を有する、支持体上の有機機能性領域と、
   有機機能性領域上の活性ポリマーバリヤー層と、
   この場合、この活性ポリマーバリヤー層は、湿分および酸化剤を結合することができ、有機機能性領域の段を平坦化することができ、
   有機機能性領域および活性ポリマー層を包囲するキャップとを有することを特徴とする、湿分または酸化剤に敏感である有機電子デバイス。
2. 活性ポリマーバリヤー層が次の材料：
   分散されたシクロデキストリンを有するポリマーマトリックス、
   環状オレフィンコポリマーおよび
   無水物を有するポリマーマトリックスから選択されている、請求項１記載のデバイス。
3. 活性ポリマーバリヤー層の中程度の厚さが有機機能性領域の段の高さよりも厚い、請求項１記載のデバイス。
4. 活性ポリマーバリヤー層の厚さが約１〜１０μｍである、請求項１記載のデバイス。
5. 活性ポリマーバリヤー層が湿分および酸化剤を化学的に結合することができる、請求項１記載のデバイス。
6. 支持体が次の材料：
   ガラス、金属、ポリマーおよびセラミックから選択されている、請求項１記載のデバイス。
7. キャップが
   ポリマー、
   金属、
   セラミックおよび
   ガラスの群から選択された材料からなる、請求項１記載のデバイス。
8. キャップが有機機能性領域上のキャップ間にキャビティを備え、
   活性ポリマーバリヤー層は、キャップが有機機能性領域と接触することを避けるのに十分な厚さを維持している、請求項１記載のデバイス。
9. 活性ポリマーバリヤー層が本質的にキャビティを充填している、請求項８記載のデバイス。
10. キャップが活性ポリマーバリヤー層上に位置しているセラミックバリヤー層を有している、請求項１記載のデバイス。
11. セラミックバリヤー層が金属、窒化物、金属酸化物および金属オキシ窒化物から選択されている、請求項１０記載のデバイス。
12. 金属がＡｌおよびＳｉから選択されている、請求項１１記載のデバイス。
13. 支持体または
    キャップおよび活性ポリマーバリヤー層が透明である、請求項１記載のデバイス。
14. キャップがポリマーバリヤー層とセラミックバリヤー層のアセンブリである、請求項１０記載のデバイス。
15. バリヤースタックが
    湿分および酸化剤を結合することができる、少なくとも１つの付加的な活性ポリマーバリヤー層および
    少なくとも１つのセラミックバリヤー層から構成されている、請求項１記載のデバイス。
16. バリヤースタックが支持体と有機機能性領域との間に配置されている、請求項１５記載のデバイス。
17. 有機機能性領域がバリヤースタック上に位置しており、
    バリヤースタックの少なくとも１つの付加的な活性ポリマーバリヤー層が有機機能性領域に隣接し、バリヤースタックのセラミックバリヤー層の凸凹を平坦化している、請求項１６記載のデバイス。
18. 支持体が可撓性であり、ポリマーからなる、請求項１７記載のデバイス。
19. 支持体が活性ポリマーバリヤー層である、請求項１７記載のデバイス。
20. セラミックバリヤー層が支持体上に配置されており、支持体をデバイスの外側の環境から保護している、請求項１９記載のデバイス。
21. 有機機能性領域が第１の導電性層、第１の導電性層上の有機機能層およびこの機能層上の第２の導電性層からなる層のスタックである、請求項１記載のデバイス。
22. 有機機能性領域が第１の導電性層、第１の導電性層上の有機機能層およびこの機能層上の第２の導電性層からなる層のスタックであり、
    この有機機能層が有機放射線センサーを形成する、少なくとも１つの有機放射線検出層を有する、請求項１記載のデバイス。
23. 有機機能性領域がプラスチック集積回路を有している、請求項１記載のデバイス。

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