JP4902342B2 - 検査装置 - Google Patents
検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4902342B2 JP4902342B2 JP2006350814A JP2006350814A JP4902342B2 JP 4902342 B2 JP4902342 B2 JP 4902342B2 JP 2006350814 A JP2006350814 A JP 2006350814A JP 2006350814 A JP2006350814 A JP 2006350814A JP 4902342 B2 JP4902342 B2 JP 4902342B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mark
- stage
- correction
- wafer
- correction angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
19はウェハを構成している。
101は補正用マーク1、102は補正用マーク2、103は確認用マーク3である。確認用マーク3は補正用マーク2と近傍にあれば、どの位置にあっても構わない。
y1)にステージ10を移動する。ステップ301ではカメラ12により補正用マーク1の撮像を行う。ステップ302では撮像した画像に対してパターンマッチングを行い、補正用マーク203の座標位置を検出する。このとき、ウェハ19はステージ10に搬送された状態で209の位置にあり、補正用マーク1は203の座標位置にある。ステップ
302では検出した203の座標位置を取得後、ステップ303によって予め登録している補正用マーク2の座標位置にステージ10を移動する。このとき、ウェハ19はステージ10に搬送された状態で209の位置にあり、補正用マーク2は204の座標位置にある。ステップ304によってカメラ12により補正用マーク2の撮像を行う。ステップ
305では撮像した画像に対してパターンマッチングを行い、補正用マーク2の座標位置を検出する。ステップ306ではステップ302,305から検出した補正用マーク1及び補正用マーク2の座標203及び204から補正角を計算する。ステップ307ではステップ306で計算した補正角とステップ302で算出した1番目の補正用マークの座標と予め登録した3番目の確認用マークの座標から位置補正を行う前の3番目の座標を求める。308ではステップ307で算出した3番目の確認用マークの座標に対してステージ10を補正角回転させたときの座標位置を計算する。ステップ309では該ステージ10をステップ306から算出した補正角回転させ、ステップ309で算出した座標位置にステージ10を移動させる。ステップ310ではカメラ12により確認用マーク3の撮像を行う。ステップ311ではパターンマッチングにより確認用マーク3の座標208を検出する。ステップ312ではステップ308で計算した補正用マーク3の座標位置208とステップ311で計測した補正用マーク3の座標位置208の差分を行う。差分値が予め登録された閾値以内であれば位置補正は終了する。もし、閾値よりも大きい場合、ステップ303から処理を繰返す。本発明の実施形態は、上記に限定されるものではなく、その技術思想の範囲内で変形可能である。
11 光学装置
12 カメラ
13 キャプチャーボード
14 画像データ
15 主記憶
16 画像処理演算器
17 ステージ制御演算器
18 ステージ制御器
19 ウェハ
Claims (1)
- ウェハを保持してX,Y方向の移動ならびに回転可能なステージと、ウェハ上に整列されたチップを、ステージのX,Y方向に対して整列させるための位置合わせを行う検査装置であって、
第1のマークはウェハ端の近傍に位置し、該ステージにより第1のマークの位置に移動し、該マークの位置を検出する手段と、
第2のマークは第1のマークとXまたはY方向に相対的な位置に位置し、該ステージにより第2のマークに移動して該マークの位置を検出する手段と、
第1及び第2のマークの位置からウェハの補正角を算出する手段と、
確認用の第3のマークは第1及び第2のマークと同一線上にあって、さらに前記第3のマークは、前記第1のマークよりも前記第2のマークに近い位置にあり、検出した第1または第2のマークの位置と前記補正角と予め登録した第3のマークの位置から前記補正角を用いた補正前の第3のマークの位置を算出する手段と、
ステージを前記補正角を用いて回転したときの第3のマークの位置を算出する手段と、
前記補正角に対して該ステージを回転して補正することで位置合わせを行う手段と、
該ウェハを補正後、該ステージにより第3のマークに移動して該マークの位置を検出する手段と、
前記補正角を用いて回転したときの第3のマークの位置を算出する手段により算出した位置と、該ウェハを補正後、該ステージにより第3のマークに移動して該マークの位置を検出する手段により検出した位置との差分を取得し、前記差分と閾値とを比較する手段と、を備え、
さらに、前記予め登録した第3のマークの位置は、前記ウェハの座標系における、前記第1または第2のマークの位置に対する相対的な位置であり、
前記差分が前記閾値より大きい場合には、前記第2のマークの位置の検出、新たな補正角の算出、前記新たな補正角を用いた補正前の第3のマークの位置の算出、前記新たな補正角を用いて回転したときの第3のマークの位置の算出、前記新たな補正角に対して該ステージを回転して補正することで行われる位置合わせ、及び前記新たな補正角による補正後の第3のマークの位置の検出を行い、
前記差分が前記閾値以内であれば、前記補正を終了することを特徴とする検査装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006350814A JP4902342B2 (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | 検査装置 |
US12/003,123 US7898653B2 (en) | 2006-12-20 | 2007-12-20 | Foreign matter inspection apparatus |
US13/009,366 US8395766B2 (en) | 2006-12-20 | 2011-01-19 | Foreign matter inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006350814A JP4902342B2 (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | 検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008166320A JP2008166320A (ja) | 2008-07-17 |
JP4902342B2 true JP4902342B2 (ja) | 2012-03-21 |
Family
ID=39695456
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006350814A Expired - Fee Related JP4902342B2 (ja) | 2006-12-20 | 2006-12-27 | 検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4902342B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5611149B2 (ja) | 2011-08-23 | 2014-10-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 光学顕微鏡装置及びこれを備えた検査装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1197511A (ja) * | 1997-09-18 | 1999-04-09 | Canon Inc | 位置合わせ装置および方法 |
JP4037947B2 (ja) * | 1998-01-29 | 2008-01-23 | 株式会社テクノホロン | 対象物のアライメント方法 |
-
2006
- 2006-12-27 JP JP2006350814A patent/JP4902342B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008166320A (ja) | 2008-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI413206B (zh) | A center of the wafer detection method and a recording medium on which the method is recorded | |
US20030164876A1 (en) | Procedure and device for measuring positions of continuous sheets | |
JP2008036918A (ja) | スクリーン印刷装置および画像認識位置合わせ方法 | |
JP2008128651A (ja) | パターン位置合わせ方法、パターン検査装置及びパターン検査システム | |
JP5057489B2 (ja) | アライメント装置及びアライメント方法 | |
JP2004288792A (ja) | アライメント装置及びアライメント方法 | |
CN114695225A (zh) | 一种晶圆预对准装置和晶圆预对准方法 | |
TW201721305A (zh) | 曝光裝置、曝光裝置之調正方法以及程式 | |
JP2014060324A (ja) | 算出装置、搬送ロボットシステム、及び算出方法 | |
JP2008014700A (ja) | ワークの検査方法及びワーク検査装置 | |
JP4902342B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2010021411A (ja) | ワーク位置決め装置、およびワーク位置決め方法 | |
JP6784151B2 (ja) | 板状体の加工方法、および板状体の加工装置 | |
CN110744920B (zh) | 一种印品定位方法及系统 | |
JP4385699B2 (ja) | 半導体ウェーハの方向調整方法および半導体ウェーハの方向調整装置 | |
TW201820043A (zh) | 基板角位置特定方法 | |
CN109725506B (zh) | 一种基底预对准方法和装置以及一种光刻机 | |
KR101362677B1 (ko) | 플랫존 영상을 이용하여 반도체 웨이퍼의 위치를 정렬하기 위한 장치 및 그 방법 | |
JP2009184069A (ja) | ウエハ搬送装置及びその調整方法 | |
KR20180136771A (ko) | 반도체 웨이퍼의 위치 정렬 장치 및 그 방법 | |
JP2009250777A (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP5398314B2 (ja) | 露光装置、及び露光方法 | |
JP4566686B2 (ja) | 対象物の形状判別方法及び装置 | |
US20070283831A1 (en) | Method and apparatus for registration of an imaged lithographic plate | |
JP6177075B2 (ja) | 加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100928 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100930 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110405 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110624 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111206 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111228 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150113 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |