JP2006344788A - 三次元高密度実装構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体素子と配線基板の熱膨張差による半導体装置の反りが生じ、三次元的に実装された下段半導体装置の半導体素子と上段半導体装置の配線基板が接触して半導体素子や配線基板の破損するのを防ぎ半導体装置の信頼性を高める構造にすることを提供する。
【解決手段】配線基板上に少なくとも1個以上の半導体素子が搭載された半導体装置を、少なくとも2段以上積み重ねた積層型半導体装置実装において、下段半導体装置の半導体素子1が上段半導体装置の配線基板4に接触した場合、どちらか一方もしくは双方の破損を防ぐためにその間に緩衝材を設けることを特徴とした構造。
【選択図】図1
【解決手段】配線基板上に少なくとも1個以上の半導体素子が搭載された半導体装置を、少なくとも2段以上積み重ねた積層型半導体装置実装において、下段半導体装置の半導体素子1が上段半導体装置の配線基板4に接触した場合、どちらか一方もしくは双方の破損を防ぐためにその間に緩衝材を設けることを特徴とした構造。
【選択図】図1
Description
本発明は配線基板上に半導体素子が実装された半導体装置を、多段に積み上げるように三次元的に実装して高密度化を実現する構造に関するものである。
市場の電子製品小型化、薄型化の要求に伴い、現在では部品単体の形状だけではなく、実装構造においても高密度化が必須となっている。高密度実装構造の一つとして、配線基板上に半導体素子が実装された半導体装置を、多段に積み上げるように三次元的に実装することにより占有面積を小さくする方法が使われている。
又、従来例としては、例えば特許文献1をあげることが出来る。
特登録3239909号公報
しかしながら、上記従来技術では半導体素子と配線基板の熱膨張差による半導体装置の反りが生じ、三次元的に実装された下段半導体装置の半導体素子と上段半導体装置の配線基板が接触してしまう。それにより以下のような不具合を生じる場合があった。
(1)半導体素子の破損
(2)配線基板の配線切断
また将来的に半導体素子の発熱量が増加した時に反り量が大きくなり、上記不具合を生じる可能性が高くなる。
(2)配線基板の配線切断
また将来的に半導体素子の発熱量が増加した時に反り量が大きくなり、上記不具合を生じる可能性が高くなる。
よって本出願による発明の第1の目的は、半導体素子や配線基板の破損を防ぎ半導体装置の信頼性を高める構造にすることにある。
また本出願による発明の第2の目的は、半導体装置の冷却性能を高めることにより半導体素子と配線基板との熱膨張差を小さくして反り量を低減し、破損の可能性を下げる構造にすることにある。
上記目的を達成するために、本出願にかかる第1の発明は積層型半導体装置において下段半導体装置の半導体素子と上段半導体装置の配線基板の接触する部分の少なくとも一部分に緩衝材を設けることを特徴とする。緩衝材により半導体素子と配線基板が直接接触しないため、半導体素子が破損したり配線基板の配線が切断されるような不具合がなくなる効果がある。
本出願にかかる第2の発明は、積層型半導体装置に緩衝材を塗布または貼付または挟み込む構造を特徴とする。緩衝材を塗布する場合、貼付するよりも製造性が向上する効果がある。また積層型半導体装置を他の大型基板搭載後でも横側から半導体装置間隙に注入できる効果もある。緩衝材を貼付する場合、塗布するよりも正確に配置することができる効果がある。緩衝材を挟み込む場合、塗布や貼付など固定しないことにより容易に設置することができ製造性が向上する効果がある。
本出願にかかる第3〜5の発明は、緩衝材の設定場所の選択自由度が高いことを特徴とする。本構造においては、半導体装置の形状等の条件によって緩衝材設置位置を使い分けることにより製造性を向上する効果がある。
本出願にかかる第6の発明は、緩衝材に熱伝導率の高い材料を使用することにより下段半導体装置上の半導体素子からの発熱を上段半導体装置の配線基板に伝え冷却効果を高めることを特徴とする。本構造においては冷却効果を高め半導体素子と配線基板間の温度差を小さくすることにより熱膨張差を小さくして、反り量を軽減する効果がある。
積層型半導体装置において下段半導体装置の半導体素子と上段半導体装置の配線基板の接触する部分の少なくとも一部分に緩衝材を設けているので、緩衝材により半導体素子と配線基板が直接接触しないため、半導体素子が破損したり配線基板の配線が切断されるような不具合がなくなる効果がある。
以下、図面をもとに本発明を詳細に説明する。
図1および図2は第1の発明形態を示している。図1は半導体装置を2段に積み上げ三次元的に高密度実装した積層型半導体装置の側面図である。図2は上段半導体装置側から見た下段半導体装置の平面図である。図1のように下段半導体装置において半導体素子1が配線基板2上に実装されているが、それぞれの熱膨張差により反りが生じる。ここで下段の半導体素子1の端部が上側に反り、上段の配線基板4と接触する場合がある。通常半導体素子内回路のOn/Offにより発熱温度の変化が生じそれが反り量の変化を引き起こすが、これにより半導体素子1の端部が接触している配線基板4表面を徐々に切削して配線の切断や半導体素子破損に至る場合がある。しかし図2のように半導体素子1上に緩衝材5を設置すれば半導体素子1の端部が配線基板4に接触せず、双方とも破損することもない。なお構造上、接触する部分は半導体素子1端部の可能性が大きいため主に四隅に緩衝材5を設置する。
図3および図4は第2の発明形態を示している。図3は三次元的に高密度実装した積層型半導体装置の側面図、図4は上段半導体装置側から見た下段半導体装置の平面図である。図4において半導体素子1の四隅に緩衝材5が塗布されている。これにより半導体素子の破損および配線基板の配線切断などの不良が防止できる。
図5および図6は第2の発明形態を示している。図5は三次元的に高密度実装した積層型半導体装置の側面図、図6は上段半導体装置側から見た下段半導体装置の平面図である。図6において半導体素子1の四隅に緩衝材5が貼付されている。これにより半導体素子の破損および配線基板の配線切断などの不良が防止できる。
図7および図8は第2の発明形態を示している。図7は三次元的に高密度実装した積層型半導体装置の側面図、図8は上段半導体装置側から見た下段半導体装置の平面図である。図7において下段半導体装置の半導体素子1と上段半導体装置の配線基板4の間に緩衝材5が挟み込まれている。これにより半導体素子の破損および配線基板の配線切断などの不良が防止できる。
図9および図10は第3の発明形態を示している。図9は三次元的に高密度実装した積層型半導体装置の側面図、図10は上段半導体装置側から見た下段半導体装置の平面図である。形態の一つとして図10は半導体素子1の一部に緩衝材5が塗布または貼付または挟み込まれている。これにより半導体素子の破損および配線基板の配線切断などの不良が防止できる。
図11および図12は第4の発明形態を示している。図11は三次元的に高密度実装した積層型半導体装置の側面図、図12は下段半導体装置側から見た上段半導体装置配線基板の平面図である。形態の一つとして図12は配線基板4の一部に緩衝材5が塗布または貼付または挟み込まれている。これにより半導体素子の破損および配線基板の配線切断などの不良が防止できる。
図13〜15は第5の発明形態を示している。図13は三次元的に高密度実装した積層型半導体装置の側面図、図14は下段半導体装置側から見た上段半導体装置配線基板の平面図、図15は上段半導体装置側から見た下段半導体装置の平面図である。形態の一つとして図14の配線基板4および図15の半導体素子1の両方に緩衝材5が塗布または貼付または挟み込まれている。これにより半導体素子の破損および配線基板の配線切断などの不良が防止できる。
図16および図17は第6の発明形態を示している。図16は三次元的に高密度実装した積層型半導体装置の側面図、図17は上段半導体装置側から見た下段半導体装置の平面図である。図16は半導体素子1の全面に熱伝導率の高い緩衝材5が塗布または貼付または挟み込まれている。半導体素子1からの発熱は緩衝材5を経由して配線基板4に伝わり冷却効率を高めることにより、半導体素子1と配線基板2の温度差による熱膨張差が小さくなり反り量が低減される効果がある。
1 下段半導体装置の半導体素子
2 下段半導体装置の配線基板
3 上段半導体装置の半導体素子
4 上段半導体装置の配線基板
5 緩衝材
6 上段半導体装置の接続端子
7 下段半導体装置の接続端子
2 下段半導体装置の配線基板
3 上段半導体装置の半導体素子
4 上段半導体装置の配線基板
5 緩衝材
6 上段半導体装置の接続端子
7 下段半導体装置の接続端子
Claims (6)
- 配線基板上に少なくとも1個以上の半導体素子が搭載された半導体装置を、少なくとも2段以上積み重ね三次元実装した積層型半導体装置において、上段の半導体装置と下段半導体装置の間に緩衝材を設けることを特徴とした積層型半導体装置の構造。
- 前述の緩衝材を、塗布または貼付または挟み込むことを特徴とした請求項1に記載の積層型半導体装置の構造。
- 前述の緩衝材を、半導体素子上の少なくとも一部に設けることを特徴とした請求項1に記載の積層型半導体装置の構造。
- 前述の緩衝材を、配線基板上の少なくとも一部に設けることを特徴とした請求項1に記載の積層型半導体装置の構造。
- 前述の緩衝材を、半導体素子上と配線基板上の両方の少なくとも一部に設けることを特徴とした請求項1に記載の積層型半導体装置の構造。
- 前述の緩衝材を、熱伝導率の高い材料を使用することにより半導体素子からの発熱を配線基板に伝え冷却効率を高めることを特徴とした請求項1に記載の積層型半導体装置の構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005169433A JP2006344788A (ja) | 2005-06-09 | 2005-06-09 | 三次元高密度実装構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005169433A JP2006344788A (ja) | 2005-06-09 | 2005-06-09 | 三次元高密度実装構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006344788A true JP2006344788A (ja) | 2006-12-21 |
Family
ID=37641518
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005169433A Withdrawn JP2006344788A (ja) | 2005-06-09 | 2005-06-09 | 三次元高密度実装構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006344788A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011021364A1 (ja) * | 2009-08-20 | 2011-02-24 | パナソニック株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2005
- 2005-06-09 JP JP2005169433A patent/JP2006344788A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2011021364A1 (ja) * | 2009-08-20 | 2011-02-24 | パナソニック株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JPWO2011021364A1 (ja) * | 2009-08-20 | 2013-01-17 | パナソニック株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
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