JP2006522222A - 基板上に材料を堆積させる方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
材料４は、容器２内に材料を配置し、材料を蒸発させそれが基板上に移るように材料４の表面に電子ビームを接触させることによって基板８上に堆積される。電子を通さないシールド７は、電子ビームによって接触される表面の一部を覆うように配置される。以前には電子ビームによって接触されていた表面の一部が、もはやシールドによって覆われず、基板８に露出するように、一方の容器２と他方のシールド７及び電子ビームの間に相対運動が生じる。
Description
本発明は、基板上に材料を堆積させる方法及び装置に関する。
本発明は、これに限定されないが、敏感な材料をすでに有している基板上への封入材料の堆積に特に適用可能である。例えば、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）のアレイを有する半導体基板は、カルシウムなどの低仕事関数材料の層を含む上部電極を有することができる。カルシウムは、酸素及び水と非常に反応しやすく、したがって、酸素及び水の浸入を防ぐために、例えば酸化アルミニウム又は二酸化シリコンの封入層でカルシウム層をコーティングする必要がある。
提案されている封入材料の一堆積方法は、電子ビーム蒸発である。これは、電子を熱フィラメントから放出させ、この電子がるつぼ内に入れられた封入材料の表面に衝突することを含む。高真空下で、電子は、封入材料を蒸発させ基板へと移す。
電子ビーム蒸発の主要な欠点は、封入材料から放出される２次電子が存在することである。これらの２次電子は、ＯＬＥＤのポリマー層に損傷を与えて、例えば製作しようとする任意のＯＬＥＤデバイスを役に立たなくする。
２次電子の閉じ込めの手段として磁場が提案されてきた。しかし、るつぼ内の封入材料の表面が粗い場合や、２次電子が広範なエネルギー及び／又は方向を有する場合には、磁場は効果がない。
本発明の目的は、２次電子によって引き起こされる基板への損傷が防止される、又は最小化される、電子ビーム蒸発を使用して基板上へ材料を堆積する方法を提供することである。
したがって、本発明は、材料が自由表面を有するように容器内に堆積させる材料を配置するステップと、材料を蒸発させて基板へ材料を移すように前記表面に電子ビームを接触させるステップであって、電子を通さないシールドが前記電子ビームによって接触される表面の一部を覆うように配置されるステップと、以前には電子ビームによって接触されていた前記表面の一部が、もはやシールドによって覆われず、基板に露出するように、一方の容器と他方のシールド及び電子ビームの間に相対運動を生じさせるステップとを含む、基板上に材料を堆積させる方法を提供する。
シールドは、２次電子が基板に到達するのを妨げ、材料は、電子ビームによって実際には接触されていないが、以前に接触されていたことによる余熱に依然としてさらされている表面の一部から蒸発する。
相対運動は特に相対回転運動を含んでもよく、シールド及び電子ビームが静止したままで、容器を動かすことができる。
電子ビームの余熱が十分でない場合には、電子ビームに加えて、熱源によって材料を加熱することができる。
本発明は、堆積される材料を収容する容器と、材料を蒸発させ、材料を基板へ移すように材料を電子ビームと接触させる電子銃と、容器の一部を覆うように配置された、電子を通さないシールドと、一方の容器と他方のシールド及び電子銃の間で相対運動を生じさせる手段とを備える、基板上に材料を堆積させる装置も提供する。
相対運動を生じさせる手段は、特に容器を軸の周りで回転させる手段を含んでもよい。
この装置は、電子銃に加え、材料を加熱する手段を含んでもよい。
次に、本発明をより容易に理解できるように、例としてのみ添付の図面を参照する。
この図面は、プラットフォーム１を備える装置を示していて、電気モータ３などの手段によって駆動される、プラットフォーム１上のるつぼ２が軸の周りを回転するように配置された。公知の電子ビーム蒸発装置は、蒸発のために様々な材料を選択できるように回転する回転台を備える。本発明によれば、この回転台は、るつぼ２に置き換えられる。るつぼ２は、封入材料４を収容する。
電子銃５は、矢印で示す電子ビームを放出するフィラメント６を備える。シールド７は、るつぼ２内の材料４の表面の一部（例えば、半分）を覆い、電子ビームはこの部分に入射する。材料から放出される２次電子のすべては、シールド７によって捕捉される。
シールド７に覆われていない材料４の表面の一部は、基板８に面している。表面のこの露出した部分から蒸発した材料は、基板８へ移される。
電熱源などのオプションの補助熱源９を、材料４を加熱するために設けることができる。
本明細書で使用される動詞「備える、含む（ｔｏ ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」のすべての型は、「から成る又は含む（ｔｏ ｃｏｎｓｉｓｔ ｏｆ ｏｒ ｉｎｃｌｕｄｅ）」の意味を有する。
Claims (7)
- 材料が自由表面を有するように容器内に堆積させる前記材料を配置するステップと、
前記材料を蒸発させて基板へ前記材料を移すように前記表面に電子ビームを接触させるステップであって、電子を通さないシールドが前記電子ビームによって接触される前記表面の一部を覆うように配置されるステップと、
以前には前記電子ビームによって接触されていた前記表面の前記一部が、もはや前記シールドによって覆われず、前記基板に露出するように、一方の前記容器と他方の前記シールド及び前記電子ビームの間に相対運動を生じさせるステップとを含む、
基板上に材料を堆積させる方法。 - 前記相対運動が相対回転運動を含む、請求項１に記載の方法
- 前記容器が動かされ、その間前記シールド及び電子ビームが静止したままである、請求項２に記載の方法。
- 前記電子ビームに加え、熱源によって前記材料を加熱するステップを含む、請求項１、２、又は３に記載の方法。
- 堆積される材料を収容する容器と、
前記材料を蒸発させ、前記材料を基板へ移すように前記材料を電子ビームと接触させる電子銃と、
前記容器の一部を覆うように配置された、電子を通さないシールドと、
一方の前記容器と他方の前記シールド及び前記電子銃の間で相対運動を生じさせる手段とを備える、
基板上に材料を堆積させる装置。 - 前記相対運動を生じさせる手段が、前記容器を軸の周りで回転させる手段を含む、請求項５に記載の装置。
- 前記電子銃に加え、前記材料を加熱する手段を含む、請求項５又は６に記載の装置。
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