JP2006349441A - ワークの検査方法、およびワークの検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 設計データに基づいて、複数、同じ形状の単位部が表面に形成されているワークについて、ワークの設計データと比べた場合の、各単位部の、位置ずれの把握や、バンプの欠落の有無を知ることができるワーク検査方法、検査装置を提供する。特に、ワークに多数のバンプが形成されている場合について、効率的かつ高速にそのような検査を行うことができる、ワークの検査方法、検査装置を提供する。
【解決手段】 設計データ上の検査対象とする全ての単位部について、各設計データ上の単位部毎に、設計データ上の単位部の位置に対応するワークでの位置にて、該設計データの単位部に対応する領域を含むワークの一部の撮影画像を得て、該撮影画像から、単位部の像を含む、検査に必要なだけの小範囲を、部分画像として切り出し、切り出した部分画像に対して、所定の画像処理を行って、検査を実施する、１連の処理を行う。
【選択図】 図１

Description

本発明は、設計データに基づいて、複数、同じ形状の単位部が表面に形成されているワークについて、該単位部の欠落の有無、位置ずれ、サイズ等を、ワークの撮影画像にて検査する、ワークの検査方法、ワークの検査装置に関する。

従来、配線基板等の、設計データに基づいて、突起状のバンプ等の単位の同じ形状の単位部が、複数、表面に形成されているワークについて、該単位部の欠落の有無、位置ずれ、サイズ等を、ワークの撮影画像にて検査する場合、撮影して求められたワークの撮影画像全体に対して、所定の画像処理（２値化、ラベリング等）を行っている。
例えば、特開２００１−２９８０３６号公報（特許文献１）に記載のバンプ位置測定方法によれば、撮影により得られた撮影画像の画像データ全体に対して、所定の画像処理を行っている。
このため、バンプの数の多少によらず処理すべきデータ量は変わらず、特に、バンプの数が少なくても、撮影画像の画像データ領域全体となり、処理すべきデータ量が大きく、処理の負荷が大きくなっていた。
また、ここに記載のものは、撮影画像から、バンプの高さ及び位置を測定するものであるが、設計データに対するバンプの位置ずれやバンプの有無を把握するものではない。
特開２００１−２９８０３６号公報 このように、撮影により得られた撮影画像から、その各バンプに対して、位置測定を行うことや、寸法測定、外観検査を行うことは可能である。

しかし、このような、撮影により得られた撮影画像による検査方法においては、撮影画像から、ワークの設計データと比べた場合の、各バンプ位置ずれや、バンプの有無を知ることはできない。
一方、近年、配線の高密度化、微細化が求められている配線用基板においては、ますます、バンプの精度が求められ、ワークの設計データと比べた場合の各バンプ位置ずれ把握や、バンプの有無を知ることも求められるようになってきている、このような、撮影画像による検査方法では、これらに対応できず問題になってきた。

上記のように、近年、配線の高密度化、微細化が求められている配線用基板においては、ますます、バンプの精度が求められるようになってきており、ワークの設計データと比べた場合の各バンプ位置ずれ把握や、バンプの有無を知ることも求められるようになってきており、この対応が求められていた。
本発明はこれに対応するもので、設計データに基づいて、複数、同じ形状の単位部が表面に形成されているワークについて、ワークの設計データと比べた場合の、各単位部の、位置ずれの把握や、バンプの欠落の有無を知ることができるワーク検査方法、検査装置を提供しようとするものである。
特に、ワークに多数のバンプが形成されている場合について、効率的かつ高速にそのような検査を行うことができる、ワークの検査方法、検査装置を提供しようとするものである。

本発明のワークの検査方法は、設計データに基づいて、複数、同じ形状の単位部が表面に形成されているワークについて、該単位部の欠落の有無、位置ずれ、サイズ等を、ワークの撮影画像にて検査する、ワークの検査方法であって、設計データ上の検査対象とする全ての単位部について、各設計データ上の単位部毎に、設計データ上の単位部の位置に対応するワークでの位置にて、該設計データの単位部に対応する領域を含むワークの一部の撮影画像を得て、該撮影画像から、単位部の像領域を含む、検査に必要なだけの小範囲を、部分画像として切り出し、切り出した部分画像に対して、所定の画像処理を行って、検査を実施する、１連の処理を行うものであることを特徴とするものである。
そして、上記のワークの検査方法であって、前記各１連の処理を実施するに際し、予め、２つ以上のワークの撮影画像上の単位部位置と、これらの各撮影画像上の単位部位置に対応する設計データ上の単位部位置とから、ワークの撮影画像のアライメント補正を行い、アライメントのためのデータを得ておくものであり、且つ、前記アライメント補正に用いられるワークの撮影画像と、前記検査の際に用いられるワークの撮影画像とは、いずれも、同じ光学系にて撮像され、同じ座標系のもとに位置管理していることを特徴とするものである。
そして、上記いずれかのワークの検査方法であって、前記ワークが配線用基板で、単位部がバンプであることを特徴とするものである。

ここで、検査に必要なだけの小範囲とは、正常な状態で単位部を１つ以上含む範囲を言い、その中で最適なのは、許容可能な位置ズレ量を考慮して、検査対象とする単位部全体を撮像画像として得ることができ、該検査対象とする単位部に隣接する単位部が正規の状態では画像内に入らない大きさの領域のものである。
また、設計データ上の位置座標に対し、オフセット量、回転角度、縮尺度合を適当に選び座標変換を行うことにより、設計データ上の位置座標を撮像画像上に１対１に対応付けられる。
即ち、実寸データである設計値から撮影画像上の画素の並びの座標に変換可能である。 尚、設計データ上の座標位置に対応する撮像画像上の座標位置は、カメラ位置と、撮像素子の画素位置と、設計データの座標系と撮影画像の座標系間の関係（オフセット量、回転角度、伸縮度合）とにより決まる。
また、所定の画像処理としては、ＡＤ変換されデジタル化された撮像画像データを２値化し、ラベリング処理して、寸法測定を行う寸法測定処理や、２値化された画像データから単位部の欠落の有無を判定する処理等が挙げられるが、これらに限らない。
また、配線用基板とは、製品および中間製品のものを含む。

本発明のワークの検査装置は、設計データに基づいて、複数、同じ形状の単位部が表面に形成されているワークについて、該単位部の欠落の有無、位置ずれ、サイズ等を、ワークの撮影画像にて検査する、ワークの検査装置であって、単位部の設計座標データを含む、設計データを備えた設計データ管理部（データベース）と、ワークの一部の撮影画像を得る、照明部、画像入力部を有する撮影手段と、ワークを搭載して、前記撮影手段の画像入力部と相対的にＸ、Ｙ移動可能な搬送部と、前記設計データ管理部からの検査対象とする各単位部の座標と、該座標に対応する位置の撮影画像とから、検査を行う画像処理部とを備えたもので、前記画像処理部は、各設計データ上の検査対象とする単位部毎に、前記設計データ管理部から設計データ上の単位部の位置座標を取り出し、該位置座標に対応するワークでの位置にて、該設計データの単位部に対応する領域を含むワークの一部の撮影画像を得て、該撮影画像から、単位部の像領域を含む、検査に必要なだけの小範囲を、部分画像として切り出し、切り出した部分画像に対して、所定の画像処理を行って、検査を実施する、１連の処理を、設計データ上の検査対象とする全ての単位部について、行うものであることを特徴とするものである。
そして、上記のワークの検査装置であって、前記各１連の処理を実施するに際し、予め、２つ以上のワークの撮影画像上の単位部位置と、これらの各撮影画像上の単位部位置に対応する設計データ上の単位部位置とから、ワークの撮影画像のアライメント補正を行い、アライメントのためのデータを得ておく、アライメント補正処理部を備えていることを特徴とするものである。
そして、上記のいずれかワークの検査装置であって、前記ワークが配線用基板で、単位部がバンプであることを特徴とするものである。

（作用）
本発明のワークの検査方法は、このような構成にすることにより、設計データに基づいて、複数、単位部が表面に形成されているワークについて、ワークの設計データと比べた場合の、各単位部の位置ずれの把握や単位部の欠落の有無を知ることができるワークの検査方法の提供を可能としている。
各単位部の寸法測定や外観検査以外に、単位部の欠落の有無及び位置ずれの検査が可能となる。
特に、ワークに多数の単位部が形成されている場合について、効率的かつ高速に検査を行うことができる、ワークの検査方法の提供を可能としている。
具体的には、設計データ上の検査対象とする全ての単位部について、各設計データ上の単位部毎に、設計データ上の単位部の位置に対応するワークでの位置にて、該設計データの単位部に対応する領域を含むワークの一部の撮影画像を得て、該撮影画像から、単位部の像領域を含む、検査に必要なだけの小範囲を、部分画像として切り出し、切り出した部分画像に対して、所定の画像処理を行って、検査を実施する、１連の処理を行うものであることにより、これを達成している。
詳しくは、切り出した部分画像に対して、所定の画像処理を行って、検査対象とする該単位部についての検査を実施することにより、処理において扱うデータ量は少なく、処理時間の短縮にもなる。
検査に必要なだけの小範囲を、部分画像として切り出して処理を行うため、不要な部分のデータへのアクセスがなくなり処理時間が短縮される。
更に、前記各１連の処理を実施するに際し、予め、２つ以上のワークの撮影画像上の単位部位置と、これらの各撮影画像上の単位部位置に対応する設計データ上の単位部位置とから、ワークの撮影画像のアライメント補正を行い、アライメントのためのデータを得ておくものであり、且つ、前記アライメント補正に用いられるワークの撮影画像と、前記検査の際に用いられるワークの撮影画像とは、いずれも、同じ光学系にて撮像され、同じ座標系のもとに位置管理している請求項２の構成とすることにより、精度良く、検査に最低限度必要な範囲を、部分画像として切り出すことを可能とし、精度の良い検査を可能としている。
これにより、ワーク設置時の位置の誤差やワーク自体の伸縮の影響をなくすことができる。
特に、アライメントを行う際、撮像画像の中からアライメント用の単位部を選択することにより、アライメント専用の光学系が不要で、アライメント光学系と検査光学系間の調整が不要となる。
更に具体的には、ワークが配線用基板で、単位部がバンプである場合が挙げられる。
この場合、ワークの設計データと比べた場合の、各バンプ位置ずれ把握や、バンプの欠落の有無を知ることができる。
特に、ワークに多数のバンプが形成されている場合について、効率的かつ高速に検査を行うことができる。
尚、先にも述べたが、設計データ上の位置座標に対し、オフセット量、回転角度、縮尺度合を適当に選び座標変換を行うことにより、設計データ上の位置座標を撮像画像上に１対１に対応付けられる。
即ち、実寸データである設計値から撮影画像上の画素の並びの座標に変換可能である。 設計データ上の座標位置に対応する撮像画像上の座標位置は、カメラ位置と、撮像素子の画素位置と、設計データの座標系と撮影画像の座標系間の関係（オフセット量、回転角度、伸縮度合）とにより決まる。
また、検査に必要なだけの小範囲とは、許容可能な位置ズレ量を考慮して、検査対象とする単位部全体を撮像画像として得ることができ、該検査対象とする単位部に隣接する単位部が正規の状態では画像内に入らない大きさの領域を言う。
また、所定の画像処理としては、ＡＤ変換されデジタル化された撮像画像データを２値化し、ラベリング処理して、寸法測定を行う寸法測定処理や、２値化された画像データから単位部の欠落の有無を判定する処理等が挙げられるが、これらに限らない。

本発明のワークの検査装置は、このような構成にすることにより、設計データに基づいて、複数、単位部が表面に形成されているワークについて、ワークの設計データと比べた場合の、各単位部の位置ずれの把握や単位部の欠落の有無を知ることができるワークの検査装置の提供を可能としている。
特に、ワークに多数の単位部が形成されている場合について、効率的かつ高速に検査を行うことができる、ワークの検査装置の提供を可能としている。

本発明は、上記のように、設計データに基づいて、複数、単位部が表面に形成されているワークについて、ワークの設計データと比べた場合の、各単位部の位置ずれの把握や単位部の欠落の有無を知ることができるワークの検査方法、およびワークの検査装置の提供を可能とした。
特に、単位部領域とその周囲の検査に必要なだけの小範囲を切り出して処理を行うため、不要な部分のデータへのアクセスがなくなり処理時間が短縮され、検査効率が向上する。
また、アライメント補正処理を行う際、撮像画像の中からアライメント用の単位部を選択することにより、アライメント専用の光学系が不要で、光学系全体を簡単にでき、アライメント光学系と検査光学系間の調整が不要とし、その処理を簡単にできる。

本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１（ａ）は本発明のワークの検査方法の実施の形態の１例を行う際の装置構成を簡略的に図示した概略構成図で、図１（ｂ）は撮影方法と撮影領域を説明するための図で、図２は本発明のワークの検査装置の実施の形態の１例の概略機能ブロック図で、図３は図１に示す本発明のワークの検査方法の処理フローの１例を示した図で、図４は部分画像の切り出しを説明するための図で、図５（ａ）〜図５（ｃ）は単位部の欠落、位置ズレを説明するための図で、図６（ａ）はワークの一部の撮影画像を示した図で、図６（ｂ）は図６（ａ）に示す撮影画像からの切り出した部分画像を示した図で、図７は設計データの座標系の位置と画像上の位置との関係を説明するための図である。
尚、図１においては、各部を制御する制御部は省略して図示しており、図１中のＸ、Ｙと矢印は直交するＸ−Ｙ座標系を示している。
また図６中のｘ、ｙと矢印は直交するｘ−ｙ座標系を示している。
また、図１（ｂ）中、Ｓ１〜Ｓ７は撮影領域を示している。
また、図３におけるＳ１１〜Ｓ２１は処理ステップを示し、点線矢印はデータの流れ方向を示している。
図１〜図６中、１１０は搬送部、１１１はＹ方向搬送部（ステージとも言う）、１１２はＸ方向搬送部（撮影手段搬送部とも言う）、１２０は撮影手段、１２１は照明部、１２２は画像入力部（ここではＣＣＤラインセンサカメラである）、１３０は設計データ管理部（設計データベースとも言う）、１４０は画像処理部、１５０はアライメント補正処理部、１７０はワーク、１７１は単位部（ここではバンプである）、１７５はカメラ視野、１８１はＹ方向移動、１８２はＸ方向移動、１９０は制御部、２１０はワークの一部の撮影画像、２２０は部分画像領域、２２１は検査対象の単位部の像（単に単位部とも言う）、２２１ａは単位部の像（単に単位部とも言う）、２２１Ａ、２２１Ｂ、２２１Ｃは非検査対象の単位部の像（単に単位部とも言う）である。

はじめに、本発明のワークの検査方法の実施の形態の１例を、図に基づいて説明する。 本例のワークの検査方法は、設計データに基づいて、複数、同じ形状の孤立パターンである突突起状のバンプを単位部１７１としてその表面に形成されている配線用基板からなるワーク１７０について、該単位部１７１の欠落の有無、位置ずれ、サイズ等を、ワークの撮影画像にて検査する、ワークの検査方法で、設計データ上の検査対象とする全ての単位部について、各設計データ上の単位部毎に、設計データ上の単位部の位置に対応するワークでの位置にて、図６（ａ）に示すように、該設計データの単位部に対応する領域を含むワークの一部の撮影画像２１０を得て、該撮影画像２１０から、単位部の像２２１を含む、検査に必要なだけの小範囲を、部分画像２２０として切り出し、切り出した部分画像２２０に対して、所定の画像処理を行って、検査を実施する、１連の処理を行うものである。

先ず、図１に基づき、本例のワークの検査方法を行う際の装置構成と、ワークの撮影方法と撮影領域等を説明しておく。
尚、下記の説明等を以って、本発明のワークの検査装置の実施の形態の１例の説明に代える。
図１（ａ）において、Ｙ方向搬送部（ステージとも言う）１１１は、配線用基板であるワーク１７０をＹ方向に制御して検査に必要な所定の範囲移動できるもので、また、Ｘ方向搬送部１１２は、ラインセンサカメラからなる画像入力部１２２と照明部１２１とからなる撮影手段１２０をＸ方向に制御して検査に必要な所定の範囲移動できるものである。 撮影手段１２０は、所定のＸ方向位置において固定された状態で、Ｘ方向所定幅（カメラ視野１７５の幅）を撮影しながら、同時にＹ方向ステージを移動させることにより、この所定Ｘ位置における所定幅のストライプ状の領域全体を撮影することができるもので、漸次、前記所定Ｘ方向位置をステップ移動して、ワークの検査に必要な領域全体を撮影することができる。
例えば、図１（ｂ）に示すように、はじめに撮影領域Ｓ１を撮影し、次いで、漸次、Ｓ２、Ｓ３・・Ｓ７と撮影することができる。
ここでは、ワーク１７０はＹ方向搬送部１１１に固定された状態で、Ｙ方向搬送部１１１と一体的に移動するもので、撮影手段１２０の照明部１２１、画像入力部１２２はＸ方向搬送部１１２に固定された状態で、Ｘ方向搬送部１１２と一体的に移動するものである。
設計データ管理部（データベース）１３０は、ワーク１７０に形成する単位部１７１の設計座標データを含む、設計データを蓄積しているものである。
画像処理部１４０は、前記設計データ管理部１３０からの検査対象とする各単位部の座標と、該座標に対応する位置の撮影画像とから、検査を行うもので、各設計データ上の検査対象とする単位部毎に、前記設計データ管理部１３０から設計データ上の単位部の位置座標を取り出し、該位置座標に対応するワークでの位置にて、該設計データの単位部に対応する領域を含むワーク１７０の一部の撮影画像（図６（ａ）の２１０を得て、該撮影画像２１０から、検査対象の単位部２２１の像を含む、検査に必要なだけの小範囲を、部分画像２２０として切り出し、切り出した部分画像２２０に対して、所定の画像処理を行って、検査を実施する、１連の処理を、設計データ上の検査対象とする全ての単位部について、行うものである。
所定の画像処理としては、ＡＤ変換されデジタル化された撮像画像データを２値化し、ラベリング処理して、寸法測定を行う寸法測定処理や、２値化された画像データから単位部の欠落の有無を判定する処理等が挙げられるが、これらに限らない。
アライメント補正処理部１５０は、前記各１連の処理を実施するに際し、予め、２つ以上のワークの撮影画像上の単位部位置と、これらの各撮影画像上の単位部位置に対応する設計データ上の単位部位置とから、ワークの撮影画像のアライメント補正を行うものである。
前記アライメント補正に用いられるワークの撮影画像と、前記検査の際に用いられるワークの撮影画像とは、いずれも、図１（ａ）の状態で、搬送部１１０と撮影手段１２０とを相対的にＸ、Ｙ移動して撮影されるもので、同じ光学系にて撮像され、同じ座標系のもとに位置管理される。
そして、各部の動作を図示していない制御部（図２の１９０に相当）にて管理する。
図１（ｂ）に示す装置を機能ブロック図で表すと、図２のようになる。

本例においては、上記のように、前記各１連の処理を実施するに際し、予め、２つ以上のワーク１７０の撮影画像上の単位部位置と、これらの各撮影画像上の単位部位置に対応する設計データ上の単位部位置とから、ワークの撮影画像のアライメント補正を行い、アライメントのためのデータを得ておくものであり、且つ、前記アライメント補正に用いられるワークの撮影画像と、前記検査の際に用いられるワークの撮影画像とは、いずれも、同じ光学系にて撮像され、同じ座標系のもとに位置管理している。
これについては、更に、図７に基づいて説明をしておく。
図７（ａ）には、設計データ上の単位部１、２、３・・・の位置座標（Ｘ１、Ｙ１）、（Ｘ２、Ｙ２）、（Ｘ３、Ｙ３）・・・が示してあり、図７（ｂ）には、設計データ上の単位部１、２，３・・・に、それぞれ対応する、計算上の撮影画像上の単位部の像１１、２１，３１・・・の位置座標（画素の位置である）、（ｘ１１、ｙ１１）、（ｘ２１、ｙ２１）、（ｘ３１、ｙ３１）・・・が示してある。
計算上の撮影画像上の単位部の像１１、２１，３１・・・の位置座標（画素の位置である）（ｘ１１、ｙ１１）、（ｘ２１、ｙ２１）、（ｘ３１、ｙ３１）・・・は、図１（ａ）に示す装置がワークを含め、搬送部１１０のＸ方向、Ｙ方向移動以外、位置移動しないとすれば、計算により、設計データ上の単位部１、２，３・・・の位置座標（Ｘ１、Ｙ１）、（Ｘ２、Ｙ２）、（Ｘ３、Ｙ３）・・・から求めることができる。
具体的には、設計データ上の単位部１、２，３・・・の位置座標（Ｘ１、Ｙ１）、（Ｘ２、Ｙ２）、（Ｘ３、Ｙ３）・・・に対応する撮影画像上の単位部の像１１、２１，３１の位置座標（ｘ１１、ｙ１１）、（ｘ２１、ｙ２１）、（ｘ３１、ｙ３１）・・・は、設計データと画像データの座標系の関係とアライメントデータとをもとに座標変換を行い、得ることができる。
即ち、設計データ上の単位部１、２，３・・・の位置座標を、それぞれ、座標変換することにより、それぞれ、対応する撮影画像上の単位部の像１１、２１，３１の位置座標求めることができる。
尚、回転量、オフセット量、伸縮度合が補正用のデータで、ここでは、これらを総称して、アライメントデータと言う。
このため、本例のワークの検査方法においては、上記のような補正処理を行い、検査を行うようにしている。

次に、本例のワークの検査方法における処理動作のフローを図３に基づいて説明する。 尚、図３は、予め、前述のアライメント補正処理が行われており、アライメントデータが既に求められた後に、検査を行う処理のフローである。
以下、制御部（図２の１９０）の制御の下に各処理は行われる。
図１（ａ）に示す状態において、アライメント補正処理を行った後に、検査を行う処理を開始する。（Ｓ１１）
先ず、図１（ａ）に示す状態において、撮影手段１２０を、はじめに撮影する領域に合わせて、Ｘ搬送部１１２にてＸ方向移動して、所定のＸ位置にセットする。（Ｓ１２）
例えば、図１（ｂ）において、撮影領域Ｓ１からＳ７までを、この順に得るためには、先ず、撮影領域Ｓ１を撮影するためのＸ位置に撮影手段１２０を合わせる。
次いで、この状態で、Ｙ方向搬送部１１１によりワーク１７０をＹ方向移動しながら、連続的に撮影して、ワーク１７０の一部の撮影画像（図６（ａ）の２１０に相当）を得る。（Ｓ１３〜Ｓ１４）
例えば、図１（ｂ）における撮影領域Ｓ１を撮影するためのＸ位置において、Ｙ方向搬送部１１１にてワーク１７０をＹ方向移動しながら、撮影する。
次いで、制御部１９０は設計データ管理部１３０から設計データ上の検査対象の単位部の位置座標を取得し（Ｓ１５）、撮影画像２１０上の切り取り範囲を決め、検査に必要なだけの小範囲を部分画像２２０として得る。（Ｓ１６〜Ｓ１７、図６（ａ）、図６（ｂ）参照）
ここでは、検査に必要なだけの小範囲とは、図４の部分画像２２０に示すように、許容可能な位置ズレ量を考慮した領域２２５の範囲を含む四角領域で、検査対象とする単位部全体を撮像画像として得ることができ、該検査対象とする単位部に隣接する単位部が正規の状態では画像内に入らない大きさの領域である。
次いで、部分画像２２０に対し、画像処理部１４０にて所定の処理を行い、検査を実施する。（Ｓ１８）
所定の画像処理としては、ＡＤ変換されデジタル化された撮像画像データを２値化し、ラベリング処理して、寸法測定を行う寸法測定処理や、２値化された画像データから単位部の欠落の有無を判定する処理を行うが、これらに限らない。
部分画像が図５（ａ）のような場合は、単位部の欠落とされ、部分画像が図５（ｂ）のような場合は、単位部の位置ズレとされ、部分画像が図５（ｃ）のような場合は、検査対象とする単位部に隣接する単位部の位置ズレとされる。
次いで、制御部１９０は、撮影画像２１０内の全ての単位部についての検査が終了したか否かを確認し、Ｎｏである場合には、処理ステップＳ１６〜Ｓ１９間でを順に繰り返し、また、Ｙｅｓである場合には、全検査対象の単位部の検査が終了したか否かを確認する。（Ｓ１９〜Ｓ２０）
全検査対象の単位部の検査が終了していない場合（Ｎｏの場合）には、処理ステップＳ１２〜Ｓ２０までを順に繰り返し、終了している場合（Ｙｅｓの場合）には、検査を終了する。（Ｓ２１）
このようにして、本例のワークの検査方法は行われる。

上記のワークの検査方法は、１例で、これに限定はされない。
また、図１、図２に示すワークの検査装置も１例でこれに限定はされない。
上記例では、ラインセンサカメラを使用したワークの検査装置の例を示したが、エリアセンサカメラを使用しても同様である。
また、上記例では、アライメント補正の方法として、ソフト的に座標を変換する方法を示したが、カメラの取り込み位置の制御による補正や、ワークを載せる台を平行移動や回転が可能なステージにして、マーク位置のずれ量に応じてステージを移動させることで補正してもよい。

図１（ａ）は本発明のワークの検査方法の実施の形態の１例を行う際の装置構成を簡略的に図示した概略構成図で、図１（ｂ）は撮影方法と撮影領域を説明するための図である。 本発明のワークの検査装置の実施の形態の１例の概略機能ブロック図である。 図１に示す本発明のワークの検査方法の処理フローの１例を示した図である。 部分画像の切り出しを説明するための図である。 図５（ａ）〜図５（ｃ）は単位部の欠落、位置ズレを説明するための図である。 図６（ａ）はワークの一部の撮影画像を示した図で、図６（ｂ）は図６（ａ）に示す撮影画像からの切り出した部分画像を示した図である。 設計データの座標系の位置と画像上の位置との関係を説明するための図である。

符号の説明

１１０ 搬送部
１１１ Ｙ方向搬送部（ステージとも言う）
１１２ Ｘ方向搬送部（撮影手段搬送部とも言う）
１２０ 撮影手段
１２１ 照明部
１２２ 画像入力部（ここではＣＣＤラインセンサカメラである）
１３０ 設計データ管理部（設計データベースとも言う）
１４０ 画像処理部
１５０ アライメント補正処理部
１７０ ワーク
１７１ 単位部（ここではバンプである）
１７５ カメラ視野
１８１ Ｙ方向移動
１８２ Ｘ方向移動
１９０ 制御部
２１０ ワークの一部の撮影画像
２２０ 部分画像領域
２２１ 検査対象の単位部の像（単に単位部とも言う）
２２１ａ 単位部の像（単に単位部とも言う）
２２１Ａ、２２１Ｂ、２２１Ｃ 非検査対象の単位部の像（単に単位部とも言う）

Claims (6)

1. 設計データに基づいて、複数、同じ形状の単位部が表面に形成されているワークについて、該単位部の欠落の有無、位置ずれ、サイズ等を、ワークの撮影画像にて検査する、ワークの検査方法であって、設計データ上の検査対象とする全ての単位部について、各設計データ上の単位部毎に、設計データ上の単位部の位置に対応するワークでの位置にて、該設計データの単位部に対応する領域を含むワークの一部の撮影画像を得て、該撮影画像から、単位部の像領域を含む、検査に必要なだけの小範囲を、部分画像として切り出し、切り出した部分画像に対して、所定の画像処理を行って、検査を実施する、１連の処理を行うものであることを特徴とするワークの検査方法。
2. 請求項１に記載のワークの検査方法であって、前記各１連の処理を実施するに際し、予め、２つ以上のワークの撮影画像上の単位部位置と、これらの各撮影画像上の単位部位置に対応する設計データ上の単位部位置とから、ワークの撮影画像のアライメント補正を行い、アライメントのためのデータを得ておくものであり、且つ、前記アライメント補正に用いられるワークの撮影画像と、前記検査の際に用いられるワークの撮影画像とは、いずれも、同じ光学系にて撮像され、同じ座標系のもとに位置管理していることを特徴とするワークの検査方法。
3. 請求項１ないし２のいずれか１に記載のワークの検査方法であって、前記ワークが配線用基板で、単位部がバンプであることを特徴とするワークの検査方法。
4. 設計データに基づいて、複数、同じ形状の単位部が表面に形成されているワークについて、該単位部の欠落の有無、位置ずれ、サイズ等を、ワークの撮影画像にて検査する、ワークの検査装置であって、単位部の設計座標データを含む、設計データを備えた設計データ管理部（データベース）と、ワークの一部の撮影画像を得る、照明部、画像入力部を有する撮影手段と、ワークを搭載して、前記撮影手段の画像入力部と相対的にＸ、Ｙ移動可能な搬送部と、前記設計データ管理部からの検査対象とする各単位部の座標と、該座標に対応する位置の撮影画像とから、検査を行う画像処理部とを備えたもので、前記画像処理部は、各設計データ上の検査対象とする単位部毎に、前記設計データ管理部から設計データ上の単位部の位置座標を取り出し、該位置座標に対応するワークでの位置にて、該設計データの単位部に対応する領域を含むワークの一部の撮影画像を得て、該撮影画像から、単位部の像領域を含む、検査に必要なだけの小範囲を、部分画像として切り出し、切り出した部分画像に対して、所定の画像処理を行って、検査を実施する、１連の処理を、設計データ上の検査対象とする全ての単位部について、行うものであることを特徴とするワークの検査装置。
5. 請求項４に記載のワークの検査装置であって、前記各１連の処理を実施するに際し、予め、２つ以上のワークの撮影画像上の単位部位置と、これらの各撮影画像上の単位部位置に対応する設計データ上の単位部位置とから、ワークの撮影画像のアライメント補正を行い、アライメントのためのデータを得ておく、アライメント補正処理部を備えていることを特徴とするワークの検査装置。
6. 請求項４ないし５のいずれか１に記載のワークの検査装置であって、前記ワークが配線用基板で、単位部がバンプであることを特徴とするワークの検査装置。
   

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