JP2006339181A - ウエハ保持治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リング状のフランジ部4およびこのフランジ部4の内側に形成された半導体ウエハ載置用の段部5を有するウエハホルダ2と、このウエハホルダ2に載置された半導体ウエハWを押さえるウエハ押え蓋3とを備えたウエハ保持治具であって、 前記フランジ部4の内側面には、半導体ウエハWの外周面の一部をガイドするガイド部4aを有し、前記フランジ部4には、前記ガイド部4a付近においてその厚みを他の部分より厚くした肉厚部9が形成されている。
【選択図】図2
Description
平面直線のフラット形状のガイド部4aとなっており、かつ半導体ウエハWを載せる段部5の内側面はフラット部5aとなっている。
リング状のフランジ部およびこのフランジ部の内側下部に形成された半導体ウエハ載置用の段部を有するウエハホルダと、前記段部に載置された半導体ウエハを押さえるウエハ押え蓋とを備えたウエハ保持治具であって、
前記フランジ部の内側面には、半導体ウエハの外周面の一部をガイドするガイド部を有し、
前記フランジ部には、前記ガイド部付近においてその厚みを他の部分より厚くした肉厚部が形成されていることを特徴とするウエハ保持治具が提供される。
本発明のウエハ保持治具においては、ウエハ押え蓋を半導体ウエハ上に載せるときに、ウエハ押え蓋の外周面の一部をガイド部に押し当てた状態で、ここを支点としてウエハ押え蓋を下方に回動させるとともに、ガイド部でウエハ押え蓋をガイドさせながら緩やかに下降させることができ、これにより、ウエハ押え蓋の先端部が半導体ウエハに急激に当ったり擦ったりすることが防止される。
2 ウエハホルダ
3 ウエハ押え蓋
3a フラット部
4 フランジ部
4a ガイド部
5 段部
5a フラット部
6取手
8 部分
9 肉厚部
10 凸縁部
W 半導体ウエハ
Claims (3)
- リング状のフランジ部およびこのフランジ部の内側下部に形成された半導体ウエハ載置用の段部を有するウエハホルダと、前記段部に載置された半導体ウエハを押さえるウエハ押え蓋とを備えたウエハ保持治具であって、
前記フランジ部の内側面には、半導体ウエハの外周面の一部をガイドするガイド部を有し、
前記フランジ部には、前記ガイド部付近においてその厚みを他の部分より厚くした肉厚部が形成されていることを特徴とするウエハ保持治具。 - 前記半導体ウエハは、一側端部にオリエンテーションフラットを有し、前記ガイド部は、前記オリエンテーションフラットに合わせた平面直線のフラット形状であることを特徴とする請求項1に記載のウエハ保持治具。
- 前記半導体ウエハは、オリエンテーションフラットを有しない円形状であり、前記ガイド部は、半導体ウエハの外周面に合わせた平面円弧形状であることを特徴とする請求項1に記載のウエハ保持治具。
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2005
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